JP2017525123A - 電子エネルギー損失分光器 - Google Patents
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Abstract
Description
更なる実施の形態において、検出器平面でのスペクトルを除いて、分光器の中に焦点の合ったスペクトルはない。更なる実施の形態において、スリットは、システムを貫くドリフト管とは異なる静電電位に保持される。更なる実施の形態において、スリットは隔壁と組み合せて用いられる。
このPCT出願は、2014年6月27日に出願された「電子エネルギー損失分光器」と題する仮出願第62/018294号、及び、2015年5月12日に出願された同じ発明の名称を有する仮出願第62/160381号の米国特許法第119条(e)の下で利益を主張する。より早く出願された仮出願の開示全体は、参照により、ここに組み込まれる。
Claims (13)
- 偏向磁石と、
入口端部及び出口端部を有し、ドリフト管電位に保持され、前記偏向磁石に近接する、電気的に絶縁されたドリフト管と、
前記ドリフト管の一方の端部又は両方の端部に位置する、静電又は磁気レンズと
を備え、
一方の端部又は両方の端部において一定の全焦点距離を生成するために、前記静電又は磁気レンズは、前記ドリフト管電位に応じて調整され、
収差を最小にし、検出器上に投影されるエネルギー損失スペクトルを拡大し、分光器内部にスペクトルの中間焦点を生成するために、複数の光学素子が配置される
透過型電子顕微鏡法のための電子エネルギー損失分光器。 - 前記複数の光学素子において一定範囲の電子エネルギーが存在するように、前記絶縁ドリフト管は、前記複数の光学素子を貫いて延在される
請求項1記載の電子エネルギー損失分光器。 - 前記レンズは、円筒型静電レンズ、円筒型磁気レンズ、多極子静電レンズ、多極子磁気レンズからなるグループから選択され、前記ドリフト電位の変化の間にスペクトルの焦点を前記検出器に維持するために、前記レンズは調整される
請求項1記載の電子エネルギー損失分光器。 - 前記レンズ又は複数の前記レンズは、前記偏向磁石ドリフト管の前記入口及び前記出口に位置する
請求項1記載の電子エネルギー損失分光器。 - 単一のレンズ又は複数の前記レンズは、前記ドリフト管の前記入口に位置する
請求項1記載の電子エネルギー損失分光器。 - 単一のレンズ又は複数の前記レンズは、前記ドリフト管の前記出口に位置する
請求項1記載の電子エネルギー損失分光器。 - エネルギー選択スリットを更に備え、前記スリットは、前記ドリフト管の前記電位にスリット電気電位を合わせることにより前記スリットの周りのレンズ効果を防ぐために設けられるスリット電気電位でフローティングするために設けられる、
請求項1記載の電子エネルギー損失分光器。 - エネルギー選択スリットを更に備え、前記スリットは、前記ドリフト管の前記電位に対してスリット電気電位をずらすことにより前記スリットの周りにレンズ効果を意図的に導入するために設けられるスリット電気電位でフローティングするために設けられる、
請求項1記載の電子エネルギー損失分光器。 - 前記エネルギー選択スリット端は分光器の光学軸の周りに独立して配置され、検出器の視野の外側の電子をきれいに遮るために、前記エネルギー損失スペクトルは、前記複数の光学素子により前記スリットに近接する中間焦点にもってこられる
請求項7記載の電子エネルギー損失分光器。 - 前記エネルギー選択スリット端は分光器の光学軸の周りに独立して配置され、検出器の視野の外側の電子をきれいに遮るために、前記エネルギー損失スペクトルは、前記複数の光学素子により前記スリットに近接する中間焦点にもってこられる
請求項8記載の電子エネルギー損失分光器。 - 検出器視野の外側の電子をきれいに遮るために、前記エネルギー選択スリットと組み合わせて用いるために設けられた追加の隔壁を更に備える
請求項9記載の電子エネルギー損失分光器。 - 検出器視野の外側の電子をきれいに遮るために、前記エネルギー選択スリットと組み合わせて用いるために設けられた追加の隔壁を更に備える
請求項10記載の電子エネルギー損失分光器。 - 前記エネルギー選択スリットの前記端は光学軸の周りに対称的に配置される
請求項7記載の電子エネルギー損失分光器。
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