JP2017523590A - 高速度回転ソータ - Google Patents
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Abstract
Description
典型的なソーティングシステムは、直線的配置(linear arrangement)で毎時約3,600枚の基板をソートする。しかしながら、検査プロセスは、検査ステップの完了にかかる時間を短縮し続けているため、スループットを増大させるためには、より速いソーティングにも遅れずについていくことができるソーティング装置が必要である。
他の実施形態では、基板を検査およびソートするように適合された装置が開示される。この装置は、ローディング(loading)ユニット、計測(metrology)ユニット、ソーティングユニット、および個別に取外し可能な複数のソーティングビンを含む。計測ユニットはローディングユニットに結合されている。ソーティングユニットは計測ユニットに結合されている。ソーティングユニットは、ソーティングユニット内のプラットホーム、複数のアーム、および少なくとも1つのグリッパを含む。プラットホームは、プラットホームの中心軸を軸に回転するように構成されている。前記複数のアームはそれぞれ第1の端および第2の端を有する。第1の端はプラットホームに結合されている。さらに、前記複数のアームはそれぞれ、プラットホームの中心軸から半径方向外側へ延びている。前記少なくとも1つのグリッパは、前記複数のアームのそれぞれのアームの第2の端に結合されている。前記個別に取外し可能な複数のソーティングビンはそれぞれソーティングユニット内に配置されており、前記少なくとも1つのグリッパが回転したときに前記少なくとも1つのグリッパがそれに沿って移動する経路の下方に配置されている。
上に挙げた本開示の諸特徴を詳細に理解することができるように、そのうちのいくつかが添付図面に示された実施形態を参照することによって、上に概要を示した本開示をより具体的に説明する。しかしながら、添付図面は本開示の典型的な実施形態だけを示したものであり、したがって添付図面を本開示の範囲を限定するものと考えるべきではないことに留意すべきである。等しく有効な別の実施形態に対して本開示が適用される可能性があるためである。
回転ソーティングシステム120はさらに、1つまたは複数のアクセスパネルによってアクセス可能な歩留り分析サーバ146を含むことができる。歩留り分析サーバ146は、フロントエンド102および計測ステーション116A〜116Eのうちの1つまたは複数に結合されており、フロントエンド102および前記1つまたは複数の計測ステーション16A〜116Eから受け取った通過中のそれぞれの基板110に関するデータを受け取り、集め、分析し、記憶しかつ/または報告するように適合されている。
Claims (15)
- 複数の基板を検査およびソートする装置であって、
ソーティングユニットと、
前記ソーティングユニット内に配された回転可能支持体であり、回転軸を軸に回転可能な回転可能支持体と、
前記回転可能支持体に結合された第1の端および前記回転可能支持体から前記回転軸に関して半径方向外側へ延びる第2の端をそれぞれが有する複数のアームと、
それぞれのアームの前記第2の端に結合された少なくとも1つのグリッパと、
前記ソーティングユニット内に配置された複数のビンであり、前記回転可能支持体が回転したときに前記少なくとも1つのグリッパがそれに沿って移動する経路の下方に配置された複数のビンと
を備える装置。 - 前記少なくとも1つのグリッパがベルヌーイピッカである、請求項1に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのグリッパが無接触グリッパである、請求項1に記載の装置。
- 計測ユニットに結合されたローディングユニットをさらに備え、前記計測ユニットが前記ソーティングユニットに結合された、請求項1に記載の装置。
- 前記複数のビンが、前記少なくとも1つのグリッパによって解放された基板を受け取るように配置された、請求項1に記載の装置。
- 前記複数のビンが、前記複数のビンの中にガス支持クッションを発生させるように動作可能な複数のガス出口を備える、請求項1に記載の装置。
- 前記複数のビンが、前記ソーティングユニットの外側から個別に取外し可能であり、ソーティングが実行されている間に前記複数のビンを個別に取り外すことができる、請求項1に記載の装置。
- コントローラをさらに備え、前記コントローラが、命令を記憶したコンピュータ可読媒体を備え、前記命令がプロセッサによって実行されたときに、前記命令によって前記コントローラが前記複数の基板をソートし、前記ソートすることが、
前記ソーティングモジュールの少なくとも1つのグリッパで前記基板を保持するステップと、
前記少なくとも1つのグリッパによって保持された前記基板を、前記ソーティングユニットの中心軸を軸にして、前記基板に割り当てられた前記ソーティングビンの上方の位置まで回転させるステップと、
前記少なくとも1つのグリッパから前記基板を解放して、割り当てられた前記ソーティングビンに入れるステップと
を実行することによって実行される、請求項1に記載の装置。 - 基板を検査およびソートするように適合された装置であって、
ローディングユニットと、
前記ローディングユニットに結合された計測ユニットと、
前記計測ユニットに結合されたソーティングユニットと
を備え、前記ソーティングユニットが、
回転軸から半径方向外側へ延びる複数のアームと、
それぞれのアームの端に結合された少なくとも1つのグリッパと、
前記ソーティングユニット内に配置された個別に取外し可能な複数のソーティングビンであり、前記少なくとも1つのグリッパが回転したときに前記少なくとも1つのグリッパがそれに沿って移動する経路の下方に配置された個別に取外し可能な複数のソーティングビンと
を備える、
装置。 - コントローラをさらに備え、前記コントローラが、命令を記憶したコンピュータ可読媒体を備え、前記命令がプロセッサによって実行されたときに、前記命令によって前記コントローラが前記基板をソートし、前記ソートすることが、
前記ソーティングモジュールの少なくとも1つのグリッパで前記基板を保持するステップと、
前記少なくとも1つのグリッパによって保持された前記基板を、前記ソーティングユニットの中心軸を軸にして、前記基板に割り当てられた前記ソーティングビンの上方の位置まで回転させるステップと、
前記少なくとも1つのグリッパから前記基板を解放して、割り当てられた前記ソーティングビンに入れるステップと
を実行することによって実行される、請求項9に記載の装置。 - 前記少なくとも1つのグリッパがベルヌーイピッカである、請求項9に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのグリッパが無接触グリッパである、請求項9に記載の装置。
- 個別に取外し可能なソーティングビンがそれぞれ、前記個別に取外し可能なソーティングビンの中に加圧されたガス支持クッションを発生させるように動作可能な複数のガス出口を備える、請求項9に記載の装置。
- エンクロージャ内で複数の基板を検査およびソートする装置を動作させる方法であって、
前記エンクロージャのローディングユニット内に基板をロードすること、
前記エンクロージャの計測ユニット内に前記基板を移送すること、
前記計測ユニット内で前記基板に対する計測プロセスを実行すること、
実行された前記計測プロセスの結果に基づいて前記基板をソーティングビンに割り当てること、および
前記基板をソーティングユニットに移送すること
を含み、前記移送することが、
前記ソーティングユニットの少なくとも1つのグリッパで前記基板を保持すること、
前記少なくとも1つのグリッパによって保持された前記基板を、前記ソーティングユニットの中心軸を軸にして、前記基板に割り当てられた前記ソーティングビンの上方の位置まで回転させること、および
前記少なくとも1つのグリッパから前記基板を解放して、割り当てられた前記ソーティングビンに入れること
を含む
方法。 - 割り当てられた前記ソーティングビンに前記基板を移送することが、前記ビンの中へガスを流し入れて前記基板をクッションで支持することをさらに含む、請求項14に記載の方法。
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