KR20110095023A - 태양전지 셀 제조장치 - Google Patents

태양전지 셀 제조장치 Download PDF

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KR20110095023A
KR20110095023A KR1020100014812A KR20100014812A KR20110095023A KR 20110095023 A KR20110095023 A KR 20110095023A KR 1020100014812 A KR1020100014812 A KR 1020100014812A KR 20100014812 A KR20100014812 A KR 20100014812A KR 20110095023 A KR20110095023 A KR 20110095023A
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정현권
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Abstract

본 발명은 하나의 장비에서 태양전지 셀의 p층과 n층 간의 절연선을 형성하는 에지 아이솔레이션 공정(edge isolation)과 태양전지 셀의 전기적 성능 검사, 미세한 균열(micro-crack) 등의 결함 검사 등을 연속적으로 수행하고, 검사가 완료된 태양전지 셀의 검사 결과 별로 분류하여 적재할 수 있는 태양전지 셀 제조장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 태양전지 셀 제조장치는 태양전지 셀이 안착되는 안착부를 구비하며, 임의의 각도로 회전하면서 태양전지 셀을 지정된 공정 위치로 반송하는 워크테이블과; 상기 워크테이블의 회전 경로 상에 배치되어, 워크테이블에 안착된 태양전지 셀에 지정된 공정을 순차적으로 수행하는 복수의 공정수행부와; 상기 워크테이블에서 반송된 공정이 완료된 태양전지 셀을 검사 결과에 따라 분류 수납하는 소팅부와; 상류측에 위치한 이전 공정 장비의 오프로더부로부터 상기 워크테이블의 안착부로, 상기 워크테이블로부터 소팅부로 태양전지 셀을 반송하는 반송유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

Description

태양전지 셀 제조장치{Apparatus for Manufacturing Solar Cells}
본 발명은 태양전지 셀을 검사하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하나의 장비에서 태양전지 셀의 p층과 n층 간의 절연선을 형성하는 에지 아이솔레이션(edge isolation) 공정과 태양전지 셀의 전기적 성능 검사, 미세한 균열(micro-crack) 등의 결함 검사 등을 연속적으로 수행하고, 검사가 완료된 태양전지 셀의 검사 결과 별로 분류하여 적재할 수 있는 태양전지 셀 제조장치에 관한 것이다.
태양전지 셀(Solar Cell)은 태양에너지를 전기에너지로 변환시켜주는 역할을 하는 것으로, 반도체 재료인 실리콘, 갈륨비소, 카드뮴 텔루르, 황화카드뮴, 인듐인(燐) 또는 이들을 복합한 재료들이 사용되며, 통상적으로는 주로 실리콘이 이용된다.
상기 태양전지 셀은 반도체 재료를 확산법에 의해 p-n접합시켜 제조되며, 빛을 받을 때 작은 양의 전류가 흐르게 되는 광전효과(photovoltaic effect)를 이용한 것으로, 대부분 보통의 태양전지 셀은 대면적의 p-n 접합 다이오드로 이루어져 있으며, 상기 p-n접합 다이오드의 양극단에 발생된 기전력을 외부 회로에 연결하면 단위 태양전지로서 작용하게 된다.
이러한 태양전지 셀은 p형 실리콘 기판에 POCl3 등의 n형 물질을 확산시킴으로써 p-n 접합을 형성한 다음, 반사방지막, 전면 전극 및 후면 전극을 형성하고, 셀 가장자리(edge)를 따라 레이저를 조사하여 전면과 후면을 절연시키는 에지 아이솔레이션(edge isolation) 공정을 수행하여 제조된다. 이와 같이 제조된 태양전지 셀은 컨베이어와 같은 반송라인을 따라 반송되면서 테스터에 의해 전기적 성능 검사 및 미세한 균열(micro-crack) 등의 결함 검사가 수행된 후 출하되거나 모듈 공정으로 투입된다.
그런데, 종래에는 태양전지 셀에 에지 아이솔레이션(edge isolation) 공정을 수행하는 장비와 전기적 성능 검사 및 미세한 균열(micro-crack) 등의 결함 검사를 수행하는 장비가 모두 개별적으로 만들어져 인라인(in-line) 상으로 배열되기 때문에 전체 공정 라인이 차지하는 면적이 매우 넓고, 태양전지 셀을 픽업하여 지정된 공정 장비로 반송하고 정렬하는 등의 핸들링 횟수가 많아 시간이 많이 소요될 뿐만 아니라 핸들링 과정에서 태양전지 셀이 파손될 확률이 높은 문제가 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 하나의 장비에서 에지 아이솔레이션 공정, 전기적 성능 검사 등의 검사 공정을 연속적으로 수행할 수 있으며, 태양전지 셀을 픽업하여 지정된 공정 위치로 반송하고 정렬하는 등의 핸들링 횟수를 최소화함으로써 신속하고 안전하게 태양전지 셀을 핸들링할 수 있는 태양전지 셀 제조장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 태양전지 셀이 안착되는 안착부를 구비하며, 임의의 각도로 회전하면서 태양전지 셀을 지정된 공정 위치로 반송하는 워크테이블과; 상기 워크테이블의 회전 경로 상에 배치되어, 워크테이블에 안착된 태양전지 셀에 지정된 공정을 순차적으로 수행하는 복수의 공정수행부와; 상기 워크테이블에서 반송된 공정이 완료된 태양전지 셀을 검사 결과에 따라 분류 수납하는 소팅부와; 상류측에 위치한 이전 공정 장비의 오프로더부로부터 상기 워크테이블의 안착부로, 상기 워크테이블로부터 소팅부로 태양전지 셀을 반송하는 반송유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치를 제공한다.
이러한 본 발명에 따르면, 태양전지 셀이 워크테이블 상에 안착되어 일정 각도로 회전하면서 각 공정 위치로 이동하여 지정된 공정이 수행되고, 지정된 공정 수행이 완료된 후 소팅부로 반송되어 검사 결과 별로 분류되어 적재된다. 따라서, 전체적인 장비의 크기를 대폭 줄일 수 있으며, 태양전지 셀을 픽업하여 지정된 공정 위치로 반송하고 정렬하는 등의 핸들링 횟수를 대폭 줄일 수 있으므로 생산성 및 수율이 현저히 향상되는 이점을 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지 셀 제조장치의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 태양전지 셀 제조장치의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 3은 도 2의 태양전지 셀 제조장치의 변형 실시예를 나타내는 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 태양전지 셀 제조장치의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.
먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명의 첫번째 실시예에 따른 태양전지 셀 제조장치는 이전 공정 장비로부터 작업 대상 태양전지 셀(S)이 공급되는 오프로더부(10)와, 수직한 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 일정 각도로 회전하면서 태양전지 셀을 지정된 공정 위치로 반송하는 워크테이블(20)과, 상기 워크테이블의 회전 경로 상에 배치되어 지정된 공정을 수행하는 공정수행부와, 상기 워크테이블(20)에서 반송된 공정이 완료된 태양전지 셀(S)을 검사 결과에 따라 분류 수납하는 소팅부(40)를 구비한다.
도면에 도시하지는 않았으나, 이전 공정 장비의 오프로더부(10)와 워크테이블(20) 사이에는 상기 오프로더부(10)에서 작업 대상 태양전지 셀(S)을 픽업하여 워크테이블(20)로 반송하여 내려놓는 로딩픽커(미도시)가 구성되고, 상기 워크테이블(20)과 소팅부(40) 사이에는 워크테이블(20)에서 공정이 수행된 태양전지 셀(S)을 픽업하여 소팅부(40)로 반송하는 언로딩픽커(미도시)가 구성된다. 상기 로딩픽커와 언로딩픽커는 진공압에 의해 태양전지 셀을 진공 흡착할 수 있는 공지의 기판 핸들링용 픽커를 이용하여 구성할 수 있다. 또한, 물리적으로 직접 접촉하지 않는 비접촉식 픽커(예를 들어 베르누이 픽커)를 이용하여 구성할 수 있다.
그리고, 상기 오프로더부(10)와 워크테이블(20) 사이의 하측에는 상기 로딩픽커(미도시)에 픽업된 태양전지 셀(S)을 촬영하는 위치정렬용 비전카메라(50)가 설치된다.
상기 오프로더부(10)는 이전 공정 장비에 설치된 부분으로, 컨베이어(11)를 통해 작업 대상 태양전지 셀(S)을 본 발명의 태양전지 셀 제조장치로 공급하는 기능을 한다.
상기 워크테이블(20)은 태양전지 셀(S)이 안착되어 고정되는 복수개의 안착부(21)를 구비한다. 상기 안착부(21)에는 태양전지 셀을 안정적으로 고정할 수 있도록 복수개의 진공홀(미도시)이 형성될 수 있다. 그리고, 상기 워크테이블(20)은 공지의 회전운동장치에 의해 수직한 축을 중심으로 임의의 각도로 회전하면서 상기 안착부(21) 상에 안착된 태양전지 셀(S)을 각각의 공정 위치로 순차적으로 반송하는 기능을 수행한다. 이 실시예에서는 작업의 속도를 향상시키기 위하여 2개의 워크테이블(20)이 서로 독립적으로 회전하면서 태양전지 셀을 각각의 공정수행부 하측으로 반송하고, 각각의 워크테이블(20) 상에 공정수행부가 동일하게 구성되어 있다.
한편, 상기 각각의 워크테이블(20)의 회전 경로 상에 위치하는 공정수행부는 상기 워크테이블(20)에 안착된 태양전지 셀(S)에 레이저를 조사하여 절연선을 형성하는 에지 아이솔레이션(edge isolation) 공정부(31)와, 상기 워크테이블(20)에 안착된 태양전지 셀의 전극과 전기적으로 접속하여 전기적 성능을 검사하는 성능검사부(32)와, 상기 워크테이블(20) 상의 태양전지 셀을 촬영하여 미세한 균열(micro-crack) 등의 결함을 검사하는 결함검사부(33)로 구성된다.
상기 에지 아이솔레이션 공정부(31)는 태양전지 셀의 가장자리(edge)를 따라 레이저 빔을 조사하는 레이저 조사기(미도시)를 구비하고 있다. 그리고, 상기 성능검사부(32)는 태양전지 셀(S)의 전극(일명 버스바아(bus bar)라고 함)에 전기적으로 접속하는 프로브(probe)(미도시)와 태양전지 셀(S)에 인공적인 태양빛을 제공하는 조명장치(미도시) 등을 구비한다. 상기 결함검사부(33)는 태양전지 셀(S)에 순방향 전류를 가할 때 태양전지 셀(S)에서 방출되는 적외선 영상을 획득하여 태양전지 셀(S) 내부의 미세한 균열 등의 결함을 검사하는 부분으로, 태양전지 셀(S)의 전극과 접속하는 프로브와 적외선 영상을 획득하는 적외선 카메라 등을 구비한다.
이 실시예에서 상기 에지 아이솔레이션 공정부(31)와 성능검사부(32), 결함검사부(33)는 예컨대 90도 간격으로 순차적으로 배치되는데, 이들 공정수행부들의 구성과 간격 및 순서는 필요에 따라 소정의 임의의 각도로 설정될 수 있다. 예를 들어, 결함검사부(33)를 구성하지 않고 에지 아이솔레이션 공정부(31)와 성능검사부(32)를 대략 120도 간격으로 배치하거나, 결함검사부(33) 다음에 비전검사부 등을 구성할 수도 있다.
한편, 상기 워크테이블(20)과 소팅부(40) 사이의 하측에는 상기 언로딩픽커(미도시)에 의해 픽업된 태양전지 셀(S)의 하면을 촬영하여 소정의 외형 검사를 수행하는 하면 비전검사부(60)가 구성된다.
그리고, 상기 소팅부(40)는 태양전지 셀(S)이 검사 결과에 따라 분류 수납되는 복수개의 적재부(41)와, 상기 워크테이블(20)과 적재부(41) 사이에 설치되어 워크테이블(20)에서 반송된 태양전지 셀(S)을 적재부(41)로 반송하는 컨베이어(42)와, 상기 컨베이어(42)를 통해 반송되는 태양전지 셀(S)을 픽업하여 상기 적재부(41) 중 어느 하나로 반송하여 적재하는 소팅로봇(43)과, 상기 컨베이어(42)의 상측에 설치되어 컨베이어(42)를 통해 반송되는 태양전지 셀(S)의 위치를 검출하는 소팅용 비전카메라(45)를 포함하여 구성된다. 상기 소팅부(40)의 컨베이어(42) 말단부에는 소팅로봇(43)에 의해 픽업되지 못한 태양전지 셀(S)이 수납되는 버퍼부(44)가 추가로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 소팅로봇(43)은 다양한 공지의 태양전지 셀 핸들링 장치를 이용하여 구성될 수 있는데, 예를 들어 복수개의 링크바아들이 관절식으로 액츄에이터들에 연결되어 상호 연동하면서 태양전지 셀을 원하는 위치로 신속하게 반송하는 패러렐 로봇(parallel robot) 등을 이용할 수 있다.
상기 소팅부(40)의 컨베이어(42) 상측에는 컨베이어(42)를 통해 반송되는 태양전지 셀(S)의 상면을 촬영하여 얼룩(stain)이나 전극의 프린팅상태, 텍스쳐링(texturing) 상태, 에지 아이솔레인션 상태 등을 검사하는 제1상면 비전검사부(71)와, 반사방지막 두께 등의 검사를 수행하는 제2상면 비전검사부(72)가 설치되어 있다.
다음으로, 상기와 같이 구성된 태양전지 셀 제조장치의 작동에 대해 설명한다.
로딩픽커(미도시)는 이전 공정 장비의 오프로더부(10)의 컨베이어(11)를 통해 공급되는 태양전지 셀(S)을 픽업하여 위치정렬용 비전카메라(50)의 상측으로 이동하고, 위치정렬용 비전카메라(50)는 로딩픽커(미도시)에 흡착된 태양전지 셀(S)을 촬영하여 위치를 검출하여 위치를 보정한다. 그 후 로딩픽커(미도시)는 워크테이블(20) 쪽으로 이동하여 워크테이블(20)의 안착부(21)에 태양전지 셀(S)을 안착시킨다.
이어서, 워크테이블(20)이 일방향으로 일정 각도, 예를 들어 90도로 회전하여 태양전지 셀(S)을 에지 아이솔레이션 공정부(31)의 하측으로 이동시킨다. 상기 에지 아이솔레이션 공정부(31)에서는 태양전지 셀(S)의 가장자리를 따라 레이저를 조사하여 절연선을 형성한다.
에지 아이솔레이션 공정(31)이 완료되면, 워크테이블(20)은 다시 일방향으로 90도 회전하여 태양전지 셀(S)을 성능검사부(32)의 하측으로 이동시킨다. 상기 성능검사부(32)에서는 프로브(미도시)가 태양전지 셀(S)의 전극에 접속되고, 조명장치(미도시)에서 순간적으로 강한 조명이 방출되어 태양전지 셀(S)에서 집전되는 전력량을 검사하여 태양전지 셀(S)의 성능을 검사한다.
성능 검사가 종료되면, 워크테이블(20)이 다시 90도 더 회전하여 태양전지 셀(S)이 결함검사부(33)의 하측으로 이동한다. 상기 결함검사부(33)에서는 프로브(미도시)가 태양전지 셀(S)의 전극에 순방향 전류를 인가하여 태양전지 셀(S)에서 적외선이 방출되도록 하고, 이 적외선 영상을 촬영하여 미세한 균열 등의 결함을 검사한다.
결함검사부(33)에서의 검사가 종료되면, 워크테이블(20)이 90도 회전하여 초기 위치로 복귀하고, 언로딩픽커(미도시)가 워크테이블(20) 상의 검사 완료된 태양전지 셀(S)을 픽업하여 하면 비전검사부(60) 상으로 이동한다.
상기 하면 비전검사부(60)는 언로딩픽커(미도시)에 진공 흡착된 태양전지 셀(S)의 하면을 촬영하여 이상 유무를 검사한다.
이어서, 언로딩픽커(미도시)는 소팅부(40)의 컨베이어(42) 상에 태양전지 셀(S)을 안착시키고 워크테이블(20) 쪽으로 이동하여 다음 태양전지 셀(S)을 받을 준비를 한다.
상기 소팅부(40)의 컨베이어(42) 상에 놓여진 태양전지 셀(S)은 소팅부(40)의 적재부(41) 쪽으로 이동하게 되는데, 이 때, 제1상면 비전검사부(71)와 제2상면 비전검사부(72)가 차례로 태양전지 셀(S)을 촬영하여 얼룩(stain)이나 전극의 프린팅상태, 텍스쳐링(texturing) 상태, 반사방지막 두께 등을 검사한다.
그리고, 소팅용 비전카메라(45)가 컨베이어(42) 상의 태양전지 셀(S)을 촬영하여 태양전지 셀(S)의 위치 정보 등을 검출한다.
상기 소팅로봇(43)은 컨베이어(42)를 따라 반송되는 태양전지 셀(S)을 픽업하여 검사 결과 별로 분류하여 해당 등급의 적재부(41)에 적재한다.
한편, 전술한 실시예의 태양전지 셀 제조장치는 2개의 워크테이블(20)이 독립적으로 회전하면서 태양전지 셀(S)을 처리하므로 공정 처리 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
도 2는 본 발명에 따른 태양전지 셀 제조장치의 다른 실시예를 나타낸 것으로, 이 두번째 실시예의 태양전지 셀 제조장치는 기본적인 구성은 전술한 첫번째 실시예와 동일하다. 다만, 이 두번째 실시예의 태양전지 셀 제조장치는 워크테이블(20)이 2개 1조로 이루어져, 제1워크테이블(20a)의 회전 경로 상에 에지 아이솔레이션 공정부(31)와 에지 아이솔레이션 상태를 검사하는 비전검사부(34)가 순차적으로 배치되고, 제2워크테이블(20b)의 회전 경로 상에 성능검사부(32)와 결함검사부(33)가 순차적으로 배치된 구성으로 이루어진다. 물론, 이 실시예에서도 처리 속도를 향상시키기 위하여 제1워크테이블(20a)과 제2워크테이블(20b) 쌍이 2개씩 구성된다.
그리고, 이 두번째 실시예의 태양전지 셀 제조장치는 제1워크테이블(20a) 상의 태양전지 셀(S)을 제2워크테이블(20b)로 반송하여 주는 별도의 픽커를 구비할 수도 있으나, 오프로더부(10)의 태양전지 셀(S)을 제1워크테이블(20a)로 반송하는 로딩픽커(미도시) 또는 제2워크테이블(20b)의 태양전지 셀(S)을 소팅부(40)로 반송하는 언로딩픽커(미도시)가 제1워크테이블(20a) 상의 태양전지 셀(S)을 제2워크테이블(20b)로 반송하는 기능도 겸하여 수행하거나, 로딩 픽커 또는 언로딩픽커가 오프로더부(10)에서 제1워크테이블(20a)로, 제1워크테이블(20a)에서 제2워크테이블(20b)로, 제2워크테이블(20b)에서 소팅부(40)로 태양전지 셀(S)을 선택적으로 이동시키도록 구성될 수도 있을 것이다.
상기와 같이 구성된 두번째 실시예의 태양전지 셀 제조장치는 제1워크테이블(20a)이 일방향으로 일정 각도씩 회전하면서 태양전지 셀(S)을 에지 아이솔레이션 공정부(31)의 하측으로 이동시켜 에지 아이솔레이션 공정을 수행한 다음, 비전검사부(34)에서 바로 에지 아이솔레이션 상태를 검사한다. 이후, 제2워크테이블(20b)로 반송되어 성능검사부(32)에서 전기적 성능 검사가 이루어지고, 결함검사부(33)에서 내부 균열 등이 검사된 후, 언로딩픽커(미도시)에 의해 소팅부(40)로 반송된다.
이 때, 도 3에 변형 실시예로 도시된 것과 같이, 비전검사부(34)에서의 검사 결과, 태양전지 셀(S)이 불량으로 판정될 경우에는 불량 태양전지 셀(S)을 후속 검사하지 않고 배출하기 위한 빈(bin)(80)이 구비될 수 있다. 여기서, 상기 빈(80)은 태양전지 셀 제조장치의 내외측으로 입출이 가능하게 구성됨이 바람직하다.
물론, 태양전지 셀(S)이 비전검사부(34)에서 불량 판정받은 경우에도 상기 빈(80)에 불량 판정된 태양전지 셀(S)을 적재하지 않고 소팅부(40)로 반송할 수도 있다. 이 경우에도 상기 불량 태양전지 셀(S)에 대한 후속 검사는 수행하지 않는 것이 바람직하다.
상기 두번째 실시예의 태양전지 셀 제조장치는 제1,2워크테이블(20a, 20b)의 안착부(21)에 태양전지 셀(S)을 내려놓는 로딩위치와, 제1,2워크테이블(20a, 20b)의 안착부(21)에서 태양전지 셀(S)을 가져가는 언로딩위치가 서로 다르게 설정될 수 있는데, 이 경우 로딩픽커(미도시)와 언로딩픽커(미도시) 간의 간섭을 배제할 수 있어 작업 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 태양전지 셀 제조장치는 태양전지 셀이 워크테이블 상에 안착된 상태에서 에지 아이솔레이션 공정, 검사 공정 등의 설정된 공정이 수행된다. 따라서, 태양전지 셀을 픽커로 진공 흡착하여 다른 공정 위치로 반송하여 내려놓거나 정렬하는 등의 핸들링 횟수를 대폭 줄일 수 있으며, 처리 속도 및 안전성을 대폭 향상시킬 수 있게 된다.
전술한 본 발명에 따른 태양전지 셀 제조장치에 대한 실시예들은 단지 본 발명의 이해를 돕기 위한 예시 목적으로 제시된 것으로 본 발명은 이에 국한되지 않으며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 첨부된 특허청구범위에 기재된 기술 사상의 범주 내에서 다양한 변경 및 실시가 가능할 것이다.
10 : 오프로더부 11 : 컨베이어
20 : 워크테이블 20a, 20b : 제1,2워크테이블
21 : 안착부 31 : 에지 아이솔레이션 공정부
32 : 성능검사부 33 : 결함검사부
34 : 비전검사부 40 : 소팅부
41 : 적재부 42 : 컨베이어
43 : 소팅로봇 44 : 버퍼부
45 : 소팅용 비전카메라 50 : 위치정렬용 비전카메라
60 : 하면 비전검사부 71, 72 : 제1,2상면 비전검사부
S : 태양전지 셀

Claims (12)

  1. 태양전지 셀이 안착되는 안착부를 구비하며, 임의의 각도로 회전하면서 태양전지 셀을 지정된 공정 위치로 반송하는 워크테이블과;
    상기 워크테이블의 회전 경로 상에 배치되어, 워크테이블에 안착된 태양전지 셀에 지정된 공정을 순차적으로 수행하는 복수의 공정수행부와;
    상기 워크테이블에서 반송된 공정이 완료된 태양전지 셀을 검사 결과에 따라 분류 수납하는 소팅부와;
    상류측에 위치한 이전 공정 장비의 오프로더부로부터 상기 워크테이블의 안착부로, 상기 워크테이블로부터 소팅부로 태양전지 셀을 반송하는 반송유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 공정수행부는, 상기 워크테이블에 안착된 태양전지 셀에 레이저를 조사하여 절연선을 형성하는 에지 아이솔레이션(edge isolation) 공정부와, 상기 태양전지 셀을 검사하는 검사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 검사부는,
    상기 워크테이블에 안착된 태양전지 셀의 전극과 전기적으로 접속한 상태에서 상기 태양전지 셀에 광을 조사하여 태양전지 셀의 전기적 성능을 검사하는 성능검사부와;
    상기 워크테이블 상의 태양전지 셀에 전류를 가해주어 태양전지 셀로부터 방출되는 적외선을 촬영하여 결함을 검사하는 결함검사부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 검사부는 상기 워크테이블 상의 태양전지 셀의 에지 아이솔레이션 상태를 검사하는 비전검사부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 워크테이블은 서로 독립적으로 회전하는 제1워크테이블과 제2워크테이블로 이루어지고,
    상기 비전검사부는 제1워크테이블의 회전 경로 상에 배치되며,
    상기 워크테이블에 안착된 태양전지 셀의 전극과 전기적으로 접속한 상태에서 상기 태양전지 셀에 광을 조사하여 태양전지 셀의 전기적 성능을 검사하는 성능검사부와, 상기 워크테이블 상의 태양전지 셀에 전류를 가해주어 태양전지 셀로부터 방출되는 적외선을 촬영하여 결함을 검사하는 결함검사부는 제2워크테이블의 회전 경로 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 워크테이블은 복수개가 서로에 대해 대향되게 배치되는 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반송유닛은 이전 공정 장비의 오프로더부에서 작업 대상 태양전지 셀을 픽업하여 워크테이블의 안착부에 내려놓는 로딩픽커와, 상기 워크테이블의 안착부에서 공정이 수행된 태양전지 셀을 픽업하여 소팅부로 반송하는 언로딩픽커를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
  8. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 이전 공정 장비의 오프로더부와 워크테이블 사이의 하측에 설치되어 반송유닛에 픽업된 태양전지 셀을 촬영하는 위치정렬용 비전카메라를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
  9. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 워크테이블과 소팅부 사이의 하측에 설치되어 반송유닛에 의해 픽업된 태양전지 셀의 하면을 촬영하여 검사를 수행하는 하면 비전검사부를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
  10. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 소팅부는, 태양전지 셀이 검사 결과에 따라 분류 수납되는 복수개의 적재부와, 상기 워크테이블과 적재부 사이에 설치되어 워크테이블에서 반송된 태양전지 셀을 적재부로 반송하는 컨베이어와, 상기 컨베이어를 통해 반송되는 태양전지 셀을 픽업하여 상기 적재부 중 어느 하나로 반송하여 적재하는 소팅로봇을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
  11. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 소팅부의 상측에 설치되어 소팅부에 안착된 태양전지 셀의 상면을 촬영하여 검사를 수행하는 상면 비전검사부를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
  12. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 비전검사부는 에지 아이솔레이션 상태를 검사하여 불량으로 판정된 태양전지 셀을 수용하기 위한 빈(bin)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
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