JP2017522618A - 液浸リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2014年7月25日に出願された欧州出願第14178480.1号、及び2015年3月31日に出願された欧州出願第15161938.4号の利益を主張し、その全体が本明細書に援用される。
Claims (15)
- 液浸リソグラフィ装置であって、
パターン形成された放射ビームを液浸液を通じて基板の目標部分に投影するよう構成され、投影システムの外表面が非平面形状を有する第1表面を備える投影システムと、
前記第1表面に取り付けられ、当該要素の少なくとも一部分が前記液浸液と使用時に接触するよう配置された要素と、を備え、
前記要素が、予め形成された状態で前記第1表面の前記非平面形状に一致する連続的に一体化した材料の閉じた環を備える装置。 - 前記連続的に一体化した材料は、疎液性材料を備え、前記疎液性材料は、前記液浸液に対し疎液性である請求項1に記載の装置。
- 前記要素は、前記連続的に一体化した材料とは異なる組成を有する接着剤により前記第1表面に接着されている請求項1または2に記載の装置。
- 前記連続的に一体化した材料は、前記接着剤と直接接触している疎液性材料を備え、前記疎液性材料は、前記液浸液に対し疎液性である請求項3に記載の装置。
- 前記連続的に一体化した材料は、疎液性材料を備え、前記疎液性材料は、前記液浸液に対し疎液性であり、
前記要素は、疎液性材料層及び支持層を備え、
前記疎液性材料層は、前記疎液性材料から形成され、
前記支持層は、前記疎液性材料層を支持し、前記疎液性材料層よりも高い剛性を有し、
前記支持層は、前記接着剤と直接接触している請求項3または4に記載の装置。 - 前記疎液性材料層は、前記支持層に形成されたコーティングを備える請求項5に記載の装置。
- 前記要素は、単一片として前記閉じた環が閉じた状態を保つようにして前記第1表面から接続解除可能であり、または、
前記要素は、前記第1表面から前記要素を手作業で剥がすことによって前記第1表面から接続解除可能である請求項1から6のいずれかに記載の装置。 - 前記連続的に一体化した材料は、PTFEを備え、及び/または、前記第1表面の少なくとも一部分は、円錐台状である請求項1から7のいずれかに記載の装置。
- 前記要素は、前記第1表面に取り付けられていなくても前記要素が前記第1表面の前記非平面形状を保つよう構成されている請求項1から8のいずれかに記載の装置。
- 前記外表面は、前記第1表面の径方向外側に第2表面をさらに備え、
前記第2表面は、前記第1表面に対して傾斜しており、
前記要素は、連続的に一体化した材料の閉じた環を形成する第1の一体的に形成された部分を備え、前記第1の一体的に形成された部分は、前記第1表面に取り付けられ、
前記要素は、連続的に一体化した材料の閉じた環を形成する第2の一体的に形成された部分を備え、前記第2の一体的に形成された部分は、前記第2表面に取り付けられ、
前記第1の一体的に形成された部分は、閉じた環を形成する連続線に沿って前記第2の一体的に形成された部分に一体的に接合されている請求項1から9のいずれかに記載の装置。 - 前記第2表面は、前記連続線に沿ってすべての位置で前記第1表面に対して傾斜し、及び/または、前記第2表面は、平面状である請求項10に記載の装置。
- 前記第1表面は、前記パターン形成された放射ビームが前記投影システムの投影軸に沿って前記投影システムを出射する出射表面の径方向外側にあり、前記第2表面は、前記投影軸に垂直である請求項10または11に記載の装置。
- 前記要素は、単一片として前記第1の一体的に形成された部分の前記閉じた環及び前記第2の一体的に形成された部分の前記閉じた環が閉じた状態を保つようにして前記第1表面及び前記第2表面から接続解除可能であり、または、前記要素は、前記第1表面及び前記第2表面から前記要素を手作業で剥がすことによって前記第1表面及び前記第2表面から接続解除可能である請求項10から12のいずれかに記載の装置。
- 前記連続的に一体化した材料は、疎液性材料を備え、前記疎液性材料は、疎水性である請求項1から13のいずれかに記載の装置。
- デバイス製造方法であって、
パターン形成された放射ビームを液浸液を通じて基板の目標部分に投影するよう投影システムを使用することを備え、
前記投影システムの外表面が非平面形状を有する第1表面を備え、
要素が前記第1表面に取り付けられ、当該要素の少なくとも一部分が前記液浸液と使用時に接触するよう前記要素が配置されており、
前記要素が、予め形成された状態で前記第1表面の前記非平面形状に一致する連続的に一体化した材料の閉じた環を備える方法。
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