JP2017521264A - 平行オフセット部を備えたレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
上記の例示的な実施例や変形例の全ては、夫々独立して又は組み合わせてレーザ加工装置10全体に適用可能である。
Claims (14)
- 加工される被加工品(20)に対する第1方向に沿ってレーザビーム(L)を偏向する少なくとも一つの反射ミラーを備えたビーム偏向部(16)と、
第1平行オフセット方向に沿って光軸(oA)に対して前記レーザビームを平行オフセットする少なくとも三つの反射ミラー(26、28、30)を備え、前記レーザビームを平行オフセットする前記少なくとも三つの反射ミラーのうちの一つの反射ミラー(26)が回転可能であり、入射反射及び出射反射が、回転可能な反射ミラー(26)で起こる平行オフセット部(14)と、
前記平行オフセット部(14)により平行に移動され、前記ビーム偏向部(16)により前記被加工品(20)上に偏向されるレーザビームの焦点を合わせるフォーカス手段(18)と、
を備えることを特徴とするレーザ加工装置(10)。 - 前記ビーム偏向部(16)は、任意に互いに直交する前記第1方向及び第2方向に沿って、前記レーザビームを偏向できるように配置された二つの反射ミラーを備えることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記平行オフセット部(14)は、前記レーザビームが、ミラーアセンブリにより4回反射されるように構成されることを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ加工装置。
- 前記平行オフセット部(14)のミラー(26、28、30)は、前記平行オフセット部(14)における複数のミラーのミラー表面上の垂直面が一平面にあるように構成されることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
- 第2平行オフセット方向に沿って前記レーザビームを平行移動するための更なる平行オフセット部を備え、
これらの平行オフセット部は、任意に互いに直交する二つの異なる平行オフセット方向に沿って平行に前記レーザビームがオフセットされるように、互いに光学的に連結されている
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。 - 前記レーザビームの伝搬方向において、前記フォーカス手段(18)の前に、任意で前記ビーム偏向部(16)の後に、配置された前記レーザビームの焦点位置移動手段(36)を備えることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
- 前記ビーム偏向部(16)、前記平行オフセット部(14)、前記フォーカス手段(18)、焦点位置移動手段(36)、及び/又はレーザ源(12)の同期制御が実施されるように構成されたコントローラ(24)を備えることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
- 前記レーザビームの伝搬方向において、前記フォーカス手段(18)の前に、任意で直前に、備えられ、前記レーザビーム、及び/又は、前記レーザの光路から前記フォーカス手段(18)を介して検出された電磁放射線を分離するように構成されたビームスプリッタ(38)を備えることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
- 前記ビームスプリッタ(38)に光学的に連結され、前記分離されたレーザビーム及び/又は前記分離された電磁放射線を検出するように構成されたモニタリング手段を備えることを特徴とする請求項8に記載のレーザ加工装置。
- 前記レーザビームの伝搬方向において、前記平行オフセット部(14)の前に配置され、前記レーザビームの直径を変化させるビーム成形手段(32)を備えることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
- 前記レーザビームの伝搬方向において、前記平行オフセット部(14)の前に、任意で前記ビーム成形手段(32)の後に、配置された偏光手段(34)を備えることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
- 前記ビーム偏向部(16)は、前記平行オフセット部(14)と前記フォーカス手段(18)との間に、任意で前記平行オフセット部(14)の直後に、又は任意で前記フォーカス手段(18)の直前に、配置されることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
- 前記被加工品(20)が配置及び/又は保持される被加工品ホルダ(22)を更に備えることを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
- 加工される被加工品(20)と組み合わせた請求項1から13のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
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