JP2017504199A - 非接触式ウェハチャッキングのためのシステム及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2013年12月23日に出願された、発明者ルピン・ホワン(“Luping Huang”)による「裏面に接触しないウェハエッジグリップチャック機構」と題された、米国仮特許出願第61/920,456号の優先権を米国特許法第119条(e)の下で主張し、該出願の全てを参照により本明細書に援用する。
Claims (43)
- ウェハの非接触式チャッキングのための装置であって、
ウェハチャックを備え、当該ウェハチャックが、前記ウェハを前記ウェハチャックの面より上に持ち上げるのに適した1以上の加圧ガス領域を前記ウェハチャックの前記面にわたって生成するように構成された1以上の加圧ガス要素を含み、前記ウェハチャックが、さらに、1以上の減圧領域を前記ウェハチャックの前記面にわたって生成するように構成された1以上の真空要素を含み、前記減圧領域が、前記加圧ガス領域よりも低い圧力を有し、前記1以上の減圧領域が、前記ウェハを、前記ウェハチャックより上に、前記ウェハチャックに接触させずに保持するのに適しており、前記装置が、さらに、
前記ウェハチャックの一部に連結されたグリッパ組立体と、
前記ウェハチャックに機械的に連結された回転駆動ユニットとを備え、
前記回転駆動ユニットが、前記ウェハチャックを選択的に回転させるように構成されており、
前記グリッパ組立体が、前記ウェハの1以上のエッジ部に、前記ウェハを水平方向に保持するように、そしてそれにより、前記ウェハ及び前記グリッパ組立体が、前記回転駆動ユニットによる前記ウェハチャックの回転中に前記ウェハチャックと同期的に回転するように可逆的に連結可能である、装置。 - 前記1以上の加圧ガス要素が、
ガスを前記ウェハチャックの前記面から上方に送って前記1以上の加圧領域を生成するように構成された1以上の加圧ガスノズルを含む、請求項1に記載の装置。 - 前記1以上の加圧ガス要素が、
ガスを前記ウェハチャックの前記面から上方に送って前記1以上の加圧領域を生成するように構成された1以上の加圧ガスチャネルを含む、請求項1に記載の装置。 - 前記ウェハチャックの前記1以上の加圧要素が、前記ウェハをウェハチャックの前記面より上に持ち上げるための加圧エアポケットを形成している、請求項1に記載の装置。
- 前記1以上の真空要素が、
ガスを前記ウェハチャックの前記面から排出させて前記1以上の減圧領域を生成するように構成された1以上の真空ノズルを含む、請求項1に記載の装置。 - 前記1以上の真空要素が、
ガスを前記ウェハチャックの前記面から排出させて前記1以上の減圧領域を生成するように構成された1以上の真空チャネルを含む、請求項1に記載の装置。 - 前記1以上の加圧ガス要素が、
複数の加圧ガス要素を含む、請求項1に記載の装置。 - 前記1以上の真空要素が、
複数の真空要素を含む、請求項7に記載の装置。 - 前記複数の真空要素の少なくとも幾つかが、前記複数の加圧ガス要素の少なくとも幾つかにより挟まれて配置されている、請求項8に記載の装置。
- 前記1以上の加圧ガス要素が、
複数の加圧ガス要素のセットを含む、請求項1に記載の装置。 - 前記1以上の真空要素が、
複数の真空要素のセットを含む、請求項10に記載の装置。 - 前記複数の真空要素のセットの少なくとも幾つかが、前記複数の加圧ガス要素のセットの少なくとも幾つかにより挟まれて配置されている、請求項11に記載の装置。
- 前記1以上の加圧領域が前記1以上の減圧領域の付近にある、請求項1に記載の装置。
- 前記1以上の加圧領域が前記1以上の減圧領域に隣接している、請求項1に記載の装置。
- 前記1以上の加圧領域が前記1以上の減圧領域と交互に配置されている、請求項1に記載の装置。
- 前記グリッパ組立体が、
複数のグリッパ要素を含む、請求項1に記載の装置。 - 前記複数のグリッパ要素が、
3つ以上のグリッパ要素を含む、請求項16に記載の装置。 - 前記グリッパ要素の少なくとも幾つかが前記ウェハのエッジ部に連結可能である、請求項16に記載の装置。
- 前記グリッパ組立体が、前記グリッパ組立体に連結されたカムユニットを含み、当該カムユニットが、前記グリッパ組立体の1以上のグリッパ要素の線形運動を駆動するように構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記グリッパ組立体が、前記ウェハの前記エッジ部に選択的に係合されるように構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記グリッパ組立体が、前記ウェハの前記エッジ部から選択的に係合解除されるように構成されている、請求項1に記載の遮蔽装置。
- 前記グリッパ組立体が、前記ウェハを前記ウェハチャック上に水平方向に配置するように構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記回転駆動ユニットが、
スピンドルと、
モータとを含む、請求項1に記載の装置。 - 前記ウェハが、
半導体ウェハを含む、請求項1に記載の装置。 - 光学系であって、
ウェハチャッキングサブシステムを備え、当該サブシステムが、
ウェハチャックを含み、当該ウェハチャックが、ウェハを前記ウェハチャックの面より上に持ち上げるのに適した1以上の加圧ガス領域を前記ウェハチャックの前記面にわたって生成するように構成された1以上の加圧ガス要素を含み、前記ウェハチャックが、さらに、1以上の減圧領域を前記ウェハチャックの前記面にわたって生成するように構成された1以上の真空要素を含み、前記減圧領域が前記加圧ガス領域よりも低い圧力を有し、前記1以上の減圧領域が、前記ウェハを、前記ウェハチャックより上に、前記ウェハチャックに接触させずに保持するのに適しており、前記サブシステムが、さらに、
前記ウェハチャックの一部に連結されたグリッパ組立体と、
前記ウェハチャックに機械的に連結された回転駆動ユニットとを含み、前記回転駆動ユニットが、前記ウェハチャックを選択的に回転させるように構成されており、前記グリッパ組立体が、前記ウェハの1以上のエッジ部に、前記ウェハを水平方向に保持するように、そしてそれにより、前記ウェハ及び前記グリッパ組立体が、前記回転駆動ユニットによる前記ウェハチャックの回転中に前記ウェハチャックと同期的に回転するように可逆的に連結可能であり、前記光学系が、さらに、
前記ウェハチャッキングサブシステムにより保持された前記ウェハの1以上の部分を照射するように構成された照射源と、
前記照射された前記ウェハの1以上の部分からの照射を収集するように構成された検出器とを含む、光学系。 - 前記光学系が検査ツールとして構成されている、請求項25に記載の光学系。
- 前記光学系がウェハエッジ検査ツールとして構成されている、請求項26に記載の光学系。
- 前記光学系が、明視野検査ツール又は暗視野検査ツールの少なくとも一方として構成されている、請求項26に記載の光学系。
- 前記光学系が計測ツールとして構成されている、請求項25に記載の光学系。
- 前記1以上の加圧ガス要素が、
ガスを前記ウェハチャックの前記面から上方に送って前記1以上の加圧領域を生成するように構成された1以上の加圧ガスノズルを含む、請求項25に記載の光学系。 - 前記1以上の加圧ガス要素が、
ガスを前記ウェハチャックの前記面から上方に送って前記1以上の加圧領域を生成するように構成された1以上の加圧ガスチャネルを含む、請求項25に記載の光学系。 - 前記1以上の真空要素が、
ガスを前記ウェハチャックの前記面から排出させて前記1以上の減圧領域を生成するように構成された1以上の真空ノズルを含む、請求項25に記載の光学系。 - 前記1以上の真空要素が、
ガスを前記ウェハチャックの前記面から排出させて前記1以上の減圧領域を生成するように構成された1以上の真空チャネルを含む、請求項25に記載の光学系。 - 前記1以上の加圧ガス要素が、
複数の加圧ガス要素を含む、請求項25に記載の光学系。 - 前記1以上の真空要素が、
複数の真空要素を含む、請求項25に記載の光学系。 - 前記グリッパ組立体が、
複数のグリッパ要素を含む、請求項25に記載の光学系。 - 前記複数のグリッパ要素が、
3つ以上のグリッパ要素を含む、請求項36に記載の光学系。 - 前記グリッパ要素の少なくとも幾つかが前記ウェハのエッジ部に連結可能である、請求項36に記載の光学系。
- 前記グリッパ組立体が、前記グリッパ組立体に連結されたカムユニットを含み、当該カムユニットが、前記グリッパ組立体の1以上のグリッパ要素の線形運動を駆動するように構成されている、請求項25に記載の光学系。
- 前記グリッパ組立体が、前記ウェハの前記エッジ部に選択的に係合されるように構成されている、請求項25に記載の光学系。
- 前記グリッパ組立体が、前記ウェハの前記エッジ部から選択的に係合解除されるように構成されている、請求項25に記載の光学系。
- 前記グリッパ組立体が、前記ウェハを前記ウェハチャック上に水平方向に配置するように構成されている、請求項25に記載の光学系。
- ウェハの非接触式チャッキングのための方法であって、
前記ウェハをウェハチャックの面より上に持ち上げるために、1以上の加圧ガス領域を前記ウェハチャックの前記面にわたって生成するステップと、
前記ウェハを前記ウェハチャックより上に、前記ウェハチャックに接触させずに保持するために、1以上の減圧領域を前記ウェハチャックの前記面にわたって生成するステップと、
グリッパ組立体を前記ウェハのエッジ部に、前記ウェハを前記ウェハチャックに対して回転可能に保持するために可逆的に連結するステップと、
前記ウェハ、前記グリッパ組立体、及び、前記ウェハチャックを、選択された回転速度で同期的に回転させるステップとを含む、方法。
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