JP2017207423A - エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 - Google Patents

Abstract

【課題】エンコーダ装置の回転部と検出部とを高精度な位置関係で設置可能にする。【解決手段】エンコーダ装置は、測定対象の回転軸に固定され、回転軸を中心とする同心円状の複数のパターンが形成された回転部と、複数のパターンを介した光を検出する検出部と、検出部からの出力信号のレベルの変動に基づいて、回転部と検出部との位置精度を判定する算出部と、を備える。【選択図】図３

Description

本発明は、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置に関する。

回転情報を検出するエンコーダ装置は、各種装置に搭載されている（例えば、下記の特許文献１参照）。エンコーダ装置は、例えば、測定対象の回転軸に固定され、所定のパターンを有する回転部と、所定のパターンを検出する検出部とを備える。

特開平０９−０６１１９５号公報

エンコーダ装置は、例えば、回転部および検出部を各種装置に取り付ける際の取付誤差などによって、回転部と検出部との相対的な位置のずれが生じることがある。エンコーダ装置は、回転部と検出部とが高精度な位置関係で設置可能であることが望まれる。

本発明の第１の態様に従えば、測定対象の回転軸に固定され、回転軸を中心とする同心円状の複数のパターンが形成された回転部と、複数のパターンを介した光を検出する検出部と、検出部からの出力信号のレベルの変動に基づいて、回転部と検出部との位置精度を算出する算出部と、を備えるエンコーダ装置が提供される。

本発明の第２の態様に従えば、第１の態様のエンコーダ装置と、回転軸に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置が提供される。

本発明の第３の態様に従えば、移動物体と、移動物体を移動させる第２の態様の駆動装置と、を備えるステージ装置が提供される。

本発明の第４の態様に従えば、第２の態様の駆動装置を備えるロボット装置が提供される。

実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。 実施形態に係る回転部のパターンの一部および検出部を示す図である。 実施形態に係るエンコーダ装置を示すブロック図である。 実施形態に係る検出部からの出力信号の一例を示す図である。 実施形態に係る検出部からの出力信号の他の例を示す図である。 実施形態に係る算出部の動作の一例を示すフローチャートである。 実施形態に係る駆動装置を示す図である。 実施形態に係るステージ装置を示す図である。 実施形態に係るロボット装置を示す図である。

以下、図面を参照しながら、実施形態について説明する。図１は、実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。エンコーダ装置ＥＣは、モータＭ（駆動部）の回転軸ＳＦの回転情報（回転位置情報）を検出する。回転軸ＳＦは、例えばモータＭのシャフト（回転子）であるが、負荷に接続される作用軸（出力軸）でもよい。作用軸は、例えば、モータＭのシャフトに変速機などの動力伝達部を介して接続される。エンコーダ装置ＥＣが検出した回転情報は、モータＭの制御部に供給される。この制御部は、エンコーダ装置ＥＣから供給された回転情報を使って、回転軸ＳＦの回転を制御する。

回転情報は、回転軸ＳＦの回転の数を表す多回転情報、及び回転軸ＳＦの１回転未満の角度位置（回転角）を表す角度位置情報を含む。多回転情報は、例えば、１回転、２回転というように回転の数を整数で表した情報でもよいし、３６０°、７２０°というように回転の数を角度（例、３６０°の整数倍）で表した情報でもよい。角度位置情報は、９０°、１２０°、２７０°といった情報であり、回転情報は、例えば、１回転と９０°（４５０°）というように、１回転未満の回転角と１回転以上の回転角とを区別可能な情報である。回転情報、多回転情報、及び角度位置情報の少なくとも一つは、例えば、その数値が２進数など（例、所定のビット数のデジタルデータ）で表されるが、その他の形式で表されてもよい。なお、回転情報、多回転情報、及び角度位置情報の少なくとも一つは、度（°）以外の次元（例、ラジアン）で表されてもよい。

エンコーダ装置ＥＣは、回転部１と、照射部２と、検出部３と、信号処理部４とを備える。回転部１は、測定対象の回転軸ＳＦに固定される。回転部１（図１（Ｂ）参照）には、回転軸ＳＦを中心とする同心円状の複数のパターン５が形成されている。照射部２は、回転部１の複数のパターン５に光を照射する。検出部３は、複数のパターン５を介した光を検出する。例えば、エンコーダ装置ＥＣは、反射型であり、検出部３は、複数のパターン５のそれぞれで反射した光を検出する。エンコーダ装置ＥＣは透過型でもよく、この場合、検出部３は、複数のパターン５のそれぞれを透過した光を検出してもよい。信号処理部４は、検出部３による検出結果（検出部３からの出力信号）を処理し、回転部１の回転情報を検出（算出）する。

信号処理部４には、算出部６（後に図３に示す）が設けられる。算出部６は、検出部３からの出力信号のレベルの変動に基づいて、回転部１と検出部３との位置精度を算出する。算出部６が算出した位置精度は、例えば、回転部１と検出部３とを測定対象のモータ等に取り付けた際の位置精度が許容範囲内であるか否かの判定に用いられる。例えば、ユーザは、算出部６が算出した位置精度を用いて、回転部１と検出部３との相対位置を調整することができる。例えば、算出部６が算出した位置精度を用いた回転部１と検出部３との相対位置の調整によって、エンコーダ装置ＥＣは、回転部と検出部とを高精度な位置精度で設置可能である。以下、エンコーダ装置ＥＣの各部について説明する。

図１（Ｂ）は、回転部１を示す図である。回転部１は、例えば円板状の部材である。回転部１の複数のパターン５は、例えば同一の部材に形成され、互いの位置関係が変化しないように設けられる。複数のパターン５は、例えば、インクリメンタルパターン５ａ（インクリメンタルスケール）、及びアブソリュートパターン５ｂ（アブソリュートスケール）を含む。インクリメンタルパターン５ａ（以下、ＩＮＣパターン５ａと略記する）、及びアブソリュートパターン５ｂ（以下、ＡＢＳパターン５ｂと略記する）は、回転軸ＳＦの角度位置情報の検出に用いられる。

ＩＮＣパターン５ａおよびＡＢＳパターン５ｂは、それぞれ、円環状である。ＩＮＣパターン５ａおよびＡＢＳパターン５ｂは、それぞれの中心が一致するように配置される。例えば、回転部１は、円板状の部材であり、ＩＮＣパターン５ａの中心およびＡＢＳパターン５ｂの中心は、回転部１の回転対称軸上に配置される。ＩＮＣパターン５ａは、例えば、ＡＢＳパターン５ｂの外側に配置される。

また、複数のパターン５は、第１パターン５ｃ、及び第２パターン５ｄを含む。第１パターン５ｃおよび第２パターン５ｄは、多回転情報の検出に用いられる。第１パターン５ｃおよび第２パターンは、それぞれ、円環状である。第１パターン５ｃおよび第２パターン５ｄは、それぞれの中心が一致するように配置される。例えば、第１パターン５ｃの中心および第２パターン５ｄの中心は、回転部１の回転対称軸上に配置される。

第１パターン５ｃは、ＩＮＣパターン５ａの隣に配置される。第１パターン５ｃは、例えば、回転部１の径方向において、ＩＮＣパターン５ａの外側に配置される。第１パターン５ｃは、例えば、ＩＮＣパターン５ａに関して、ＡＢＳパターン５ｂと反対側に配置される。第２パターン５ｄは、ＡＢＳパターン５ｂの隣に配置される。第２パターン５ｄは、例えば、回転部１の径方向において、ＡＢＳパターン５ｂの内側に配置される。第２パターン５ｄは、例えば、ＡＢＳパターン５ｂに関して、ＩＮＣパターン５ａと反対側に配置される。

第１パターン５ｃおよび第２パターン５ｄは、それぞれ、回転部１の周方向において光学特性が変化する。ここで、パターンの光学特性とは、光の反射又は透過に関するパターンの特性をいい、例えば、反射率、吸収率、透過率などが挙げられる。例えば、第１パターン５ｃは、回転部１の周方向に並ぶ反射部７および吸収部８を備える。反射部７は、吸収部８と比較して、照射部２からの光に対する反射率（光学特性）が高い。吸収部８は、反射部７と比較して、照射部２からの光に対する吸収率（光学特性）が高い。反射部７および吸収部８は、例えば、それぞれ回転部１の周方向において約１８０°の範囲にわたって配置される。例えば、反射部７と吸収部８とは、回転部１の周方向における角度位置が１８０°ずれて配置され、回転部１の周方向において連続的に配置される。反射部７は、例えば、回転部１の周方向において、光学特性（例、反射率、吸収率、透過率）が均一である。吸収部８は、例えば、回転部１の周方向において、光学特性（例、反射率、吸収率、透過率）が均一である。例えば、第１パターン５ｃは、回転部１の周方向において、反射部７と吸収部８との境界あるいはその近傍で光学特性が切替わる（例、明暗が切替わる）。

第２パターン５ｄは、第１パターン５ｃと同様の構造であり、反射部９および吸収部１０を備える。第２パターン５ｄは、回転部１の周方向で第１パターン５ｃと異なる位相で光学特性が切り替わる。例えば、回転部１の周方向において、第２パターン５ｄの反射部９の角度位置は、第１パターン５ｃの反射部９の角度位置と９０°ずれており、光学特性が切り替わる位相は第１パターン５ｃと第２パターン５ｄとで９０°ずれている。

図２は、実施形態に係る回転部のパターンの一部、照射部および検出部を示す図である。照射部２は、例えば、ＬＥＤ（発光ダイオード）、ＬＤ（レーザーダイオード）などの固体光源を含む。照射部２は、例えば、支持部材１１に取り付けられている。支持部材１１は、照射部２からの光がパターン５に入射するように、エンコーダ装置ＥＣが搭載される装置（例、駆動装置）に取り付けられる。支持部材１１は、エンコーダ装置ＥＣの筐体の一部であってもよい。

検出部３は、例えば、照射部２と所定の位置関係となるように、支持部材１１に取り付けられる。例えば、照射部２および検出部３は、双方が同じ部材（支持部材１１）に固定されることで、ユニット化される。検出部３は、例えば、検出部３ａから検出部３ｄを含む。検出部３ａから検出部３ｄは、それぞれ、フォトダイオードなどの光検出器（光電変換素子）を含み、入射した光の光量に応じたレベルの信号（例、電圧波形）を出力する。ここで信号のレベルとは、信号の強さ、大きさ、又は振幅を意味し、例えば、電圧や電流の大きさで表される。検出部３ａから検出部３ｄは、それぞれ、複数のパターン５のいずれかに対応して設けられる。検出部３ａから検出部３ｄは、それぞれ、対応するパターンを経由した光が入射する位置に配置されるが、図２（Ａ）では、説明の便宜上、対応関係にあるパターンと検出部とを重ねて図示した。

検出部３ａは、ＩＮＣパターン５ａを経由した光を検出する。ＩＮＣパターン５ａは、例えば、図２（Ｂ）に示すように４種類の要素（１２ａから１２ｄ）を含む。要素１２ａ、要素１２ｂ、要素１２ｃ、及び要素１２ｄは、回転部１の周方向において繰り返し（周期的に）配置されている。要素１２ａからの光を検出した検出結果および要素１２ｃからの光を検出した検出結果は、例えば、差動回路を経てＩＮＣパターン５ａに関するＡ相信号に利用される。要素１２ｂからの光を検出した検出結果および要素１２ｄからの光を検出した検出結果は、例えば、差動回路を経てＩＮＣパターン５ａに関するＢ相信号に利用される。また、検出部３ａの出力信号は、例えば、複数のパターン５に照射される光の光量を調整することに利用される（後に図３を参照して説明する）。

検出部３ｂは、ＡＢＳパターン５ｂを経由した光を検出する。上述の検出部３ａの出力信号は、例えば、ＡＢＳパターン５ｂからの光を検出した検出結果に対応する出力信号のレベルの基準を定めることに利用される。例えば、信号処理部４は、検出部３ａの出力信号（Ａ相信号およびＢ相信号）を所定の期間（例、１周期）にわたって積算した値を、ＡＢＳパターン５ｂに対応する出力信号の基準電位として用いられる。

検出部３ｃは、第１パターン５ｃを経由した光を検出する。検出部３ｄは、第２パターン５ｄを経由した光を検出する。第２パターン５ｄは、光学特性が切り替わる位相が第１パターン５ｃと異なる。検出部３ｃの出力信号と検出部３ｄの出力信号とのうち、一方の出力信号は多回転情報を検出する際のＡ相信号に利用され、他方の出力信号は多回転情報を検出する際のＢ相信号に利用される。ここでは、ＩＮＣパターン５ａの隣に配置される第１パターン５ｃに関する検出部３ｃの出力信号がＢ相信号に利用され、ＡＢＳパターン５ｂの隣に配置される第２パターン５ｄに関する検出部３ｄの出力信号がＡ相信号に利用されるものとする。

図３は、実施形態に係るエンコーダ装置を示すブロック図である。図３において、「ＩＮＣ−Ａ」は、検出部３ａがＩＮＣパターン５ａの要素１２ａおよび要素１２ｃを検出した検出結果に相当する信号（例、ＩＮＣパターン５ａに関するＡ相信号）であり、以下、ＩＮＣ−Ａ信号と称する。また、「ＩＮＣ−Ｂ」は、検出部３ａがＩＮＣパターン５ａの要素１２ｂおよび要素１２ｄを検出した検出結果に相当する信号（例、ＩＮＣパターン５ａに関するＢ相信号）であり、以下、ＩＮＣ−Ｂ信号と称する。また、「ＡＢＳ」は、検出部３ｂがＡＢＳパターン５ｂを検出した検出結果に相当する信号であり、以下、ＡＢＳ信号と称する。また、「ＭＴ−Ａ」は、検出部３ｃが第１パターン５ｃを検出した検出結果に相当する信号（例、多回転情報用のＡ相信号）であり、以下、ＭＴ−Ａ信号と称する。また、「ＭＴ−Ｂ」は、検出部３ｄが第２パターン５ｄを検出した検出結果に相当する信号（例、多回転情報用のＢ相信号）であり、以下、ＭＴ−Ｂ信号と称する。

信号処理部４は、例えば、増幅回路部１５、Ａ／Ｄコンバータ１６、増幅回路部１７、二値化回路部１８、処理回路部１９、Ｉ／Ｆ回路部２０、及び光量調整部２２を備える。増幅回路部１５には、例えば、検出部３ａからアナログ形式のＩＮＣ−Ａ信号、アナログ形式のＩＮＣ−Ｂ信号が入力される。増幅回路部１５は、ＩＮＣ−Ａ信号、ＩＮＣ−Ｂ信号をそれぞれ増幅する。増幅回路部１５は、増幅されたＩＮＣ−Ａ信号、ＩＮＣ−Ｂ信号をそれぞれＡ／Ｄコンバータ１６に出力する。Ａ／Ｄコンバータ１６（アナログデジタルコンバータ）は、ＩＮＣ−Ａ信号およびＩＮＣ−Ｂ信号をそれぞれアナログ形式からデジタル形式に変換する。Ａ／Ｄコンバータ１６は、デジタル形式のＩＮＣ−Ａ信号、デジタル形式のＩＮＣ−Ｂ信号をそれぞれ処理回路部１９に出力する。

増幅回路部１７には、例えば、検出部３ｃ、検出部３ｄからアナログ形式のＭＴ−Ａ信号、アナログ形式のＭＴ−Ｂ信号が入力される。増幅回路部１７は、ＭＴ−Ａ信号、ＭＴ−Ｂ信号をそれぞれ増幅する。増幅回路部１７は、増幅されたＭＴ−Ａ信号、ＭＴ−Ｂ信号をそれぞれ二値化回路部１８に出力する。二値化回路部１８は、例えば比較器（例、アナログコンパレータ）であり、ＭＴ−Ａ信号のレベルを閾値と比較して、ＭＴ−Ａ信号を二値化する。例えば、二値化回路部１８は、アナログ形式のＭＴ−Ｂ信号を、信号のレベル（例、電位）がハイレベル（Ｈ）とローレベル（Ｌ）とで二値的に切替わる信号へ変換する。同様に、二値化回路部１８は、ＭＴ−Ｂ信号のレベルを閾値と比較して、ＭＴ−Ｂ信号を二値化する。二値化回路部１８は、二値化したＭＴ−Ａ信号、二値化したＭＴ−Ｂ信号をそれぞれ処理回路部１９に出力する。

光量調整部２２は、複数のパターン５（図１参照）に照射される光の光量を調整する光量調整処理を行う。例えば、照射部２は、複数のパターン５に照射する光の光量が経年劣化によって変化する場合がある。光量調整部２２は、照射部２から照射される光の光量の変化を補償する（例、一定に保つ、所定値に近づける）ように、照射部２に供給される電力を調整する。光量調整部２２は、例えば、ＩＮＣ−Ａ信号を所定の期間にわたって積算した値と、ＩＮＣ−Ｂ信号を所定の期間にわたって積算した値とを加えた合算値が所定値に近づくように、照射部２に供給される電力を調整する。例えば、複数のパターン５に照射する光の光量が減少した場合、ＩＮＣ−Ａ信号のレベルおよびＩＮＣ−Ｂ信号のレベルが低下することで上記の合算値が低下し、光量調整部２２は、上記の合算値に基づいて照射部２へ供給される電力を増加させる。光量調整部２２は、例えば、増幅回路部１５と電気的に接続され、増幅回路部１５から出力されるアナログ形式のＩＮＣ−Ａ信号およびＩＮＣ−Ｂ信号を用いて、上記の光量調整処理を行う。なお、光量調整部２２は、増幅回路部１５が増幅する前のＩＮＣ−Ａ信号およびＩＮＣ−Ｂ信号を用いて、上記の光量調整処理を行ってもよい。

なお、光量調整部２２は、Ａ／Ｄコンバータ１６がデジタル形式に変換したＩＮＣ−Ａ信号およびＩＮＣ−Ｂ信号を用いて、光量調整処理を行ってもよい。例えば、光量調整部２２は、処理回路部１９に設けられ、デジタル形式のＩＮＣ−Ａ信号およびＩＮＣ−Ｂ信号を用いて、照射部２から照射される光の光量の変化を補償するように、照射部２に供給される電力の調整量を算出してもよい。また、光量調整部２２は、算出した調整量に基づいて、照射部２に電力を供給する電源系を制御してもよい。なお、光量調整部２２は、処理回路部１９以外に設けられてもよい。

処理回路部１９は、例えば、回転情報算出部２１、及び算出部６（位置精度算出部）を備える。回転情報算出部２１は、例えば、ＡＢＳ信号を使って第１分解能の角度位置（角度位置情報）を検出する。また、回転情報算出部２１は、ＩＮＣ信号（ＩＮＣ−Ａ信号およびＩＮＣ−Ｂ信号）を使って、第１分解能の角度位置に内挿演算を行うことにより、第１分解能よりも高い第２分解能の角度位置（角度位置情報）を検出する。また、回転情報算出部２１は、例えば、ＭＴ−Ａ信号およびＭＴ−Ｂ信号を使って回転軸ＳＦの回転の数（多回転情報）を検出する。回転情報算出部２１は、例えば、第２分解能の角度位置情報と多回転情報とを合成して、回転情報を生成する。回転情報は、例えば、固定データ長のデジタルデータで表される。処理回路部１９は、回転情報をＩ／Ｆ回路部２０（インターフェース回路部）に出力する。Ｉ／Ｆ回路部２０は、例えば出力部であり、回転情報をエンコーダ装置ＥＣの外部（例、図１のモータＭの制御部）へ出力する。

算出部６は、検出部３からの出力信号のレベルの変動に基づいて、回転部１と検出部３との位置精度を算出する。以下、予め定められた回転部１と検出部３との相対位置を、適宜、設計位置という。設計位置は、例えば、使用状態において推奨される回転部１と検出部３との相対位置である。回転部１と検出部３との相対位置が取付誤差などによって設計位置からずれている場合や、使用しているうちに回転部１と検出部３との相対位置がずれてきた場合、検出部３に入射する検出対象の光の光量、あるいは検出部３に入射する検出対象以外の光（例、迷光）の光量が変化する。上記の検出対象の光は、例えば、検出部に対して、この検出部と対応関係にあるパターン（例えば、検出部が検出部３ａの場合、ＩＮＣパターン５ａ）から入射する光である。また、上記の検出対象以外の光は、例えば、検出部に対して、この検出部と対応関係にないパターン（例えば、検出部が検出部３ａの場合、第１パターン５ｃ）から入射する光である。かかる光量の変化により、検出部からの出力信号のレベルが変動するので、算出部６は、当該レベルの変動に基づいて、回転部１の径方向における回転部１と検出部３との相対位置のずれの有無や大きさを算出することができる。算出部は、算出した位置精度を指標値として数値化してもよい。さらに、算出部は、当該指標値が所定の閾値の範囲に入るか否かを判断し、位置のずれが許容できるものか、取り付け直すことが必要か判定してもよい。当該判定は、算出部とは別に設けられた判定部で行ってもよく、かかる判定部は、エンコーダ装置ＥＣの内部に配置しても、外部に配置してもよい。

図４は、実施形態に係る検出部からの出力信号の一例を示す図である。図４において、横軸は、回転軸ＳＦの角度位置であり、縦軸は各出力信号のレベル（電圧の大きさ）である。図４（Ａ）は、回転部１と検出部３との位置精度が高い状態である。この状態は、例えば、回転部１と検出部３との相対位置と設計位置とのずれ量が所定値以下の状態である。例えば、回転部１と検出部３との相対位置が設計位置と同じである場合、図４（Ａ）に示すように、ＩＮＣ信号の振幅は各角度位置でほぼ同じになる。

図４（Ｂ）は、回転部１と検出部３との位置精度が低い状態である。この状態は、例えば、回転部１（図１（Ｂ）参照）の径方向において回転部１と検出部３との相対位置が所定の向きにずれた状態である。この状態は、例えば図１（Ｂ）の場合、回転部１に対して検出部３が回転部１の中心から離れる向き（図１（Ｂ）中、上方向）にずれた状態である。この状態は、例えば、複数のパターン５の配置面（回転部１の表面）に平行な面方向において、設計位置を基準として検出部３ａが第１パターン５ｃに接近した状態である。

ＩＮＣパターン５ａ（図１（Ｂ）参照）の隣には、例えば、多回転情報用のＢ相信号に対応する第１パターン５ｃが配置される。図４（Ｂ）の状態は、例えば、ＩＮＣパターン５ａに対応する検出部３ａに対して、ＩＮＣパターン５ａからの反射光（検出対象の光）に加えて、第１パターン５ｃからの反射光（検出対象以外の光、迷光）が入射する。この場合、第１パターン５ｃから検出部３ａに入射する光の光量は、例えば、第１パターン５ｃの光学特性の変化に応じて、変化する。算出部６は、例えば、第１パターン５ｃの光学特性が切り替わる前の期間Ｔ１と後の期間Ｔ２とで検出部３ａの出力信号のレベルを比較して、位置精度を算出する。

例えば、第１パターン５ｃの光学特性が切り替わる前の期間Ｔ１は、検出部３ｃの下を、第１パターン５ｃの吸収部８が通過するため、ＭＴ−Ｂ信号のレベルがローレベルである期間（角度位置が０°から１８０°の範囲）に対応する。例えば、第１パターン５ｃの光学特性が切り替わる後の期間Ｔ２は、検出部３ｃの下を、第１パターン５ｃの反射部７が通過するため、ＭＴ−Ｂ信号のレベルがハイレベルである期間（角度位置が１８０°から３６０°の範囲）に対応する。ＭＴ−Ｂ信号がハイレベルになる期間（Ｔ２）は、検出部３ａも、第１パターン５ｃの反射部７からの迷光を検出するため、ローレベルになる期間（Ｔ１）と比べて、ＩＮＣ信号（ＩＮＣ−Ａ信号、ＩＮＣ−Ｂ信号）の振幅が大きくなる。

算出部６は、例えば、ＭＴ−Ｂ信号がローレベルになる期間（Ｔ１）の少なくとも一部におけるＩＮＣ信号の振幅の平均値Ｖ１を算出する。また、算出部６は、例えば、ＭＴ−Ｂ信号がハイレベルになる期間（Ｔ２）の少なくとも一部におけるＩＮＣ信号の振幅の平均値Ｖ２を算出する。算出部６は、例えば、平均値Ｖ１と平均値Ｖ２とを比較して、位置精度を算出する。算出部６は、平均値Ｖ１と平均値Ｖ２との差を求めて指標値とし、当該指標値が所定の閾値と比較して、位置精度が許容範囲内であるか否かを判定してもよい。なお、当該判定は、エンコーダ装置ＥＣの内部又は外部に算出部とは別に設けた判定部が行ってもよい。この閾値は、例えば、回転部１と検出部３との相対位置のずれ量が許容される上限である場合の平均値Ｖ１と平均値Ｖ２と差を予め測定した値でもよい。算出部６は、平均値Ｖ１と平均値Ｖ２との差が上記の閾値以下である場合に、位置精度が許容範囲内であると判定してもよい。

また、算出部６が算出する指標値は、上述のとおり平均値Ｖ１と平均値Ｖ２との差分値でもよいし、平均値Ｖ１と平均値Ｖ２との差分値を階調で表した値（例、０、１、２・・・）でもよいし、平均値Ｖ１と平均値Ｖ２との差から算出される値（例、ずれ量に相当する長さへ換算した値）でもよい。例えば、設計位置からの相対位置のずれ量と、上記指標値との関係を示す参照情報（例、数式、テーブルデータ）が記憶部（図示せず）に予め記憶されており、算出部６は、検出部３ａの検出結果から算出される指標値を上記の参照情報と照合し、ずれ量を算出してもよい。この参照情報は、例えば、測定あるいはシミュレーションを用いて予め求めた情報でもよい。

算出部６は、例えば、ＭＴ−Ｂ信号のレベルがハイレベルとローレベルとで切り替わったことを、ＩＮＣ信号の振幅の算出を開始あるいは停止するトリガーに用いて、上記の平均値Ｖ１あるいは平均値Ｖ２を算出してもよい。例えば、算出部６は、ＭＴ−Ｂ信号がローレベルからハイレベルに立ち上がった時点（図４（Ｂ）の角度位置１８０°）、あるいはこの時点から所定の時間経過した時点で、平均値Ｖ２の算出に用いられるＩＮＣ信号の振幅の算出を開始してもよい。また、算出部６は、ＭＴ−Ｂ信号がハイレベルからローレベルに立ち下がった時点（図４（Ｂ）の角度位置０、３６０°）で、平均値Ｖ２の算出に用いられるＩＮＣ信号の振幅の算出を終了してもよい。平均値Ｖ１の算出についても同様に、算出部６は、ＩＮＣ信号の振幅の算出を開始あるいは終了するタイミングとして、ＭＴ−Ｂ信号が立ち上がるタイミング、あるいは立ち下がるタイミングを利用してもよい。

また、算出部６は、例えば、ＭＴ−Ａ信号のレベルがハイレベルとローレベルとで切り替わったことをＩＮＣ信号の振幅の算出を開始あるいは停止のトリガーに用いて、上記の平均値Ｖ１あるいは平均値Ｖ２を算出してもよい。例えば、ＭＴ−Ａ信号のレベルがハイレベルとローレベルとで切り替わった際（図４（Ｂ）で角度位置９０°、２７０°）に、ＭＴ−Ｂ信号のレベルはハイレベルまたはローレベルを維持した状態である。算出部６は、例えば、ＭＴ−Ａ信号のレベルがローレベルからハイレベルに立ち上がった時点（図４（Ｂ）の角度位置９０°）でＩＮＣ信号の振幅の算出を開始して平均値Ｖ１を算出してもよい。平均値Ｖ２の算出についても同様に、算出部６は、ＩＮＣ信号の振幅の算出を開始あるいは停止するタイミングとして、ＭＴ−Ａ信号が立ち下がるタイミングを利用してもよい。

図５は、実施形態に係る検出部からの出力信号の他の例を示す図である。図５において、横軸は、回転軸ＳＦの角度位置であり、縦軸は各出力信号のレベル（例、電圧や電流の大きさ）である。なお、ＡＢＳパターン５ｂがランダムパターン（例、Ｍ系列コード）である場合、ＡＢＳ信号のレベルは角度位置によって異なるが、図５ではＡＢＳ信号をピークとバリュー（電圧）の包絡線を用いて概念的に図示した。例えば、図５のＡＢＳ信号に関する縦軸は、回転部１と検出部３との相対位置が設計位置と同じである場合のＡＢＳ信号を基準として、ＡＢＳ信号を規格化した値でもよい。

図５（Ａ）は、回転部１と検出部３との位置精度が高い状態である。例えば、回転部１と検出部３との相対位置が設計位置と同じである場合、図５（Ａ）に示すように、ＡＢＳ信号の振幅は各角度位置でほぼ同じになる。図５（Ｂ）は、回転部１と検出部３との位置精度が低い状態である。この状態は、例えば、回転部１（図１（Ｂ）参照）の径方向において回転部１と検出部３との相対位置が図４（Ｂ）の状態と反対向きにずれた状態である。この状態は、例えば図１（Ｂ）の場合、回転部１に対して検出部３が回転部１の中心へ近づく向き（図１（Ｂ）中、下方向）にずれた状態である。この状態は、例えば、複数のパターン５の配置面（回転部１の表面）に平行な面方向において、設計位置を基準として検出部３ｂが第２パターン５ｄに接近した状態である。

ＡＢＳパターン５ｂ（図１（Ｂ）参照）の隣には、例えば、多回転情報用のＡ相信号に対応する第２パターン５ｄが配置される。図５（Ｂ）の状態では、例えば、ＡＢＳパターン５ｂに対応する検出部３ｂに対して、ＡＢＳパターン５ｂからの反射光に加えて、第２パターン５ｄからの反射光（検出対象以外の光、迷光）が入射する。この場合、第２パターン５ｄから検出部３ｂに入射する光の光量は、例えば、第２パターン５ｄの光学特性の変化に応じて、変化する。算出部６は、例えば、第２パターン５ｄの光学特性が切り替わる前の期間Ｔ３と後の期間Ｔ４とで検出部３ｂの出力信号のレベルを比較して、位置精度を算出する。例えば、図５（Ｂ）に示される期間Ｔ３は、ＭＴ−Ａ信号のレベルがローレベルである期間（角度位置が０°から９０°、２７０°から３６０°の範囲）に対応する。期間Ｔ４は、ＭＴ−Ａ信号のレベルがハイレベルである期間（角度位置が９０°から２７０°の範囲）に対応する。例えば、ＭＴ−Ａ信号がハイレベルになる期間（Ｔ４）は、検出部３ｄの下を、第２パターン５ｄの反射部９が通過する期間であり、検出部３ｂも、第２パターン５ｄの反射部９からの迷光を検出する。したがって、期間（Ｔ４）では、ＭＴ−Ａ信号がローレベルになる期間（Ｔ３）と比べて、ＡＢＳ信号の振幅が大きくなる。

算出部６は、例えば、ＭＴ−Ａ信号がローレベルになる期間（Ｔ３）の少なくとも一部におけるＡＢＳ信号の振幅の平均値Ｖ３を算出する。また、算出部６は、例えば、ＭＴ−Ｂ信号がハイレベルになる期間（Ｔ４）の少なくとも一部におけるＡＢＳ信号の振幅の平均値Ｖ４を算出する。算出部６は、例えば、平均値Ｖ３と平均値Ｖ４とを比較して、位置精度を算出する。算出部６は、図４を用いて説明したのと同様に、例えば、算出部６は、平均値Ｖ３と平均値Ｖ４との差を指標値として求め、当該指標値を所定の閾値と比較して、位置精度が許容範囲内であるか否かを判定してもよい。なお、当該判定は、エンコーダ装置ＥＣの内部又は外部に算出部と別に設けた判定部が行ってもよい。

また、算出部６は、例えば、ＭＴ−Ａ信号のレベルがハイレベルとローレベルとで切り替わったことを、ＡＢＳ信号の振幅の算出を開始または停止するトリガーに用いて、上記の平均値Ｖ３あるいは平均値Ｖ４を算出してもよい。また、算出部６は、例えば、ＭＴ−Ｂ信号のレベルがハイレベルとローレベルとで切り替わったことを、ＡＢＳ信号の振幅の算出を開始するトリガーに用いて、上記の平均値Ｖ３あるいは平均値Ｖ４を算出してもよい。

なお、ＡＢＳ信号の基準電位を定める上でＩＮＣ−Ａ信号およびＩＮＣ−Ｂ信号が用いられる場合、図４（Ｂ）に示したようにＩＮＣ信号の振幅が変化すると、ＡＢＳ信号の基準電位が変化することで、ＡＢＳ信号のレベルが変化する。算出部６は、このようなＡＢＳ信号のレベルの変化を位置精度の算出に用いてもよい。

算出部６は、例えば、ユーザーからの指令に基づいて上述の位置精度の算出処理を実行する。例えば、算出部６は、エンコーダ装置ＥＣが駆動装置などに取り付けられる際に、位置精度の算出処理を行う。算出部６は、算出した位置精度が所定の閾値の範囲内であるか否か判断することによって、ずれ量が許容範囲内か否かの情報（位置精度情報、取付精度情報）をＩ／Ｆ回路部２０に出力する。Ｉ／Ｆ回路部２０は、例えば、位置精度情報を報知部（図示せず）に出力する。この報知部は、算出部６が算出した位置精度情報を音、光、あるいは画像などによってユーザに報知する。

例えば、報知部は、位置精度が許容範囲内である場合に、第１の色の光（例、青）を発するランプなどを点灯させてもよい。また、報知部は、位置精度が許容範囲外である場合に、第１の色と異なる第２の色の光（例、赤）を発するランプなどを点灯させてもよい。このような報知部は、エンコーダ装置ＥＣが備えてもよいし、エンコーダ装置ＥＣの外部に備えられてもよい。

本実施形態において、例えばユーザは、算出部６が算出した位置精度に応じて、適宜、回転部１と検出部３との相対位置を調整することができる。実施形態に係るエンコーダ装置は、検出部からの出力信号のレベルの変動に基づいて、回転部と検出部との位置精度を算出するので、例えば、シンプルな装置構成で位置精度を算出することができる。

なお、算出部６が位置精度の算出処理を実行する時期は、エンコーダ装置ＥＣの設置時でなくてもよく、例えば、定期または不定期のメンテナンス時であってもよいし、回転軸ＳＦが任意の時間だけ駆動された時期などでもよい。例えば、算出部６は、回転部１と検出部３との相対位置の経年変化に伴う位置精度の変化を算出してもよい。

図６は、実施形態に係る算出部の動作の一例を示すフローチャートである。ステップＳ１において、算出部６は、ＭＴ−Ｂ信号の立上り前（立下り後）の期間におけるＩＮＣ信号の振幅（図４（Ｂ）の平均値Ｖ１）を算出する。ステップＳ２において、算出部６は、ＭＴ−Ｂ信号の立上り後（立下り前）の期間におけるＩＮＣ信号の振幅（図４（Ｂ）の平均値Ｖ２）を算出する。ステップＳ３において、算出部６は、ステップＳ１で算出した振幅とステップＳ２で算出した振幅との差を指標値として求め、当該指標値が閾値以下であるか否かを判定する。算出部６は、振幅の差が閾値を超えると判定した場合（ステップＳ３；Ｎｏ）、回転部１と検出部３との相対位置が第１側（所定の向き）にずれている旨の位置精度情報を出力する。

算出部６は、振幅の差が閾値以下であると判定した場合（ステップＳ３；Ｙｅｓ）、ステップＳ５の処理を行う。ステップＳ５において、算出部６は、ＭＴ−Ａ信号の立上り前（立下り後）の期間におけるＡＢＳ信号の振幅（図５（Ｂ）の平均値Ｖ３）を算出する。ステップＳ６において、算出部６は、ＭＴ−Ａ信号の立上り後（立下り前）の期間におけるＡＢＳ信号の振幅（図５（Ｂ）の平均値Ｖ４）を算出する。ステップＳ７において、算出部６は、ステップＳ５で算出した振幅とステップＳ６で算出した振幅との差を指標値として求め、当該指標値が閾値以下であるか否かを判定する。算出部６は、振幅の差が閾値を超えると判定した場合（ステップＳ７；Ｎｏ）、回転部１と検出部３との相対位置が第２側（所定の向きと反対向き）にずれている旨の位置精度情報を出力する。

算出部６は、指標値が閾値以下であると判定した場合（ステップＳ７；Ｙｅｓ）、ステップＳ９において回転部１と検出部３との相対位置と設計位置とのずれが許容される旨の取り付け情報を出力する。なお、算出部６は、ステップＳ９の処理を行わなくてもよい。例えば、ユーザは、ステップＳ４の位置精度情報およびステップＳ８の位置精度情報が出力されないことにより、位置精度が許容範囲内であることを知ることができる。

なお、回転部１は、複数のパターン５の少なくとも１つのパターンが他のパターンと異なる部材に設けられるものでもよい。例えば、回転部１は、１つのパターンが設けられた部材と他のパターンが設けられた部材とが接合などにより固定（一体化、ユニット化）されたものでもよい。また、エンコーダ装置ＥＣは、第１パターン５ｃおよび第２パターン５ｄを多回転情報の検出に用いなくてもよい。例えば、エンコーダ装置ＥＣは、磁気式エンコーダあるいはダブルエンコーダ等によって多回転情報を検出し、第１パターン５ｃおよび第２パターン５ｄを位置精度の検出のみに用いてもよい。この場合、検出部３ｃおよび検出部３ｄは、省略可能である。エンコーダ装置ＥＣは、第１パターン５ｃおよび第２パターンを多回転情報の検出および位置精度の検出の双方に用いる場合、例えば、多回転情報を別に検出する場合と比較して、装置構成をシンプルにすることができる。

なお、第１パターン５ｃと第２パターン５ｄとの少なくとも一方は、回転部１の周方向において光学特性が３以上の段階に切り替わるものでもよいし、回転部１の周方向において光学特性が連続的に変化するものでもよい。また、エンコーダ装置ＥＣは、第１パターン５ｃと第２パターン５ｄとの少なくとも一方を備えなくてもよい。例えば、照射部２と複数のパターン５との位置ずれによって各パターン（例、ＩＮＣパターン５ａ）に入射する光の光量が変化する場合、このパターン（例、ＩＮＣパターン５ａ）を介して検出部（例、検出部３ａ）に入射する光の光量が変化し、算出部６は、このような光量の変化に基づいて位置精度を算出してもよい。
また、図１（Ｂ）に示すエンコーダ装置ＥＣでは、内側から、第２パターン５ｄ、ＡＢＳパターン５ｂ、ＩＮＣパターン５ａ、及び第１パターン５ｃの順に並んでいるが、各パターンの順序はこれと異なってもよい。パターンの順序と、検出部に入射する光の光量の変化に応じて、回転部１と検出部３がどの方向にずれたのか判断することができる。

なお、エンコーダ装置ＥＣは、回転部１と検出部３との相対位置について、所定の向きに関する位置精度、又は所定の向きの反対向きに関する位置精度を算出しなくてもよい。例えば、算出部６は、図６のステップＳ５からステップＳ８の処理を行わなくてもよく、ステップＳ３において振幅の差が閾値以下であると判定した場合（ステップＳ３；Ｙｅｓ）にステップＳ９の処理を行ってもよい。例えば、ユーザは、エンコーダ装置ＥＣを駆動装置などに取り付ける際に、回転部１と検出部３との相対位置を設計位置に対して所定の向きにずらして仮止めしておき、ステップＳ４の位置精度情報が出力されなくなるまで、所定の向きと反対向きに相対位置を調整することで、エンコーダ装置ＥＣを高精度に取り付けることができる、同様に、算出部６は、図６のステップＳ１からステップＳ４の処理を行わなくてもよい。

なお、算出部６は、回転部１と検出部３との位置精度が許容範囲内であるか否かの判定を行わなくてもよい。例えば、算出部６は、位置精度のレベルを示す位置精度情報（例、数値）を算出し、ユーザあるいはエンコーダ装置ＥＣの外部の装置は、エンコーダ装置ＥＣから出力される位置精度情報を用いて、位置精度が許容範囲内であるか否かの判定を行ってもよい。

なお、信号処理部４は、例えば回路（ハードウェア）によって各種処理を実行するが、各種処理の少なくとも一部をソフトウェアによって実行するものでもよい。例えば、信号処理部４は汎用のプロセッサを備え、このプロセッサは、プログラムに従って、回転情報の算出処理および位置精度の算出処理の少なくとも一部を実行してもよい。

［駆動装置］
次に、実施形態に係る駆動装置について説明する。図７は、実施形態に係る駆動装置ＭＴＲの一例を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については、適宜、同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。この駆動装置ＭＴＲは、電動モータを含むモータ装置である。駆動装置ＭＴＲは、回転軸ＳＦと、回転軸ＳＦに回転軸に駆動力を供給する駆動部ＢＤ（動力供給部、本体部）と、回転軸ＳＦの回転情報を検出するエンコーダ装置ＥＣと、制御部ＭＣとを備える。駆動部ＢＤは、回転軸ＳＦを回転駆動する。

回転軸ＳＦは、負荷側端部ＳＦａと、反負荷側端部ＳＦｂとを有する。負荷側端部ＳＦａは、減速機など他の動力伝達機構に接続される。反負荷側端部ＳＦｂには、固定部を介してスケールＳ（回転部）が固定される。エンコーダ装置ＥＣは、スケールＳの固定とともに、駆動装置ＭＴＲに実装（搭載）される。エンコーダ装置ＥＣは、上述した実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣである。制御部ＭＣは、エンコーダ装置ＥＣの検出結果を使って、駆動部ＢＤを制御する。駆動装置ＭＴＲは、例えば、エンコーダ装置ＥＣを高精度な位置精度で取付可能であるので、回転軸ＳＦの回転情報を高精度に検出することができ、回転軸ＳＦの回転を高精度に制御することができる。なお、駆動装置ＭＴＲは、モータ装置に限定されず、油圧や空圧を利用して回転する軸部を有する他の駆動装置であってもよい。

［ステージ装置］
次に、実施形態にステージ装置について説明する。図８は、ステージ装置ＳＴＧの一例を示す図である。このステージ装置ＳＴＧは、図７に示した駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦのうち負荷側端部ＳＦａに、回転テーブル（移動物体）ＴＢを取り付けた構成である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については、適宜、同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。

ステージ装置ＳＴＧは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転軸ＳＦを回転させ、この回転が回転テーブルＴＢに伝達される。その際、エンコーダ装置ＥＣは、回転軸ＳＦの回転情報を検出する。ステージ装置ＳＴＧは、例えば、エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いることにより、回転テーブルＴＢの角度位置を検出することができる。なお、駆動装置ＭＴＲの負荷側端部ＳＦａと回転テーブルＴＢとの間に減速機等が配置されてもよい。ステージ装置ＳＴＧは、例えば、駆動装置ＭＴＲにおいてエンコーダ装置ＥＣを高精度な位置精度で取付可能であるので、回転軸ＳＦの回転情報を高精度に検出することができ、回転テーブルＴＢの角度位置を高精度に制御することができる。なお、ステージ装置ＳＴＧは、例えば、旋盤等の工作機械に備える回転テーブル等に適用できる。

［ロボット装置］
次に、ロボット装置について説明する。図９は、ロボット装置ＲＢＴの一例を示す斜視図である。なお、図９には、ロボット装置ＲＢＴの一部（関節部分）を模式的に示した。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については、適宜、同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。このロボット装置ＲＢＴは、第１アームＡＲ１と、第２アームＡＲ２と、関節部ＪＴとを有している。第１アームＡＲ１は、関節部ＪＴを介して、第２アームＡＲ２と接続されている。

第１アームＡＲ１は、腕部１０１、軸受１０１ａ、及び軸受１０１ｂを備えている。第２アームＡＲ２は、腕部１０２および接続部１０２ａを有する。接続部１０２ａは、関節部ＪＴにおいて、軸受１０１ａと軸受１０１ｂの間に配置されている。接続部１０２ａは、回転軸ＳＦ２と一体的に設けられている。回転軸ＳＦ２は、関節部ＪＴにおいて、軸受１０１ａと軸受１０１ｂの両方に挿入されている。回転軸ＳＦ２のうち軸受１０１ｂに挿入される側の端部は、軸受１０１ｂを貫通して減速機ＲＧに接続されている。

減速機ＲＧは、駆動装置ＭＴＲに接続されており、駆動装置ＭＴＲからの回転を例えば１００分の１等に減速して回転軸ＳＦ２に伝達する。駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦ（図９には図示せず、図７参照）のうち負荷側端部ＳＦａは、減速機ＲＧに接続されている。また、駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦのうち反負荷側端部ＳＦｂには、エンコーダ装置ＥＣのスケールＳが取り付けられている。

ロボット装置ＲＢＴは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転軸ＳＦを回転させ、この回転が減速機ＲＧを介して回転軸ＳＦ２に伝達される。回転軸ＳＦ２の回転により接続部１０２ａが一体的に回転し、これにより第２アームＡＲ２が、第１アームＡＲ１に対して回転する。その際、エンコーダ装置ＥＣは、回転軸ＳＦの角度位置等を検出する。ロボット装置ＲＢＴは、エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いることにより、例えば、第２アームＡＲ２の角度位置を検出することができる。ロボット装置ＲＢＴは、例えば、駆動装置ＭＴＲにおいてエンコーダ装置ＥＣを高精度な位置精度で取付可能であるので、回転軸ＳＦの回転情報を高精度に検出することができ、第２アームＡＲ２の位置を高精度に制御することができる。なお、ロボット装置ＲＢＴは、上記の構成に限定されず、駆動装置ＭＴＲは、関節を備える各種ロボット装置に適用できる。

なお、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されるものではない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。

１・・・回転部、３・・・検出部、５・・・複数のパターン、５ａ・・・インクリメンタルパターン、５ｂ・・・アブソリュートパターン、５ｃ・・・第１パターン、５ｄ・・・第２パターン、６・・・算出部、２２・・・光量調整部、ＢＤ・・・駆動部、ＥＣ・・・エンコーダ装置、ＲＢＴ・・・ロボット装置、ＳＴＧ・・・ステージ装置

Claims (14)

1. 測定対象の回転軸に固定され、前記回転軸を中心とする同心円状の複数のパターンが形成された回転部と、
   前記複数のパターンを介した光を検出する検出部と、
   前記検出部からの出力信号のレベルの変動に基づいて、前記回転部と前記検出部との位置精度を算出する算出部と、を備えるエンコーダ装置。
2. 前記複数のパターンは、インクリメンタルパターンを含み、
   前記検出部は、前記インクリメンタルパターンを介した光を検出する第１検出部を含み、
   前記算出部は、前記回転部の角度位置が異なる複数の期間における前記第１検出部からの出力信号のレベルを比較して、前記位置精度を算出する、請求項１に記載のエンコーダ装置。
3. 前記複数のパターンは、前記回転部の径方向において前記インクリメンタルパターンの隣に配置され前記回転部の周方向で光学特性が切り替わる第１パターンを含み、
   前記算出部は、前記第１パターンの光学特性が切り替わる前の期間と後の期間とで前記第１検出部の出力信号のレベルを比較して、前記位置精度を算出する、
   請求項２に記載のエンコーダ装置。
4. 前記算出部は、前記前の期間と前記後の期間との前記第１検出部の出力信号のレベルの差を閾値と比較することによって、前記位置精度を算出する、請求項３に記載のエンコーダ装置。
5. 前記第１検出部の出力信号のレベルを用いて、前記複数のパターンに照射される光の光量を調整する光量調整部を備える、請求項２から請求項４のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
6. 前記複数のパターンは、アブソリュートパターンを含み、
   前記検出部は、前記アブソリュートパターンを介した光を検出する第２検出部を含み、
   前記算出部は、前記回転部の角度位置が異なる複数の期間で前記第２検出部からの出力信号のレベルを比較して、前記位置精度を算出する、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
7. 前記複数のパターンは、前記回転部の径方向において前記インクリメンタルパターンの隣に配置され前記回転部の周方向で光学特性が切り替わる第２パターンを含み、
   前記算出部は、前記第２パターンの光学特性が切り替わる前の期間と後の期間とで前記第１検出部の出力信号のレベルを比較して、前記位置精度を算出する、請求項６に記載のエンコーダ装置。
8. 前記算出部は、前記前の期間と前記後の期間との前記第２検出部の出力信号のレベルの差を閾値と比較することによって、前記位置精度を算出する、請求項７に記載のエンコーダ装置。
9. 前記複数のパターンは、
   インクリメンタルパターンと、
   アブソリュートパターンと、
   前記回転部の径方向において前記インクリメンタルパターンに対して前記アブソリュートパターンと反対側に配置され、前記回転部の周方向で光学特性が切り替わる第１パターンと、
   前記回転部の径方向において前記アブソリュートパターンに対して前記インクリメンタルパターンと反対側に配置され、前記回転部の周方向で前記第１パターンと異なる位相で光学特性が切り替わる第２パターンと、を含み、
   前記検出部は、
   前記インクリメンタルパターンを介した光を検出する第１検出部と、
   前記アブソリュートパターンを介した光を検出する第２検出部と、
   前記第１パターンを介した光を検出する第３検出部と、
   前記第２パターンを介した光を検出する第４検出部と、を含み、
   前記第１検出部の検出結果および前記第２検出部の検出結果を用いて前記回転軸の角度位置情報を算出し、前記第３検出部の検出結果および前記第４検出部の検出結果を用いて、前記回転軸の多回転情報を算出する、請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
10. 前記算出部は、
    前記第１検出部の検出結果に基づいて前記回転部の径方向における所定の向きの前記位置精度を算出し、
    前記第２検出部の検出結果に基づいて前記回転部の径方向における前記所定の向きと反対向きの前記位置精度を算出する、請求項９に記載のエンコーダ装置。
11. 前記算出部は、
    前記第２パターンの光学特性が切り替わる際の前記第１検出部の検出結果を用いて、所定の向きの前記位置精度を算出し、
    前記第１パターンの光学特性が切り替わる際の前記第２検出部の検出結果を用いて、前記反対向きの前記位置精度を算出する、請求項１０に記載のエンコーダ装置。
12. 請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、
    前記回転軸に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置。
13. 移動物体と、
    前記移動物体を移動させる請求項１２に記載の駆動装置と、を備えるステージ装置。
14. 請求項１２に記載の駆動装置を備えるロボット装置。

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