JP2017191090A - バイパスユニット、流量計用ベース、流量制御装置用ベース、流量計、及び流量制御装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の第1実施形態に係るバイパスユニット(以下、「第1バイパスユニット」と称される場合がある。)について説明する。第1バイパスユニットは、板状の部材であるバイパス部と、前記バイパス部の2つの主面にそれぞれ積層された一対の板状の部材である一対の外部接続部と、を備えるバイパスユニットである。
以下、本発明の第2実施形態に係るバイパスユニット(以下、「第2バイパスユニット」と称される場合がある。)について説明する。第2バイパスユニットは、以下の(1)乃至(6)に列挙する点を除き、上述した第1バイパスユニットと同様の構成を有する。
(2)前記第2部材には、所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも1つの貫通孔である第3導入孔、所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも1つの貫通孔である第3導出孔、及び所定の幅及び所定の長さを有する少なくとも1本の貫通孔であるスリットが形成されている。
(4)前記第2部材の前記第3導入孔と前記第3部材の前記第4導入孔とが気密に連通して前記第1部材における前記第1導入孔を形成しており、前記第2部材の前記第3導出孔と前記第3部材の前記第4導出孔とが気密に連通して前記第1部材における前記第1導出孔を形成している。
(6)前記第2部材に形成された前記スリットの前記導入端部及び前記導出端部以外の開口面は前記第3部材の前記第4導入孔及び前記第4導出孔が形成されていない部分によって気密に塞がれて前記第1部材における前記溝を形成している。
以下、本発明の第3実施形態に係るバイパスユニット(以下、「第3バイパスユニット」と称される場合がある。)について説明する。第3バイパスユニットは、以下の(1)及び(2)に列挙する点を除き、上述した第2バイパスユニットと同様の構成を有する。
(2)前記バイパス部の前記主面に平行な平面への平行投影図において、前記第4導出孔は、前記第3導出孔の少なくとも一部及び前記導出端部と重なるように形成されている。
以下、本発明の第4実施形態に係るバイパスユニット(以下、「第4バイパスユニット」と称される場合がある。)について説明する。上述した第1バイパスユニット乃至第3バイパスユニットが備える第1部材に形成される溝の形状は、層流素子及び/又は差圧発生手段としての機能が損なわれない限りにおいて、特に限定されない。
以下、本発明の第5実施形態に係るバイパスユニット(以下、「第5バイパスユニット」と称される場合がある。)について説明する。第5バイパスユニットは、以下の点を除き、上述した第1バイパスユニット乃至第4バイパスユニットと同様の構成を有する。
外部から流体を導入する導入配管と前記第2導入孔とが気密に連通するように前記導入配管を前記バイパスユニットに固定するための構造である導入配管接続用構造と、
外部へと流体を導出する導出配管と前記第2導出孔とが気密に連通するように前記導出配管を前記バイパスユニットに固定するための構造である導出配管接続用構造と、
を更に備える。
以下、本発明の第6実施形態に係る流量計用ベース(以下、「第6流量計用ベース」と称される場合がある。)について説明する。第6流量計用ベースは、流量計を集成するためのベースであり、上述した第1バイパスユニット乃至第5バイパスユニットを始めとする本発明バイパスユニットを備える流量計用ベースである。
以下、本発明の第7実施形態に係る流量計用ベース(以下、「第7流量計用ベース」と称される場合がある。)について説明する。第7流量計用ベースは、以下の点を除き、上述した第6流量計用ベースと同様の構成を有する。
以下、本発明の第8実施形態に係る流量制御装置用ベース(以下、「第8流量制御装置用ベース」と称される場合がある。)について説明する。第8流量制御装置用ベースは、流量制御装置を集成するためのベースであり、上述した第6流量計用ベース及び第7流量計用ベースを始めとする本発明流量計用ベースを備える流量制御装置用ベースである。
以下、本発明の第9実施形態に係る流量制御装置用ベース(以下、「第9流量制御装置用ベース」と称される場合がある。)について説明する。第9流量制御装置用ベースは、以下の点を除き、上述した第8流量制御装置用ベースと同様の構成を有する。
以下、本発明の第10実施形態に係る熱式流量計(以下、「第10熱式流量計」と称される場合がある。)について説明する。第10熱式流量計は、上述した第6流量計用ベース及び第7流量計用ベースを始めとする本発明流量計用ベース、センサチューブ、及び前記センサチューブに巻き付けられた一対のセンサワイヤを備え、前記導入側分岐孔を通して前記センサチューブの内部に流入して前記導出側分岐孔を通して前記センサチューブの内部から流出する流体の流量に対応する検出値を前記一対のセンサワイヤの電気抵抗値の違いに基づいて取得する熱式流量計である。
以下、本発明の第11実施形態に係る熱式流量計(以下、「第11熱式流量計」と称される場合がある。)について説明する。第11熱式流量計は、以下の点を除き、上述した第10熱式流量計と同様の構成を有する。
以下、本発明の第12実施形態に係る熱式流量計(以下、「第12差圧式流量計」と称される場合がある。)について説明する。第12差圧式流量計は、上述した第6流量計用ベース及び第7流量計用ベースを始めとする本発明流量計用ベース、上流側圧力センサ、及び下流側圧力センサを備え、前記第1導入孔から流入し前記バイパス部の前記溝を通って前記第1導出孔から流出する流体の流量に対応する検出値を前記上流側圧力センサ及び下流側圧力センサによって検出される圧力の違いに基づいて取得する差圧式流量計である。
以下、本発明の第13実施形態に係る差圧式流量計(以下、「第13差圧式流量計」と称される場合がある。)について説明する。第13差圧式流量計は、以下の点を除き、上述した第12差圧式流量計と同様の構成を有する。
以下、本発明の第14実施形態に係る熱式流量制御装置(以下、「第14熱式流量制御装置」と称される場合がある。)について説明する。第14熱式流量制御装置は、熱式流量計と、流量制御弁と、前記流量制御弁の開度を調節するアクチュエータと、制御部と、を備えている。更に、前記制御部は、前記熱式流量計によって取得される検出値に基づいて前記アクチュエータを制御して前記流量制御弁の前記開度を調節することにより、前記導入側分岐孔を通して前記センサチューブの内部に流入して前記導出側分岐孔を通して前記センサチューブの内部から流出する流体の流量を所定の目標値に近付けるように構成されている。これにより、第14熱式流量制御装置は、前記第1導入孔から流入し前記バイパス部の前記溝を通って前記第1導出孔から流出する流体の流量を所定の目標値に近付けることができる。
以下、本発明の第15実施形態に係る熱式流量制御装置(以下、「第15熱式流量制御装置」と称される場合がある。)について説明する。第15熱式流量制御装置は、以下の点を除き、上述した第14熱式流量制御装置と同様の構成を有する。
以下、本発明の第16実施形態に係る差圧式流量制御装置(以下、「第16差圧式流量制御装置」と称される場合がある。)について説明する。第16差圧式流量制御装置は、差圧式流量計と、流量制御弁と、前記流量制御弁の開度を調節するアクチュエータと、制御部と、を備えている。更に、前記制御部は、前記差圧式流量計によって取得される検出値に基づいて前記アクチュエータを制御して前記流量制御弁の前記開度を調節することにより、前記流体の前記流量を所定の目標値に近付けるように構成されている。
以下、本発明の第17実施形態に係る差圧式流量制御装置(以下、「第17差圧式流量制御装置」と称される場合がある。)について説明する。第17差圧式流量制御装置は、以下の点を除き、上述した第16差圧式流量制御装置と同様の構成を有する。
実施例1バイパスユニット101は、図1の(a)に示すように、板状の部材であるバイパス部110と、バイパス部110の2つの主面にそれぞれ積層された一対の板状の部材である一対の外部接続部120と、を備える。
上記のような構成を有する実施例1バイパスユニット101の各種構成要素の材料は、特に限定されず、実施例1バイパスユニット101が使用される環境(例えば、温度、湿度、及び流体の性質等)に耐えることが可能な材料の中から適宜選択することができる。典型的には、第1部材111及び外部接続部120はステンレス鋼によって形成される。
上記のように、実施例1バイパスユニット101においては、第1部材111に形成された溝111cによってバイパス流路が構成される。従って、前述したように、互いに平行に束ねられた複数の毛細管(キャピラリーチューブ)又は同一の形状及び配置を有する多数の細孔が形成された所定枚数の薄板(エッチングプレート)の積層体によってバイパス流路を構成する従来バイパスと比較して、高精度且つ容易にバイパス流路を形成することができる。
実施例2バイパスユニット102は、図3に示すように、第1部材111が、1つの薄板状の部材である第2部材112と1つの薄板状の部材である第3部材113とが積層されてなる積層体として構成されている点を除き、基本的には、実施例1バイパスユニット101と同様の構成を有する。従って、以下においては、実施例2バイパスユニット102と実施例1バイパスユニット101との相違点に着目して説明する。また、実施例1バイパスユニット101と共通の構成要素には実施例1バイパスユニット101と共通の符号を付す。
前述したように、第2部材112と第3部材113との積層によって形成される溝の深さはスリット112cが形成される第2部材112の厚みによって一義的に規定される。即ち、実施例2バイパスユニット102によれば、第1部材に溝を直接的に形成する場合と比較して、より高い加工精度にて溝を形成することができる。
以上説明してきた実施例1バイパスユニット101及び実施例2バイパスユニット102の何れにおいても、バイパス部110の主面に平行な平面への平行投影図において、溝111c(又はスリット112c)が直線状に形成されている。しかしながら、前述したように、第1部材111に形成される溝111c(又は第2部材112に形成されるスリット112c)の形状は、層流素子及び/又は差圧発生手段としての機能が損なわれない限りにおいて、特に限定されない。
上記のような構成を有する実施例3バイパスユニット103の各種構成要素の材料及びその製造方法等は、実施例1バイパスユニット101のそれらと同様であるので、ここでは説明を省略する。
上述したように、実施例3バイパスユニット103は、バイパス部110の主面に平行な平面への平行投影図において、溝111cが渦巻状に形成されている点を除き、基本的には、実施例1バイパスユニット101と同様の構成を有する。従って、実施例3バイパスユニット103によって達成される効果もまた、基本的には、実施例1バイパスユニット101によって達成される効果と同様である。
実施例4バイパスユニット104は、図7に示すように、第1部材111が、1つの薄板状の部材である第2部材112と1つの薄板状の部材である第3部材113とが積層されてなる積層体として構成されている点を除き、実施例3バイパスユニット103と同様の構成を有する。従って、以下においては、実施例4バイパスユニット104と実施例3バイパスユニット103との相違点に着目して説明する。また、実施例3バイパスユニット103と共通の構成要素には実施例3バイパスユニット103と共通の符号を付す。
前述したように、第2部材112と第3部材113との積層によって形成される溝の深さはスリット112cが形成される第2部材112の厚みによって一義的に規定される。即ち、実施例4バイパスユニット104によれば、第1部材に溝を直接的に形成する場合と比較して、より高い加工精度にて溝を形成することができる。
実施例5流量計用ベース102BMは、図12の(a)に示すように、所定の大きさの円形の形状を有し且つ第1導入孔111aと気密に連通する貫通孔である導入側分岐孔122a及び所定の大きさの円形の形状を有し且つ第1導出孔111bと気密に連通する貫通孔である導出側分岐孔122bが図面に向かって下側の外部接続部120に形成されている点を除き、基本的に、実施例2バイパスユニット102と同様の構成を有する。
これによれば、例えば、導入側分岐孔122aと導出側分岐孔122bとがセンサチューブの内部を介して気密に連通するようにセンサチューブを実施例5流量計用ベース102BMに固定することにより、熱式流量計を容易に構成することができる。或いは、導入側分岐孔122aと気密に連通する空間に上流側圧力センサの検出部が露出するように上流側圧力センサを実施例5流量計用ベース102BMに固定し、導出側分岐孔122bと気密に連通する空間に下流側圧力センサの検出部が露出するように下流側圧力センサを実施例5流量計用ベース102BMに固定することにより、差圧式流量計を容易に構成することができる。
実施例6流量計用ベース104BMは、図13の(a)に示すように、一対の外部接続部120において導入側分岐孔122a及び導出側分岐孔122bがそれぞれ形成されており、導入側分岐孔122aは第1導入孔111aと、導出側分岐孔122bは第1導出孔111bとそれぞれ連通するように構成されている点を除き、基本的に、実施例4バイパスユニット104と同様の構成を有する。更に、実施例6流量計用ベース104BMは、渦巻状のバイパス流路を備える点を除き、基本的には、実施例5流量計用ベース102BMと同様の構成を有する。
上記のように導入側分岐孔122a及び導出側分岐孔122bが形成されていることから、実施例6流量計用ベース104BMにおいてもまた、実施例5流量計用ベース102BMと同様の作用効果を達成することができる。
実施例7流量制御装置用ベース101BCは上述した本発明に係る流量計用ベースを備える流量制御装置用ベースである。従って、本発明に係る流量計用ベースと共通の事項についての説明は省略する。
上記のように実施例7流量制御装置用ベース101BCには、第5導入孔123aと第5導出孔123bとを連通する独立流路150が形成されている。この独立流路の入り口である第5導入孔123aと第2導出孔121bとの間に流量制御弁を介在させることにより、流量制御装置を構成することができる。具体的には、導入側分岐孔122a及び導出側分岐孔122bに上述した第4部材を接続してなる熱式流量計又は差圧式流量計と、流量制御弁と、を実施例7流量制御装置用ベース101BCに適切に接続する。そして、上記流量計による検出値に基づいて上記流量制御弁の開度を調節するアクチュエータを制御してバイパス流路を流れる流体の流量を制御する制御部を設けることにより、流量制御装置を容易に構成することができる。
実施例8熱式流量計は、本発明に係る流量計用ベース、センサチューブ、及び当該センサチューブに巻き付けられた一対のセンサワイヤを備え、導入側分岐孔122aを通してセンサチューブの内部に流入して導出側分岐孔122bを通してセンサチューブの内部から流出する流体の流量に対応する検出値を上記一対のセンサワイヤの電気抵抗値の違いに基づいて取得する熱式流量計である。熱式流量計の一般的な構成については当業者に周知であるので、ここでの説明は省略する。また、本発明に係る流量計用ベースの構成及び作用効果についても既に述べたので、ここでの説明は省略する。
本発明に係る流量計用ベースにおいては、従来バイパスと比較して、高い寸法精度にてバイパス流路を形成することができる。従って、本発明に係る流量計用ベースによって構成される実施例8熱式流量計は、高い検出精度を達成することができる。更に、本発明に係る流量計用ベースの内部には、バイパス部110(溝111c)、第1導入孔111a、第1導出孔111b、第2導入孔121a、第2導出孔121b、導入側分岐孔122a、及び導出側分岐孔122bが一体的に形成されている。従って、本発明に係る流量計用ベースによって構成される実施例8熱式流量計は、より簡素化された集成工程によって製造することができる。
実施例9差圧式流量計は、本発明に係る流量計用ベース、上流側圧力センサ、及び下流側圧力センサを備え、第1導入孔111aから流入しバイパス部110の溝111cを通って第1導出孔111bから流出する流体の流量に対応する検出値を上流側圧力センサ及び下流側圧力センサによって検出される圧力の違いに基づいて取得する差圧式流量計である。差圧式流量計の一般的な構成については当業者に周知であるので、ここでの説明は省略する。また、本発明に係る流量計用ベースの構成及び作用効果についても既に述べたので、ここでの説明は省略する。
本発明に係る流量計用ベースにおいては、従来バイパスと比較して、高い寸法精度にてバイパス流路を形成することができる。従って、本発明に係る流量計用ベースによって構成される実施例9差圧式流量計は、高い検出精度を達成することができる。更に、本発明に係る流量計用ベースの内部には、バイパス部110(溝111c)、第1導入孔111a、第1導出孔111b、第2導入孔121a、第2導出孔121b、導入側分岐孔122a、及び導出側分岐孔122bが一体的に形成されている。従って、本発明に係る流量計用ベースによって構成される実施例9差圧式流量計は、より簡素化された集成工程によって製造することができる。
図16及び図17に示すように、実施例10熱式流量制御装置101Cは、熱式流量計301と、流量制御弁302と、上記流量制御弁の開度を調節するアクチュエータ303と、制御部(図示せず)と、を備え、上記制御部は、熱式流量計301によって取得される検出値に基づいてアクチュエータ303を制御して流量制御弁302の開度を調節することにより、導入側分岐孔122aを通してセンサチューブ304の内部に流入して導出側分岐孔122bを通してセンサチューブ304の内部から流出する流体の流量を所定の目標値に近付けるように構成されている、熱式流量制御装置である。
実施例7流量制御装置用ベース101BCにおいては、従来バイパスと比較して、高い寸法精度にてバイパス流路を形成することができる。従って、実施例7流量制御装置用ベース101BCによって構成される実施例10熱式流量制御装置101Cは、高い制御精度を達成することができる。更に、実施例7流量制御装置用ベース101BCの内部には、バイパス部110(溝111c)、第1導入孔111a、第1導出孔111b、第2導入孔121a、第2導出孔121b、導入側分岐孔122a、導出側分岐孔122b、第5導入孔123a、及び第5導出孔123bが一体的に形成されている。従って、実施例7流量制御装置用ベース101BCによって構成される実施例10熱式流量制御装置101Cは、より簡素化された集成工程によって製造することができる。
実施例11差圧式流量制御装置は、差圧式流量計と、流量制御弁と、上記流量制御弁の開度を調節するアクチュエータと、制御部と、を備え、上記制御部は、上記差圧式流量計によって取得される検出値に基づいて上記アクチュエータを制御して上記流量制御弁の上記開度を調節することにより、上記流体の上記流量を所定の目標値に近付けるように構成されている、差圧式流量制御装置である。
本発明に係る流量制御装置用ベースにおいては、従来バイパスと比較して、高い寸法精度にてバイパス流路を形成することができる。従って、本発明に係る流量制御装置用ベースによって構成される実施例11差圧式流量制御装置は、高い制御精度を達成することができる。更に、本発明に係る流量制御装置用ベースの内部には、バイパス部110(溝111c)、第1導入孔111a、第1導出孔111b、第2導入孔121a、第2導出孔121b、導入側分岐孔122a、導出側分岐孔122b、第5導入孔123a、及び第5導出孔123bが一体的に形成されている。従って、本発明に係る流量制御装置用ベースによって構成される実施例11差圧式流量制御装置は、より簡素化された集成工程によって製造することができる。
Claims (18)
- 板状の部材であるバイパス部と、前記バイパス部の2つの主面にそれぞれ積層された一対の板状の部材である一対の外部接続部と、を備えるバイパスユニットであって、
前記バイパス部は、所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも1つの貫通孔である第1導入孔、所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも1つの貫通孔である第1導出孔、及び前記第1導入孔と前記第1導出孔とを連通する少なくとも1本の溝が形成された薄板状の部材である第1部材を1つ備えるか、或いは、隣接する前記第1部材の前記第1導入孔同士が気密に連通し且つ隣接する前記第1部材の前記第1導出孔同士が気密に連通するように2つ以上の前記第1部材が積層されてなり、
前記一対の外部接続部の何れか一方には所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも1つの貫通孔である第2導入孔が形成されており、前記一対の外部接続部の何れか一方には所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも1つの貫通孔である第2導出孔が形成されており、
前記第1部材に形成された前記第1導入孔と前記外部接続部に形成された前記第2導入孔とが気密に連通し且つ前記第1部材に形成された前記第1導出孔と前記外部接続部に形成された前記第2導出孔とが気密に連通するように構成されている、
バイパスユニット。 - 請求項1に記載のバイパスユニットであって、
前記第1部材は、1つの薄板状の部材である第2部材と1つの薄板状の部材である第3部材とが積層されてなる積層体として構成されており、
前記第2部材には、所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも1つの貫通孔である第3導入孔、所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも1つの貫通孔である第3導出孔、及び所定の幅及び所定の長さを有する少なくとも1本の貫通孔であるスリットが形成されており、
前記第3部材には、所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも1つの貫通孔である第4導入孔及び所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも1つの貫通孔である第4導出孔が形成されており、
前記第2部材の前記第3導入孔と前記第3部材の前記第4導入孔とが気密に連通して前記第1部材における前記第1導入孔を形成しており、前記第2部材の前記第3導出孔と前記第3部材の前記第4導出孔とが気密に連通して前記第1部材における前記第1導出孔を形成しており、
前記スリットの両端のうち前記第3導入孔により近い方の端部である導入端部と前記第3導入孔とは前記第4導入孔を介して気密に連通するように構成されており、前記スリットの両端のうち前記第3導出孔により近い方の端部である導出端部と前記第3導出孔とは前記第4導出孔を介して気密に連通するように構成されており、
前記第2部材に形成された前記スリットの前記導入端部及び前記導出端部以外の開口面は前記第3部材の前記第4導入孔及び前記第4導出孔が形成されていない部分によって気密に塞がれて前記第1部材における前記溝を形成している、
バイパスユニット。 - 請求項2に記載のバイパスユニットであって、
前記バイパス部の前記主面に平行な平面への平行投影図において、
前記第4導入孔は、前記第3導入孔の少なくとも一部及び前記導入端部と重なるように形成されており、
前記第4導出孔は、前記第3導出孔の少なくとも一部及び前記導出端部と重なるように形成されている、
バイパスユニット。 - 請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載のバイパスユニットであって、
前記バイパス部の前記主面に平行な平面への平行投影図において、前記溝は直線状に形成されている、
バイパスユニット。 - 請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載のバイパスユニットであって、
前記バイパス部の前記主面に平行な平面への平行投影図において、前記溝は渦巻状に形成されている、
バイパスユニット。 - 請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載のバイパスユニットであって、
外部から流体を導入する導入配管と前記第2導入孔とが気密に連通するように前記導入配管を前記バイパスユニットに固定するための構造である導入配管接続用構造と、
外部へと流体を導出する導出配管と前記第2導出孔とが気密に連通するように前記導出配管を前記バイパスユニットに固定するための構造である導出配管接続用構造と、
を更に備える、
バイパスユニット。 - 請求項1乃至請求項6の何れか1項に記載のバイパスユニットを備える流量計用ベースであって、
前記一対の外部接続部の何れか一方には、所定の大きさ及び所定の形状を有し且つ前記第1導入孔と気密に連通する少なくとも1つの貫通孔である導入側分岐孔が更に形成されており、
前記一対の外部接続部の何れか一方には、所定の大きさ及び所定の形状を有し且つ前記第1導出孔と気密に連通する少なくとも1つの貫通孔である導出側分岐孔が更に形成されている、
流量計用ベース。 - 請求項7に記載の流量計用ベースであって、
内部空間を有する別個の部材である第4部材を前記導入側分岐孔及び/又は前記導出側分岐孔と前記内部空間とが気密に連通するように当該流量計用ベースに固定するための構造である分岐接続用構造を更に備える、
流量計用ベース。 - 請求項7又は請求項8に記載の流量計用ベースを備える流量制御装置用ベースであって、
前記一対の外部接続部の何れか一方には所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも1つの貫通孔である第5導入孔が更に形成されており、前記一対の外部接続部の何れか一方には所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも1つの貫通孔である第5導出孔が更に形成されており、
少なくとも1つの前記第1部材には、前記第5導入孔と前記第5導出孔とを気密に連通し且つ前記溝とは連通していない流路である独立流路が更に形成されている、
流量制御装置用ベース。 - 請求項9に記載の流量制御装置用ベースであって、
前記第2導出孔と前記第5導入孔とが流量制御弁を介して気密に連通するように前記流量制御弁を当該流量制御装置用ベースに固定するための構造である弁接続用構造を更に備える、
流量制御装置用ベース。 - 請求項7又は請求項8に記載の流量計用ベース、センサチューブ、及び前記センサチューブに巻き付けられた一対のセンサワイヤを備え、前記導入側分岐孔を通して前記センサチューブの内部に流入して前記導出側分岐孔を通して前記センサチューブの内部から流出する流体の流量に対応する検出値を前記一対のセンサワイヤの電気抵抗値の違いに基づいて取得する熱式流量計であって、
前記導入側分岐孔と前記導出側分岐孔とが前記センサチューブの内部を介して気密に連通するように前記センサチューブが前記流量計用ベースに固定されている、
熱式流量計。 - 請求項8に記載の流量計用ベース、前記第4部材としてのセンサチューブ、及び前記センサチューブに巻き付けられた一対のセンサワイヤを備え、前記導入側分岐孔を通して前記センサチューブの内部に流入して前記導出側分岐孔を通して前記センサチューブの内部から流出する流体の流量に対応する検出値を前記一対のセンサワイヤの電気抵抗値の違いに基づいて取得する熱式流量計であって、
前記導入側分岐孔と前記導出側分岐孔とが前記センサチューブの内部を介して気密に連通するように前記分岐接続用構造によって前記センサチューブが前記流量計用ベースに固定されている、
熱式流量計。 - 請求項7又は請求項8に記載の流量計用ベース、上流側圧力センサ、及び下流側圧力センサを備え、前記第1導入孔から流入し前記バイパス部の前記溝を通って前記第1導出孔から流出する流体の流量に対応する検出値を前記上流側圧力センサ及び下流側圧力センサによって検出される圧力の違いに基づいて取得する差圧式流量計であって、
前記導入側分岐孔と気密に連通する空間に前記上流側圧力センサの検出部が露出するように前記上流側圧力センサが前記流量計用ベースに固定されており、
前記導出側分岐孔と気密に連通する空間に前記下流側圧力センサの検出部が露出するように前記下流側圧力センサが前記流量計用ベースに固定されている、
差圧式流量計。 - 請求項8に記載の流量計用ベース、前記第4部材としての上流側圧力センサ、及び前記第4部材としての下流側圧力センサを備え、前記第1導入孔から流入し前記バイパス部の前記溝を通って前記第1導出孔から流出する流体の流量に対応する検出値を前記上流側圧力センサ及び下流側圧力センサによって検出される圧力の違いに基づいて取得する差圧式流量計であって、
前記導入側分岐孔と気密に連通する空間に前記上流側圧力センサの検出部が露出するように前記分岐接続用構造によって前記上流側圧力センサが前記流量計用ベースに固定されており、
前記導出側分岐孔と気密に連通する空間に前記下流側圧力センサの検出部が露出するように前記分岐接続用構造によって前記下流側圧力センサが前記流量計用ベースに固定されている、
差圧式流量計。 - 請求項9又は請求項10に記載の流量制御装置用ベース、センサチューブ、及び前記センサチューブに巻き付けられた一対のセンサワイヤを備え、前記導入側分岐孔を通して前記センサチューブの内部に流入して前記導出側分岐孔を通して前記センサチューブの内部から流出する流体の流量に対応する検出値を前記一対のセンサワイヤの電気抵抗値の違いに基づいて取得する熱式流量計と、流量制御弁と、前記流量制御弁の開度を調節するアクチュエータと、制御部と、を備え、
前記制御部は、前記熱式流量計によって取得される前記検出値に基づいて前記アクチュエータを制御して前記流量制御弁の前記開度を調節することにより、前記流体の前記流量を所定の目標値に近付けるように構成されている、
熱式流量制御装置であって、
前記導入側分岐孔と前記導出側分岐孔とが前記センサチューブの内部を介して気密に連通するように前記センサチューブが前記流量制御装置用ベースに固定されており、
前記第2導出孔と前記第5導入孔とが前記流量制御弁を介して気密に連通するように前記流量制御弁が前記流量制御装置用ベースに固定されている、
熱式流量制御装置。 - 請求項10に記載の流量制御装置用ベース、前記第4部材としてのセンサチューブ、及び前記センサチューブに巻き付けられた一対のセンサワイヤを備え、前記導入側分岐孔を通して前記センサチューブの内部に流入して前記導出側分岐孔を通して前記センサチューブの内部から流出する流体の流量に対応する検出値を前記一対のセンサワイヤの電気抵抗値の違いに基づいて取得する熱式流量計と、流量制御弁と、前記流量制御弁の開度を調節するアクチュエータと、制御部と、を備え、
前記制御部は、前記熱式流量計によって取得される前記検出値に基づいて前記アクチュエータを制御して前記流量制御弁の前記開度を調節することにより、前記流体の前記流量を所定の目標値に近付けるように構成されている、
熱式流量制御装置であって、
前記導入側分岐孔と前記導出側分岐孔とが前記センサチューブの内部を介して気密に連通するように前記分岐接続用構造によって前記センサチューブが前記流量制御装置用ベースに固定されており、
前記第2導出孔と前記第5導入孔とが前記流量制御弁を介して気密に連通するように前記弁接続用構造によって前記流量制御弁が前記流量制御装置用ベースに固定されている、
熱式流量制御装置。 - 請求項9又は請求項10に記載の流量制御装置用ベース、上流側圧力センサ、及び下流側圧力センサを備え、前記第1導入孔から流入し前記バイパス部の前記溝を通って前記第1導出孔から流出する流体の流量に対応する検出値を前記上流側圧力センサ及び下流側圧力センサによって検出される圧力の違いに基づいて取得する差圧式流量計と、流量制御弁と、前記流量制御弁の開度を調節するアクチュエータと、制御部と、を備え、
前記制御部は、前記差圧式流量計によって取得される前記検出値に基づいて前記アクチュエータを制御して前記流量制御弁の前記開度を調節することにより、前記流体の前記流量を所定の目標値に近付けるように構成されている、
差圧式流量制御装置であって、
前記導入側分岐孔と気密に連通する空間に前記上流側圧力センサの検出部が露出するように前記上流側圧力センサが前記流量制御装置用ベースに固定されており、
前記導出側分岐孔と気密に連通する空間に前記下流側圧力センサの検出部が露出するように前記下流側圧力センサが前記流量制御装置用ベースに固定されており、
前記第2導出孔と前記第5導入孔とが前記流量制御弁を介して気密に連通するように前記流量制御弁が前記流量制御装置用ベースに固定されている、
差圧式流量制御装置。 - 請求項10に記載の流量制御装置用ベース、前記第4部材としての上流側圧力センサ、及び前記第4部材としての下流側圧力センサを備え、前記第1導入孔から流入し前記バイパス部の前記溝を通って前記第1導出孔から流出する流体の流量に対応する検出値を前記上流側圧力センサ及び下流側圧力センサによって検出される圧力の違いに基づいて取得する差圧式流量計と、流量制御弁と、前記流量制御弁の開度を調節するアクチュエータと、制御部と、を備え、
前記制御部は、前記差圧式流量計によって取得される前記検出値に基づいて前記アクチュエータを制御して前記流量制御弁の前記開度を調節することにより、前記流体の前記流量を所定の目標値に近付けるように構成されている、
差圧式流量制御装置であって、
前記導入側分岐孔と気密に連通する空間に前記上流側圧力センサの検出部が露出するように前記分岐接続用構造によって前記上流側圧力センサが前記流量計用ベースに固定されており、
前記導出側分岐孔と気密に連通する空間に前記下流側圧力センサの検出部が露出するように前記分岐接続用構造によって前記下流側圧力センサが前記流量計用ベースに固定されており、
前記第2導出孔と前記第5導入孔とが前記流量制御弁を介して気密に連通するように前記弁接続用構造によって前記流量制御弁が前記流量制御装置用ベースに固定されている、
差圧式流量制御装置。
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