JP2017187381A - 微粒子検知装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1と図2に示すように、本実施の形態における微粒子検知装置1は、投光部2と受光部3と電圧変換部4と電圧閾値記憶手段6と第一カウント手段7と第二カウント手段8と積算手段9と演算手段10と、を備えている。
第二カウント手段8: C2 = 2
積算手段9: W2 = WX+WY
第三カウント手段25: C3 = 1
受光部3は、微粒子5がホコリ検知点12を通過したときの反射光を受光するため、粒子径が大きい粒子ほど信号強度が高くなる。つまり電圧波形データの電圧振幅は微粒子5の粒子径と相関がある。そのためC1、C2、W2の各出力は、微粒子検知装置1のホコリ検知点12を通過した個数が、電圧閾値Aに対応する粒子径を超える粒子が2個、電圧閾値Aと電圧閾値Bの範囲に対応する粒子径の粒子が2個存在するということを意味する。また、電圧閾値Aと電圧閾値Bに対応する粒子径の粒子としてカウントした2個の粒子が、WX+WYの時間の間、電圧閾値Bを上回っていたことを意味している。
カウント判定手段18: 上記式1に基づきカウント値の採用の可否を出力
補正値算出手段20は、第二カウント手段8の出力値C2と積算手段9の出力値W2と、電圧閾値Bと電圧閾値Cの間の範囲にピーク値を有する電圧波形データから得られたピーク数C3から補正値の算出を行う。ここで、電圧閾値Cは電圧閾値Bより小さい電圧である。
補正比較手段21は、補正値算出手段20で算出した補正値と、補正閾値記憶手段22で記憶されている基準閾値Xを比較する処理を行う。補正判定手段23は、補正比較手段21の比較の結果に基づき、補正の可否を判断する。補正比較手段21で補正値とXを比較し、補正値がX以上の場合に補正判定手段23が補正を可と判断し、そうでない場合は、補正判定手段23が補正を否と判断する。補正判定手段23が補正を可と判断したときは、補正適用手段19は補正値を用いてC1に対して補正処理を行う。また、補正判定手段23が否と判断したときは、補正適用手段19はC1に対する補正処理を実施しない。なお、基準閾値Xは所定のサイズの粒子が存在することを判定するために設定するパラメータであり、微粒子検知装置1の設置場所などにも依存するため、実験的に算出する値である。
補正判定手段23: 上記式2に基づき補正の可否を出力
補正適用手段19は、第一カウント手段7で得られたC1に対して、補正値、カウント判定手段18の可否判定結果、補正判定手段23の可否判定結果に基づき補正処理を行う。
なお、上記実施形態は、以下のように変更してもよい。
上限を設定することで、図4(c)に対して粒子径の小さい図4(b)の粒子に対する検知感度の調整も可能である。
2 投光部
3 受光部
4 電圧変換部
5 微粒子
6 電圧閾値記憶手段
7 第一カウント手段
8 第二カウント手段
9 積算手段
10 演算手段
25 第三カウント手段
Claims (7)
- 投光部と受光部とを備え前記受光部に入射する光の強度に基づいて粒子を測定する微粒子検知装置であって、
前記受光部に入射する光を強度に応じて電圧値に変換して出力する電圧変換部と、
電圧閾値Aと前記電圧閾値Aよりも小さい電圧閾値Bとを記憶する電圧閾値記憶手段と、
所定の単位時間における前記電圧値の変動を示す電圧波形データにおいて前記電圧閾値Aを超えた範囲に存在する波形のピーク数をカウントする第一カウント手段と、
前記電圧波形データにおいて前記電圧閾値Aと前記電圧閾値Bとの間の範囲に存在する波形のピーク数をカウントする第二カウント手段と、
前記電圧波形データにおいて前記電圧閾値Aと前記電圧閾値Bとの間の範囲にピークを有する波形の前記電圧閾値Bを超えた時間を積算する積算手段と、
前記第一カウント手段がカウントした値と前記第二カウント手段がカウントした値と前記積算手段が積算した時間とに基づいて所定のサイズを有する粒子の有無を予測する演算手段と、
を備えた微粒子検知装置。 - 前記演算手段は、
前記第二カウント手段がカウントした値と前記積算手段が積算した時間とに基づいて補正値を算出する補正値算出手段と、
前記補正値算出手段が算出した補正値で前記第一カウント手段がカウントした値を補正する補正適用手段と、
を備えた請求項1記載の微粒子検知装置。 - 前記補正値算出手段が算出した補正値の比較対象である基準閾値Xを記憶する補正閾値記憶手段を備え、
前記演算手段は、
前記補正値算出手段が算出した値と前記基準閾値Xとを比較する補正比較手段と、
前記補正比較手段による比較結果に基づいて前記補正適用手段による前記補正の可否を判定する補正判定手段と、
前記補正判定手段の判定結果に基づいて前記補正値算出手段が算出した補正値で前記第一カウント手段がカウントした値を補正する前記補正適用手段と、
を備えた請求項2に記載の微粒子検知装置。 - 前記第一カウント手段が算出した値の比較対象である基準閾値Yを記憶するカウント閾値記憶手段と、
前記第一カウント手段がカウントした値と前記基準閾値Yとを比較するカウント比較手段と、
前記カウント比較手段による比較結果に基づいて前記第一カウント手段がカウントした値の採用の可否を判定するカウント判定手段と、を備え、
前記演算手段は、
前記カウント判定手段の判定結果が可の場合には前記第一カウント手段がカウントした値を採用し、前記カウント判定手段の判定結果が否の場合には前記第一カウント手段がカウントした値としてゼロを採用し、
前記採用した値に対して前記第二カウント手段がカウントした値と前記積算手段が積算した時間とに基づいて算出した補正値で補正を行う請求項1記載の微粒子検知装置。 - 前記第一カウント手段が算出した値の比較対象である基準閾値Yを記憶するカウント閾値記憶手段と、
前記第一カウント手段がカウントした値と前記基準閾値Yとを比較するカウント比較手段と、
前記カウント比較手段による比較結果に基づいて前記第一カウント手段がカウントした値の採用の可否を判定するカウント判定手段と、を備え、
前記演算手段は、
前記カウント判定手段の判定結果が可の場合には前記第一カウント手段がカウントした値として1を採用し、前記カウント判定手段の判定結果が否の場合には前記第一カウント手段がカウントした値としてゼロを採用し、
前記採用した値に対して前記第二カウント手段がカウントした値と前記積算手段が積算した時間とに基づいて算出した補正値で補正を行う請求項1記載の微粒子検知装置。 - 電圧閾値Bよりも小さい電圧閾値Cを記憶する前記電圧閾値記憶手段と、
前記電圧波形データにおいて前記電圧閾値Bと前記電圧閾値Cとの間の範囲に存在する波形のピーク数をカウントする第三カウント手段とを備え、
前記補正値算出手段は、
前記第二カウント手段がカウントした値と前記積算手段が積算した時間と前記第三カウント手段がカウントした値とに基づいて前記補正値を算出する請求項1から5のいずれかに記載の微粒子検知装置。 - 前記演算手段は、
異なる複数の前記電圧波形データに対して前記予測を行い、複数の予測結果に基づいて所定のサイズを有する粒子の有無を確定する集計手段を備えた請求項1から6のいずれかに記載の微粒子検知装置。
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