JP2017161862A - フィルタ部材及び光センサ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、温度や湿度変化等の環境変化に伴って、光学フィルタの透過特性が変化することを抑制することが可能なフィルタ部材及びこれを備えた光センサを提供することを目的としている。
また、本発明の他の態様に係る光センサは、光センサ素子と上記態様のフィルタ部材とを備え、前記光センサ素子と前記フィルタ部材とは、前記光センサ素子と前記フィルタ部材の光学フィルタとが対向するように張り合わされており、前記窪み又は前記貫通孔は、前記封止部のうち前記光センサ素子側と張り合わされていない部分に形成されていることを特徴としている。
[実施形態]
(フィルタ部材)
本発明の一実施形態に係るフィルタ部材は、光透過面を有する光学フィルタと、光学フィルタを、当該光学フィルタの側面から支持する封止部と、を備え、光学フィルタと封止部との間、又は封止部の内側面と外側面との間、の少なくともいずれか一方に、窪み又は貫通孔の少なくともいずれか一方を有するものである。
窪み又は貫通孔は、上面視で、複数の窪み又は貫通孔が、光学フィルタの縁部の一部又は縁部全周に沿って配置されていてもよい。つまり、例えば光学フィルタが多角形である場合には、複数の窪み又は貫通孔が一辺に沿って配置されていてもよい。
本発明の一実施形態に係るフィルタ部材は、このような構成を有する結果、温度や湿度等の環境変化によって光学フィルタの透過特性の変化を抑制することの可能なフィルタ部材を実現することができる。
<構造>
図1は、本発明の第1実施形態に係るフィルタ部材の一例を示す構成図である。図1(a)は上面図であり、図1(b)は図1(a)のA−A′断面図である。図1(a)、図1(b)に示すように、フィルタ部材1は、上面視で、光学フィルタ2を挟んで向かい合うように2つの貫通孔4を封止部3に備え、各貫通孔4は、光学フィルタ2の縁部の一部に沿った形状を有する。
光学フィルタ2は、例えば上面視で略正方形状であり、光学フィルタ2の略正方形の一方の面が光入射面2a、他方の面が光出射面2bとなる。
この光学フィルタ2は、その側面を覆うように配置される封止部3によって支持される。
貫通孔4は、光学フィルタ2を挟んで封止部3の、光学フィルタ2側の内側面と光学フィルタ2とは逆側の外側面との間の略中央部分に設けられ、光学フィルタ2の平行な2つの辺それぞれに設けられる。貫通孔4は、光学フィルタ2の辺に沿った線形状を有する。
図2は、フィルタ部材1の製造方法の一例を工程順に示す断面図である。ここでは、図1(b)に示した断面図に沿って、各工程を説明する。
図2(a)に示すように、まず耐熱性の粘着シート11を用意する。
なお、粘着シート11としては、粘着性を有すると共に、耐熱性を有する樹脂性のテープが用いられる。粘着性については、粘着層の糊厚がより薄い方が望ましい。また、耐熱性については、約150℃以上200℃以下の温度に耐えることが必要とされる。
このような粘着シート11として、例えばポリイミドテープを用いることができる。ポリイミドテープは、約280℃に耐える耐熱性を有している。このような高い耐熱性を有するポリイミドテープは、例えば、後工程としてトランスファーモールド工程が実行される場合には、このトランスファーモールド工程時に加わる高熱にも耐えることが可能である。
・ポリエステルテープ 耐熱温度:約130℃(但し使用条件次第で耐熱温度は約200℃にまで達する)。
・テフロン(登録商標) テープ耐熱温度:約180℃
・PPS(ポリフェニレンサルファイド) 耐熱温度:約160℃
・ガラスクロス 耐熱温度:約200℃
・ノーメックスペーパー(登録商標 デュポン帝人アドバンスドペーパー株式会社製)
耐熱温度:約150〜200℃
・他に、アラミド、クレープ紙が粘着シート11として利用することができる。
なお、光学フィルタ2の光入射面2aや光出射面2bには、予め、保護膜を貼付してもよい。
次に、図2(b)に示すように、光学フィルタ2の光入射面2a側に下金型22を配置すると共に、光学フィルタ2の光出射面2b側に上金型21を配置する。そして、上金型21と下金型22とにより光学フィルタ2を挟み込み、上金型21と下金型22とに挟まれた空間(即ち、キャビティ)にサイドから溶融した封止材を注入し充填する。封止材として、例えばエポキシ樹脂を用いる。これにより、封止部3を形成する。
また、このフィルタ部材1の形成工程では、上金型21の凹部21bと光学フィルタ2との間にフッ素樹脂製シートを介在させ、上金型21の凹部と光学フィルタ2とがフッ素樹脂製シートを介して隙間無く接触し、且つ、光学フィルタ2の光入射面2aと下金型22とが粘着シート11を介して隙間無く接触した状態で、サイドからエポキシ樹脂等を注入し、充填する。これにより、フィルタ部材1の形成終了後は、光学フィルタ2の光入射面2a及び光出射面2bが、それぞれ封止材から露出した状態となる。
次に、図2(d)に示すように、フィルタ部材1の光出射面2b側にダイシングテープ12を貼付し、ダイシング装置によりダイシングする。これにより、フィルタ部材1は個々の製品に切り離されてパッケージ化され、図1に示したフィルタ部材1が完成する。
図1では、封止部3に貫通孔4を設けた場合について説明したが、これに限るものではない。例えば、貫通孔4に代えて窪みを設けてもよい。
<第1実施形態の効果>
封止部3に貫通孔4を設けることで、封止材の体積が減少し、湿度や温度等の変動によって封止材が膨張、収縮した場合の封止材の変形応力が減少する。また、封止部3に設けられた貫通孔4が変形することによって封止部3の変形応力が吸収され、結果的に光学フィルタ2に伝わる変形応力が減少する。そのため、変形応力が光学フィルタ2に伝わった際に生じる光学フィルタ2の変形量も減少し、光学フィルタ2の透過特性の変化を低減することができる。
<構造>
図3は、本発明の第2実施形態に係るフィルタ部材の一例を示す構成図である。図3(a)は上面図であり、図3(b)は図3(a)のA−A′の断面図である。図3(a)、図3(b)に示すように、封止部3は、その略中央部に、光学フィルタ2の外周よりも大きい貫通孔が形成されている。この貫通孔に光学フィルタ2を配置すると、光学フィルタ2と封止部3との間に隙間が形成される。つまり、上面視で光学フィルタ2の縁部全周にわたって、光学フィルタ2と封止部3との間に貫通孔4aが形成される。そして、光学フィルタ2の角部分で、接着剤5により封止部3と光学フィルタ2とを固定することによって、光学フィルタ2は、封止部3により支持される。
図4は、第2実施形態におけるフィルタ部材の製造方法の一例を工程順に示す断面図である。ここでは、図3(b)に示した断面図に沿って、各工程を説明する。ただし、接着剤塗布工程のみは図3(a)に示した上面図を用いて説明する。
まず、図4(a)に示すように、上金型31と下金型32とを対向するように配置させ、上金型31と下金型32とに挟まれた空間(即ち、キャビティ)にサイドから溶融した封止材を注入し、充填する。封止材として例えばエポキシ樹脂を用いる。これにより、封止部3となる封止材群を形成する。図4(a)に示すように、例えば上金型31の下側(即ち、キャビティ側)の面は断面視で凹凸形状となっており、この凸部31aによって、図4(b)に示すように、光学フィルタ2を収容可能な大きさの貫通孔4a′が形成される。
次に、図4(c)に示すように封止材群間の貫通孔4aに光学フィルタ2を挿入して位置決めし、図4(d)に示すように光学フィルタ2の一方の面、例えば光入射面2a側の、4つの角部分の封止材つまり封止部3と光学フィルタ2との間に接着剤(エポキシ樹脂等)5を塗布し、封止部3と光学フィルタ2とを固定する。そして、接着剤5をより硬化させるためのポストキュアを行う。さらに、光学フィルタ2の他方の面、例えば、光出射面2b側にも光入射面2aと同様の接着剤処理を行ってもよい。また、光学フィルタ2の角部分だけでなく、角部分の、光入射面2a側から光出射面2b側にかけて光学フィルタ2の厚さ方向にわたって全体に接着剤5を塗布してもよい。封止部3の貫通孔4aからなる開口部の角部分は、例えば図4(d)に示すように、上面視で曲率Rを持っており、光学フィルタ2の角部と封止部3の曲率Rを有する角部との間の、封止部3の角部と光学フィルタ2の角部との距離が最も短くなる部分で接着剤5により接着される。
次に、図4(e)に示すように、フィルタ部材1の一方の面、例えば光出射面2b側にダイシングテープ12を貼付し、ダイシング装置によりダイシングする。これにより、フィルタ部材1は個々の製品に切り離されてパッケージ化され、図3(b)に示したフィルタ部材1が完成する。
図3では、封止部3と光学フィルタ2との間に、上面視で光学フィルタ2の縁部全周に沿った形状の貫通孔4aを設けた場合について説明したが、これに限るものではない。例えば、貫通孔4aに代えて窪みを設けてもよい。つまり、上面視で光学フィルタ2の縁部全周に沿った形状の窪みを設けてもよい。この場合には、窪みの底部に相当する光学フィルタ2と封止部3とが接する側面部分で光学フィルタ2を支持するようにしてもよく、光学フィルタ2と封止部3とが接する部分を接着剤5で接着してもよい。
上面視で光学フィルタ2の縁部全周に沿った形状の貫通孔4aを設け、光学フィルタ2の角部で光学フィルタ2と封止部3とを接着剤5で固定することで、接着剤5を介した、光学フィルタ2と封止部3との接触面積を最小化することができる。そのため、第1実施形態と同様に、湿度や温度等の変動によって封止材が膨張又は収縮した場合の封止材の変形応力が光学フィルタ2に伝わり難くなる。また、封止部3と光学フィルタ2の間の貫通孔4aが変形することによって封止部3の変形応力が吸収され、結果的に光学フィルタ2に伝わる変形応力が減少する。そのため、光学フィルタ2の変形量を低減することができ、光学フィルタ2の透過特性の変化を低減することができる。
<構造>
図5は、本発明の第3実施形態に係るフィルタ部材の一例を示す構成図である。図5(a)は上面図であり、図5(b)は図5(a)のA−A′の断面図である。図5(a)、図5(b)に示すように、フィルタ部材1は、光学フィルタ2と封止部3との間に、上面視で、光学フィルタ2の縁部全周に沿った形状の貫通孔4bを有し、光学フィルタ2と封止部3とはその各辺の中央で接着剤5により固定されている。つまり、第2実施形態におけるフィルタ部材では、上面視で矩形の光学フィルタ2の縁部全周において光学フィルタ2と封止部3との間に隙間が形成され、封止部3と光学フィルタ2とを4つの角部で接着剤5により接着することによって、封止部3により光学フィルタ2を支持しているのに対し、第3実施形態では、角部ではなく、各辺の中央部分で、封止部3と光学フィルタ2とが接着剤5により接着されている。
接着剤5の塗布部分が光学フィルタ2の各辺の端部ではなく各辺の中央部分であることを除けば、製造方法は第2実施形態と同様である。
<変形例>
図6は本発明の第3実施形態に係るフィルタ部材の変形例を示す図である。
図6(a)は上面図であり、図6(b)は図6(a)のA−A′の断面図である。光学フィルタ2と封止部3との接着部分は、各辺の中央部にある必要はなく、例えば、図6(a)、図6(b)に示すように、各辺の中央部からずれた位置にあってもよく、上面視で光学フィルタ2の重心を対称中心として、点対称となる位置にあってもよい。
また、図5及び図6では、貫通孔4bを設けた場合について説明したが、貫通孔4bではなく窪みであってもよい。
上面視で、光学フィルタ2の縁部に沿って全周にわたって貫通孔4bを設け、光学フィルタ2と封止部3とを辺毎に1箇所ずつ接着剤5で接着する構成とし、光学フィルタ2と封止部3との接着剤5を介した接触面積をより低減することによって、湿度や温度の変動によって封止材が膨張、収縮した場合に、封止材の変形応力が光学フィルタ2に伝わり難くすることができる。また、封止部3と光学フィルタ2の間の貫通孔4bが変形することによって封止部3の変形応力が吸収され、結果的に光学フィルタ2に伝わる変形応力が減少する。そのため、光学フィルタ2の変形量を低減することができ、光学フィルタ2の透過特性の変化を低減することができる。
例えば、上面視で、光学フィルタの2つの対角線を、対角線の交点を基準として左右45度未満の範囲で回転させた2つの線分上に接着剤を塗布して固定するようにしてもよい。このように、各辺の中央からずらした位置で接着することで、光学フィルタ2に応力が伝わったとしても、上面視で光学フィルタ2の重心を中心に上面視水平方向に光学フィルタ2が回転し、光学フィルタ2の変形量が低減する。これにより、光学フィルタ2の透過特性の変化をより低減することができる。また、2つの接着部分がフィルタ中心点を基準に点対称であると、光学フィルタ2を効率的に回転させることができるため光学フィルタ2の変形量がより低減し、透過特性の変化をさらに低減することができる。
このように、窪み又は貫通孔が、封止部のうち光センサ素子と張り合わされていない部分に形成されることにより、光センサ素子と封止部とが貼り合わされることにより、封止部の変形が妨げられ、窪み又は貫通孔を設けることによる効果が妨げられることを回避することができる。
図7に示すように、赤外線センサ素子等の光センサ素子からなるセンサ素子41は、封止部42によって支持され、センサ素子41の受光面又は発光面を除く領域が封止部42により覆われている。そして、センサ素子41の受光面又は発光面と光学フィルタ2とが対向し、且つ、センサ素子41の受光面又は発光面と光学フィルタ2とが間隙をもって、接着剤43によって固定される。接着剤43は、図7(b)に示すように、貫通孔4よりも縁側に配置され、貫通孔4よりも光学フィルタ2側には配置されない。
以下、本発明の一実施形態におけるフィルタ部材1における各構成要件について説明する。各構成要件の具体例や技術的特徴は、本発明の技術思想を逸脱しない範囲で単独または組み合わせて適用可能である。
光学フィルタ2は、所望の波長範囲の光を選択的に(即ち、透過率が高くなるように)透過させる機能を有するものである。光学フィルタ2は、例えば赤外線のみを透過する機能を有する。光学フィルタ2を構成する光学部材の材料としては、シリコン(Si)、硝子(SiO2)、サファイヤ(Al2O3)、ゲルマニウム(Ge)、ZnS、ZnSe、CaF2、BaF2等、予め設定した(即ち、所定の)波長範囲の赤外線が透過する材料が用いられる。また、これら光学部材に蒸着される薄膜材料としては、シリコン(Si)、硝子(SiO2)、サファイヤ(Al2O3)、Ge、ZnS、TiO2、MgF2、SiO2、ZrO2、Ta2O5等が用いられる。また、光学部材上に異なる屈折率を有する誘電体を層状に積層した誘電体多層膜フィルタは、表面、裏面異なる所定の厚み構成で両面に作られていてもよいし、また、片面のみに形成されていてもよい。また、不要な反射を防止する目的で反射防止膜が表面、裏面の両面、又は片面の最表層に形成されていても構わない。
封止材は、リフロー時の高熱に耐えられる部材であることが好ましい。リフロー時の高熱に耐えられる部材としては、例えば、エポキシ系の熱硬化型樹脂、ポリフタルアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、液晶ポリマーなどが挙げられる。
(接着剤)
接着剤は、封止材と同様にリフロー時の高熱に耐えられる部材であることが好ましい。リフロー時の高熱に耐えられる部材としては、例えば、エポキシ系の熱硬化型樹脂、ポリフタルアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、液晶ポリマーなどが挙げられる。
2 光学フィルタ
3 封止部
4、4a、4b 貫通孔
5 接着剤
11 粘着シート
12 ダイシングテープ
40 光センサ
41 センサ素子
Claims (14)
- 光透過面を有する光学フィルタと、
前記光学フィルタを、当該光学フィルタの側面から支持する封止部と、を備え、
前記光学フィルタと前記封止部との間、又は前記封止部の内側面と外側面との間、の少なくともいずれか一方に、窪み又は貫通孔の少なくともいずれか一方を有するフィルタ部材。 - 前記窪み又は前記貫通孔は、上面視で前記光学フィルタの縁部の一部又は全部に沿った形状を有する請求項1に記載のフィルタ部材。
- 複数の前記窪み又は複数の前記貫通孔が、上面視で前記光学フィルタの縁部の一部又は全部に沿って配置されている請求項1に記載のフィルタ部材。
- 前記光学フィルタは互いに平行な側面の対を有し、
前記窪み又は前記貫通孔は、前記対をなす側面それぞれと前記封止部の外側面との間に設けられている請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のフィルタ部材。 - 前記光学フィルタは互いに平行な側面の対を有し、
前記光学フィルタと前記封止部との間に、上面視で前記光学フィルタの縁部全周に沿った形状の前記貫通孔を備え、
前記封止部は、当該封止部の内側面に前記光学フィルタに向けて突出する凸部を、前記対をなす側面それぞれに対応して一つずつ有し、当該凸部を介して前記光学フィルタを支持する請求項1又は請求項2に記載のフィルタ部材。 - 前記封止部は、前記光学フィルタの側面のうち前記対をなす側面それぞれを支持し、他の側面は支持しない請求項5に記載のフィルタ部材。
- 前記光学フィルタは上面視で矩形であって、
前記凸部は、
上面視で、前記光学フィルタの2つの対角線を、当該対角線の交点を基準として左右45度未満の範囲で回転させた2つの線分上に位置する請求項5に記載のフィルタ部材。 - 前記光学フィルタは複数の側面を有し、
前記光学フィルタと前記封止部との間に、上面視で前記光学フィルタの縁部全周に沿った形状の前記貫通孔を備え、
前記封止部は、当該封止部の内側面に前記光学フィルタに向けて突出する凸部を、前記複数の側面それぞれに対応して一つずつ有し、当該凸部を介して前記光学フィルタを支持する請求項1又は請求項2に記載のフィルタ部材。 - 前記光学フィルタは互いに平行な側面の対を有し、
上面視で、前記対をなす側面それぞれに対応する前記凸部どうしを結んだ線分は、前記互いに平行な側面に対して非垂直である請求項8に記載のフィルタ部材。 - 前記凸部は、
上面視で、前記光学フィルタの重心を対称中心として点対称の位置にある請求項8又は請求項9に記載のフィルタ部材。 - 前記光学フィルタは複数の側面を有し、
前記光学フィルタと前記封止部との間に、上面視で前記光学フィルタの縁部全周に沿った形状の前記貫通孔を備え、
前記封止部は、当該封止部の内側面に前記光学フィルタに向けて突出する凸部を、前記複数の側面同士の交線に対応して一つずつ有し、当該凸部を介して前記光学フィルタを支持する請求項1又は請求項2に記載のフィルタ部材。 - 前記光学フィルタの光透過面は矩形である請求項1から請求項11の何れか一項に記載のフィルタ部材。
- 前記窪み又は前記貫通孔内に前記封止部よりも弾性係数の小さい部材をさらに備える請求項1から請求項12の何れか一項に記載のフィルタ部材。
- 光センサ素子と請求項1から請求項13の何れか一項に記載のフィルタ部材とを備え、
前記光センサ素子と前記フィルタ部材とは、前記光センサ素子と前記フィルタ部材の光学フィルタとが対向するように張り合わされており、
前記窪み又は前記貫通孔は、前記封止部のうち前記光センサ素子側と張り合わされていない部分に形成されている光センサ。
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