JP2017156304A - ガス検知装置 - Google Patents
ガス検知装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017156304A JP2017156304A JP2016042116A JP2016042116A JP2017156304A JP 2017156304 A JP2017156304 A JP 2017156304A JP 2016042116 A JP2016042116 A JP 2016042116A JP 2016042116 A JP2016042116 A JP 2016042116A JP 2017156304 A JP2017156304 A JP 2017156304A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- light source
- light
- circle
- detection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
図9は、変形例に係るガス検知装置10Aのブロック図である。ガス検知装置10Aは、回転板31及び光学系35に代えて、導光部材80を有している点で、ガス検知装置10と相違している。
21〜23 光源
30 光源切替ユニット
31 回転板
31a 開口
32 回転ユニット
32a 軸
35 光学系
40 ガスセル
41 ケーシング
41a 流入口
41b 流出口
41c,41d 窓
42,43 反射ミラー
51 赤外線検知器
52 駆動ユニット
60 処理装置
60a CPU
60b 主記憶部
60c 補助記憶部
60d 入力部
60e 表示部
60f インタフェース部
60g システムバス
80 導光部材
81 ケーシング
81a,81b 開口部
100 外部機器
310 回転軸
C1 円
M1〜M4,M11,M12 反射ミラー
HM1,HM2 ハーフミラー
L1〜L3 赤外線
Claims (8)
- 相互にピーク波長が異なる光を、検知対象となる気体が入ったガスセルへ出力する複数の光源と、
前記ガスセルに入射する光を出力する前記光源を、順番に切り替える切替手段と、
前記ガスセルに入射する光を出力する前記光源を特定する光源特定手段と、
前記ガスセル内の前記気体を通過した光の強度と、前記光源特定手段によって特定された特定結果と、に基づいて、前記気体に含まれるガスを検知するガス検出手段と、
を備えるガス検知装置。 - 前記光源は、所定の円に沿って配置され、
前記切替手段は、前記円の中心を通る軸回りに回転し、前記円に沿って移動する開口が形成される回転部材を有する請求項1に記載のガス検知装置。 - 前記光源は、所定の円に沿って配置され、
前記切替手段は、前記円の中心を通る軸回りに前記光源に対して相対回転し、前記光源に対して前記円に沿って相対移動する開口が形成される回転部材を有する請求項1に記載のガス検知装置。 - 前記光源特定手段は、前記光源に対する前記回転部材の角度に基づいて、前記ガスセルに入射する光を出力する前記光源を特定する請求項2又は3に記載のガス検出装置。
- 前記光源は、所定の円に沿って配置され、
前記切替手段は、前記円の中心を通る軸回りに回転し、前記円に沿って移動する受光部と、前記光源から射出され、前記受光部によって受光された光を、前記ガスセルに導く光学系と、を有する請求項1に記載のガス検知装置。 - 前記光源は、所定の円に沿って配置され、
前記切替手段は、前記光源に対して前記円の中心を通る軸回りに相対回転し、前記光源に対して前記円に沿って相対移動する受光部と、前記光源から射出され、前記受光部によって受光された光を、前記ガスセルに導く光学系と、を有する請求項1に記載のガス検知装置。 - 前記光源特定手段は、前記光源に対する前記切替手段の角度に基づいて、前記ガスセルに入射する光を出力する前記光源を特定する請求項5又は6に記載のガス検出装置。
- 前記光源は赤外線を出力する請求項1乃至7のいずれか一項に記載のガス検知装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016042116A JP2017156304A (ja) | 2016-03-04 | 2016-03-04 | ガス検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016042116A JP2017156304A (ja) | 2016-03-04 | 2016-03-04 | ガス検知装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017156304A true JP2017156304A (ja) | 2017-09-07 |
Family
ID=59809618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016042116A Pending JP2017156304A (ja) | 2016-03-04 | 2016-03-04 | ガス検知装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017156304A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019074521A (ja) * | 2017-10-16 | 2019-05-16 | 株式会社堀場製作所 | 分析装置 |
WO2023106196A1 (ja) * | 2021-12-10 | 2023-06-15 | 株式会社堀場製作所 | 分析装置及び分析方法 |
-
2016
- 2016-03-04 JP JP2016042116A patent/JP2017156304A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019074521A (ja) * | 2017-10-16 | 2019-05-16 | 株式会社堀場製作所 | 分析装置 |
JP7075862B2 (ja) | 2017-10-16 | 2022-05-26 | 株式会社堀場製作所 | 分析装置 |
WO2023106196A1 (ja) * | 2021-12-10 | 2023-06-15 | 株式会社堀場製作所 | 分析装置及び分析方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10180393B2 (en) | Sample cell | |
US9274048B2 (en) | Gas concentration calculation device and gas concentration measurement module | |
US8299433B2 (en) | Multi-channel optical cell | |
US10072980B2 (en) | Spectrometer with variable beam power and shape | |
FI129342B (en) | Low volume multi-reflection cell | |
AU2015303969A1 (en) | Spectrometer with active beam steering | |
CN112198169A (zh) | 一种晶圆检测装置及线上成套设备 | |
JP2017156304A (ja) | ガス検知装置 | |
JP3760234B2 (ja) | 双楕円柱面鏡を用いた対称x型光学系 | |
US6914680B2 (en) | Optical system for measurement of optical constant | |
JP2015114298A (ja) | 分光光度計および分析システム | |
JP2006138727A (ja) | 粒子分析装置 | |
US9915604B2 (en) | Gas concentration measurement device | |
JP2010243172A (ja) | 多層型マルチパスセルおよびガス測定器 | |
KR101960223B1 (ko) | 자동 가변 광 경로형 ftir 혼합가스측정장치 | |
JP3637393B2 (ja) | 入射角度可変の絶対反射率と絶対透過率測定光学系 | |
JP2010249726A (ja) | ガス分析装置 | |
WO2015151233A1 (ja) | 分光測定装置及び積分球 | |
CN107036981B (zh) | 吸收光谱仪 | |
JP4486805B2 (ja) | 分光分析装置 | |
CN110308168A (zh) | X射线衍射装置 | |
JP5325137B2 (ja) | ガス濃度算出装置およびガス濃度計測モジュール | |
EP3165904B1 (en) | Gas concentration measurement device | |
JP2011149833A (ja) | 分光光度計、および分光光度計の光源切換方法 | |
JP3119622U (ja) | 分光光度計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20170907 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20170908 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180907 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190528 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190529 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20191203 |