JP2017150936A - 温度計測装置 - Google Patents

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【課題】加熱用ランプを用いてアルミろう付け工程の温度帯でワークを加熱する際のワーク温度を計測するにあたって、放射温度計を用いた温度計測を行うことができる温度計測装置を提供する。
【解決手段】加熱用ランプ11から放射される全波長の加熱光30が通る位置に設けられ、特定波長以下の加熱光のみを特定波長加熱光31として通す加熱側フィルタ12と、特定波長加熱光31の照射に応じてワークWから放射される全波長の熱放射光32の一部の波長の熱放射光を通す計測側フィルタ13と、計測側フィルタ13を通った熱放射光32aによってワークWの放射温度を計測する放射温度計14と、を設ける。
【選択図】図1

Description

本発明は、加熱用ランプを用いてアルミろう付け工程の温度帯でワークを加熱する際のワーク温度を計測する温度計測装置
高温のワーク温度を計測する手法として、下記特許文献1に記載されているような放射測温技術が知られている。下記特許文献1に記載されている放射測温技術は、放射温度計を用いるものであり、より具体的には測定に使用する波長が2つの2色温度計を用いるものである。
特開平5−142051号公報
上記特許文献1に記載の放射測温技術は、鋼板製造の際の高熱鋼板の温度を測定するものであり、高炉で熱せられた後に高炉から出た状態の鋼板温度を測定するものである。この鋼板温度は700℃以上であり、鋼板が放射する熱放射光は短波長側で急峻に放射輝度が変化すると共に、放射輝度も高いものである。そのため、測定用の2波長としては、近接する2波長を選択することが可能であり、近接する2波長の熱放射光の放射率が略等しいものとして温度を算出することができる。
ところで、加熱用ランプを用いてアルミろう付け工程の温度帯でワークを加熱する際には、上記特許文献1が対象としている鋼板製造とは事情が異なる。このようなアルミろう付け工程においては、炉の中にワークを入れ、同じく炉の中に配置された加熱用ランプから放射される加熱光をワークに当てるため、ワークからは加熱光の反射光と熱放射光とが混在して放射される。従って、放射測温をしようとした場合、加熱光の影響が重なってしまい正確な温度計測をすることができない。
また、アルミろう付け工程の温度帯は、室温から630℃程度の温度帯であり、この温度帯での熱放射光は長波長側に放射輝度のピークがくると共に、その放射輝度は短波長側に比較して低いものであって、変化率も少ないものとなる。そのため、従来の技術のように熱放射光の短波長側の特性を利用した放射測温を適用することができない。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、加熱用ランプを用いてアルミろう付け工程の温度帯でワークを加熱する際のワーク温度を計測するにあたって、放射温度計を用いた温度計測を行うことができる温度計測装置を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明に係る温度計測装置は、加熱用ランプ(11)を用いてアルミろう付け工程の温度帯でワーク(W)を加熱する際のワーク温度を計測する温度計測装置であって、加熱用ランプから放射される全波長の加熱光が通る位置に設けられ、特定波長以下の加熱光のみを特定波長加熱光(31)として通す加熱側フィルタ(12)と、特定波長加熱光の照射に応じてワークから放射される全波長の熱放射光(32)の一部の波長の熱放射光を通す計測側フィルタ(13)と、計測側フィルタを通った熱放射光(32a)によってワークの放射温度を計測する放射温度計(14)と、を備える。
本発明によれば、加熱光が通る位置に加熱側フィルタを設けているので、加熱用ランプから放射される全波長の加熱光においてワークの温度計測の際に重複してしまう波長を除去し、特定波長以下の加熱光のみを特定波長加熱光としてワークに当てることができる。ワークから放射される熱放射光は、計測側フィルタを通って放射温度計に到達するので、計測側フィルタの構成に応じた放射測温が可能となる。
尚、「課題を解決するための手段」及び「特許請求の範囲」に記載した括弧内の符号は、後述する「発明を実施するための形態」との対応関係を示すものであって、「課題を解決するための手段」及び「特許請求の範囲」に記載の発明が、後述する「発明を実施するための形態」に限定されることを示すものではない。
本発明によれば、加熱用ランプを用いてアルミろう付け工程の温度帯でワークを加熱する際のワーク温度を計測するにあたって、放射温度計を用いた温度計測を行うことができる温度計測装置を提供することができる。
図1は、本発明の実施形態である温度計測装置を含む加熱炉の構成を模式的に示す図である。 図2は、本発明の実施形態である温度計測装置の構成を模式的に示す図である。 図3は、本発明の実施形態である温度計測装置が測定対象とする放射光について説明するための図である。 図4は、比較例としての温度計測装置の構成を模式的に示す図である。
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては可能な限り同一の符号を付して、重複する説明は省略する。
図1に示される本実施形態の加熱炉2は、本発明に係る温度計測装置を含むものである。加熱炉2は、炉本体10と、加熱用ランプ11と、加熱側フィルタ12と、計測側フィルタ13と、放射温度計14と、を備えている。
炉本体10は、ワークWをその内部に収めることができ、ワークWを加熱するためのものである。本実施形態の場合、ワークWはアルミ熱交換器といったアルミ部材組立製品であり、アルミろう付け工程の温度帯で加熱される。
加熱用ランプ11は、本実施形態の場合赤外線ランプである。加熱用ランプ11は、赤外広帯域波長の加熱光を放射するものである。本実施形態の場合、加熱用ランプ11は、炉本体10の内部に設けられている。尚、必ずしも加熱用ランプ11が炉本体10の内部に設けられていなくてもよく、加熱用ランプ11から放射される加熱光がワークWに到達することができれば、炉本体10の外部に配置されても構わない。
加熱側フィルタ12は、本実施形態の場合石英ガラスによって形成されるガラス板である。加熱側フィルタ12は、特定波長以下の加熱光のみを特定波長加熱光として通すように構成されている。より具体的には、加熱側フィルタ12は、特定波長が5μmとなるように構成されているので、5μm以下の波長の加熱光のみを特定波長加熱光として通すものである。加熱側フィルタ12は、加熱用ランプ11とワークWとの間に配置されている。より具体的には、加熱用ランプ11から放射される全波長の加熱光が通る位置に設けられている。
計測側フィルタ13は、特定波長加熱光の照射に応じてワークWから放射される全波長の熱放射光の一部の波長の熱放射光を通すように構成されている。計測側フィルタ13は、ワークWと放射温度計14との間に設けられている。本実施形態の場合、炉本体10の側壁の一部を利用して計測側フィルタ13が設けられているが、可動性の観点からは炉本体10の外側に設けることも好ましい態様である。
続いて、図2及び図3を参照しながら、温度計測装置についての説明を続ける。加熱用ランプ11から放射される全波長の加熱光30は、加熱側フィルタ12を通って、特定波長加熱光31となってワークWに至る。
図3に示されるように、加熱光30は特性線L1のような特性を持つ光である。加熱光30のピークは、ゾーンAであって、その波長は0.8μmから1.0μmである。特性線L1のままでワークWに照射してしまうと、長波長側の光も届いてしまい、ワークWからの熱放射光と混在してしまう。そこで、加熱側フィルタ12を通すことで、5μmよりも長い波長の光をカットし、特性線L2に示すような特定波長加熱光31としてワークWに照射する。本実施形態では、特定波長Bは5μmである。
本実施形態の場合、ワークWの加熱温度帯は室温相当の27℃から630℃までとしている。図3に示されるように、27度の熱放射光32は特性線L4で示される特性を示し、630℃の熱放射光32は特性線L3で示される特性を示す。
図2に示されるように、熱放射光32は、ワークWから計測側フィルタ13に向かう。ワークWと計測側フィルタ13とは離隔配置されているので、ワークWと計測側フィルタ13との間には空気または窒素の空間が形成されている。赤外光は、いわゆる「大気の窓」と呼ばれる大気に吸収されにくく、透過し易い波長域として、8μmから14μmの波長域がある。従って、ゾーンCの波長の光が熱放射光32として計測側フィルタ13に向かう。
計測側フィルタ13は、長波長帯域の熱放射光を通すように形成されている。計測側フィルタ13は、第1フィルタ部131及び第2フィルタ部132を有している。第1フィルタ部131は、第1波長の熱放射光32aを通すように構成されている。第2フィルタ部132と、第1波長と異なる第2波長の熱放射光32aを通すように構成されている。
計測側フィルタ13は、ワークWから放射温度計14に向かう熱放射光32が、第1フィルタ部131及び第2フィルタ部132を選択的に通るように往復動作する。このように往復動作することで、放射温度計14によって順次放射輝度を計測し、その計測値の比をとることで校正式によりワークWの温度を求めることができる。
本実施形態のように長波長側の熱放射光32を計測対象とする場合には、放射輝度が相対的に低下し、信号量が減ってしまうことに留意する必要がある。ワークWが放射する熱放射光のうち利用するのは、8μmから14μmなので、この範囲内で極力波長幅を広く取ることが好ましい。従って、第1フィルタ部131及び第2フィルタ部132は、それぞれが透過する第1波長と第2波長は、第1波長から長波長帯域の長波長側境界(14μm)までの波長域及び第2波長から短波長帯域の短波長側境界(8μm)までの波長域で形成されることも1つの好ましい態様である。このように選択された波長幅に対して、ワークWの測定対象部位毎に予め別の温度測定方法による測定結果等を利用して校正式を準備する。
比較例としての温度計測装置の一例について、図4を参照しながら説明する。図4に示されるように、加熱用ランプ11から放射される全波長の加熱光30は、加熱側フィルタ12が設けられていなければ、そのままワークWに到達する。ワークWからは、ワークWの温度に応じた熱放射光32の他に、加熱光30の反射光30Rも放射される。従って、計測側フィルタ13Mを介在させたとしても、熱放射光32の透過光である熱放射光32aの他に、反射光30Rの透過光30Raも放射温度計14に到達してしまう。上記した本実施形態では、図2を参照しながら説明したように、この反射光30Rの影響を排除できるので、より正確にワークWの温度を計測することができる。
また、比較例の計測側フィルタ13Mは、円板状に形成されており、第1フィルタ部131M及び第2フィルタ部132Mが交互に配置されている。この場合、計測側フィルタ13Mを回転させて、熱放射光32の光路上に第1フィルタ部131M及び第2フィルタ部132Mが交互に存在するようにし、温度計測を実行する。上記した本実施形態では、計測側フィルタ13を往復運動させているので、円板状の計測側フィルタ13Mに対して小型化できる。また、第1フィルタ部131M及び第2フィルタ部132Mはそれぞれ複数個配置する必要があるのに対し、第1フィルタ部131及び第2フィルタ部132は、各1つずつ配置するのみなので、装置を簡素化することができる。
本実施形態の加熱炉2に含まれる温度計測装置は、加熱用ランプ11から放射される全波長の加熱光30が通る位置に設けられ、特定波長以下の加熱光のみを特定波長加熱光31として通す加熱側フィルタ12と、特定波長加熱光の照射に応じてワークWから放射される全波長の熱放射光32の一部の波長の熱放射光を通す計測側フィルタ13と、計測側フィルタ13を通った熱放射光32aによってワークWの放射温度を計測する放射温度計14と、を備える。
本実施形態では、加熱光30が通る位置に加熱側フィルタ12を設けているので、加熱用ランプ11から放射される全波長の加熱光30においてワークWの温度計測の際に重複してしまう波長を除去し、特定波長以下の加熱光のみを特定波長加熱光31としてワークWに当てることができる。ワークWから放射される熱放射光32は、計測側フィルタ13を通って放射温度計14に到達するので、計測側フィルタ13の構成に応じた放射測温が可能となる。
また本実施形態では、加熱側フィルタ12は、5μm以下の波長の加熱光のみを特定波長加熱光31として通すように構成されている。温度測定に用いる長波長帯の加熱光を排除して特定波長加熱光31をワークWに照射できるので、図4に示されるような反射光30Rの影響を排除することができる。
また本実施形態では、加熱側フィルタ12は、石英ガラスによって形成されている。石英ガラスによって加熱側フィルタ12を形成することで、確実に5μm以下の波長の加熱光のみを特定波長加熱光31として通すことができる。
また本実施形態では、ワークWと計測側フィルタ13との間に空気または窒素の空間が形成されるように、ワークWと計測側フィルタ13とが離隔配置されている。図3に示されるように、空気または窒素の空間を通過する波長帯は8μmから14μmなので、この帯域の光を使って放射測温が可能となる。
また本実施形態では、計測側フィルタ13は、長波長帯域である8μmから14μmの熱放射光32を通すように形成されている。上記したように、計測側フィルタ13に到達する熱放射光32の帯域はワークWが放射する広帯域の赤外線波長であるため、8μmから14μmの帯域に適合した計測側フィルタ13とすることで、長波長帯域を使った放射測温が可能となる。
また本実施形態では、計測側フィルタ13は、第1波長の熱放射光32aを通す第1フィルタ部131と、第1波長と異なる第2波長の熱放射光32aを通す第2フィルタ部132と、を有する。長波長帯域である8μmから14μmに含まれ、且つ互いに異なる波長の熱放射光32aを選択的に通すことで、放射温度計14による2色温度計を構成することができる。
また本実施形態では、計測側フィルタ13は、ワークWから放射温度計14に向かう熱放射光32が、第1フィルタ部131及び第2フィルタ部132を選択的に通るように往復動作するように構成されている。図4を参照しながら説明した比較例に対して、装置を小型化できると共に、赤外線フィルタの使用量も低減することができる。
以上、具体例を参照しつつ本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明はこれらの具体例に限定されるものではない。これら具体例に、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。前述した各具体例が備える各要素およびその配置、条件、形状などは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。前述した各具体例が備える各要素は、技術的な矛盾が生じない限り、適宜組み合わせを変えることができる。
11:加熱用ランプ
12:加熱側フィルタ
13:計測側フィルタ
14:放射温度計
30:加熱光
31:特定波長加熱光
32:熱放射光
32a:熱放射光
131:第1フィルタ部
132:第2フィルタ部

Claims (7)

  1. 加熱用ランプ(11)を用いてアルミろう付け工程の温度帯でワーク(W)を加熱する際のワーク温度を計測する温度計測装置であって、
    前記加熱用ランプから放射される全波長の加熱光が通る位置に設けられ、特定波長以下の加熱光のみを特定波長加熱光(31)として通す加熱側フィルタ(12)と、
    前記特定波長加熱光の照射に応じて前記ワークから放射される全波長の熱放射光(32)の一部の波長の熱放射光を通す計測側フィルタ(13)と、
    前記計測側フィルタを通った前記熱放射光(
    32a)によって前記ワークの放射温度を計測する放射温度計(14)と、を備える温度計測装置。
  2. 前記加熱側フィルタは、5μm以下の波長の加熱光のみを特定波長加熱光として通す、請求項1記載の温度計測装置。
  3. 前記加熱側フィルタは、石英ガラスによって形成されている、請求項2記載の温度計測装置。
  4. 前記ワークと前記計測側フィルタとの間に空気または窒素の空間が形成されるように、前記ワークと前記計測側フィルタとが離隔配置されている、請求項1記載の温度計測装置。
  5. 前記計測側フィルタは、長波長帯域の熱放射光を通すように形成されている、請求項4記載の温度計測装置。
  6. 前記計測側フィルタは、第1波長の熱放射光を通す第1フィルタ部(131)と、前記第1波長と異なる第2波長の熱放射光を通す第2フィルタ部(132)と、を有する、請求項5記載の温度計測装置。
  7. 前記計測側フィルタは、前記ワークから前記放射温度計に向かう前記熱放射光が、前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部を選択的に通るように往復動作する、請求項6記載の温度計測装置。
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JP2020197450A (ja) * 2019-06-03 2020-12-10 シャープ株式会社 赤外線検出装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2019211227A (ja) * 2018-05-31 2019-12-12 学校法人早稲田大学 温度計測システム、加熱炉及び加熱炉内におけるワーク温度取得方法
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