JP2017138287A - 画像測定機およびプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
測定に先立ち、所望の測定精度を得るために各種のキャリブレーションを実行する。キャリブレーション項目としては、例えば、レンズの歪曲収差を補正するための歪曲補正パラメータの取得等を行うとよい。歪曲補正パラメータは、ガラス基板に校正用パターンを蒸着して高精度に作成したチャートを画像測定機で撮像し、得られた画像内における複数の特徴点の位置座標の、歪曲収差が無い場合の理想的な特徴点の位置座標に対する誤差に基づき求めるとよい。構成用のパターンとしては、例えば市松模様のパターンを用い、市松模様を構成する縦横の直線の交点を特徴点とするとよい。
はじめに、オペレータによるジョイスティック132の操作またはコンピュータシステム140による制御により、ワークWが撮像視野内に入るようステージ100を移動する。そして、ワークWにピントが合うよう、撮像ユニット120のZ軸方向位置を調節する。ピントをワークWに合せた後、撮像ユニット120により測定用の画像を撮像する。このとき、撮像した画像とともに、X軸エンコーダ102およびY軸エンコーダ104が出力するステージ100の座標が、コンピュータシステム140に取り込まれ、記憶部41に格納される。具体的には、撮像素子124が1枚の画像の撮像を完了するタイミングで位置取得機構110のラッチ118へのトリガ信号となるパルスを出力する。当該パルスの立ち上がり遷移のタイミングで(つまり、画像の撮像完了とほぼ同時に)、ラッチ118は各軸の位置座標をラッチし、保持する。コンピュータシステム140は、撮像素子124から画像信号を取り込むとともに、ラッチ118から画像を撮像したときの位置座標を取りこみ、両者を対応付けて記憶する。
撮像ユニット120による1回の撮像範囲よりも広い測定範囲を測定する場合、ステージ100をXY軸方向に順次移動させることにより撮像ユニット120をワークWに対し相対的に移動させながら、複数の画像で測定範囲全体を網羅するよう撮像を繰り返し、このようにして得られた複数の画像を貼り合わせて測定範囲全体をカバーする一枚の大きな画像を合成するイメージステッチを行う。以下では、図6に示すように9枚の画像に分けて撮像範囲全体を撮像する場合を例に説明するが、貼り合わせる画像の数はこれに限定されないことは言うまでもない。
コンピュータシステム140は、上記のようにして撮像した複数の元画像(IM1〜9)を貼り合わせて、測定範囲全体をカバーする一枚の大きな画像を合成するイメージステッチ処理を行う。
コンピュータシステム140は、イメージステッチ処理により合成した合成画像SIMをワークの画像WGとしてディスプレイ144における第1ウィンドウW1内に表示する。そして、オペレータによる操作を受け付け、操作に応じた測定を行う。
以下では、円形のエッジを検出する測定ツールを用いて合成画像SIM内の円形形状を検出し、検出した円の直径を測定する場合を例に説明する。
なお、上記に本実施形態及びその具体例を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
100 ステージ
110 位置取得機構
120 撮像ユニット
130 リモートボックス
140 コンピュータシステム
W ワーク(被測定物)
Claims (5)
- 被測定物を撮像する撮像手段と、
前記被測定物及び前記撮像手段を相対的に移動させる移動手段と、
前記撮像手段にて前記被測定物を撮像する位置を取得する位置取得手段と
前記撮像手段及び前記移動手段を制御する制御手段と、
前記撮像手段が撮像した画像を表示する表示手段と、
前記表示手段が表示する画像に対する測定指示を受け付ける測定指示受付手段と、
前記測定指示受付手段が受付けた測定指示に従い測定を実行する測定命令実行手段と、
を備え、
前記撮像手段にて撮像される画像に基づいて前記被測定物を測定する画像測定機であって、
前記制御手段は、
前記移動手段にて前記被測定物及び前記撮像手段を相対的に移動させて前記撮像手段に複数の元画像を撮像させる撮像制御部と、
前記複数の元画像を貼り合わせて合成画像を生成する合成画像生成部と、
を備え、
前記表示手段は、前記合成画像生成部が生成した前記合成画像を表示し、
前記測定指示受付手段は、前記表示手段が表示する前記合成画像に対する測定指示を受け付け、
前記測定命令実行手段は、前記合成画像に対する測定指示を、個々の元画像に対する測定指示に変換し、個々の元画像に対する測定指示に従い測定を実行する
画像測定機。 - 前記表示手段は、前記合成画像に重畳して、個々の元画像に対して実行した測定の結果を表示することを特徴とする、請求項1に記載の画像測定機。
- 前記合成画像、前記複数の元画像、及び合成の処理に用いるパラメータを対応付けて記憶手段に格納することを特徴とする請求項1または2に記載の画像測定機。
- 被測定物を異なる相対位置で撮像した複数の元画像に基づいて前記被測定物を測定する画像測定プログラムであって、コンピュータに、
前記複数の元画像を貼り合わせて合成画像を生成する合成画像生成ステップと、
前記合成画像生成ステップで生成した前記合成画像を表示装置に表示させるステップと、
前記表示装置に表示した前記合成画像に対する測定指示の入力を受け付けるステップと、
前記合成画像に対する測定指示を、個々の元画像に対する測定指示に変換し、個々の元画像に対する測定指示に従い測定を実行するステップと
を実行させるための画像測定プログラム。 - 個々の元画像に対して実行した測定の結果を、前記合成画像に重畳して前記表示装置に表示させるステップをさらに備えることを特徴とする、請求項4に記載の画像測定プログラム。
Priority Applications (1)
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JP2016021305A JP6668095B2 (ja) | 2016-02-05 | 2016-02-05 | 画像測定機およびプログラム |
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JP6668095B2 JP6668095B2 (ja) | 2020-03-18 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN111210379A (zh) * | 2020-01-09 | 2020-05-29 | 珠海博明视觉科技有限公司 | 一种提高2d测量效率的图像采集和拼接优化方案 |
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- 2016-02-05 JP JP2016021305A patent/JP6668095B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN111210379A (zh) * | 2020-01-09 | 2020-05-29 | 珠海博明视觉科技有限公司 | 一种提高2d测量效率的图像采集和拼接优化方案 |
CN111210379B (zh) * | 2020-01-09 | 2023-05-02 | 珠海博明视觉科技有限公司 | 一种提高2d测量效率的图像采集和拼接优化方法 |
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JP6668095B2 (ja) | 2020-03-18 |
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