JP2000346638A - 測定手順ファイル生成方法、測定装置および記憶媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定対象が複雑な形状であっても、簡単に測
定ルートを設定することができる測定手順ファイル生成
方法を提供する。 【解決手段】 操作者により取得開始ボタン１１５が押
されると、撮影対象となるワークの開始点および終了点
を取得する（Ｓ６）。ステージ移動させながらＣＣＤカ
メラ３８でワークを１画面分ずつ撮影して保存する（Ｓ
７）。保存された各画像を結合し、ＣＲＴディスプレイ
２５に表示された結合画像１３０に対し、赤などの特定
色で塗りつぶすことによって測定領域を指定する（Ｓ
９）。レーザ測定ルートの生成条件である各種パラメー
タを入力した後、ルート生成ボタン１４３が押される
と、設定された各種パラメータにしたがって、レーザ測
定ルートを生成・表示する（Ｓ１５）。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物に対する
測定ルート（測定経路）などの測定手順が設定された測
定手順ファイルを生成する測定手順ファイル生成方法お
よび測定装置に関する。また、測定手順ファイルを生成
するプログラムが格納された記憶媒体に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、レーザプローブなどの非接触変位
計を用いて被測定物（測定対象）の位置などを測定する
三次元測定装置が知られており、このような三次元測定
装置では、測定前、測定対象の形状に合わせて、マニュ
アル操作により測定ルートの設定を行っていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、マニュ
アル操作で測定ルートを設定する場合、測定対象の形状
が複雑であると、測定ルートの設定が著しく困難であ
り、その設定に非常に多くの時間を要していた。

【０００４】そこで、本発明は、測定対象が複雑な形状
であっても、簡単に測定ルートを設定することができる
測定手順ファイル生成方法、測定装置および記憶媒体を
提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項１に記載の測定手順ファイル生成方
法は、被測定物を測定するための測定経路が設定された
測定手順ファイルを生成する測定手順ファイル生成方法
において、前記被測定物を撮影する工程と、該撮影によ
り得られた複数枚の画像を結合して前記被測定物全体の
画像を生成する工程と、該生成された被測定物の画像に
対して測定領域を指定する工程と、該指定された測定領
域に基づき、前記測定経路を生成する工程とを有するこ
とを特徴とする。

【０００６】請求項２に記載の測定手順ファイル生成方
法は、請求項１に係る測定手順ファイル生成方法におい
て、前記測定経路を生成するための条件を入力する工程
を有し、前記測定経路を生成する工程では、前記入力さ
れた条件にしたがって、前記測定経路を生成することを
特徴とする。

【０００７】請求項３に記載の測定手順ファイル生成方
法は、請求項１または請求項２に係る測定手順ファイル
生成方法において、前記撮影する工程では、前記被測定
物の測定に用いられる測定ツールに付属のカメラと前記
被測定物とを相対的に移動させながら、該カメラで前記
被測定物の一部を連続撮影することを特徴とする。

【０００８】請求項４に記載の測定手順ファイル生成方
法は、請求項１または請求項２に係る測定手順ファイル
生成方法において、前記被測定物の画像を表示する工程
を有し、前記指定する工程では、前記表示された被測定
物の画像を特定色で塗りつぶすことにより前記測定領域
を指定することを特徴とする。

【０００９】請求項５に記載の測定手順ファイル生成方
法は、請求項４に係る測定手順ファイル生成方法におい
て、前記表示された被測定物の画像に前記生成された測
定経路を重ねて表示する工程を有することを特徴とす
る。

【００１０】請求項６に記載の測定手順ファイル生成方
法は、請求項３に係る測定手順ファイル生成方法におい
て、開始点および終了点を指定することにより前記カメ
ラの撮影範囲を設定する工程を有することを特徴とす
る。

【００１１】請求項７に記載の測定装置は、測定手順フ
ァイルに設定された測定経路にしたがって、被測定物を
測定する測定装置において、前記被測定物を撮影する撮
影手段と、該撮影により得られた複数枚の画像を結合し
て前記被測定物全体の画像を生成する画像生成手段と、
該生成された被測定物の画像に対して測定領域を指定す
る指定手段と、該指定された測定領域に基づき、前記測
定経路を生成する測定経路生成手段とを備えたことを特
徴とする。

【００１２】請求項８に記載の記憶媒体は、測定装置を
制御するコンピュータによって実行され、被測定物を測
定するための測定経路が設定された測定手順ファイルを
生成するプログラムが格納された記憶媒体において、前
記プログラムは、前記被測定物を撮影する手順と、該撮
影により得られた複数枚の画像を結合して前記被測定物
全体の画像を生成する手順と、該生成された被測定物の
画像に対して測定領域を指定する手順と、該指定された
測定領域に基づき、前記測定経路を生成する手順とを含
むことを特徴とする。

【００１３】ここで、開始点および終了点を指定するこ
とによりカメラの撮影範囲を設定する場合、カメラを直
接、開始点および終了点に移動させることにより設定し
てもよいし、開始点および終了点の座標をキーなどで入
力することによって設定してもよい。

【００１４】また、測定領域を指定する場合、ペイント
ソフトウェアに被測定物の画像を貼り付けておき、その
上から赤などの特定色をブラシツールなどにより塗りつ
ぶすことにより指定してもよい。さらに、特定色で塗り
つぶす代わりに、ペンツールなどで線で囲むようにして
もよいし、囲まれた内部のポジネガを反転させてもよ
い。例えば、モノクロカメラでワークをバックライトで
撮影した場合、ワークに穴があいている部分は光が透過
するので明るく、陰になる部分は暗く写るが、この明暗
を反転させて測定領域を示すようにしてもよい。

【００１５】またさらに、測定経路のパターンを予め登
録しておき、登録されたパターンの中から測定経路を選
択するようにしてもよい。この場合、選択可能な測定経
路のパターンとしては、Ｘ方向またはＹ方向に設定され
た測定ピッチで往復移動するパターン、設定された測定
ピッチで一方向に移動するパターン、渦巻き状のパター
ン、同心円状のパターンなどが挙げられる。これらのパ
ターンの選択を、画面に表示されたダイアログボックス
で行えるようにしてもよい。

【００１６】また、測定ツールとしては、光学式のレー
ザプローブ、接触式のタッチセンサなどが挙げられる。

【００１７】本発明によれば、操作者は、被測定物が複
雑な形状であっても、撮影された被測定物の画像に対し
て測定領域を指定することで、簡単に測定経路を設定す
ることができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明の測定手順ファイル生成方
法、測定装置および記憶媒体の実施の形態について説明
する。本実施形態の測定装置は、レーザプローブを用い
た光学式の三次元測定装置に適用される。

【００１９】図１は三次元測定装置の全体構成を示す斜
視図である。この三次元測定装置は、非接触画像測定機
能および非接触変位測定機能を有する三次元測定機１
と、この三次元測定機１の駆動を制御するとともに、必
要なデータ処理を行うコンピュータシステム２とから構
成されている。

【００２０】三次元測定機１は架台１１を有し、架台１
１の上には、被測定対象であるワーク１２を載置する測
定テーブル１３が装着されている。測定テーブル１３は
図示しないＹ軸駆動機構によりＹ軸方向に駆動される。

【００２１】架台１１の両側縁中央には、上方に延びる
支持アーム１４、１５が固定されており、この支持アー
ム１４、１５の両上端部を連結するようにＸ軸ガイド１
６が固定されている。このＸ軸ガイド１６には、撮像ユ
ニット１７が支持されている。撮像ユニット１７は、図
示しないＸ軸駆動機構によってＸ軸ガイド１６に沿って
駆動される。

【００２２】コンピュータシステム２は、計測情報処理
および各種制御を司るコンピュータ１２と、各種指示情
報を入力するキーボード２２、ジョイスティックボック
ス２３およびマウス２４、計測画面、指示画面および計
測結果を表示するＣＲＴディスプレイ２５、および計測
結果のプリントアウトを行うプリンタ２６を有する。

【００２３】図２は撮像ユニット１７の構成を示す図で
ある。撮像ユニット１７の内部には、Ｘ軸ガイド１６に
沿って移動自在なスライダ３１が設けられており、この
スライダ３１に一体にＺ軸ガイド３２が固定されてい
る。また、Ｚ軸ガイド３２には、支持板３３がＺ軸方向
に摺動自在に設けられており、この支持板３３には、画
像測定用の撮像手段であるＣＣＤカメラ３４、および非
接触変位計であるレーザプローブ３５が併設されてい
る。

【００２４】これにより、ＣＣＤカメラ３４およびレー
ザプローブ３５は、一定の位置関係を保ってＸ、Ｙ、Ｚ
の３軸方向に同時に移動できるようになっている。ＣＣ
Ｄカメラ３４には、撮像範囲を照明するための照明装置
３６が付加されている。レーザプローブ３５の近傍位置
には、レーザプローブ３５のレーザビームによる測定位
置を確認するために測定位置の周辺を撮像するＣＣＤカ
メラ３８、およびレーザプローブ３５の測定位置を照明
するための照明装置３９が設けられている。

【００２５】レーザプローブ３５は上下動機構４０およ
び回転機構４１に支持されている。上下動機構４０は、
撮像ユニット１７を移動する際、レーザプローブ３５を
退避させる。回転機構４１はレーザビームの方向を最適
な方向に適合させる。

【００２６】図３はレーザプローブの光学的構成を示す
図である。半導体レーザ５１から放射された光は、ビー
ムスプリッタ５２および１／４波長板５３を介してコリ
メートレンズ５４によって平行光線となり、ミラー５
５、５６および対物レンズ５７を介してワーク１２の測
定部に光スポットを形成する。

【００２７】ワーク１２の測定部から反射された光は、
ミラー５６、５５、コリメートレンズ５４および１／４
波長板５３の逆経路を辿ってビームスプリッタ５２で反
射され、エッジミラー５８で上下に二分割される。

【００２８】上下に分割された光は、上下に配置された
２分割受光素子５９、６０で検出される。検出回路６１
は、２分割受光素子５９、６０からの出力信号を基に、
対物レンズ５７の焦点位置からワーク１２の測定面まで
のずれ量に応じた信号を出力する。

【００２９】サーボ回路６３は、検出回路６１の検出出
力に基づいて駆動機構６４に対物レンズ５７を駆動する
ための駆動信号を出力する。対物レンズ５７が上下動す
ると、変位検出器６６の可動部材６７が固定部材６８に
対して移動する。この移動量が変位量として出力され
る。

【００３０】図４は三次元測定機１およびコンピュータ
システム２の電気的構成を示すブロック図である。三次
元測定機１では、画像測定用のＣＣＤカメラ３４および
レーザプローブ３５の測定位置確認用のＣＣＤカメラ３
８でワーク１２を撮影して得られた画像信号は、それぞ
れＡ／Ｄ変換器７１、７２で多値画像データに変換され
た後、選択回路７３によっていずれか一方が選択されて
コンピュータ２１に供給される。

【００３１】ＣＣＤカメラ３４、３８の撮像に必要な照
明光は、コンピュータ２１の制御に基づき、照明制御部
７４、７５が照明装置３６、３９をそれぞれ制御するこ
とにより与えられる。レーザプローブ３５から得られた
変位量の信号は、Ａ／Ｄ変換器７６を介してコンピュー
タ２１に供給される。

【００３２】そして、これらを含む撮像ユニット１７
は、コンピュータ２１の制御に基づいて動作するＸＹＺ
駆動部７７によってＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に駆動される。撮
像ユニット１７のＸ、Ｙ、Ｚ軸方向の位置は、ＸＹＺ軸
エンコーダ７８によって検出され、コンピュータ２１に
供給される。

【００３３】一方、コンピュータ２１は、ＣＰＵ８１、
このＣＰＵ８１に接続される多値画像メモリ８２、ＲＯ
Ｍからなるプログラム記憶部８３、ワークメモリ８４、
Ｉ／Ｏインターフェース８５、８６、９１および表示制
御部８７から構成される。表示制御部８７は多値画像メ
モリ８１に記憶された多値画像データをＣＲＴディスプ
レイ２５に表示する。

【００３４】ＣＰＵ８１は、画像測定モードとレーザ測
定モードとで選択回路７３を切り換える。選択回路７３
で選択された画像測定用の多値画像データまたはレーザ
測定用の多値画像データは、多値画像メモリ８２に格納
される。多値画像メモリ８２に格納された多値画像デー
タは、表示制御部８７の表示制御動作によってＣＲＴデ
ィスプレイ２５に表示される。

【００３５】一方、キーボード２２、ジョイスティック
２３およびマウス２４から入力されるオペレータの指示
情報は、インターフェース８５を介してＣＰＵ８１に入
力される。また、ＣＰＵ８１には、レーザプローブ３５
で検出された変位量やＸＹＺ軸エンコーダ７８からのＸ
ＹＺ座標情報などを取り込む。

【００３６】ＣＰＵ８１は、これらの入力情報、オペレ
ータの指示およびプログラム記憶部８３に格納されたプ
ログラムに基づいて、ＸＹＺ軸駆動部７７によるステー
ジの移動、測定値の演算処理などの各種処理を実行す
る。ワークメモリ８４は、ＣＰＵ８１の各種処理のため
の作業領域を提供する。測定値は、インターフェース８
６を介してプリンタ２６に出力される。

【００３７】また、Ｉ／Ｏインターフェース９１を介し
て接続されるハードディスク９２などのストレージメモ
リには、後述する測定パートプログラム、測定データ、
解析データなどが記憶される。

【００３８】上記構成を有する三次元測定装置では、Ｃ
ＣＤカメラ３４を用いた画像測定モードおよびレーザプ
ローブ３５を用いたレーザ測定モードの２つのモードで
ワーク測定を行うことが可能である。ここでは、レーザ
プローブ３５を用いてワーク測定を行う際、ワークに対
するレーザプローブ３５の移動経路、つまり測定ルート
が設定された測定パートプログラムの生成方法につい
て、以下に説明する。

【００３９】図５および図６は測定パートプログラムの
生成処理手順を示すフローチャートである。この処理プ
ログラムはプログラム記憶部８３に格納されており、操
作者によって所定のキー入力があった時、ＣＰＵ８１に
よって実行される。

【００４０】測定パートプログラム生成処理プログラム
が起動すると、まず、ＣＲＴディスプレイ２５にメイン
画面１０１を表示する（ステップＳ１）。図７はメイン
画面１０１を示す図である。このメイン画面１０１に
は、画像取込ボタン１０２、測定プログラム生成・実行
ボタン１０３、ファイルオープン（ファイルを開く）ボ
タン１０４、ファイルセーブ（ファイルを保存）ボタン
１０５、クローズボタン１０６などが設けられている。

【００４１】操作者により画像取込ボタン１０２が押さ
れる（クリックされる）のを待ち（ステップＳ２）、画
像取込ボタン１０２が押されると、画像取得ダイアログ
ボックス１１０を表示する（ステップＳ３）。図８は画
像取得ダイアログボックス１１０を示す図である。画像
取得ダイアログボックス１１０には、「マニュアルツー
ルによる位置指定」、「座標指定」のいずれかの画像取
得方法を選択するための選択ボタン１１２、取得開始ボ
タン１１５、閉じるボタン１１６、キャンセルボタン１
１７などが設けられている。選択ボタン１１２により
「座標指定」が選択された場合、開始点および終了点の
座標を直接入力することが可能である。ここでは、「マ
ニュアルツールによる位置指定」が選択された場合につ
いて示す。

【００４２】操作者により画像取得方法が選択されると
（ステップＳ４）、取得開始ボタン１１５が押されるの
を待ち（ステップＳ５）、取得開始ボタン１１５が押さ
れると、撮影対象となるワークの開始点および終了点を
取得する（ステップＳ６）。すなわち、ステップＳ４で
取得された画像取得方法が「マニュアルツールによる位
置指定」である場合、操作者は測定テーブル１３あるい
はＣＣＤカメラ３８を動かして撮影範囲となるステージ
を移動させながら、ワークの開始点および終了点を指定
する。図９はワークの開始点および終了点を示す図であ
る。本実施形態では、ワークとして、四角形および円形
の孔が形成された略長方形のベースプレートが用いられ
ている。図中、ワーク１２０の左下に示される十字の中
心を開始点１２１とし、図中右上に示される十字の中心
を終了点１２２として、撮影対象範囲を指定する。開始
点１２１および終了点１２２を囲む四角枠１２１ａ、１
２２ａは、それぞれＣＣＤカメラ３８の撮影範囲を示
す。

【００４３】指定された撮影対象範囲に対し、１画面分
ずつステージ移動させながらＣＣＤカメラ３８で撮影
し、撮影した画像を画像ファイルとして自動的に多値画
像メモリ８２に保存する（ステップＳ７）。図１０はス
テージ移動しながらワークを連続的に撮影する様子を示
す図である。ここでは、各撮影画像は重複しないように
撮影されており、それぞれＴＩＦＦ形式の画像ファイル
として保存される。

【００４４】次に、多値画像メモリ８２に保存された各
画像を結合して１画像（結合画像）とするとともに、結
合画像をＣＲＴディスプレイ２５に表示する（ステップ
Ｓ８）。図１１は結合画像が表示された状態の画面を示
す図である。尚、図１１および後述する図１２、図１４
においては、分かり易くするために、濃淡が省略され、
外形線だけが描かれている。結合画像１３０をＣＲＴデ
ィスプレイ２５に表示する場合、例えば、予め起動して
おいたペイントソフトウェアの画面上に結合画像１３０
を貼り付けることで表示可能である。

【００４５】そして、表示された結合画像１３０に対
し、測定領域が指定されたか否かを判別する（ステップ
Ｓ９）。本実施形態では、測定領域は赤などの特定色で
塗りつぶすことによって指定される。すなわち、ペイン
トソフトウェアの画面上に貼り付けられた結合画像１３
０の上から重ねるように、操作者がブラシツールなどで
色付けすることにより指定することが可能である。図１
２は測定領域が特定色で指定された状態の画面を示す図
である。図において、赤色で塗りつぶされた斜線部分１
３２の範囲が測定領域である。ここで、太い縁取り部分
はマージン領域１５２を示している。マージン領域１５
２は画面上に黄色で示される。このように、操作者は測
定領域の指定を極めて簡単に行うことができる。尚、特
定色で塗りつぶす代わりに、ペンツールなどを用いて線
で囲むようにしてもよいし、囲まれた内側の部分をポジ
ネガ反転で表示してもよい。例えば、モノクロカメラで
ワークをバックライトで撮影した場合、ワークに穴があ
いている部分は光が透過するので明るく、陰になる部分
は暗く写るが、この明暗を反転させて測定領域を示すよ
うにしてもよい。こうして、測定領域が指定されると、
指定された測定領域を結合画像とともに多値画像メモリ
８２に保存する（ステップＳ１０）。

【００４６】つづいて、図７のメイン画面１０１で測定
パートプログラム生成・実行ボタン１０３が押されるの
を待ち（ステップＳ１１）、測定パートプログラム生成
・実行ボタン１０３が押されると、レーザ測定ルートを
生成する条件としての各種パラメータを入力するための
レーザ測定ルート生成ダイアログボックスを表示する
（ステップＳ１２）。図１３はレーザ測定ルート生成ダ
イアログボックスを示す図である。レーザ測定ルート生
成ダイアログボックス１４２では、測定方向、測定ピッ
チ、マージン距離、最短測定長および接続ドットの設定
が可能である。ここで、「マージン距離」の設定では、
測定領域の端面から実際に測定する位置までのマージン
を設定することが可能であり、ワーク毎の形状のばらつ
きを吸収できる。「最短測定長」の設定では、測定結果
のフィルタ処理時に必要な測定長を確保するために、１
測定の最低長さを設定することが可能である。「接続ド
ット」の設定では、画像に含まれる異常点などのノイズ
成分を、設定されたドット数（ピクセル数）以内で除去
するために、最少ピクセル数を設定することが可能であ
る。このように、各種パラメータの設定による機能を、
三次元測定機が有することで、その操作性を高めること
ができる。

【００４７】そして、ルート生成ボタン１４３が押され
たか否かを判別し（ステップＳ１３）、ルート生成ボタ
ン１４３が押されると、レーザ測定ルート生成ダイアロ
グボックス１４２で設定された各種パラメータを読み込
み（ステップＳ１４）、設定された各種パラメータにし
たがって、測定パートプログラム（レーザ測定ルート）
を生成・表示する（ステップＳ１５）。図１４は結合画
像に重なって画面に表示される測定ルートだけを示す図
である。本実施形態では、測定ルート１５０は前述した
ペイントソフトウェアの画面上に青線で示され、測定領
域内を設定された測定ピッチでＸ方向に往復移動する経
路である。図中、穴に相当する空白部分は、測定されず
にすばやく通過することになる。

【００４８】また、生成された測定パートプログラムは
ワークメモリ８４に一旦、記憶された後、Ｉ／Ｏインタ
フェース９１を介してハードディスク９２などのストレ
ージメモリに登録される。

【００４９】こうして、測定パートプログラムが生成さ
れると、レーザ測定ダイアログボックス１６１を表示す
る（ステップＳ１６）。図１５はレーザ測定ダイアログ
ボックス１６１を示す図である。レーザ測定ダイアログ
ボックス１６１には、レーザ測定に必要な各種パラメー
タとして、シーク範囲、シーク速度（ｍｍ／ｓ）、スキ
ャン速度（ｍｍ／ｓ）、サンプリングレート、レーザモ
ード、レーザ回転位置、フィルタリングを行うか否かの
設定、高周波（ｋＨｚ）、低周波（ｋＨｚ）などのレー
ザ設定項目が設けられている。また、レーザ測定ダイア
ログボックス１６１の上部には、マニュアルでレーザ測
定ルートを設定する際に用いられる領域指定、ルート生
成、ルート確認などのボタンが設けられている。

【００５０】操作者によってレーザ測定に必要なこれら
の各種パラメータが設定されたか否かを判別し（ステッ
プＳ１７）、各種パラメータが設定されると、測定実行
ボタン１６２が押されたか否かを判別する（ステップＳ
１８）。

【００５１】測定実行ボタン１６２が押されると、生成
された測定パートプログラムにしたがって、レーザプロ
ーブ３５のレーザビームによる測定を実行し（ステップ
Ｓ１９）、測定結果としての測定データをファイルとし
て、Ｉ／Ｏインターフェース９１を介してハードディス
ク（ＨＤ）９２に出力する（ステップＳ２０）。

【００５２】さらに、解析プログラムを起動して測定デ
ータを解析し、解析した結果、例えば、平面度、振れな
どのデータを測定データとともにＣＲＴディスプレイ２
５に表示する（ステップＳ２１）。図１６は解析結果と
して平面度が表示された状態の画面を示す図である。

【００５３】このように、本実施形態の三次元測定装置
では、測定対象が複雑な形状であっても、簡単に測定パ
ートプログラムを生成することができる。また、カメラ
視野内に収まらないような測定対象物の測定ルートも簡
単に設定することができる。

【００５４】尚、上記実施形態では、測定ルートのパタ
ーンとして、Ｘ方向またはＹ方向に設定された測定ピッ
チで往復移動する経路を示したが、パターンとしては特
に限定されるものではない。図１７は測定ルートとして
の他のパターンを示す図である。同図（Ａ）は設定され
た測定ピッチで一方向に移動する経路を示す。同図
（Ｂ）は渦巻き状の経路を示す。同図（Ｃ）は同心円状
の経路を示す。このようなパターンの選択は、図１３の
レーザ測定ルート生成ダイアログボックスで行えるよう
にしてもよい。

【００５５】また、本実施形態では、測定パートプログ
ラムの生成と実行とが同一のボタンにより、連続して起
動させる構成であったが、別々に起動させる構成であっ
てもよい。すなわち、測定パートプログラム生成ボタン
と測定パートプログラム実行ボタンとを別々にメイン画
面に設けてもよい。

【００５６】さらに、上記実施形態では、レーザプロー
ブを用いた光学式の測定装置に適用した場合を示した
が、タッチセンサを用いた接触式の測定装置に適用して
もよい。

【００５７】また、上記実施形態では、モノクロ画像の
場合を示したが、カラーＣＣＤを用いて撮影したカラー
画像を結合・表示するようにしてもよい。

【００５８】さらに、本発明は三次元測定装置に搭載さ
れる記憶媒体としても実現可能である。図１８はプログ
ラム記憶部８３のメモリマップを示す図である。プログ
ラム記憶部８３は前述したようにＲＯＭからなり、プロ
グラム記憶部８３には、図５および図６のフローチャー
トに示す測定パートプログラム生成・実行処理プログラ
ムモジュールが格納されている。このようなプログラム
モジュールが格納された記憶媒体としては、ＲＯＭに限
らず、例えばフロッピーディスク、ハードディスク、光
ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、
ＤＶＤ、不揮発性のメモリカードなどであってもよい。

【００５９】

【発明の効果】本発明によれば、測定対象が複雑な形状
であっても、簡単に測定ルートを設定することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】三次元測定装置の全体構成を示す斜視図であ
る。

【図２】撮像ユニット１７の構成を示す図である。

【図３】レーザプローブの光学的構成を示す図である。

【図４】三次元測定機１およびコンピュータシステム２
の電気的構成を示すブロック図である。

【図５】測定パートプログラムの生成処理手順を示すフ
ローチャートである。

【図６】図５につづく測定パートプログラムの生成処理
手順を示すフローチャートである。

【図７】メイン画面１０１を示す図である。

【図８】画像取得ダイアログボックス１１０を示す図で
ある。

【図９】ワークの開始点および終了点を示す図である。

【図１０】ステージ移動しながらワークを連続的に撮影
する様子を示す図である。

【図１１】結合画像が表示された状態の画面を示す図で
ある。

【図１２】測定領域が特定色で指定された状態の画面を
示す図である。

【図１３】レーザ測定ルート生成ダイアログボックスを
示す図である。

【図１４】結合画像に重なって画面に表示される測定ル
ートだけを示す図である。

【図１５】レーザ測定ダイアログボックス１６１を示す
図である。

【図１６】解析結果として平面度が表示された状態の画
面を示す図である。

【図１７】測定ルートとしての他のパターンを示す図で
ある。

【図１８】プログラム記憶部８３のメモリマップを示す
図である。

【符号の説明】

１…三次元測定機 ２…コンピュータシステム ２５…ＣＲＴディスプレイ ３５…レーザプローブ ３８…ＣＣＤカメラ ８１…ＣＰＵ ８３…プログラム記憶部 １０１…メイン画面 １１０…画像取得ダイアログボックス １４２…レーザ測定ルート生成ダイアログボックス １２０…ワーク １３０…結合画像 １５０…測定ルート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小松 浩一 神奈川県川崎市高津区坂戸１丁目20番１号 株式会社ミツトヨ内 (72)発明者 松宮 貞行 神奈川県川崎市高津区坂戸１丁目20番１号 株式会社ミツトヨ内 Ｆターム(参考） 2F065 AA04 AA53 DD00 FF04 GG04 JJ03 JJ23 JJ26 LL12 LL36 LL46 MM01 MM03 MM24 QQ03 QQ24 QQ31 SS13 UU06 2F069 AA04 AA66 DD00 DD26 GG07 JJ26 PP00

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定物を測定するための測定経路が設
   定された測定手順ファイルを生成する測定手順ファイル
   生成方法において、 前記被測定物を撮影する工程と、 該撮影により得られた複数枚の画像を結合して前記被測
   定物全体の画像を生成する工程と、 該生成された被測定物の画像に対して測定領域を指定す
   る工程と、 該指定された測定領域に基づき、前記測定経路を生成す
   る工程とを有することを特徴とする測定手順ファイル生
   成方法。
2. 【請求項２】 前記測定経路を生成するための条件を入
   力する工程を有し、 前記測定経路を生成する工程では、前記入力された条件
   にしたがって、前記測定経路を生成することを特徴とす
   る請求項１記載の測定手順ファイル生成方法。
3. 【請求項３】 前記撮影する工程では、前記被測定物の
   測定に用いられる測定ツールに付属のカメラと前記被測
   定物とを相対的に移動させながら、該カメラで前記被測
   定物の一部を連続撮影することを特徴とする請求項１ま
   たは請求項２記載の測定手順ファイル生成方法。
4. 【請求項４】 前記被測定物の画像を表示する工程を有
   し、 前記指定する工程では、前記表示された被測定物の画像
   を特定色で塗りつぶすことにより前記測定領域を指定す
   ることを特徴とする請求項１または請求項２記載の測定
   手順ファイル生成方法。
5. 【請求項５】 前記表示された被測定物の画像に前記生
   成された測定経路を重ねて表示する工程を有することを
   特徴とする請求項４記載の測定手順ファイル生成方法。
6. 【請求項６】 開始点および終了点を指定することによ
   り前記カメラの撮影範囲を設定する工程を有することを
   特徴とする請求項３記載の測定手順ファイル生成方法。
7. 【請求項７】 測定手順ファイルに設定された測定経路
   にしたがって、被測定物を測定する測定装置において、 前記被測定物を撮影する撮影手段と、 該撮影により得られた複数枚の画像を結合して前記被測
   定物全体の画像を生成する画像生成手段と、 該生成された被測定物の画像に対して測定領域を指定す
   る指定手段と、 該指定された測定領域に基づき、前記測定経路を生成す
   る測定経路生成手段とを備えたことを特徴とする測定装
   置。
8. 【請求項８】 測定装置を制御するコンピュータによっ
   て実行され、被測定物を測定するための測定経路が設定
   された測定手順ファイルを生成するプログラムが格納さ
   れた記憶媒体において、 前記プログラムは、 前記被測定物を撮影する手順と、 該撮影により得られた複数枚の画像を結合して前記被測
   定物全体の画像を生成する手順と、 該生成された被測定物の画像に対して測定領域を指定す
   る手順と、 該指定された測定領域に基づき、前記測定経路を生成す
   る手順とを含むことを特徴とする記憶媒体。