JP2017125527A - 流路構造体及び流路構造体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】流路構造体を構成する部材を高精度に位置合わせし、所定の位置に固定すること。
【解決手段】蓋部材４４０との間で液体を貯留する液体室５１１を形成する第１凹部１２０と、第１凹部１２０の底面１４１に形成され液体の流路となる第１の孔１１１とを有する第１部材１１０と、底面１４１と当接する当接面２２０と、第１の孔１１１を露出させ液体の流路となる第２の孔２１１とを有する第２部材２１０と、を含み、第１部材１１０は、底面１４１に沿った方向における第２部材２１０の位置を決定する第１内壁面１２１を有することを特徴とする。
【選択図】図４

Description

本発明は、バルブユニットなどに適用可能な流路構造体、及び当該流路構造体の製造方法に関する。

例えば、液体（インク）を液滴（インク滴）として紙や記録シート等の記録媒体に噴射し、記録媒体に印刷を行うインクジェット式記録装置が知られている。

このようなインクジェット式記録装置には、インクタンクなどの液体貯留手段からチューブ等の供給管を介してインクジェット式記録ヘッドにインクが供給され、液体貯留手段から供給されたインクがインクジェット式記録ヘッドのノズル開口からインク滴として噴射されるものがある。また、液体貯留手段から供給されたインクがインクジェット式記録ヘッドに所定の圧力で供給されるように、インクの流路の途中に圧力調整弁であるバルブユニットが設けられたものが提案されている（例えば、特許文献１）。

バルブユニットは、弁座と、弁体とを具備し、弁体が弁座に当接することによりインクの流路を閉弁し、弁体が弁座から離間することでインクの流路を開弁するようになっている。このような弁座と弁体との開閉（離当接）は、下流側の流路の圧力によって行われる。

このようなバルブユニットでは、弁座と弁体とが開閉（離当接）を繰り返すことにより、弁座と弁体とが当接する領域（以降、当接領域と称す）にインクが堆積し、インクのリークが発生するおそれがある。このため、特許文献１に記載のバルブユニットでは、弁座の当接領域に撥水処理を施し、インクの堆積を抑制している。詳しくは、当接領域に撥水樹脂を含むシール部材を固定した弁体を、弁座に離当接させることによって、シール部材から溶出した撥水樹脂が弁座の当接領域に付着し、弁座の当接領域に撥水処理が施される。

特開２０１３−１３２８９４号公報

バルブユニットやバルブユニットを構成する部材（弁座、弁体、シール部材など）は、インクの流路を形成する流路構造体である。当該流路構造体は、インクジェット式記録ヘッドと同様に高精度化や高密度化が要求されている。

ところが、特許文献１では、撥水処理を施すための部材（シール部材）を高精度に位置合わせし、所定の位置に固定する方法が開示されておらず、高精度に位置合わせすることができないおそれがある。例えば流路構造体が撥水処理を施すための部材（シール部材）である場合に、撥水処理を施すための部材（シール部材）が所定の位置に固定されないと、当接領域に撥水処理が施されず、当接領域にインクが堆積するおそれがある。また、流路となる孔を有する部材が複数集まって流路構造体を構成する場合に、複数の部材が所定の位置に固定されないと、孔同士が連通しなかったり、孔が塞がったりしてしまうおそれがある。また、これらの複数の部材を互いに固定する場合に、部材および孔が小型であるほど適切な固定が難しい。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る流路構造体は、蓋部材との間で液体を貯留する液体室を形成する凹部と、前記凹部の底面に形成され前記液体の流路となる第１の孔とを有する第１部材と、前記底面と当接する当接面と、前記第１の孔を露出させ前記流路となる第２の孔とを有する第２部材と、を含み、前記第１部材は、前記底面に沿った方向における前記第２部材の位置を決定する当接部を有することを特徴とする。

第１部材の底面は、第２部材の当接面に当接し、底面に交差する方向における第１部材に対する第２部材の位置を決定する。さらに、第１部材の当接部は、第２部材に当接し、底面に沿った方向における第１部材に対する第２部材の位置を決定する。

本適用例では、第１部材の構成要素（底面、当接部）によって、自己整合的に第１部材に対する第２部材の位置合わせがなされている。従って、例えばアライメント装置を用いなくても、第１部材に対して第２部材を高精度または簡易に位置合わせすることができる。

［適用例２］上記適用例に係る流路構造体では、前記底面と前記当接面との間に、前記第１部材と前記第２部材とを固定する接着剤を有していることが好ましい。

接着剤によって第２部材を第１部材に固定すると、熱溶着や熱かしめなどの方法によって第２部材を第１部材に固定する場合と比べて、第２部材に作用する外力や熱の影響が小さくなるので、第２部材を第１部材に固定する場合に第２部材の第１部材に対する位置ずれが小さくなり、第２部材を第１部材に対して高精度に固定することができる。

［適用例３］上記適用例に係る流路構造体では、前記第１部材及び前記第２部材の少なくとも一方は、さらに、前記底面へ近づくにつれて前記第１の孔または前記第２の孔の径を大きくするテーパ部を有することが好ましい。

底面へ近づくにつれて第１の孔または第２の孔の径を大きくするテーパ部を設けると、テーパ部によって新たな空間が形成され、例えば第２部材と第１部材との間からはみ出した余分な接着剤を収容し、余分な接着剤をテーパ部によって形成された新たな空間に留めることができる。従って、はみ出した余分な接着剤は、テーパ部から第１の孔または第２の孔の側に流動しにくくなり、はみ出した余分な接着剤が第１の孔または第２の孔の一部を閉塞するという不具合を抑制することができる。

［適用例４］本適用例に係る流路構造体は、蓋部材との間で液体を貯留する液体室を形成する凹部と、前記凹部の底面に形成され前記液体の流路となる第１の孔とを有する第１部材と、前記底面と当接する当接面と、前記第１の孔を露出させ前記流路となる第２の孔とを有する第２部材と、を含み、前記第１部材及び前記第２部材の少なくとも一方は、さらに、前記底面へ近づくにつれて前記第１の孔または前記第２の孔の径を大きくするテーパ部を有することを特徴とする。

底面へ近づくにつれて第１の孔または第２の孔の径を大きくするテーパ部を設けると、テーパ部によって新たな空間が形成される。当該新たな空間は、第１の孔または第２の孔の一部を閉塞させる不要な構成要素（例えば、はみ出した余分な接着剤）を留め、当該不要な構成要素が第１の孔または第２の孔の側に移動しにくくなる。例えば、不要な構成要素が第１の孔または第２の孔の一部を閉塞するという不具合を抑制することができる。

［適用例５］上記適用例に係る流路構造体では、前記第１部材は、さらに、前記底面に沿った方向における前記第２部材の位置を決定する当接部を有することが好ましい。

第１部材の底面は、第２部材の当接面に当接し、底面に交差する方向における第１部材に対する第２部材の位置を決定する。第１部材の当接部は、第２部材に当接し、底面に沿った方向における第１部材に対する第２部材の位置を決定する。よって、第１部材の構成要素（底面、当接部）によって、自己整合的に第１部材に対する第２部材の位置合わせがなされている。従って、例えばアライメント装置を用いなくても、アライメント装置を用いて位置合わせする場合よりも、第１部材に対して第２部材を高精度または簡易に位置合わせすることができる。

［適用例６］上記適用例に係る流路構造体では、前記第２部材は、前記当接面を挟んで、前記当接面に交差する第１側面と第２側面とを有し、前記第１側面は前記第２の孔を規定し、前記第２側面は前記第２部材の外形を規定し、前記当接部は前記第２側面に当接することが好ましい。

第１側面は、第２の孔の径を規定する第２の孔の内壁面である。第２側面は、第２部材の外形を規定する外壁面であり、第１側面よりも広い。第１部材の当接部を第２側面（第２部材の外壁面）に当接させると、底面に沿った方向における第１部材に対する第２部材の位置を高精度に制御することができる。
さらに、第２側面は第１側面よりも広いので、第１部材の当接部が第１側面に当接する場合と比べて、第１部材と第２部材とが当接する部分の面積が広くなり、より安定して第２部材を第１部材に配置（固定）することができる。

［適用例７］上記適用例に係る流路構造体では、前記第２部材は、前記当接面を挟んで、前記当接面に交差する第１側面と第２側面とを有し、前記第１側面は前記第２の孔を規定し、前記第２側面は前記第２部材の外形を規定し、前記当接部は前記第１側面に当接することが好ましい。

第２側面は、第２部材の外形を規定する外壁面である。第１側面は、第２の孔の径を規定する第２の孔の内壁面であり、第２側面よりも狭い。第１部材の当接部を第１側面（第２の孔の内壁面）に当接させることによって、底面に沿った方向における第１部材に対する第２部材の位置を高精度に制御することができる。
さらに、第１側面は第２側面よりも狭いので、第２側面が第１側面に当接する場合と比べて、第１部材と第２部材とが当接する部分の面積が狭くなり、よりコンパクトに第２部材を第１部材に配置（固定）することができる。

［適用例８］上記適用例に係る流路構造体では、前記第２部材は、弁部材が当接することにより前記第２の孔を閉塞可能とする部位に撥水面をさらに有していることが好ましい。

弁部材が第２部材に当接することによって、第２の孔が閉塞される。弁部材の第２部材に当接する部分には撥水面が設けられ、液体をはじく。従って、弁部材の第２部材に当接する部分に液体（液体の中の固形成分）が堆積しにくくなる。

［適用例９］上記適用例に係る流路構造体では、前記底面に直交する方向において、前記当接部の長さは、前記第２部材の長さと同じ、または前記第２部材の長さよりも短いことが好ましい。

底面に直交する方向において、第１部材の当接部の長さは、第２部材の長さと同じ、または第２部材の長さよりも短いので、第１部材の当接部を薄型化することができる。

［適用例１０］上記適用例に係る流路構造体では、前記第２部材に離当接する弁部材と、前記弁部材に固定され、前記第１の孔及び前記第２の孔を通る軸と、前記軸の位置を変化させて前記弁部材を前記第２部材に離当接させる弾性部材と、をさらに有していることが好ましい。

弾性部材によって軸の位置（弁部材の位置）を変化させ、弁部材を第２部材に離当接させることによって、第２部材に形成された第２の孔（液体の流路）を開閉することができる。すなわち、弁部材と、軸と、弾性部材とを有する流路構造体は、液体の流路を開閉する開閉弁としての機能を有するようになる。
さらに、第２部材の弁部材が離当接する部分に撥水面が形成されているので、第２部材の弁部材が離当接する部分に液体（液体の中の成分）が堆積しにくくなり、液体の流路が安定して開閉されるようになる。

［適用例１１］上記適用例に係る流路構造体では、前記凹部は、前記底面を囲むように配置される内壁面を有し、前記内壁面は、前記底面から離れるにつれて前記凹部の開口が広くなるように傾斜したガイド部を有していることが好ましい。

凹部の内壁面は、底面から離れるにつれて凹部の開口が広くなるように傾斜したガイド部を有している。すなわち、凹部の開口が広くなり、底面が狭くなるように、凹部の開口と底面との間に傾斜した斜面を有するガイド部が設けられている。
凹部の開口は広いので、凹部の開口が狭い場合と比べて、凹部の中に第２部材を挿入しやすい。さらに、挿入された第２部材は、傾斜した斜面（ガイド部）に沿って移動し、底面に誘導される。
従って、ガイド部を設けることによって、第１部材の底面に当接するように、第２部材を配置しやすくすることができる。

［適用例１２］上記適用例に係る流路構造体では、平面視で、前記第１の孔は前記第２の孔の内側に配置され、前記第２部材は、前記当接面にて前記第１部材に固定され、前記第２の孔の前記当接面側の開口は、前記第１の孔の前記当接面側の開口よりも、広いことが好ましい。

平面視で、第１の孔は第２の孔の内側に配置され、第２の孔は第１の孔よりも広くなっている。従って、第２の孔が第１の孔よりも狭い場合と比べて、第２の孔を流動する液体の流動抵抗を小さくし、第２の孔の中を液体は流動しやすくなる。

［適用例１３］上記適用例に係る流路構造体では、前記当接部は、前記第２部材のうち前記当接面と反対側の面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。

当接部は、第２部材のうち当接面と反対側の面の少なくとも一部を覆っているので、当接部が第２部材のうち当接面と反対側の面の少なくとも一部を覆っていない場合と比べて、より強く第２部材を第１部材に固定することができる。

［適用例１４］本適用例に係る流路構造体の製造方法は、凹部と、前記凹部の底面に形成された第１の孔とを有する第１部材と、前記底面と当接する当接面と、前記第１の孔を露出させる第２の孔とを有する第２部材と、を含む流路構造体の製造方法であって、前記底面に沿った方向における前記第２部材の位置を決定する当接部を、前記凹部の内側に形成する工程と、前記当接部に接するように前記第２部材を前記第１部材に配置する工程と、前記第１部材と前記第２部材とを固定する工程と、を含むことを特徴とする。

第２部材の位置を決定する当接部を第１部材の凹部の内側に形成し、当接部に接するように第２部材を第１部材に配置し、第１部材と第２部材とを固定することによって、底面に沿った方向における第１部材に対する第２部材の位置が自己整合的に決定され、第２部材が第１部材に対して高精度に位置合わせされた状態で、第１部材と第２部材とを固定することができる。

［適用例１５］上記適用例に係る流路構造体の製造方法では、前記配置する工程以降に、前記当接部を変形させて、前記第２部材のうち前記当接面と反対側の面の少なくとも一部を覆う工程を有することが好ましい。

第２部材を第１部材に配置した以降に、当接部を変形させて、当接部が第２部材のうち当接面と反対側の面の少なくとも一部を覆うと、当接部が第２部材のうち当接面と反対側の面の少なくとも一部を覆っていない場合と比べて、より強く第２部材を第１部材に固定することができる。

実施形態１に係るインクジェット式記録装置の概略平面図。 記録ヘッド及びバルブユニットの概略断面図。 ヘッド本体の概略断面図。 インクの流路が閉じられた場合のバルブユニットの要部を拡大した概略断面図。 インクの流路が開かれた場合のバルブユニットの要部を拡大した概略断面図。 実施形態１に係る流路構造体の概略断面図。 実施形態１に係る流路構造体の製造方法を示す工程フロー。 図７に示す主要な工程を経た後の流路構造体の状態を示す概略断面図。 図７に示す主要な工程を経た後の流路構造体の状態を示す概略断面図。 図７に示す主要な工程を経た後の流路構造体の状態を示す概略断面図。 実施形態２に係る流路構造体の概略断面図。 実施形態３に係る流路構造体の概略断面図。 実施形態３に係る流路構造体の製造方法を示す工程フロー。 図１１に示す主要な工程を経た後の流路構造体の状態を示す概略断面図。 図１１に示す主要な工程を経た後の流路構造体の状態を示す概略断面図。 図１１に示す主要な工程を経た後の流路構造体の状態を示す概略断面図。 実施形態４に係る開弁状態にある開閉弁の概略断面図。 実施形態４に係る閉弁状態にある開閉弁の概略断面図。 変形例１に係る流路構造体の概略断面図。 変形例２に係る流路構造体の概略断面図。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。かかる実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の各図においては、各層や各部位を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部位の縮尺を実際とは異ならせしめてある。

（実施形態１）
＜プリンターの概要＞
図１は、実施形態１に係るインクジェット式記録装置（以降、プリンターと称す）の概略平面図である。
図１に示すように、プリンター１は、略矩形状の本体フレーム２を備えている。本体フレーム２内には記録媒体（図示略）を支持する媒体支持部材３が本体フレーム２の長手方向（主走査方向）に沿って延設されている。媒体支持部材３上には、図示しない紙送り機構により紙などの記録媒体が本体フレーム２の短手方向（副走査方向）に沿って給送されるようになっている。また、本体フレーム２内における媒体支持部材３の上方には、主走査方向に沿って延びる棒状のガイド軸４が架設されている。
以降の説明では、主走査方向をＸ方向、副走査方向をＹ方向、及びＸ方向とＹ方向とに直交するプリンター１の厚さ方向をＺ方向とする。さらに、図中で方向を示す矢印の先端側を「（＋）方向」、基端側を「（−）方向」とする。
なお、本願における平面視とは、Ｘ方向から見ることに該当する。さらに、Ｙ方向及びＺ方向は「底面に沿った方向」の一例である。Ｘ方向は「底面に直交する方向」の一例である。

ガイド軸４には、キャリッジ５がガイド軸４に沿ってＸ方向に往復移動可能な状態で支持されている。キャリッジ５は、本体フレーム２に設けられた一対のプーリー６ａ間に掛装された無端状のタイミングベルト６を介して本体フレーム２に設けられたキャリッジモーター７に連結されている。これにより、キャリッジ５は、キャリッジモーター７の駆動によってガイド軸４に沿って往復移動される。

キャリッジ５には、インクジェット式記録ヘッド（以降、記録ヘッドと称す）２０と、バルブユニット５０とが搭載されている。

詳しくは後述するが、記録ヘッド２０の媒体支持部材３に相対向する面には、複数のノズル開口３３４（図２参照）が設けられており、記録ヘッド２０内に設けられた図示しない圧力発生手段を駆動することにより、各ノズル開口３３４から媒体支持部材３上に給送された記録媒体にインク滴が噴射されることで、記録媒体に印刷が行われるようになっている。

本体フレーム２のＸ（＋）方向側にはタンクホルダー９が設けられており、タンクホルダー９には液体貯留手段である複数のインクタンク８がそれぞれ着脱可能に装着されている。本実施形態では、インクタンク８が２個設けられている。各インクタンク８には、互いに種類（色）の異なるインクが貯留されている。
なお、インクは「液体」の一例である。

タンクホルダー９に装着された各インクタンク８は、チューブ等の供給管１０を介してバルブユニット５０に接続されている。各インクタンク８に貯留された各色のインクは、加圧ポンプ（図示省略）によって加圧され、供給管１０を介してバルブユニット５０に加圧供給される。

本体フレーム２内におけるＸ（＋）方向側に配置されるキャリッジ５のホームポジション領域には、記録ヘッド２０のクリーニング等のメンテナンスを行うためのメンテナンスユニット１１が設けられている。このメンテナンスユニット１１は、記録ヘッド２０の各ノズル開口３３４を囲うように該記録ヘッド２０に当接したり、各ノズル開口３３４からフラッシングによって噴射されるインクを受容したりするためのキャップ１２と、キャップ１２内を吸引可能な吸引ポンプ（図示略）とを備えている。

そして、記録ヘッド２０の各ノズル開口３３４を囲うようにキャップ１２が記録ヘッド２０に当接した状態でキャップ１２内を吸引ポンプによって吸引することで、各ノズル開口３３４から増粘したインクや気泡などをキャップ１２内に強制的に排出させる、いわゆるクリーニング処理が行われるようになっている。

＜記録ヘッドの概要＞
図２は、記録ヘッド及びバルブユニットの概略断面図である。図３は、ヘッド本体の概略断面図である。
以下、図２及び図３を参照して、記録ヘッド２０の概要について説明する。

図２に示すように、記録ヘッド２０は、インク滴を噴射するヘッド本体３０と、ヘッド本体３０にインクを供給する流路部材４０と、を具備する。１つの記録ヘッド２０に対して種類の異なる２つのインクが供給されるため、流路部材４０には、２つのバルブユニット５０が固定されている。

図３に示すように、ヘッド本体３０は、アクチュエーターユニット３１と、アクチュエーターユニット３１を内部に収容可能なケース３２と、ケース３２の一方面に固定された流路ユニット３３と、ケース３２の他方面に固定された配線基板３４と、を具備する。

アクチュエーターユニット３１は、複数の圧電アクチュエーターがノズル開口３３４の並設方向に沿って並設された圧電アクチュエーター形成部材３１１と、圧電アクチュエーター形成部材３１１の先端部（一端部）側が自由端となるようにその基端部（他端部）側が固定端として固定される固定板３１２とを有する。

圧電アクチュエーター形成部材３１１は、圧電材料３１３と、電極形成材料３１４及び電極形成材料３１５とを交互に挟んで積層することにより形成されている。この圧電アクチュエーター形成部材３１１には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリットが形成され、その先端部側が櫛歯状に切り分けられて圧電アクチュエーターが並設されている。

ここで、圧電アクチュエーター形成部材３１１の固定板３１２に固定される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっており、圧電アクチュエーター形成部材３１１を構成する電極形成材料３１４及び電極形成材料３１５間に電圧を印加すると、固定板３１２に固定されていない先端部側の領域のみが振動する。そして、圧電アクチュエーター形成部材３１１の先端面は、振動板３３１に固定されている。

また、アクチュエーターユニット３１の各圧電アクチュエーターには、当該圧電アクチュエーターを駆動するための駆動ＩＣ等の駆動回路３１７が搭載されたＣＯＦ等の回路基板３１８が接続されている。

流路ユニット３３は、流路形成基板３３０、振動板３３１及びノズルプレート３３２を具備する。
流路形成基板３３０には、複数の圧力発生室３３３が並設され、流路形成基板３３０の両側は、各圧力発生室３３３に対応してノズル開口３３４を有するノズルプレート３３２と、振動板３３１とにより封止されている。本実施形態では、圧力発生室３３３が並設された列が２列設けられている。また、流路形成基板３３０には、圧力発生室３３３毎にそれぞれインク供給路３３５を介して連通されて列毎に複数の圧力発生室３３３の共通のインク室となるマニホールド３３６が形成されている。

そして、振動板３３１の各圧力発生室３３３に対向する領域には、それぞれ圧電アクチュエーター形成部材３１１の先端が固定されている。
また、振動板３３１のマニホールド３３６に対応する領域は、コンプライアンス部３３７が設けられている。コンプライアンス部３３７は、マニホールド３３６内に圧力変化が生じた時に、コンプライアンス部３３７が変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド３３６内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。

ケース３２には、バルブユニット５０からのインクをマニホールド３３６に供給するインク導入路３２１が設けられている。本実施形態では、マニホールド３３６の各々に対して１つずつ、合計２つのインク導入路３２１が設けられている。そして、インクタンク８からバルブユニット５０を介してインク導入路３２１に供給されたインクは、マニホールド３３６に供給され、インク供給路３３５を介して各圧力発生室３３３に分配される。

また、ケース３２には、圧力発生室３３３の列に対応して、収容部３２２が設けられている。本実施形態では、２つの収容部３２２が設けられており、各収容部３２２内にアクチュエーターユニット３１がそれぞれ固定されている。

さらに、ケース３２の流路ユニット３３とは反対側には、配線基板３４が設けられており、アクチュエーターユニット３１に一端が接続された回路基板３１８の他端部が配線基板３４に接続されている。

このようなヘッド本体３０では、圧電アクチュエーター形成部材３１１（圧電アクチュエーター）及び振動板３３１の変形によって各圧力発生室３３３の容積を変化させて所定のノズル開口３３４からインク滴を噴射させるようになっている。

図２に示すように、流路部材４０は、一方の面にバルブユニット５０が固定され、他方の面にヘッド本体３０が固定されている。バルブユニット５０からのインクは、流路部材４０を介してヘッド本体３０に供給される。

詳しくは、流路部材４０には、インク連通路４１が設けられている。インク連通路４１が開口する一方面には、インクに含まれるゴミや気泡などの異物を除去するフィルター４２と、フィルター４２上に設けられた供給針４３とが設けられている。供給針４３は、詳細を後述するバルブユニット５０に挿入される。バルブユニット５０からのインクは、供給針４３の内部を通過してフィルター４２で異物が除去された後、インク連通路４１を介してヘッド本体３０に供給される。

＜バルブユニットの概要＞
図４は、インクの流路が閉じられた場合のバルブユニットの要部を拡大した概略断面図である。図５は、インクの流路が開かれた場合のバルブユニットの要部を拡大した概略断面図である。
次に、図４及び図５を参照し、バルブユニット５０の概要を説明する。

バルブユニット５０は、インクが流れる流路の途中に設けられ、インクの流路を開閉する開閉弁である。
図４及び図５に示すように、バルブユニット５０では、蓋部材４４０と、第１部材１１０と、フィルム部材４１０とがＸ方向に順に配置されている。蓋部材４４０と第１部材１１０とフィルム部材４１０とは、樹脂で構成される。さらに、フィルム部材４１０は可撓性を有する。蓋部材４４０とフィルム部材４１０とは、例えば熱溶着によって第１部材１１０に接着されている。
なお、フィルム部材４１０は、「弾性部材」の一例である。

第１部材１１０は、蓋部材４４０の側に第１凹部（空部）１２０を有し、フィルム部材４１０の側に第２凹部（空部）１３０を有している。第１凹部１２０と第２凹部１３０とは、隔壁１４０によって区画されている。第１凹部１２０の開口は蓋部材４４０によって封止され、第１凹部１２０が液体室５１１になる。第２凹部１３０の開口はフィルム部材４１０によって封止され、第２凹部１３０が圧力調整室５１３になる。
なお、第１凹部１２０は、「凹部」の一例である。

第２部材２１０は、隔壁１４０のＸ（−）方向側の面１４１に配置されている。また、第１部材１１０と第２部材２１０とで流路構造体１００が形成される。なお、流路構造体１００の詳細は後述する。
なお、隔壁１４０のＸ（−）方向側の面１４１は「底面」の一例であり、以降底面１４１と称す。流路構造体１００は「流路構造体」の一例であり、流路構造体１００を備えるバルブユニット５０も「流路構造体」の一例である。

隔壁１４０には隔壁１４０の中央付近を貫く第１の孔１１１が形成され、第２部材２１０には第２部材２１０の中央付近を貫く第２の孔２１１が形成されている。Ｘ方向から見た場合、第１の孔１１１は第２の孔２１１に重なり、第１の孔１１１は第２の孔２１１の内側に配置されている。液体室５１１と圧力調整室５１３とは、第１の孔１１１と第２の孔２１１とによって連通されている。
第２の孔２１１は第１の孔１１１を露出させ、第１の孔１１１と第２の孔２１１とで液体室５１１と圧力調整室５１３との間のインクの流路が形成される。

液体室５１１は、流入路５１５や供給管１０などを介してインクタンク８に連通されている。圧力調整室５１３は、流出路５１７を介して流路部材４０のインク連通路４１に連通されている。インクタンク８に貯留されているインクは、流入路５１５と、液体室５１１と、第２の孔２１１と、第１の孔１１１と、圧力調整室５１３と、流出路５１７とを経由して、記録ヘッド２０に供給される。

蓋部材４４０とフィルム部材４１０との間には、バネ４３０と弁体４５０と受圧板４２０とが順に配置されている。
バネ４３０の一方の端は弁体４５０（フランジ部４６２）に固定され、バネ４３０の他方の端は蓋部材４４０に固定されている。

弁体４５０は、軸４６０と、弁部材４７０とで構成される。軸４６０は、本体部４６１と、本体部４６１よりも太くなったフランジ部４６２とで構成される。本体部４６１は第１の孔１１１と第２の孔２１１とに貫通されている。すなわち、本体部４６１は、液体室５１１と圧力調整室５１３とに跨って配置されている。フランジ部４６２は、液体室５１１に配置されている。
フランジ部４６２の第２部材２１０に対向する面には、弁部材４７０が固定されている。弁部材４７０（弁体４５０）は、軸４６０に固定されている。

本体部４６１の端は、受圧板４２０に接するように配置されている。受圧板４２０は、フィルム部材４１０と比べて硬質の材料で構成され、フィルム部材４１０の中央付近に固定されている。受圧板４２０は、フィルム部材４１０の変位による力を弁体４５０に適正に付勢する役割を有する。

バルブユニット５０では、フィルム部材４１０の変位によって、弁体４５０の軸４６０及び弁部材４７０の位置が変化し、弁部材４７０が第２部材２１０の撥水膜２１３に離当接するようになっている。
このように、バルブユニット５０は、第２部材２１０に離当接する弁部材４７０と、弁部材４７０に固定され第１の孔１１１及び第２の孔２１１を通る軸４６０と、軸４６０の位置を変化させて弁部材４７０を第２部材２１０に離当接させるフィルム部材４１０と、を有している。

インクタンク８に貯留されたインクは、液体室５１１に加圧供給されている。このため、液体室５１１内のインクは加圧された状態にある。弁体４５０の軸４６０には、液体室５１１に供給されるインクの加圧力が作用する。さらに、弁体４５０の軸４６０には、圧力調整室５１３内のインクに作用する圧力や受圧板４２０から付勢される力が作用する。液体室５１１内のインクに作用する圧力、圧力調整室５１３内のインクに作用する圧力、及び受圧板４２０から付勢される力などによって、弁体４５０の位置が制御され、弁体４５０がＸ方向に往復移動する。

図４に示すように、記録ヘッド２０から記録媒体にインクが噴射されない非印刷状態では、弁部材４７０が第２部材２１０に当接し、第２の孔２１１が閉塞され、液体室５１１と圧力調整室５１３との間のインクの流路が閉じられる。

これに対して、例えばインクの噴射や外部からの吸引（例えば、記録ヘッド２０のクリーニング）によってインクが消費され、圧力調整室５１３内のインクが減少すると、圧力調整室５１３内でインクに作用する圧力が低下し、フィルム部材４１０が圧力調整室５１３側に変位し、フィルム部材４１０に固定された受圧板４２０が、弁体４５０の軸４６０を押圧する。すると、図５に示すように、弁部材４７０が第２部材２１０から離間し、液体室５１１と圧力調整室５１３との間のインクの流路が開かれる。

非印刷状態などのインクが消費されない場合、バルブユニット５０の中のインクの流路が閉じられているので、バルブユニット５０よりも上流側のインクタンク８から加圧供給されるインクは、バルブユニット５０よりも下流側の記録ヘッド２０に供給されない。

これに対して、印刷状態やクリーニングなどのインクが消費される場合、圧力調整室５１３のインクが徐々に減少する。圧力調整室５１３のインクの減少に伴って、圧力が減少して圧力調整室が負圧になる。これによりフィルム部材４１０がインクの流路が開かれる方向に変位し、液体室５１１から圧力調整室５１３にインクが供給される。こうして、インクタンク８から加圧供給されるインクは、バルブユニット５０の下流側の記録ヘッド２０に供給される。そして、バルブユニット５０の圧力調整室５１３へのインクの流入により圧力調整室５１３の負圧が解消されると、インクの流路が閉じられた状態になり、記録ヘッド２０へのインクの供給が停止される。

印刷動作中においては、インクの消費に従って弁体４５０が僅かに開弁しつつ、圧力調整室５１３に対してインクが逐次補給される。さらに、上流側の液体室５１１内におけるインクの圧力変動は、弁体４５０の開閉によって、ある一定の範囲内となるように制限され、下流側の圧力調整室５１３内のインクの圧力変化と切り離される。従って、弁体４５０よりも上流側に圧力変化が生じていても、下流側はその影響を受けることがない。このため、バルブユニット５０の圧力調整室５１３内でインクに作用する圧力が一定の範囲に制御され、圧力調整室５１３から記録ヘッド２０へのインクの供給が良好に行われる。

このように、バルブユニット５０は、圧力調整機能（流動圧調整機構）を有し、記録ヘッド２０に供給されるインクの流動圧を適正範囲に制御する。換言すれば、バルブユニット５０は、圧力調整機能を有する弁装置である。

バルブユニット５０では、第２部材２１０を第１部材１１０に対して正しく配置し、固定することが重要である。第１部材１１０に対する第２部材２１０の位置が変化した場合、例えば、第２部材２１０が弁体４５０に接触し、弁体４５０が正しく動作せず、記録ヘッド２０に適正にインクが供給されないという不具合が生じる。
本実施形態は、第２部材２１０を第１部材１１０に対して、容易に正しく配置することが可能な優れた構成を有しているので、以下にその詳細を説明する。

＜流路構造体の概要＞
図６は、図４の二点鎖線で囲まれた領域Ａの流路構造体の概略断面図である。すなわち、図６は、本実施形態に係る流路構造体１００の概略断面図である。
次に、図６を参照し、本実施形態に係る流路構造体１００の概要を説明する。
上述した様に、流路構造体１００は、第１部材１１０と第２部材２１０とで構成され、バルブユニット５０のインクの流路を形成する構成要素である。

図６に示すように、第１部材１１０には、底面１４１と、内壁面１２１，１２２，１２３とを有する第１凹部１２０が形成されている。内壁面１２１，１２２，１２３は、底面１４１を囲むように配置されている。第１内壁面１２１は底面１４１側に配置され、第３内壁面１２３は蓋部材４４０側に配置され、第２内壁面１２２は第１内壁面１２１と第３内壁面１２３との間に配置されている。すなわち、第１凹部１２０は、底面１４１と、第１内壁面１２１と、第２内壁面１２２と、第３内壁面１２３とで囲まれた領域（空部）に対応する。
換言すれば、第１部材１１０は蓋部材４４０との間でインクを貯留する液体室５１１を形成する第１凹部１２０と、第１凹部１２０の底面１４１に形成されインクの流路となる第１の孔１１１とを有する
なお、第１内壁面１２１は「当接部」の一例であり、第２内壁面１２２は「ガイド部」の一例である。

第１内壁面１２１及び第３内壁面１２３は円筒形状を有し、第３内壁面１２３の径は第１内壁面１２１の径よりも広く、いずれも底面１４１に直交するように配置されている。第２内壁面１２２は、第３内壁面１２３の側で広く第１内壁面１２１の側で狭くなった円錐台形状を有している。
換言すれば、底面１４１を囲むように配置された内壁面１２１，１２２，１２３は、底面１４１から離れるにつれて開口が広くなるように傾斜した部分（第２内壁面１２２）を有している。

第２部材２１０は、円筒形状の部材であり、底面１４１と第１内壁面１２１とで囲まれた領域の内側に配置されている。第２部材２１０は、底面１４１側に配置される本体部２１２と、底面１４１と反対側に配置される撥水膜２１３と、本体部２１２及び撥水膜２１３を貫き第１の孔１１１を露出させる第２の孔２１１とを有している。上述した様に、弁体４５０の弁部材４７０は、第２部材２１０の撥水膜２１３に当接し、第２の孔２１１を閉塞する。換言すれば、第２部材２１０は、弁部材４７０が当接することにより第２の孔２１１を閉塞可能とする部位に撥水膜２１３を有している。
なお、撥水膜２１３は「撥水面」の一例である。

撥水膜２１３は、本体部２１２よりもインクに対して撥液性（撥水性）を有し、第２部材２１０の弁部材４７０が離当接する面（本体部２１２の底面１４１と反対側の面）に形成されている。なお、撥水膜２１３は、第２部材２１０の弁部材４７０が離当接する面以外に形成してもよく、例えば本体部２１２の全体を覆うように撥水膜２１３を形成してもよい。

撥水膜２１３は、インクに対して撥液性を有するものであればよく、例えばフッ素系高分子を含む金属膜や、撥液性を有する金属アルコキシドの分子膜などを用いることができる。フッ素系高分子を含む金属膜からなる撥水膜２１３は、例えば、本体部２１２の表面に直接、共析メッキを施すことにより形成することができる。金属アルコキシドの分子膜からなる撥水膜２１３は、例えば、アルコキシラン等のシランカップリング剤をシンナー等の溶媒と混合して金属アルコキシド溶液を形成し、この金属アルコキシド溶液に本体部２１２を浸漬することで、金属アルコキシドの重合した分子膜を形成することができる。

第２部材２１０の弁部材４７０が離当接する面に撥水膜２１３を設けると、第２部材２１０の弁部材４７０が離当接する面はインクをはじくようになり、インクの堆積が抑制される。仮に、第２部材２１０の弁部材４７０が離当接する面にインクが堆積すると、弁部材４７０が第２部材２１０に当接しても、堆積したインクによって第２の孔２１１を閉塞することが難しくなる不具合が生じる。従って、第２部材２１０の弁部材４７０が離当接する面にインクが堆積しにくくすると、このような不具合が生じにくくなり、弁部材４７０を第２部材２１０に当接させることによって、第２の孔２１１（液体室５１１と圧力調整室５１３との間のインクの流路）を適正に閉塞することができる。
従って、弁装置としてのバルブユニット５０は、安定して動作するようになる。

また、第２部材２１０の本体部２１２を構成する材料は特に限定されず、例えば、樹脂材料、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属材料、ガラスセラミックスやシリコン単結晶基板等を用いることができる。仮に、本体部２１２を、インクによって膨潤する材料で構成した場合、本体部２１２が均一に膨潤せず、膨潤量にばらつきが生じるおそれがある。本体部２１２の膨潤量にばらつきが生じると、弁部材４７０が撥水膜２１３に均一に密着することが難しくなり、シール性を保つことができず、インクのリークが発生するおそれがある。このため、第２部材２１０の本体部２１２は、インクによって膨潤し難い材料で構成されることが好ましい。

第２部材２１０の本体部２１２は、底面１４１に当接する当接面２２０と、当接面２２０に交差する第１側面２２１及び第２側面２２２とを有する。第１側面２２１は本体部２１２の中央を貫く第２の孔２１１の内壁面であり、第１側面２２１で囲まれた部分が第２の孔２１１になる。第２側面２２２は、第２部材２１０の外壁面である。
換言すれば、第２部材２１０は、当接面２２０を挟んで、当接面２２０に交差する第１側面２２１と第２側面２２２とを有し、第１側面２２１は第２の孔２１１を規定し、第２側面２２２は第２部材２１０の外形を規定する。

第１部材１１０の底面１４１は、第２部材２１０の当接面２２０に当接し、底面１４１に直交する方向における第１部材１１０に対する第２部材２１０の位置を決定する。第１部材１１０の第１内壁面１２１は、第２部材２１０の第２側面２２２に当接し、底面１４１に沿った方向における第１部材１１０に対する第２部材２１０の位置を決定する。
すなわち、第１部材１１０は、底面１４１に直交する方向における第１部材１１０に対する第２部材２１０の位置を決定する底面１４１と、底面１４１に沿った方向における第１部材１１０に対する第２部材２１０の位置を決定する第１内壁面１２１と、を有している。

第２部材２１０は、第１部材１１０の構成要素（底面１４１、第１内壁面１２１）によって自己整合的に位置合わせされているので、仮にアライメント装置を用いなくても、第１部材１１０に対して第２部材２１０を高精度または簡易に位置合わせすることができる。

第１部材１１０の底面１４１と第２部材２１０の当接面２２０との間には、接着剤２４０が配置され、第２部材２１０は接着剤２４０によって第１部材１１０に固定されている。すなわち、第２部材２１０は、当接面２２０にて第１部材１１０に固定されている。
なお、第２部材２１０を第１部材１１０に固定する方法は、接着剤２４０によって固定する方法に限定されず、例えば熱や振動による溶着によって固定する方法や、例えば熱かしめなどの方法であってもよい。

なお、接着剤２４０によって固定する方法は、熱や振動による溶着によって固定する方法や熱かしめなどの方法と比べて、第２部材２１０に作用する外力や熱の影響を小さくし、第２部材２１０の第１部材１１０に対する位置ずれを小さくし、第２部材２１０を第１部材１１０に対して高精度に固定することができる。

隔壁１４０には、隔壁１４０の中央付近を貫く第１の孔１１１が形成されている。上述した様に、Ｘ方向から見た場合、第１の孔１１１は第２の孔２１１に重なり、第１の孔１１１は第２の孔２１１の内側に配置されている。さらに、第２の孔２１１の当接面２２０側の開口は、第１の孔１１１の当接面２２０側の開口よりも広くなっている。よって、第２の孔２１１は第１の孔１１１よりも広く、第２の孔２１１が第１の孔１１１よりも狭い場合と比べて、第２の孔２１１を流動するインクの流動抵抗を小さくし、第２の孔２１１の中をインクが流動しやすくなる。
さらに、第１部材１１０は、底面１４１へ近づくにつれて第１の孔１１１の径を大きくするテーパ部１１２を有している。

＜流路構造体の製造方法＞
図７は、本実施形態に係る流路構造体の製造方法を示す工程フローである。図８Ａ乃至図８Ｃは、図４に対応する図であり、図７に示す主要な工程を経た後の流路構造体の状態を示す概略断面図である。また、図８Ｃでは、弁体４５０が二点鎖線で図示されている。
以下、図７及び図８Ａ乃至図８Ｃを参照し、本実施形態に係る流路構造体１００の製造方法を説明する。

図７に示すように、本実施形態に係る流路構造体１００の製造方法は、第１部材１１０に第１凹部１２０を形成する工程（ステップＳ１）と、第１凹部１２０に接着剤２４０を塗布する工程（ステップＳ２）と、第１部材１１０の第１凹部１２０の中に第２部材２１０を配置する工程（ステップＳ３）と、接着剤２４０を硬化する工程（ステップＳ４）と、を含む。
なお、ステップＳ１は、「当接部を凹部の内側に形成する工程」の一例である。ステップＳ２及びステップＳ３は、「第２部材を第１部材に配置する工程」の一例である。ステップＳ４は、「第１部材と第２部材とを固定する工程」の一例である。

図８Ａに示すように、ステップＳ１では、熱可塑性樹脂を複数の金型を使用して成型し、第１凹部１２０と、第２凹部１３０と、第１の孔１１１と、流出路５１７と、を有する第１部材１１０を形成する。熱可塑性樹脂としては、ポリオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリル樹脂、ＡＢＳ樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリカーボネート樹脂などを使用することができる。本実施形態では、熱可塑性樹脂としてポリプロピレン樹脂が使用されている。

第１凹部１２０は、底面１４１と、第１内壁面１２１と、第２内壁面１２２と、第３内壁面１２３とを有する。第１凹部１２０では、底面１４１の側から、第１内壁面１２１と第２内壁面１２２と第３内壁面１２３とが順に配置され、第３内壁面１２３の径は第１内壁面１２１の径よりも広く、第２内壁面１２２は底面１４１から離れるにつれて第２内壁面１２２の径が広くなるように傾斜している。底面１４１へ近づくにつれて第１の孔１１１の径が大きくなるように、テーパ部１１２が形成されている。

図８Ｂに示すように、ステップＳ２では、熱硬化性を有する接着剤２４０を、例えばシールディスペンサーを使用して、第１凹部１２０の底面１４１に塗布する。

ステップＳ３では、第２部材２１０を、第１凹部１２０の第３内壁面１２３の開口から挿入する。詳しくは、第２部材２１０を把持し、第３内壁面１２３の開口から、図中の矢印で示された方向（Ｘ方向）に第２部材２１０を挿入する。
なお、図中の矢印で示された方向（Ｘ方向）は重力が作用する方向である。

第３内壁面１２３の内側に挿入された第２部材２１０には、Ｘ方向の力（重力）が作用するので、第２部材２１０は自重によってＸ方向に移動する。このため、第２部材２１０は、第２内壁面１２２の上を滑ってＸ方向に移動し、第１内壁面１２１と底面１４１とで囲まれた領域に配置される。すなわち、第２部材２１０は、第２内壁面１２２によって、第１内壁面１２１と底面１４１とで囲まれた領域に誘導される。

第３内壁面１２３の径は第１内壁面１２１の径よりも広いので、第２部材２１０を第３内壁面１２３の中に容易に挿入することができる。第２内壁面１２２は、第２部材２１０を第１内壁面１２１と底面１４１とで囲まれた領域に誘導するので、第２内壁面１２２を設けていない場合と比べて、第２部材２１０を第１内壁面１２１と底面１４１とで囲まれた領域に容易に配置することができる。

なお、第２部材２１０を第３内壁面１２３の開口から挿入した後に、第１部材１１０を振動させると、第２部材２１０がより円滑に第２内壁面１２２の上を滑る（移動する）ようになり、第２部材２１０を、第１凹部１２０の底面１４１と第１内壁面１２１とで囲まれた領域に、さらに容易に配置することができる。

底面１４１と第１内壁面１２１とで囲まれた領域に第２部材２１０を配置すると、底面１４１に直交する方向における第１部材１１０に対する第２部材２１０の位置は、底面１４１によって決定され、底面１４１に沿った方向における第１部材１１０に対する第２部材２１０の位置は、第１内壁面１２１によって決定される。
すなわち、第２部材２１０は、アライメント装置を用いず、第１部材１１０の構成要素（底面１４１、第１内壁面１２１）によって自己整合的に位置合わせされているので、アライメント装置を用いる場合の装置誤差の影響が排除され、アライメント装置を用いて位置合わせする場合よりも高精度に位置合わせされる。

図８Ｃに示すように、ステップＳ４では、例えば第２部材２１０を押圧し、接着剤２４０を押し広げ、隔壁１４０の底面１４１と第２部材２１０の当接面２２０との間に接着剤２４０を配置する。なお、第２部材２１０の自重によっても接着剤２４０が押し広げられるので、第２部材２１０の押圧は省略してもよい。
続いて、接着剤２４０に熱処理を施し、接着剤２４０を硬化し、第１部材１１０と第２部材２１０とを接着剤２４０によって固定する。その結果、第２部材２１０は、当接面２２０にて第１部材１１０に固定される。

ステップＳ４における第２部材２１０の押圧によって、図中の破線で示すように、余分な接着剤２４０が第１側面２２１からはみ出す場合がある。第１側面２２１からはみ出した余分な接着剤２４０は、第２の孔２１１側の第２部材２１０の端と第１の孔１１１側の第１部材１１０の端との間の面を伝わって、図中の二点鎖線で示された弁体４５０が配置される側に広がる。仮に、第１側面２２１からはみ出した余分な接着剤２４０が、弁体４５０に干渉すると、弁体４５０の動作が阻害され、バルブユニット５０の動作不良を招く。
以降、第２の孔２１１側の第２部材２１０の端と第１の孔１１１側の第１部材１１０の端との間に配置される面を、接着剤２４０の移動面と称す。

本実施形態では、接着剤２４０の移動面は、平面（底面１４１）と斜面（テーパ部１１２）とで構成される。接着剤２４０の移動面を平面（底面１４１）と斜面（テーパ部１１２）とで構成すると、接着剤２４０の移動面が平面（底面１４１）だけで構成される場合と比べて、接着剤２４０の移動面を広くし、接着剤２４０の移動面における接着剤２４０の移動距離を長くすることができる。さらに、接着剤２４０の移動面に斜面（テーパ部１１２）を設けると、接着剤２４０の移動面が平面（底面１４１）だけで構成される場合と比べて、接着剤２４０の移動方向と交差する方向（Ｘ方向）の空間を広くし、接着剤２４０の移動面により多くの接着剤２４０を留める（収容する）ことができる。その結果、接着剤２４０の移動面が平面（底面１４１）だけで構成される場合と比べて、接着剤２４０の移動面に余分な接着剤２４０を留め、余分な接着剤２４０が第１部材１１０の第１の孔１１１側の端からはみ出しにくくすることができる。

このように、第１の孔１１１にテーパ部１１２を設けることによって、余分な接着剤２４０を第１部材１１０の第１の孔１１１側の端からはみ出しにくくし、余分な接着剤２４０が弁体４５０に干渉することによる弁体４５０（バルブユニット５０）の動作不良を抑制することができる。

以上述べたように、本実施形態に係る製造方法によって、第２部材２１０が第１部材１１０に対して高精度に位置合わせされ、弁体４５０（バルブユニット５０）が正常に動作することが可能な流路構造体１００を、安定して製造することができる。

（実施形態２）
図９は、図６に対応する図であり、実施形態２に係る流路構造体の概略断面図である。なお、図９では、弁体４５０が二点鎖線で図示されている。
本実施形態に係るバルブユニットと実施形態１に係るバルブユニット５０とでは、流路構造体が異なり、他は同じある。
以下、図９を参照し、本実施形態に係る流路構造体１００Ａを、実施形態１に係る流路構造体１００との相違点を中心に説明する。また、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明を省略する。

図９に示すように、本実施形態に係る流路構造体１００Ａは、第１部材１１０Ａと第２部材２１０Ａとで構成される。
第１部材１１０Ａは、円筒形状の部材であり、第１凹部１２０Ａと、第２凹部１３０と、第１の孔１１１Ａとが形成されている。第１部材１１０Ａでは、第１凹部１２０Ａの形状及び第１の孔１１１Ａの形状が、実施形態１と異なる。

第１凹部１２０Ａは、第１内壁面１２１Ａと、底面１４１Ａと、第４内壁面１２４と、底面１４１Ｂとで囲まれた領域（空部）に対応する。第１凹部１２０Ａは、実施形態１の第１凹部１２０の構成要素である第２内壁面１２２と第３内壁面１２３とが省略され、新たに底面１４１Ｂと第４内壁面１２４とが追加された構成を有している。
なお、第４内壁面１２４は、「当接部」の一例である。

第１内壁面１２１Ａは、実施形態１の第１内壁面１２１に対応し、実施形態１の第１内壁面１２１と比べてＸ方向の長さが長い。底面１４１Ａは、実施形態１の底面１４１に対応し、実施形態１の底面１４１と比べてＺ方向の長さが短い。

第４内壁面１２４は、底面１４１Ａを挟んで第１内壁面１２１Ａに対向し、第１内壁面１２１Ａと同様に底面１４１Ａに直交するように配置されている。第４内壁面１２４のＸ方向の長さは、第１内壁面１２１ＡのＸ方向の長さよりも短い。

底面１４１Ｂは、底面１４１Ａに対して第１の孔１１１Ａ側に配置され、底面１４１Ａと比べてＸ（−）方向側に張り出している。このため、底面１４１Ａと底面１４１Ｂとの間に段差が形成され、底面１４１Ｂと底面１４１Ａとの間の段差の壁面が、第４内壁面１２４になる。
また、第４内壁面１２４と底面１４１Ｂとで、円筒形状の凸部が形成される。

第１の孔１１１Ａは、第４内壁面１２４と底面１４１Ｂとで形成される円筒形状の凸部の中央付近を貫くように形成されている。第１の孔１１１Ａは、実施形態１の第１の孔１１１からテーパ部１１２を削除したものに対応する。このため、第１の孔１１１Ａは、Ｘ方向に沿った面で構成される。

第２部材２１０Ａは、中央付近に第２の孔２１１Ａを有する円筒形状の部材である。第２部材２１０ＡのＺ方向の長さ（外形寸法）は、実施形態１の第２部材２１０のＺ方向の長さ（外形寸法）よりも短い。第２部材２１０ＡのＸ方向の長さ（厚さ）は、実施形態１の第２部材２１０のＸ方向の長さ（厚さ）よりも短い（薄い）。従って、第２部材２１０Ａは、実施形態１の第２部材２１０と比べて、小型化及び薄型化が図られている。

第２部材２１０Ａの第２の孔２１１Ａの径は、第４内壁面１２４と底面１４１Ｂとで形成される円筒形状の凸部の径と略同じである。第４内壁面１２４と底面１４１Ｂとで形成される円筒形状の凸部に第２の孔２１１Ａを嵌め込むことによって、第１部材１１０Ａに対する第２部材２１０Ａの位置が決定される。

第２部材２１０Ａの本体部２１２Ａは、底面１４１Ａに当接する当接面２２０Ａと、当接面２２０Ａに交差する第１側面２２１Ａ及び第２側面２２２Ａとを有する。第１側面２２１Ａは本体部２１２Ａの中央を貫通する第２の孔２１１Ａの内壁面であり、第１側面２２１Ａで囲まれた部分が第２の孔２１１Ａになり、第１側面２２１Ａが第２の孔２１１Ａを規定する。

第４内壁面１２４と底面１４１Ｂとで形成される円筒形状の凸部に第２の孔２１１Ａを嵌め込むと、第２部材２１０Ａの当接面２２０Ａが底面１４１Ａに当接し、第２の孔２１１Ａの第１側面２２１Ａが第４内壁面１２４に当接するように配置される。

第１部材１１０Ａの底面１４１Ａは、第２部材２１０Ａの当接面２２０Ａに当接し、底面１４１Ａに直交する方向における第１部材１１０Ａに対する第２部材２１０Ａの位置を決定する。第１部材１１０Ａの第４内壁面１２４は、第２部材２１０Ａの第１側面２２１Ａに当接（勘合）し、底面１４１Ａに沿った方向における第１部材１１０Ａに対する第２部材２１０Ａの位置を決定する。
第２部材２１０Ａは、アライメント装置を用いず、第１部材１１０Ａの構成要素（底面１４１Ａ、第４内壁面１２４）によって自己整合的に位置合わせされているので、アライメント装置の装置誤差の影響が排除され、アライメント装置を用いて位置合わせする場合よりも高精度に位置合わせすることができる。

接着剤２４０は、第２部材２１０Ａの当接面２２０Ａと第１部材１１０Ａの底面１４１Ａとの間に配置され、第１部材１１０Ａと第２部材２１０Ａとは、接着剤２４０によって固定されている。
実施形態１では、余分な接着剤２４０は、第１側面２２１（弁体４５０が配置されている側の面）からはみ出し、余分な接着剤２４０の量が多い場合、弁体４５０に干渉するおそれがあった。

本実施形態では、余分な接着剤２４０は、図中の破線で示すように、第２側面２２２Ａ（弁体４５０が配置されている側の面（第１側面２２１Ａ）と反対側の面）からはみ出す。余分な接着剤２４０は弁体４５０が配置される側と反対側にはみ出すので、余分な接着剤２４０の量が多い場合であっても、弁体４５０に干渉するおそれがない。

さらに、第４内壁面１２４のＸ方向の長さは、第２部材２１０ＡのＸ方向の長さと同じ、または第２部材２１０ＡのＸ方向の長さよりも短い。よって、第１部材１１０Ａの底面１４１Ｂが第２部材２１０ＡからＸ（−）方向側に張り出すことがない。従って、第１部材１１０Ａの底面１４１Ｂが、弁体４５０の弁部材４７０と第２部材２１０Ａの撥水膜２１３Ａとの当接を阻害し、第２の孔２１１Ａが閉塞されないという不具合を抑制することができる。従って、実施形態１と比べて、第２部材２１０Ａの小型化及び薄型化を図りつつ、第２の孔２１１Ａを正常に開閉させることができる。

（実施形態３）
＜流路構造体の概要＞
図１０は、図４に対応する図であり、実施形態３に係る流路構造体の概略断面図である。本実施形態に係る流路構造体１００Ｂと実施形態１に係る流路構造体１００とでは、第１凹部の形状が異なり、他は同じである。
以下、図１０を参照し、本実施形態に係る流路構造体１００Ｂを、実施形態１に係る流路構造体１００との相違点を中心に説明する。また、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明を省略する。

図１０に示すように、本実施形態に係る流路構造体１００Ｂは、第１部材１１０Ｂと第２部材２１０とで構成される。第１部材１１０Ｂには、第１凹部１２０Ｂと、第２凹部１３０と、第１の孔１１１と、流出路５１７とが形成されている。

第１凹部１２０Ｂは、第１内壁面１２１Ｂと、底面１４１Ｃと、凸部１５０とを有する。第１凹部１２０Ｂは、第１内壁面１２１Ｂと、底面１４１Ｃと、凸部１５０とで囲まれた領域（空部）に対応する。
なお、凸部１５０は、「当接部」の一例である。

第１内壁面１２１Ｂは、実施形態１の第１内壁面１２１に対応する。底面１４１Ｃは、実施形態１の底面１４１に対応する。すなわち、第１凹部１２０Ｂは、実施形態１の第１凹部１２０の構成要素である第２内壁面１２２と第３内壁面１２３とが省略され、新たに凸部１５０が追加された構成を有している。

凸部１５０は、第１凹部１２０Ｂの内側で底面１４１Ｃの上に配置され、底面１４１ＣからＸ（−）方向側に張り出している。第２部材２１０は、底面１４１Ｃと凸部１５０とで囲まれた領域に配置されている。

第１部材１１０Ｂの底面１４１Ｃは、第２部材２１０の当接面２２０に当接し、底面１４１Ｃに直交する方向における第１部材１１０Ｂに対する第２部材２１０の位置を決定する。凸部１５０は、第２部材２１０の第２側面２２２に当接し、底面１４１Ｃに沿った方向における第１部材１１０Ｂに対する第２部材２１０の位置を決定する。

第２部材２１０は、アライメント装置を用いず、第１部材１１０Ｂの構成要素（底面１４１Ｃ、凸部１５０）によって自己整合的に位置合わせされているので、アライメント装置の装置誤差の影響が排除され、アライメント装置を用いて位置合わせする場合よりも高精度に位置合わせすることができる。

さらに、凸部１５０は、第２部材２１０の撥水膜２１３の一部を覆っている。換言すれば、本実施形態に係る流路構造体１００Ｂでは、第１部材１１０Ｂの凸部１５０が、第２部材２１０の当接面２２０と反対側の面（撥水膜２１３）の少なくとも一部を覆う構成を有している。凸部１５０が第２部材２１０の撥水膜２１３の少なくとも一部を覆うことで、第１部材１１０Ｂに対して第２部材２１０をより強く固定することができる。

＜流路構造体の製造方法＞
図１１は、本実施形態に係る流路構造体の製造方法を示す工程フローである。図１２Ａ乃至図１２Ｃは、図１１に示す主要な工程を経た後の流路構造体の状態を示す概略断面図である。
次に、図１１と図１２Ａ乃至図１２Ｃとを参照し、本実施形態に係る製造方法を説明する。

図１１に示すように、本実施形態に係る流路構造体の製造方法は、第１部材１１０Ｂに第１凹部１２０Ｂを形成する工程（ステップＳ１１）と、第１凹部１２０Ｂに接着剤２４０を塗布する工程（ステップＳ２）と、第１部材１１０Ｂの第１凹部１２０Ｂの中に第２部材２１０を配置する工程（ステップＳ３）と、接着剤２４０を硬化する工程（ステップＳ４）と、凸部１５０に熱処理を施す工程（ステップＳ１２）と、を含む。

なお、ステップＳ１１は、「当接部を凹部の内側に形成する工程」の一例である。ステップＳ２及びステップＳ３は、「第２部材を第１部材に配置する工程」の一例である。ステップＳ４は、「第１部材と第２部材とを固定する工程」の一例である。ステップＳ１２は、「当接部を変形させて、第２部材のうち当接面と反対側の面を覆う工程」の一例である。すなわち、本実施形態に係る流路構造体の製造方法は、「第２部材を第１部材に配置する工程」の一例であるステップＳ２及びステップＳ３以降に、「当接部を変形させて、第２部材のうち当接面と反対側の面を覆う工程」の一例であるステップＳ１２を有する。
ステップＳ２、ステップＳ３、及びステップＳ４は、実施形態１と同じであるので説明を省略する。

図１２Ａに示すように、ステップＳ１１では、熱可塑性樹脂を複数の金型を使用して成型し、第１凹部１２０Ｂと、第２凹部１３０と、第１の孔１１１と、流出路５１７と、を有する第１部材１１０Ｂを形成する。さらに、ステップＳ１１では、第１凹部１２０Ｂに、底面１４１ＣからＸ（−）方向に張り出した凸部１５０を形成する。
ステップＳ３では、底面１４１Ｃと凸部１５０とで囲まれた領域に第２部材２１０を配置する。

図１２Ｂに示すように、ヒートツール２５０は、ホルダー２５１と、通電により発熱する発熱体２５２とを有している。ホルダー２５１は、発熱体２５２を支持し、熱を伝えやすい材料で構成されている。
ステップＳ１２では、発熱体２５２（ヒートツール２５０）が発熱した状態で、ヒートツール２５０の位置を調整しながら、ホルダー２５１（ヒートツール２５０）を凸部１５０に近付ける。

凸部１５０が第２部材２１０からＸ（−）方向に張り出した状態で、第２部材２１０を底面１４１Ｃと凸部１５０とで囲まれた領域に配置し、ホルダー２５１（ヒートツール２５０）を凸部１５０に近付けると、凸部１５０が選択的に加熱される。
ステップＳ１２では、ヒートツール２５０を凸部１５０に接触させ、凸部１５０を選択的に加熱し、凸部１５０を熱変形させる。その結果、図１２Ｃに示すように、第２部材２１０の第２側面２２２に当接し、第２部材２１０の撥水膜２１３の少なくとも一部を覆う凸部１５０を形成することができる。
なお、ヒートツール２５０以外に、例えば凸部１５０にレーザー光を照査することによっても、凸部１５０を選択的に加熱することができる。

（実施形態４）
図１３は開弁状態にある開閉弁の概略断面図である。図１４は閉弁状態にある開閉弁の概略断面図である。
実施形態１に係るプリンター１は、インクタンク８と記録ヘッド２０との間のインクの流路を開閉する弁装置（バルブユニット５０）を有していた。当該弁装置（バルブユニット５０）は、記録ヘッド２０に適宜インクを供給するためのものであって、記録ヘッド２０からインクが噴射され記録ヘッド２０内のインク圧が低下すると開弁して記録ヘッド２０にインクを供給し、記録ヘッド２０にインクが供給され記録ヘッド２０内のインク圧が高まると閉弁する開閉弁である。

本実施形態に係るプリンターは、インクタンク８とバルブユニット５０との間に、他の弁装置（開閉弁６０）を有している。他の弁装置（開閉弁６０）は、チョーククリーニングを行うときに記録ヘッド２０に繋がるインクの流路を閉弁させるためのものである。
すなわち、本実施形態に係るプリンターは、実施形態１に係るプリンター１に対して開閉弁６０が付加された構成を有している。

以下に、図１３及び図１４を参照して、新たに付加された開閉弁の概要を説明する。
図１３及び図１４に示すように、開閉弁６０は、流路構造体７０と、フィルム部材９０とを有する。流路構造体７０は第１部材７１と、第２部材８１とで構成される。

第１部材７１は、例えば熱可塑性樹脂で形成された部材であり、凹部７２と、第１の孔７３と、流入路６１とを有する。第１の孔７３は、バルブユニット５０の流入路５１５に接続されている。流入路６１は供給管１０に接続されている。

凹部７２は、底面７４と、第１内壁面７５と、第２内壁面７６とを有する。すなわち、凹部７２は、底面７４と第１内壁面７５と第２内壁面７６とで囲まれた領域（空部）に対応する。第１内壁面７５は底面７４側に配置され、第２内壁面７６はフィルム部材９０側に配置されている。第１の孔７３は、底面７４の中央付近を貫くように形成されている。第１の孔７３では、底面７４の側にテーパ部７７が形成されている。テーパ部７７によって、第１の孔７３の径は底面７４へ近づくにつれて大きくなっている。
なお、第１内壁面７５は、「当接部」の一例である。

第２部材８１は、底面７４側に配置される本体部８２と、底面７４と反対側に配置される撥水膜８３と、本体部８２及び撥水膜８３を貫く第２の孔８４とを有している。本体部８２は、インクによって膨潤し難い材料、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）で構成されている。撥水膜８３は、インクに対して撥液性を有するものであればよく、例えばフッ素系高分子を含む金属膜や、撥液性を有する金属アルコキシドの分子膜などを用いることができる。
第２の孔８４は第１の孔７３よりも広く、第２の孔８４が第１の孔７３よりも狭い場合と比べて、第２の孔８４の中をインクが流動しやすくなっている。

第２部材８１は、底面７４に当接する当接面８５と、第１内壁面７５に当接する側面８６を有している。第２部材８１は、第１部材７１の底面７４と第１内壁面７５とで囲まれた領域に配置されている。

第１部材７１の底面７４は、第２部材８１の当接面８５に当接し、底面７４に直交する方向における第１部材７１に対する第２部材８１の位置を決定する。第１部材７１の第１内壁面７５は第２部材８１の側面８６に当接し、底面７４に沿った方向における第１部材７１に対する第２部材８１の位置を決定する。

第２部材８１は、アライメント装置を用いず、第１部材７１の構成要素（底面７４、第１内壁面７５）によって自己整合的に位置合わせされているので、アライメント装置の装置誤差の影響が排除され、アライメント装置を用いて位置合わせする場合よりも高精度に位置合わせすることができる。

第１部材７１の底面７４と第２部材８１の当接面８５との間には、接着剤２４０が配置され、第１部材７１と第２部材８１とが接着剤２４０によって接着されている。すなわち、第２部材８１は、当接面８５にて第１部材７１に接着されている。

フィルム部材９０は、例えば合成樹脂フィルムであり、ガスバリア性と可撓性とを有している。フィルム部材９０は、フィルム部材９０の外面に大気圧がかかる状態で第１部材７１の凹部７２に接着され、フィルム部材９０と凹部７２とでインクを貯留する液体室９３が形成される。

開閉弁６０のフィルム部材９０は、図示しない部材等により、撥水膜８３から離間したり、撥水膜８３に当接したりする。図示しない部材等としては、フィルム部材９０を選択的に付勢する偏芯カム、または、ポンプと連通し選択的にフィルム部材９０を押圧する圧力室等が挙げられる。
図１３に示すように、フィルム部材９０が撥水膜８３から離間し、第２の孔８４が開かれた状態になると、開閉弁６０からバルブユニット５０に至るインクの流路が開かれる。

図１４に示すように、フィルム部材９０が液体室９３の容積を減少させる方向に撓んで、フィルム部材９０が撥水膜８３に当接し、第２の孔８４を閉塞すると、開閉弁６０からバルブユニット５０に至るインクの流路が閉じられる。

このように、開閉弁６０は、フィルム部材９０が撥水膜８３に離当接することによって開閉する開閉弁である。フィルム部材９０が離当接する部分には撥水膜８３が設けられ、フィルム部材９０が離当接する部分はインクをはじき、インクの堆積が抑制される。従って、フィルム部材９０が離当接する部分にインクが堆積し、フィルム部材９０による第２の孔８４の閉塞が難しくなるという不具合を抑制することができる。

本実施形態に係るプリンターでは、開閉弁６０が閉弁している状態で、キャップ１２が記録ヘッド２０に当接しキャップ１２内を吸引ポンプによって吸引し、開閉弁６０の閉弁箇所（第２の孔８４）から記録ヘッド２０のノズル開口３３４に至るまでのインクの流路内に負圧を蓄積する。この負圧が十分蓄積された所定の段階で、開閉弁６０が開弁されるように設定されている。この開閉弁６０の開弁によって、液体室９３における第２の孔８４より下流側の流路に蓄積されていた負圧を解消しようとして、上流側から一気にインクが流れ込み、瞬間的に流速の高められたインクが流れる。この結果、液体室９３及びその下流の流路上に留まっていた気泡や異物が、インクとともに一気に記録ヘッド２０のノズル開口３３４から排出される。

すなわち、本実施形態に係るプリンターでは、インクの流路内に負圧を十分蓄積した後に開閉弁６０を開弁し、インクの流路内に留まっている気体や増粘したインクを下流側へ一気に押し出すチョーククリーニング処理を実行する。このため、本実施形態に係るプリンターは、実施形態１に係るプリンターと比べて、インクの流路内に留まる気体や増粘したインクを、より強く排出することができる。

なお、本実施形態では、バルブユニット５０と別の場所に開閉弁６０を設けたが、バルブユニット５０の中に開閉弁６０を設ける構成であってもよい。

本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。

（変形例１）
図１５は、図６に対応する図であり、変形例１に係る流路構造体の概略断面図である。
本変形例に係る流路構造体１００Ｃでは、第２部材２１０Ｂに形成された第２の孔２１１Ｂの形状が実施形態１と異なり、他は実施形態１と同じである。
以下、図１５を参照して本変形例を説明する。

図１５に示すように、本変形例に係る流路構造体１００Ｃは、第１部材１１０と第２部材２１０Ｂとで構成される。第２部材２１０Ｂは、底面１４１へ近づくにつれて第２の孔２１１Ｂの径を大きくするテーパ部１１３を有している。この点が本変形例と実施形態１との相違点である。

接着剤２４０の移動面にテーパ部１１３を設けると、接着剤２４０の移動面が底面１４１（平面）だけで構成される場合と比べて、接着剤２４０の移動方向（Ｚ方向）と交差する方向の空間を広くし、接着剤２４０の移動面により多くの接着剤２４０を留めることができる。すなわち、図中の破線で示すように、底面１４１と当接面２２０との間からはみ出した余分な接着剤２４０は、テーパ部１１３（底面１４１と第１側面２２１との間）に留まり、第１の孔１１１の側（弁体４５０が配置される側）に移動しにくくなる。

さらに、第１部材１１０は、底面１４１へ近づくにつれて第１の孔１１１の径を大きくするテーパ部１１２を有しているので、底面１４１と当接面２２０との間からはみ出した余分な接着剤２４０は、テーパ部１１２によっても第１の孔１１１の側（弁体４５０が配置される側）に移動しにくくなる。
従って、本変形例は、実施形態１と比べて、接着剤２４０が第１の孔１１１の側（弁体４５０が配置される側）に移動しにくくなり、接着剤２４０が弁体４５０に干渉したことによる弁体４５０の動作不良をより強く抑制することができる。

なお、第２の孔２１１Ｂにテーパ部１１３を設け、第１の孔１１１にテーパ部１１２を設けない構成であってもよい。この構成であれば、実施形態１と同等の効果を奏することができる。
すなわち、底面１４１へ近づくにつれて第１の孔１１１の径を大きくするテーパ部１１２を第１部材１１０に設ける構成、及び底面１４１へ近づくにつれて第２の孔２１１Ｂの径を大きくするテーパ部１１３を第２部材２１０Ｂに形成する構成の少なくとも一方を有することで、底面１４１と当接面２２０との間からはみ出した余分な接着剤２４０が弁体４５０に干渉しにくくなり、弁体４５０の動作不良（バルブユニット５０の動作不良）を抑制することができる。

（変形例２）
図１６は、図６に対応する図であり、変形例２に係る流路構造体の概略断面図である。以下、図１６を参照して本変形例に係る流路構造体１００Ｄの概要を説明する。

図１６に示すように、本変形例に係る流路構造体１００Ｄは、第１部材１１０Ｃと第２部材２１０Ｃとで構成される。第１部材１１０Ｃには、底面１４１と第３内壁面１２３とを有する第１凹部１２０Ｃが形成されている。すなわち、第１凹部１２０Ｃは、実施形態１の第１凹部１２０から第１内壁面１２１と第２内壁面１２２とが削除された構成を有している。第１部材１１０Ｃの底面１４１には、勘合用凹部１６０を設けられている。第２部材２１０Ｃの当接面２２０には、勘合用凸部１７０が設けられている。
なお、勘合用凹部１６０は、「当接部」の一例である。

第１部材１１０Ｃの底面１４１は、第２部材２１０Ｃの当接面２２０に当接し、底面１４１に直交する方向における第１部材１１０Ｃに対する第２部材２１０Ｃの位置を決定する。第１部材１１０Ｃの勘合用凹部１６０は、第２部材２１０Ｃの勘合用凸部１７０に当接（勘合）し、底面１４１に沿った方向における第１部材１１０Ｃに対する第２部材２１０Ｃの位置を決定する。
第２部材２１０Ｃは、アライメント装置を用いず、第１部材１１０Ｃの構成要素（底面１４１、勘合用凹部１６０）によって自己整合的に位置合わせされているので、アライメント装置の装置誤差の影響が排除され、アライメント装置を用いて位置合わせする場合よりも高精度に位置合わせすることができる。

なお、勘合用凸部１７０を第１部材１１０の底面１４１に設け、勘合用凹部１６０を第２部材２１０の当接面２２０に設け、第１部材１１０Ｃの勘合用凸部１７０が第２部材２１０Ｃの勘合用凹部１６０に当接することによっても、底面１４１に沿った方向における第１部材１１０Ｃに対して第２部材２１０Ｃを高精度に位置合わせすることができる。

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般に適用することができる。例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等における流路構造体に本発明を適用させることができる。

１００…流路構造体、１１０…第１部材、１１１…第１の孔、１１２…テーパ部、１２０…第１凹部、１２１…第１内壁面、１２２…第２内壁面、１２３…第３内壁面、１３０…第２凹部、１４０…隔壁、１４１…底面、２１０…第２部材、２１１…第２の孔、２１２…本体部、２１３…撥水膜、２２０…当接面、２２１…第１側面、２２２…第２側面、２４０…接着剤、４１０…フィルム部材、４２０…受圧板、４３０…バネ、４４０…蓋部材、４５０…弁体、４６０…軸、４６１…本体部、４６２…フランジ部、４７０…弁部材、５１１…液体室、５１３…圧力調整室、５１５…流入路、５１７…流出路。

Claims (15)

1. 蓋部材との間で液体を貯留する液体室を形成する凹部と、前記凹部の底面に形成され前記液体の流路となる第１の孔とを有する第１部材と、
   前記底面と当接する当接面と、前記第１の孔を露出させ前記流路となる第２の孔とを有する第２部材と、
   を含み、
   前記第１部材は、前記底面に沿った方向における前記第２部材の位置を決定する当接部を有することを特徴とする流路構造体。
2. 前記底面と前記当接面との間に、前記第１部材と前記第２部材とを固定する接着剤を有していることを特徴とする請求項１に記載の流路構造体。
3. 前記第１部材及び前記第２部材の少なくとも一方は、さらに、前記底面へ近づくにつれて前記第１の孔または前記第２の孔の径を大きくするテーパ部を有することを特徴とする請求項２に記載の流路構造体。
4. 蓋部材との間で液体を貯留する液体室を形成する凹部と、前記凹部の底面に形成され前記液体の流路となる第１の孔とを有する第１部材と、
   前記底面と当接する当接面と、前記第１の孔を露出させ前記流路となる第２の孔とを有する第２部材と、
   を含み、
   前記第１部材及び前記第２部材の少なくとも一方は、さらに、前記底面へ近づくにつれて前記第１の孔または前記第２の孔の径を大きくするテーパ部を有することを特徴とする流路構造体。
5. 前記第１部材は、さらに、前記底面に沿った方向における前記第２部材の位置を決定する当接部を有することを特徴とする請求項４に記載の流路構造体。
6. 前記第２部材は、前記当接面を挟んで、前記当接面に交差する第１側面と第２側面とを有し、
   前記第１側面は、前記第２の孔を規定し、
   前記第２側面は、前記第２部材の外形を規定し、
   前記当接部は、前記第２側面に当接することを特徴とする請求項１〜３，５のいずれか１項に記載の流路構造体。
7. 前記第２部材は、前記当接面を挟んで、前記当接面に交差する第１側面と第２側面とを有し、
   前記第１側面は、前記第２の孔を規定し、
   前記第２側面は、前記第２部材の外形を規定し、
   前記当接部は、前記第１側面に当接することを特徴とする請求項１〜３，５のいずれか１項に記載の流路構造体。
8. 前記第２部材は、弁部材が当接することにより前記第２の孔を閉塞可能とする部位に撥水面をさらに有していることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の流路構造体。
9. 前記底面に直交する方向において、前記当接部の長さは、前記第２部材の長さと同じ、または前記第２部材の長さよりも短いことを特徴とする請求項８に記載の流路構造体。
10. 前記第２部材に離当接する弁部材と、
    前記弁部材に固定され、前記第１の孔及び前記第２の孔を通る軸と、
    前記軸の位置を変化させて前記弁部材を前記第２部材に離当接させる弾性部材と、
    をさらに有していることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の流路構造体。
11. 前記凹部は、前記底面を囲むように配置される内壁面を有し、
    前記内壁面は、前記底面から離れるにつれて前記凹部の開口が広くなるように傾斜したガイド部を有していることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の流路構造体。
12. 平面視で、前記第１の孔は前記第２の孔の内側に配置され、
    前記第２部材は、前記当接面にて前記第１部材に固定され、
    前記第２の孔の前記当接面側の開口は、前記第１の孔の前記当接面側の開口よりも、広いことを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の流路構造体。
13. 前記当接部は、前記第２部材のうち前記当接面と反対側の面の少なくとも一部を覆うことを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載の流路構造体。
14. 凹部と、前記凹部の底面に形成された第１の孔とを有する第１部材と、
    前記底面と当接する当接面と、前記第１の孔を露出させる第２の孔とを有する第２部材と、
    を含む流路構造体の製造方法であって、
    前記底面に沿った方向における前記第２部材の位置を決定する当接部を、前記凹部の内側に形成する工程と、
    前記当接部に接するように前記第２部材を前記第１部材に配置する工程と、
    前記第１部材と前記第２部材とを固定する工程と、
    を含むことを特徴とする流路構造体の製造方法。
15. 前記配置する工程以降に、前記当接部を変形させて、前記第２部材のうち前記当接面と反対側の面の少なくとも一部を覆う工程を有することを特徴とする請求項１４に記載の流路構造体の製造方法。

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