JP2017119364A - スクライブ装置およびスクライブ方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1(a)は、実施形態1に係るスクライブ装置1の構成を模式的に示す図である。図1(a)は、Y軸正側からスクライブ装置1を見た側面図である。
図3(a)、(b)は、回転部12に対するホルダ40の取り付け方法を模式的に示す図である。図3(a)、(b)では、回転部12の内部が透視された状態が示されている。
本願発明者は、回転軸Raと基板Fの表面とのなす角を種々変更して、スクライブラインの形成状態を検証した。実験では、基板Fに50μmピッチでスクライブラインを形成し、図5(a)に示すように、実際に形成されたスクライブラインのピッチPを計測した。ピッチPは、スクライブラインの計測位置Loにおい計測した。
上記実施形態1では、スクライブヘッド10全体を傾けることにより、回転部12の回転軸Raを基板Fの表面に垂直な方向に対してスクライブヘッド10の進行方向前側に傾けたが、図8(a)に示すように、駆動部11の中心軸Rbが基板Fの表面に垂直となるようにスクライブヘッド10を移動部材21に設置し、回転軸Raが基板Fの表面に垂直な方向に対してスクライブヘッド10の進行方向前側に傾くように、回転部12をスクライブヘッド10に設置する構成としてもよい。
上記実施形態1では、回転部12にホルダ40を装着することにより、スクライビングホイール41がスクライブヘッド10に装着された。これに対し、実施形態2では、回転部12に直接、スクライビングホイール41が装着される。
本願発明者は、回転軸Raと基板Fの表面とのなす角を種々変更して、スクライブラインの形成状態を検証した。実験では、基板Fに50μmピッチでスクライブラインを形成し、図5(a)に示すように、実際に形成されたスクライブラインのピッチPを計測した。ピッチPは、スクライブラインの計測位置Loにおいて計測した。
実施形態2では、スクライブヘッド10全体を傾けることにより、回転部12の回転軸Raを基板Fの表面に垂直な方向に対してスクライブヘッド10の進行方向前側に傾けたが、駆動部11の中心軸Rbが基板Fの表面に垂直となるようにスクライブヘッド10を移動部材21に設置し、回転軸Raが基板Fの表面に垂直な方向に対してスクライブヘッド10の進行方向前側に傾くように、回転部12をスクライブヘッド10に設置する構成であってもよい。
本実施の形態によれば、以下の効果が奏される。
10 … スクライブヘッド
11 … 駆動部
12 … 回転部
20 … 移動機構
41 … スクライビングホイール
F … 基板
Ra … 回転軸
Claims (6)
- 基板表面にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールが下端に装着されたスクライブヘッドと、
前記スクライブラインを形成するために設定された基準直線に平行に前記スクライブヘッドを移動させる移動機構と、を備え、
前記スクライビングホイールは、前記スクライブヘッドの下部に回転可能に支持された回転部に装着され、
前記回転部の回転軸が、前記基板表面に垂直な方向に対して前記スクライブヘッドの進行方向前側に傾いている、
ことを特徴とするスクライブ装置。 - 請求項1に記載のスクライブ装置において、
前記スクライブヘッドは、前記スクライビングホイールを前記基板表面に押し付けるための荷重を付与するために前記回転部を駆動する駆動部を備え、
前記駆動部が前記回転部を駆動する方向が前記回転軸に平行となっており、
前記回転部の回転軸が前記基板表面に垂直な方向に対して前記スクライブヘッドの進行方向前側に傾くように、前記スクライブヘッドが、前記基板表面に垂直な方向に対して前記スクライブヘッドの進行方向前側に傾いた状態で、前記移動機構に設置されている、
ことを特徴とするスクライブ装置。 - 請求項1に記載のスクライブ装置において、
前記スクライブヘッドは、前記スクライビングホイールを前記基板表面に押し付けるための荷重を付与するために前記回転部を駆動する駆動部を備え、
前記駆動部が前記回転部を駆動する方向が前記基板表面に垂直となっており、
前記回転部の回転軸が前記基板表面に垂直な方向に対して前記スクライブヘッドの進行方向前側に傾くように、前記回転部が前記スクライブヘッドに設置されている、
ことを特徴とするスクライブ装置。 - 請求項1ないし3の何れか一項に記載のスクライブ装置において、
前記基板表面に対する前記回転軸の角度が、82度以上90度未満である、
ことを特徴とするスクライブ装置。 - 請求項4に記載のスクライブ装置において、
前記基板表面に対する前記回転軸の角度が、86度以上89.5度以下である、
ことを特徴とするスクライブ装置。 - 回転可能に支持された回転部にスクライビングホイールが装着されたスクライブヘッドを用いて基板表面にスクライブラインを形成するスクライブ方法であって、
前記回転部の回転軸が、前記基板表面に垂直な方向に対して前記スクライブヘッドの進行方向前側に傾くように、前記スクライブヘッドを直進させて、前記基板表面に前記スクライブラインを形成する、スクライブ方法。
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