JP2017112212A - 基板処理装置およびその品質保証方法 - Google Patents
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Abstract
Description
このような態様によれば、装置品質保証運転を行いつつ異常判定を行う。また、基板処理装置が装置品質保証制御部を備えるため、装置運転データを外部に送付する必要はない。よって、効率よくEEQAを実現できる。
より望ましくは、前記基準データは、基準となる他の基板処理装置で取得されたデータ、当該基板処理装置自身で取得された直近のデータ、または、予め定めたデータである。
これにより、適切な異常判定を行うことができる。
これにより、取得された装置運転データが通常時の装置運転データと大きく外れている場合に、故障を予知する予知アラームを発することができる。
これにより、EEQAをより効率よく行うことができる。
図1は、基板処理装置100を模式的に示すブロック図である。基板処理装置100は、1または複数の研磨モジュール1および洗浄モジュール2と、これらモジュール間で基板を搬送する搬送モジュール3と、EEQA制御部50(装置品質保証制御部)とを備えている。処理対象の基板は、研磨モジュール1によって研磨され、洗浄モジュール2によって洗浄および乾燥される。以下では、基板を処理するという意味で、研磨モジュール1、洗浄モジュール2および搬送モジュール3をまとめて基板処理部10とも呼ぶ。
上述した第1の実施形態は、EEQA運転を行いつつ異常判定を行うものであった。これに対し、次に説明する第2の実施形態は、EEQA運転を行いつつ自動調整を行うものである。
2 洗浄モジュール
3 搬送モジュール
10 基板処理部
50 EEQA制御部
51 ホストPC
100 基板処理装置
100a ゴールデンツール
100b 対象基板処理装置
Claims (10)
- 基板を処理する基板処理部と、
装置品質保証運転を行いつつ、前記基板処理部の装置運転データを取得して該装置運転データに基づく異常判定を行う装置品質保証制御部と、を備える基板処理装置。 - 前記装置品質保証制御部は、前記装置運転データと、所定の基準データとに基づいて、前記異常判定を行う、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記基準データは、
基準となる他の基板処理装置で取得されたデータ、
当該基板処理装置自身で取得された直近のデータ、または、
予め定めたデータ
である、請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記装置品質保証制御部は、前記異常判定として、前記装置運転データの平均値、標準偏差、立ち上がり時間、立ち下がり時間、最大値および最小値と、前記基準データに基づく基準値とを比較して異常アラームを発する、請求項2または3に記載の基板処理装置。
- 前記装置品質保証制御部は、異常と判定されない時の装置運転データと、取得された装置運転データと、の比が所定値を超える場合に予知アラームを発する、請求項1乃至4のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記装置品質保証運転の終了時には、前記異常判定が終了している、請求項1乃至5のいずれかに記載の基板処理装置。
- 基板を処理する基板処理部を備える基板処理装置の品質保証方法であって、
装置品質保証運転を行いつつ、前記基板処理部の装置運転データを取得して該装置運転データに基づく異常判定を行う、基板処理装置の品質保証方法。 - 基板を処理する基板処理部と、
装置品質保証運転を行いつつ、前記基板処理部の装置運転データを取得し、該装置運転データに基づいて前記基板処理部の調整を行う装置品質保証制御部と、を備える基板処理装置。 - 前記装置品質保証制御部は、前記基板処理部の基板処理レシピまたは前記基板処理部の装置パラメータの調整を行う、請求項8に記載の基板処理装置。
- 基板を処理する基板処理部を備える基板処理装置の品質保証方法であって、
装置品質保証運転を行いつつ、前記基板処理部の装置運転データを取得し、該装置運転データに基づいて前記基板処理部の調整を行う、基板処理装置の品質保証方法。
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