JP2017109295A - 研磨加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】高い研磨精度が維持でき、装置自体の摩耗も少なくできる研磨加工装置を提供する。【解決手段】複数のホイール２０間に張架した研磨ワイヤ１０を、研磨ワイヤ１０に当接して並走する補助ワイヤ１３で支持すると共にし、走行方向と交差する左右方向への移動と撓みを補助ワイヤ１３で抑制する。これにより、高い研磨精度が維持でき、装置自体の摩耗も少なくできる。【選択図】図１

Description

本発明は、プロファイル研磨を行う研磨加工装置に関する。

従来からプロファイル研磨を行う研磨加工装置では、円盤状の回転砥石を被加工物に接触させながら徐々に移動させていく研磨方法が用いられている。この種の研磨加工装置で用いる研磨工具としては、例えば、ロウ付けダイヤモンド層を含むロータリードレッシング工具（特許文献１参照）が用いられている。

研磨工具として円盤状のロータリードレッシング工具を用いる代わりに研磨ワイヤを用いたものとしては、ワイヤ研磨加工装置及びワイヤ研磨加工方法（特許文献２参照）が提案されている。また、研磨ワイヤとしてダイヤモンドワイヤを用いたものとしては、裁断刃の研磨方法及び装置（特許文献３参照）が提案されている。

特許文献１に記載された研磨工具は、外周縁に研磨リムを有したロータリードレッシング工具として構成されており、このロータリードレッシング工具を用いた加工例として、研磨砥石のプロファイル面を形直しする加工例が示されている。

特許文献２に記載されたワイヤ研磨加工装置では、片持ち支持された被加工物が片持ち支持された基端部から先端部に行くのに従って下方向に撓むことを考慮に入れたものであり、研磨ワイヤが研磨しながら被加工物の基端部から先端部に移動するのに従って、被加工物を押し付けている研磨ワイヤの加工荷重を減少させている。

即ち、片持ち支持された被加工物の基端部から先端部に掛けての長さ方向における撓み曲線に対応させるようにして、研磨ワイヤから被加工物に加える加工荷重の大きさを先端部に行くのに従って減少させている。これによって、加工荷重と加工荷重を加えたときの被加工物からの反力とを被加工物の長さ方向に亘って均衡させることができ、被加工物に対して均一の研磨を行うことができる構成になっている。

特許文献３に記載された研磨装置では、ダイヤモンド砥粒が固着されたダイヤモンドワイヤが使用されており、２つのガイドローラ間にダイヤモンドワイヤを走行させている。そして、２つのガイドローラの間に配した被加工物を走行するダイヤモンドワイヤで研磨する構成になっている。

特開２００５−１３１７８４号公報 特開２０１４−８５９０号公報 特開２００３−１１７７８１号公報

特許文献１に記載された研磨工具を用いた構成では、回転しているロータリードレッシング工具が長時間に亘り被加工物と接触した状態になり、ロータリードレッシング工具に高熱が発生して、発生した高熱によって被加工物が変形するという問題が生じる。また、ロータリードレッシング工具自体も外周表面のみで被加工物と接触する構成であるため、研磨加工中にロータリードレッシング工具自体が摩耗してその外周径が変化することになる。その結果、加工精度が低下するという問題も生じる。

特許文献２に記載されたワイヤ研磨加工装置では、研磨ワイヤが走行しながら被加工物を研磨していく構成のため、被加工物に接触している研磨ワイヤの箇所は、研磨ワイヤの走行に伴って順次移動していくことになる。そのため、回転式の研磨工具における上述した問題を解決することができる。

しかし、可撓性の研磨ワイヤを用いた構成のため、被加工物に対して加工荷重を加えると、被加工物からの反力によって研磨ワイヤ自体が変形することになる。研磨ワイヤが被加工物からの反力によって変形すると、加工荷重の大きさも変化することになり、被加工物を研磨ワイヤによって均一に研磨することができなくなる。また、研磨ワイヤは、被加工物に対して接線方向に接触することがなくなり、変形した曲線部で被加工物を研磨することになり、正確なプロファイル研磨が行えなくなる。
この被加工物からの反力によって研磨ワイヤが変形することに関して、特許文献２では問題の認識や研磨ワイヤの変形に対する解決策は、開示も示唆もされていない。

特許文献３には、ダイヤモンドワイヤを用いて研磨を行う構成は開示されているが、上述した特許文献２における研磨ワイヤの場合と同様に、ダイヤモンドワイヤも被加工物からの反力によって変形することになる。しかし、特許文献３においても、ダイヤモンドワイヤが反力によって変形する問題に関する認識や、これに対する解決策は、開示も示唆もされていない。

本発明は、上述した問題を解決するためになされたものであり、高い研磨精度を維持することができ、研磨工具自体の摩耗も少なくすることができる研磨加工装置の提供を課題としている。

上記課題を解決するため本発明に係る研磨加工装置は、研磨砥粒を表面に分散固着した研磨ワイヤと、複数のホイール間に張架させて、前記研磨ワイヤを走行させるワイヤ走行機構と、前記研磨ワイヤに当接して前記研磨ワイヤの走行と等速で並走する長尺の補助ワイヤと、を備え、
前記補助ワイヤが、前記研磨ワイヤの走行方向と交差する左右方向への前記研磨ワイヤの移動を規制する形状を有するとともに、前記研磨ワイヤの撓みを抑制していることを最も主要な特徴としている。

本発明に係る研磨加工装置では、研磨ワイヤを用いてプロファイル研磨を行うことができ、しかも、高い研磨精度を維持することができて、研磨工具自体の摩耗も少なくすることができる。

研磨加工装置の要部正面を示す概要図である。（実施例１） 図１のＡ−Ａ断面における研磨ワイヤと補助ワイヤとホイールと関係を示す断面図であって、研磨ワイヤの全周面に研磨砥粒を配した構成（ａ）、研磨ワイヤの芯線として補助ワイヤを用いた構成（ｂ）、研磨ワイヤの研磨面のみに研磨砥粒を配した構成（ｃ）を示している。（実施例１） 研磨ワイヤと補助ワイヤとを別体に構成した研磨加工装置の要部正面を示す概要図である。（実施例１） 研磨加工装置の変形例における要部正面を示す概要図である。（実施例１） 研磨加工装置の要部正面を示す概要図である。（実施例２） 図５のＢ−Ｂ断面における研磨ワイヤと補助ワイヤとホイールと関係を示す断面図であって、研磨ワイヤの全周面に研磨砥粒を配した構成（ａ）、研磨ワイヤの芯線として補助ワイヤを用いた構成（ｂ）、研磨ワイヤの研磨面のみに研磨砥粒を配した構成（ｃ）を示している。（実施例２） 研磨ワイヤと補助ワイヤとを別体に構成した研磨加工装置の要部正面を示す概要図である。（実施例２） 研磨加工装置の要部正面を示す概要図である。（実施例３） 図１のＡ−Ａ断面における研磨ワイヤとホイールと関係を示す説明図である。 図１のＡ−Ａ断面における研磨ワイヤとホイールと関係を示す説明図である。（参考例）

本発明に係る研磨加工装置の実施例１について、添付図面に基づいて以下において具体的に説明する。本発明に係わる研磨加工装置としては、本発明の課題を解決することができる形状、構成であれば、それらの形状、構成を採用することができる。そのため、本発明は、以下に説明する実施例の構成に限定されるものではなく、多様な変更が可能である。
また、各実施例の説明において、同一の部材に関しては同一の部材符号を用いることで重複した説明を省略している。

図１〜図４を用いて、本発明に係る研磨加工装置の実施例１の構成を説明する。図１には、移動機構３に備えたチャックに被加工物１が把持され、被加工物１の先端部に対してプロファイル加工を施すため、３つのホイール２０間には無端状に掛け回された研磨ワイヤ１０が張架されている。３つのホイール２０のうち適宜のホイールを、駆動ホイールとして構成しておくことができ、ホイール２０間に張架されている研磨ワイヤ１０を時計回り方向や反時計回り方向に走行させることができる。

移動機構３は、チャックを回転させることにより被加工物１をその回転軸回りに回転させることができ、また、被加工物１を上記回転軸に沿って移動させたり、前記回転軸と直交する方向に移動させたりすることができる。

図示例では、研磨ワイヤ１０は、被加工物１の外周の長手方向に沿って走行することで、被加工物１の外周縁を研磨することができる構成になっているが、図４に示すように、研磨ワイヤ１０を被加工物１の長手方向と直交する方向、即ち、紙面に垂直な方向に走行するように構成しておくこともできる。また、ホイール２０を上記回転軸に対して直交する方向に移動させるように構成しておくことができる。

なお、ホイール２０を研磨ワイヤ１０及び補助ワイヤ１３と共に上記回転軸に対して直交する方向に移動させるワイヤ走行機構１８としては、その構成の具体的な図示例を省略しているが、従来から公知の研磨工具の移動機構を用いることができ、その図示は省略している。

研磨ワイヤ１０を被加工物１の外周の長手方向に沿って走行させることにより、被加工物１の研磨箇所を線状に研磨することができる。そして、被加工物１が円筒形状であれば、研磨ワイヤ１０で被加工物１を直線状に研磨して、順次移動機構３を駆動して被加工物１を回転駆動させることにより、被加工物１の研磨箇所を全周に亘って研磨加工を施すことができる。

以下における実施例の説明では、研磨ワイヤ１０としてダイヤモンドワイヤを用いた構成について説明を行うが、本発明に係る研磨ワイヤ１０としてはダイヤモンドワイヤに限定されるものではなく、被加工物１の材質に応じた研磨を行うことのできる研磨砥粒を分散固着した研磨ワイヤ１０を用いることができる。そのための研磨砥粒としては、例えば、ダイヤモンド粒やＣＢＮ粒（立方晶窒化ホウ素粒）、Ｓｉ粒（炭化ケイ素粒）等を用いることができる。

研磨ワイヤ１０の断面形状としては、図１のＡ−Ａ断面図である図２（ａ）〜図２（ｃ）に示したような断面形状を備えさせておくことができる。図２（ａ）には、ダイヤモンド粒を固着した砥粒固着部１２を研磨ワイヤ１０の芯線１１ａの外周面に形成した形状を示しており、図２（ｂ）には、後述する補助ワイヤ１３で研磨ワイヤ１０の芯線１１ｂを形成し、芯線１１ｂにおける研磨ワイヤ１０の研磨面と部位のみに砥粒固着部１２を形成した形状を示している。また、図２（ｃ）には、芯線１１ｂにおける研磨ワイヤ１０の研磨面と部位のみに砥粒固着部１２を形成した形状を示している。補助ワイヤ１３で研磨ワイヤ１０の芯線１１ｂを形成した構成としては、図２（ｂ）の構成に限定されるものではなく、図９のように構成しておくこともできる。

研磨ワイヤ１０には、図１及び図２（ａ）〜図２（ｃ）に示したように、研磨ワイヤ１０の撓みを抑制するため、研磨ワイヤ１０の研磨面に対して反対側の面から当接して、少なくとも研磨領域において研磨ワイヤ１０が撓むのを防止する補助ワイヤ１３が設けられている。

補助ワイヤ１３を研磨ワイヤ１０と一体的に走行させることにより、研磨ワイヤ１０がホイール２０と直接接触することを防止することができ、ホイール２０のガイド溝が研磨ワイヤ１０によって研磨されて摩耗するのを防ぐことができる。

即ち、参考図としての図１０に示したように、研磨ワイヤ１０をホイール２０で直接支持すると、走行する研磨ワイヤ１０によってホイール２０のガイド溝２１は研磨されてしまうことになる。

図１の場合には、研磨領域に配設したホイール２０と当該ホイール２０に支持された補助ワイヤ１３とによって、研磨ワイヤ１０の撓みを抑制して、精密な研磨加工が行えるように構成されている。研磨領域に配設したホイール２０は、研磨ワイヤ１０及び補助ワイヤ１３が変形するのを抑制する支持部材としても機能している。

補助ワイヤ１３は、研磨ワイヤ１０の撓みを抑制するため、上下方向に所望の厚みを有している。補助ワイヤ１３の研磨ワイヤ１０に当接する一端面には、研磨ワイヤ１０の芯線１１ａを支持できるよう凹状に形成されており、凹状の形状は、研磨ワイヤ１０の外周面における略半周面の部位全面に当接することができる。

そして、補助ワイヤ１３の端面に形成した凹状の内表面形状は、研磨ワイヤ１０の外周面形状に倣った形状に形成されており、内表面形状における一対の端縁部１５によって、研磨ワイヤ１０が走行中に、走行方向と交差する左右方向にブレながら移動するのを防止している。

また、補助ワイヤ１３の他端面側は、ホイール２０との接触面積を大きくするため四角形状に形成されている。補助ワイヤ１３を研磨ワイヤ１０と一体的に走行させることにより、研磨ワイヤ１０がホイール２０と直接接触することを防止し、ホイール２０の摩耗を防ぐことができる。このため、補助ワイヤ１３としては、ホイール２０に対して摩耗が少ない材質で、駆動ホイール２０からの駆動力を受けることのできる材質を用いて構成しておくことができる。例えば、補助ワイヤ１３として、樹脂材等を用いることができる。

図１における３つのホイール２０のうちで、駆動ホイールを除いた従動ホイールのガイド溝２１には、補助ワイヤ１３との間に生じる摺動抵抗を低下させるため摩擦防止部材１４が設けられている。駆動ホイールとしては、被加工物１に近接した位置に配したホイール２０を駆動ホイールとして構成しておくことも、被加工物１から離間した位置に配したホイールを駆動ホイールとして構成しておくこともできる。あるいは、複数のホイール２０を駆動ホイールとして構成しておくこともできる。

各ホイール２０は、回転軸２２と回転軸２２に固定されたストッパー２６とを備えた構成になっており、図２では駆動ホイールとしての構成を図示している。即ち、駆動ホイールは、回転軸２２に固定されて回転軸２２からの駆動力によって補助ワイヤ１３及び研磨ワイヤ１０を長手方向に走行させることができる。
また、図示を省略しているが、ホイール２０のうちで従動ホイールは、回転軸２２に固定された一対のストッパー２６に挟まれた形で回転軸２２に回転支持されている。

図１では、研磨ワイヤ１０と補助ワイヤ１３とを一体的に構成した構成例を示しているが、図３に示すように、研磨ワイヤ１０と補助ワイヤ１３とを別体に構成しておくこともできる。研磨ワイヤ１０は、例えば、巻装されている一方の巻取り・巻戻しリール２３から巻戻して、他方の巻取り・巻戻しリール２４に巻取りながら、研磨領域では補助ワイヤ１３と一体的に走行させることができる。巻取り・巻戻しリール２３、２４は、駆動軸２５によって、正逆転駆動される。

一方の巻取り・巻戻しリール２３からの巻戻しが終了したら、今度は逆に他方の巻取り・巻戻しリール２４から巻戻しを行い、一方の巻取り・巻戻しリール２３で巻取りを行わせることで、双方向に亘って研磨ワイヤ１０を走行させることができる。これにより、繰り返し双方向に研磨ワイヤ１０を走行させて被加工物１に対する研磨加工を施すことができる。実施例１における構成では、被加工物１を点状に研磨することができるので、微細な箇所に対する研磨加工としての効果を奏することができる。

図５〜図７を用いて、本発明に係る実施例２の構成について説明する。実施例１では、被加工物１に対する研磨箇所に配したホイール２０で、研磨ワイヤ１０及び補助ワイヤ１３を支持しながら研磨ワイヤ１０で被加工物１を研磨する研磨加工装置の構成について説明を行った。本発明に係る実施例２では、被加工物１側に配設した一対のホイール２０ａ、２０ｂ間に研磨ワイヤ１０及び補助ワイヤ１３を張架して、張架した研磨ワイヤ１０で被加工物１の長手方向への研磨を行う研磨加工装置の構成について説明する。

なお、ホイール２０を研磨ワイヤ１０及び補助ワイヤ１３と共に被加工物１に対して近接する方向に移動させるワイヤ走行機構１８としては、その構成の具体的な図示例を省略しているが、従来から公知の研磨工具の移動機構を用いることができ、その図示は省略している。

そして、一対のホイール２０ａ、２０ｂ間での研磨ワイヤ１０及び補助ワイヤ１３の変形を抑制するため、支持部材としてのガイド板３０が研磨ワイヤ１０及び補助ワイヤ１３の走行方向に沿って配設されている。ガイド板３０の表面には、補助ワイヤ１３との間での摩擦力を低減させるための摩擦防止部材１４が設けられている。また、必要に応じて一対のホイール２０ａ、２０ｂの各ガイド溝３１に摩擦防止部材を構成しておくこともできる。

実施例２における他の構成は、実施例１における構成と同様の構成になっており、実施例１と同様の構成については同一の部材符号を用いることで重複した説明を省略する。
図５では、研磨ワイヤ１０及び補助ワイヤ１３が無端状に４つのホイール２０に張架された構成を示しており、４つのホイール２０のうち適宜のホイール２０を駆動ホイールと従動ホイールとして構成しておくことができる。

駆動ホイールを正逆転させることにより、ホイール２０間に張架されている研磨ワイヤ１０を時計回り方向や反時計回り方向に走行させることができる。各ホイール２０は、実施例１で説明したと同様の構成を備えており、各ホイール２０のうちで駆動ホイールを駆動させることで、研磨ワイヤ１０と補助ワイヤ１３とを一体的に走行させることができる。

研磨ワイヤ１０及び補助ワイヤ１３の構成としては、図６（ａ）〜図６（ｃ）のいずれかの構成としておくことができる。図６（ａ）〜図６（ｃ）に示した研磨ワイヤ１０及び補助ワイヤ１３の構成は、実施例１の図２で示した構成と同様の構成になっている。
研磨位置を移動する場合は、被加工物１或いは研磨ワイヤ１０のワイヤ走行機構１８のどちらかを動かすことにより行うことができる。

ガイド板３０と研磨ワイヤ１０及び補助ワイヤ１３との関係は、図６（ａ）〜図６（ｃ）に示す構成になっている。図示例では、ガイド板３０の板厚は、ホイール２０の直径と略等しい厚さを有した構成例を示しているが、ガイド板３０の剛性等やガイド板３０を支持する支持構造等によっては、ガイド板３０の板厚としては、研磨ワイヤ１０及び補助ワイヤ１３の変形を抑制することができる適宜の板厚に構成しておくことができる。

補助ワイヤ１３の走行方向に対して左右方向に補助ワイヤ１３が移動するのを抑制するため、補助ワイヤ１３の走行方向に沿って延びたガイド溝３１を形成しておくことができる。

図５では、研磨ワイヤ１０と補助ワイヤ１３とを一体的に構成した構成例を示しているが、図７に示すように、研磨ワイヤ１０と補助ワイヤ１３とを別体に構成しておくこともできる。研磨ワイヤ１０は、例えば、巻装されている一方の巻取り・巻戻しリール２３から巻戻して、他方の巻取り・巻戻しリール２４に巻取りながら、一対のホイール２０ａ、２０ｂ間の研磨領域では補助ワイヤ１３と一体的に走行させることができる。巻取り・巻戻しリール２３、２４は、駆動軸２５によって、正逆転駆動される。

一方の巻取り・巻戻しリール２３からの巻戻しが終了したら、今度は逆に他方の巻取り・巻戻しリール２４から巻戻しを行い、一方の巻取り・巻戻しリール２３によって巻取りを行わせることで、研磨ワイヤ１０を双方向に亘って走行させることができる。これにより、繰り返し双方向に亘って研磨ワイヤ１０を走行させることができ、被加工物１に対する研磨加工を効率よく施すことができる。

実施例２のように構成しておくことにより、被加工物１を一度に直線状に研磨することができ、広範囲の研磨面に対して効率よく研磨加工を施すことができる。

図８を用いて、本発明に係る実施例２の構成について説明する。実施例１、２では、被加工物１の外周面を研磨する研磨加工装置の構成について説明を行った。本発明に係る実施例３では、被加工物１に形成した貫通孔２の内表面を研磨する研磨加工装置の構成について説明する。

実施例３における他の構成は、実施例２における構成と同様の構成になっており、実施例２と同様の構成については同一の部材符号を用いることで重複した説明を省略する。また、図８では、研磨ワイヤ１０及び補助ワイヤ１３を無端状に配設した構成を示しているが、図７に示したように、研磨ワイヤ１０を補助ワイヤ１３とは別体に構成しておくこともできる。

この場合には、図７に示した巻取り・巻戻しリール２３、２４と同様の巻取り・巻戻しリールを少なくとも貫通孔２の内表面を研磨する研磨ワイヤ１０を張架させておくように配設しておくことが望ましい構成となる。

なお、ホイール２０を研磨ワイヤ１０及び補助ワイヤ１３と共に被加工物１に対して近接する方向に移動させるワイヤ走行機構１８としては、その構成の具体的な図示例を省略しているが、従来から公知の研磨工具の移動機構を用いることができ、その図示は省略している。

図８に示すように、被加工物１の貫通孔２内の内表面研磨を行う場合でも、少なくとも図５、図７に示した実施例２の構成と同様に構成しておくことができ、研磨ワイヤ１０は４個のホイール２０を介して閉ループ状に張架されている。４個のホイール２０のうちで、駆動ホイールを回転駆動させることで、研磨ワイヤ１０と補助ワイヤ１３とを一体的に走行させることができる。

研磨領域で研磨ワイヤ１０と補助ワイヤ１３とが変形するのを抑制するため、貫通孔２内にもガイド板３２の一部が挿入されている。貫通孔２内にガイド板３２を挿入させることができない場合には、貫通孔２の入り口近傍と出口近傍までそれぞれガイド板３２を配設した構成にしておき、研磨箇所において研磨ワイヤ１０や補助ワイヤ１３が変形しないように構成しておくことができる。補助ワイヤ１３を当接させながら摺接させるガイド板３２の表面には、摩擦防止部材１４を形成しておくことができる。
研磨位置を移動する場合は、移動機構３あるいはワイヤ走行機構のどちらかを作動させることにより行うことができる。

上述した各実施例では、研磨ワイヤ１０を無端状の閉ループ状に張架して研磨を行う構成やコイル状に巻き上げた巻取り・巻戻しリールから研磨ワイヤ１０の巻戻しと巻取りとを行う構成を例に挙げて説明したが、本発明に係る実施例の構成では、これらの構成に限定されるものではなく、研磨ワイヤ１０の両端を固定して研磨ワイヤ１０を往復走行させる構成等も採用することができる。

このように、本発明に係る研磨加工装置では、走行する研磨ワイヤを支持するホイールやガイド板の摩耗を防止し、また研磨ワイヤの走行中に左右方向にブレて走行経路が変化するのも防止できるため、研磨加工装置の保守点検を容易にすることができ、また研磨加工の精度も向上することができる。

走行する研磨ワイヤを用いて研磨加工を行う研磨加工装置として、本発明に係る技術を利用することができる。

１・・・被加工物、２・・・貫通孔、３・・・移動機構、１０・・・研磨ワイヤ、１１、１１ａ、１１ｃ・・・芯線、１１ｂ・・・補助ワイヤを兼ねた芯線、１２・・・砥粒固着部、１３・・・補助ワイヤ、１４・・・摩擦防止部材、１５・・・端縁部、１８・・・ワイヤ走行機構、２０、２０ａ、２０ｂ・・・ホイール、２１・・・ガイド溝、２２・・・回転軸、２３、２４・・・巻取り・巻戻しリール、２５・・・回転軸、２６・・・ストッパー、３０・・・ガイド板、３１・・・ガイド溝、３２・・・ガイド板。

Claims (8)

1. 研磨砥粒を表面に分散固着した研磨ワイヤと、
   複数のホイール間に張架させて、前記研磨ワイヤを走行させるワイヤ走行機構と、
   前記研磨ワイヤに当接して前記研磨ワイヤの走行と等速で並走する長尺の補助ワイヤと、
   を備え、
   前記補助ワイヤが、前記研磨ワイヤの走行方向と交差する左右方向への前記研磨ワイヤの移動を規制する形状を有するとともに、前記研磨ワイヤの撓みを抑制していることを特徴とする研磨加工装置。
2. 前記補助ワイヤが、前記研磨ワイヤの研磨面以外の面に当接していることを特徴とする請求項１に記載の研磨加工装置。
3. 前記研磨ワイヤで被加工物を研磨する研磨領域に前記補助ワイヤの変形を抑制する支持部材が配設され、
   前記支持部材における前記補助ワイヤとの当接面に摩擦防止部材が設けられ、
   前記支持部材が、一対の前記ホイール間に配されたガイド板及び／又は前記ホイールのうちの従動ホイールであることを特徴とする請求項１または２に記載の研磨加工装置。
4. 前記補助ワイヤが、前記研磨ワイヤと一体的に構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の研磨加工装置。
5. 前記研磨ワイヤの芯線が、前記補助ワイヤで構成されていることを特徴とする請求項４に記載の研磨加工装置。
6. 前記研磨ワイヤが、ダイヤモンドワイヤであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の研磨加工装置。
7. 前記被加工物を移動させる移動機構が設けられていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の研磨加工装置。
8. 前記ワイヤ走行機構が、前記被加工物に対して前記研磨ワイヤを接離させる送込み機構を備えていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の研磨加工装置。

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