JP2017102013A - 走査型顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
図1を参照して、本実施形態の走査型顕微鏡100(以下、「顕微鏡100」と呼ぶ)の構成を説明する。図1は、顕微鏡100の構成を説明する模式図である。なお、本実施形態においては、対物光学系107の構成は特に限定されず、一般的なものを使用することができる。
[条件1] 走査手段104の位置での光束103のビーム径を変更しない。
[条件2] 対物光学系107の入射瞳の位置、すなわちリレー光学系105の射出瞳106の位置における光束103のビーム径が可変である。
[条件3] 走査手段104と対物光学系107の入射瞳位置との相対位置を変更しない。
[条件4] 対物光学系107の入射瞳位置と検出手段113との相対位置を変更せず、検出光学系111の射出瞳の瞳径も変更しない。
図6を用いて、本実施形態の走査型顕微鏡について説明を行う。本実施形態では、第1の実施形態のリレー光学系105の代わりに、リレー光学系205を用いる点が第1の実施形態と異なるが、それ以外の構成は第1の実施形態と同様である。第1の実施形態と同様の構成については詳細な説明を省略し、リレーレンズ系205の構成についてのみ説明する。図6は、本実施形態のリレー光学系205の構成の一例を説明する模式図である。
図7を用いて、本実施形態の走査型顕微鏡700(以下、「顕微鏡700」と呼ぶ)の説明を行う。顕微鏡700は、2つの光源を有する誘導ラマン散乱顕微鏡である。図7は、顕微鏡700の構成を説明する模式図である。なお、図7には第1の実施形態と同様の構成には同様の符番を付し、以降の説明では、第1の実施形態と同様の構成については詳細な説明を省略する。
第1の実施形態の顕微鏡100におけるリレー光学系105の数値実施例を示す。リレー光学系105の入射瞳径は走査手段104上での照射光のビーム径、リレー光学系105の射出瞳径は対物光学系107の入射瞳位置での照射光のビーム径に相当する。走査角は正方形の視野を確保するための走査角(光学角、0−peakの値)である。リレー光学系105の光学データを表1に示し、後述するPosition1、Position2のそれぞれにおける移動レンズ群の面間隔を表2に示した。また、検出光学系111の光学データを表3に示した。表1における面番号は、入射瞳面側からの面の順番を指す(図9参照)。表2における面番号は、入射瞳面側からの面の順番を指す(図10参照)。
Position2(瞳径大) 入射瞳径:2mm 射出瞳径:7.0mm 走査角:3.34deg
第2の実施形態の走査型顕微鏡におけるリレー光学系205の数値実施例を示す。リレー光学系105の入射瞳径は走査手段104上での照射光のビーム径、リレー光学系105の射出瞳径は対物光学系107の入射瞳位置での照射光のビーム径に相当する。走査角は正方形の視野を確保するための走査角(光学角、0−peakの値)である。リレー光学系205の光学データを表4に示し、後述するPosition1、Position2、Position3のそれぞれにおける移動レンズ群の面間隔を表5に示した。表4における面番号は、入射瞳面側からの面の順番を指す(図11参照)。
Position2(瞳径中) 入射瞳径:4mm 射出瞳径:3.7mm 走査角:1.52deg
Position3(瞳径大) 入射瞳径:4mm 射出瞳径:7.3mm 走査角:3.00deg
104 走査手段
105 リレー光学系
107 対物光学系
110 分離手段
113 検出手段
Claims (17)
- 光源からの照射光により試料を走査させる走査手段と、
前記照射光を前記試料に導く対物光学系と、
前記走査手段からの前記照射光を前記対物光学系に導くリレー光学系と、
前記光源と前記走査手段との間の前記照射光の光路上に配置されており、前記照射光の光路と、前記試料から射出して前記対物光学系、前記リレー光学系及び前記走査手段を通過した射出光の光路とを分離する分離手段と、
前記分離手段からの前記射出光を検出する検出手段と、を有し、
前記リレー光学系は、前記リレー光学系の入射瞳と前記リレー光学系の射出瞳と前記検出手段との相対位置を変更せず、且つ、前記リレー光学系の入射瞳の瞳径を変更せずに、前記リレー光学系の射出瞳の瞳径を変更可能に構成されている
ことを特徴とする走査型顕微鏡。 - 前記対物光学系の入射瞳の瞳径に基づいて、前記リレー光学系の射出瞳の瞳径を変更する
ことを特徴とする請求項1に記載の走査型顕微鏡。 - 前記走査手段は、前記対物光学系の倍率と前記対物光学系の入射瞳の瞳径とにしたがって、前記照射光の走査角度を変更する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の走査型顕微鏡。 - 前記リレー光学系は、前記リレー光学系の射出瞳の位置が前記対物光学系の入射瞳の位置となるように配置されている
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。 - 前記走査手段は、前記リレー光学系の入射瞳の位置に配置されている
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。 - 前記分離手段からの前記射出光を前記検出手段に導く検出光学系を有し、
前記検出光学系は、前記走査手段と前記検出手段の検出面とが共役になるように構成されている
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。 - 前記リレー光学系は、前記検出光学系の瞳の瞳径を変更せずに、前記リレー光学系の射出瞳の瞳径を変更可能に構成されている
ことを特徴とする請求項6に記載の走査型顕微鏡。 - 前記分離手段は、前記照射光を透過する透過領域と、前記照射光の前記試料内における集光点と異なる位置から射出された前記射出光を反射する反射領域と、を有する
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。 - 前記透過領域のサイズは、前記照射光のビーム径以上である
ことを特徴とする請求項8に記載の走査型顕微鏡。 - 前記分離手段は、前記照射光を反射する反射領域と、前記照射光の前記試料内における集光点と異なる位置から射出された前記射出光を透過する透過領域と、を有する
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。 - 前記反射領域のサイズは、前記照射光のビーム径以上である
ことを特徴とする請求項10に記載の走査型顕微鏡。 - 前記分離手段は、前記光学系の像面とフーリエ変換の関係にない位置に配置されている
ことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。 - 前記光源を第1の光源、前記照射光を第1の照射光とすると、
前記第1の照射光と異なる波長の第2の照射光を出力する第2の光源と、
前記第1の照射光と前記第2の照射光とを合波する合波手段と、を有し、
前記合波手段で合波された前記第1の照射光及び前記第2の照射光は、前記走査手段、前記リレー光学系及び前記対物光学系を介して前記試料に照射される
ことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。 - 前記分離手段は、前記合波手段と前記対物光学系との間の前記第1の照射光の光路上に配置されており、
前記分離手段と前記検出手段との間に配置されており、前記射出光から前記第1の照射光の波長の光を抽出するフィルタを有する
ことを特徴とする請求項13に記載の走査型顕微鏡。 - 前記射出光は、前記試料でコヒーレントラマン散乱された散乱光を含む
ことを特徴とする請求項13又は14に記載の走査型顕微鏡。 - 前記射出光は、前記試料で誘導ラマン散乱された散乱光を含む
ことを特徴とする請求項13乃至15のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。 - 前記射出光は、前記試料で後方散乱された散乱光を含む
ことを特徴とする請求項1乃至16のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。
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