JP2017092241A - 処理液供給装置および処理液供給装置の制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、本発明に係る処理液供給装置は、処理液を流通させる処理液流路と、前記処理液流路を開閉する開閉弁であって、開閉を実行する第1弁体と、前記第1弁体を移動させる第1駆動部とを有する前記開閉弁と、前記開閉弁よりも下流に設けられた流量調整弁であって、前記処理液流路の絞りを調整する第2弁体と、前記第2弁体を移動させる第2駆動部とを有する前記流量調整弁と、前記処理液流路を前記開閉弁で閉じる際に、前記処理液流路を前記第2弁体で絞るために前記第2弁体を移動し始め、また、前記処理液流路を前記第1弁体で絞るために前記第1弁体を移動し始め、前記第1弁体を移動し始めた後であって、予め設定された位置に前記第2弁体が到達したときに、前記第1弁体の移動速度を上げて前記開閉弁を閉状態にする制御部と、を備えていることを特徴とするものである。
図1を参照する。基板処理装置1は、略水平姿勢で基板Wを保持して回転させる保持回転部2と、処理液を供給する処理液供給部3とを備えている。処理液は、例えばフォトレジスト液等の塗布液、現像液、溶剤、または純水等のリンス液が用いられる。処理液供給部3は、本発明の処理液供給装置に相当する。
次に、開閉弁17およびサックバック弁19の詳細な構成を説明する。図2を参照する。開閉弁17は、後述する上流側流路43、開閉室内流路50、連結流路51、弁室内流路63、下流側流路67からなる処理液流路70を開閉させる。サックバック弁19は、開閉弁17の動作と組み合わせて、処理液をサックバックし、また、処理液の流量を調整する。
開閉弁17は、処理液配管15の経路途中に設けられており、上流側流路43、開閉室41の開閉室内流路50、およびサックバック弁19の弁室61と連通する連結流路51を直列に連結して構成されている。処理液配管15は、上流側継手部71により開閉室41に取り付けられており、開閉弁17の上流側流路43と流路接続している。開閉弁17は、後述するようにその開閉動作によって開閉室41内において、処理液の流れを流通状態と遮断状態とに切り替える。
サックバック弁19は、図2のように、開閉弁17よりも下流に設けられている。サックバック弁19は、中空の箱状部材である弁室61と、弁室61内部を図2の上下方向に移動可能に設けられたニードル62と、下流側流路67とを備えている。
次に、基板処理装置1の動作のうち、特に、処理液供給部3の動作について説明する。図3は、開閉弁17と流量調整機能を有するサックバック弁19の動作を説明するためのタイミング図である。制御部31は、予め設定された吐出条件(レシピ)に基づき、基板処理装置1の各構成を制御する。
3 … 処理液供給部
11 … 吐出ノズル
15 … 処理液配管
17 … 開閉弁
19 … サックバック弁
31 … 制御部
43 … 上流側流路
50 … 開閉室内流路
51 … 連結流路
62,82 … ニードル
63 … 弁室内流路
66 … ダイアフラム
67 … 下流側流路
68,84 … モータ
70 … 処理液流路
81 … 勾配
t0〜t8,t11〜t19,t30〜t36 … 時間
Claims (10)
- 処理液を流通させる処理液流路と、
前記処理液流路を開閉する開閉弁であって、開閉を実行する第1弁体と、前記第1弁体を移動させる第1駆動部とを有する前記開閉弁と、
前記開閉弁よりも下流に設けられた流量調整弁であって、前記処理液流路の絞りを調整する第2弁体と、前記第2弁体を移動させる第2駆動部とを有する前記流量調整弁と、
前記処理液流路を前記開閉弁で閉じる際に、前記処理液流路を前記第2弁体で絞るために前記第2弁体を移動し始め、また、前記処理液流路を前記第1弁体で絞るために前記第1弁体を移動し始め、前記第1弁体を移動し始めた後であって、予め設定された位置に前記第2弁体が到達したときに、前記第1弁体の移動速度を上げて前記開閉弁を閉状態にする制御部と、を備えていることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1に記載の処理液供給装置において、
前記制御部は、前記第2弁体を移動し始めてから予め設定された位置に前記第2弁体が到達するまでの間、前記開閉弁を通過できる処理液の許容流量を、前記流量調整弁を通過する処理液の設定流量以上に調整することを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項2に記載の処理液供給装置において、
前記制御部は、前記処理液流路を前記第2弁体で絞るために前記第2弁体を移動し始め、その後で、前記処理液流路を前記第1弁体で絞るために前記第1弁体を移動し始めることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の処理液供給装置において、
前記第1駆動部は、モータであることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載の処理液供給装置において、
前記第2駆動部は、モータであることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載の処理液供給装置において、
前記流量調整弁は、前記第2弁体と連動して前記開閉弁よりも下流の下流側処理液流路の体積を変化させる体積変化部を更に備えていることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項6に記載の処理液供給装置において、
前記制御部は、前記処理液流路を前記開閉弁で閉じている際に、前記第2駆動部で前記第2弁体と連動する前記体積変化部を往復移動させることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項6から7のいずれかに記載の処理液供給装置において、
前記処理液流路は、単一部品で構成されていることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1から8のいずれかに記載の処理液供給装置において、
前記流量調整弁よりも下流に設けられ、配管を介在して前記処理液流路と接続し、前記処理液を吐出する吐出ノズルを更に備えていることを特徴とする処理液供給装置。 - 処理液を流通させる処理液流路と、
前記処理液流路を開閉する開閉弁であって、開閉を実行する第1弁体と、前記第1弁体を移動させる第1駆動部とを有する前記開閉弁と、
前記開閉弁よりも下流に設けられた流量調整弁であって、前記処理液流路の絞りを調整する第2弁体と、前記第2弁体を移動させる第2駆動部とを有する前記流量調整弁と、を備える処理液供給装置の制御方法であって、
前記処理液流路を前記開閉弁で閉じる際に、前記処理液流路を前記第2弁体で絞るために前記第2弁体を移動し始め、また、前記処理液流路を前記第1弁体で絞るために前記第1弁体を移動し始める工程と、
前記第1弁体を移動し始めた後であって、予め設定された位置に前記第2弁体が到達したときに、前記第1弁体の移動速度を上げて前記開閉弁を閉状態にする工程と、を備えていることを特徴とする処理液供給装置の制御方法。
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