JP2017082876A - Pneumatic actuator - Google Patents

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聡哲 吉田
Sotetsu Yoshida
聡哲 吉田
史孝 諸石
Fumitaka Moroishi
史孝 諸石
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pneumatic actuator which can secure sufficient response performance at a relatively low cost.SOLUTION: The pneumatic actuator comprises a cylinder 2, a piston 3 moved in the inside of the cylinder 2, a rod 4 moved integrally with the piston 3 while being connected to one end side of the piston 3, and a pressure regulation part 12A which regulates the pressure of air K supplied into a pressure chamber P1 on one side of the piston 3 in the cylinder 2 and the pressure of air K supplied into the other side pressure chamber P2. The pressure regulation part 12A has first servo valves 13A, 13B and second servo valves 14A, 14B having higher responsiveness than the first servo valves 13A, 13B. By the first servo valves 13A, 13B and the second servo valves 14A, 14B, the pressure of air K supplied into the one side pressure chamber P1 and the pressure of air K supplied into the other side pressure chamber P2 are regulated.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、エア圧アクチュエータに関する。   The present invention relates to an air pressure actuator.

例えば、半導体チップのダイボンディング工程やマウンティング工程では、半導体チップを保持するツールが先端に取り付けられたロッドを上下方向にスライドさせるエア圧アクチュエータが用いられる（例えば、特許文献１を参照。）。   For example, in a die bonding process or a mounting process of a semiconductor chip, an air pressure actuator that slides a rod attached to the tip of a tool that holds the semiconductor chip in the vertical direction is used (see, for example, Patent Document 1).

エア圧アクチュエータでは、シリンダ内のピストンを挟んだ一方側の圧力室に供給されるエアの圧力と、他方側の圧力室に供給されるエアの圧力とを、空圧バルブ（サーボ弁）を用いて調整することで、ロッドに接続されたピストンがシリンダ内でスライドする位置を制御する。   In the air pressure actuator, a pneumatic valve (servo valve) is used for the pressure of air supplied to the pressure chamber on one side across the piston in the cylinder and the pressure of air supplied to the pressure chamber on the other side. By adjusting the position, the position at which the piston connected to the rod slides in the cylinder is controlled.

また、特許文献１には、シリンダを鉛直方向に沿って配置し、ピストンを挟んだ一方側の圧力室に定圧のエアを供給すると共に、他方側の圧力室にサーボ弁を介して供給されるエアの流量を調整することによって、シリンダ内のピストンの位置を制御する空圧回路を備えたエア圧アクチュエータが開示されている。   Further, in Patent Document 1, a cylinder is arranged along the vertical direction, and constant pressure air is supplied to a pressure chamber on one side sandwiching a piston, and is supplied to a pressure chamber on the other side via a servo valve. An air pressure actuator having a pneumatic circuit that controls the position of a piston in a cylinder by adjusting the flow rate of air is disclosed.

しかしながら、エア圧アクチュエータでは、応答性の高い空圧バルブを用いるほど、エアの流量が増加するに従い、コスト高となる。また、特殊な空圧バルブを用いた場合、更に高コストとなる。   However, in an air pressure actuator, the higher the responsive pneumatic valve, the higher the cost as the air flow rate increases. Further, when a special pneumatic valve is used, the cost is further increased.

特許第３８２５７３７号公報Japanese Patent No. 3825737

本発明は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、比較的コストをかけずに十分な応答性能を確保することを可能としたエア圧アクチュエータを提供することを目的とする。   The present invention has been proposed in view of such a conventional situation, and an object of the present invention is to provide an air pressure actuator capable of ensuring sufficient response performance without relatively cost. .

上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
［１］ シリンダと、
前記シリンダの内部で移動されるピストンと、
前記ピストンの一端側に接続された状態で、前記ピストンと一体に移動されるロッドと、
前記シリンダ内の前記ピストンを挟んだ一方側の圧力室に供給されるエアの圧力と、他方側の圧力室に供給されるエアの圧力とを調整する圧力調整部とを備え、
前記圧力調整部は、第１のサーボ弁と、前記第１のサーボ弁よりも応答性の高い第２のサーボ弁とを有し、
前記第１のサーボ弁及び前記第２のサーボ弁によって、前記一方の圧力室に供給されるエアの圧力と、前記他方の圧力室に供給されるエアの圧力とが調整されることを特徴とするエア圧アクチュエータ。
［２］ 前記第１のサーボ弁は、前記一方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側と、前記他方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側とにそれぞれ配置され、
前記第２のサーボ弁は、前記一方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側と、前記他方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側とにそれぞれ配置されることを特徴とする前記［１］に記載のエア圧アクチュエータ。
［３］ 前記第１のサーボ弁は、前記一方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側と、前記他方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側との何れか一方側に配置され、
前記第２のサーボ弁は、前記第１のサーボ弁が配置された側と同じ側に配置されることを特徴とする前記［１］に記載のエア圧アクチュエータ。
［４］ 前記第１のサーボ弁は、前記一方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側と、前記他方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側との何れか一方側に配置され、
前記第２のサーボ弁は、前記一方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側と、前記他方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側とにそれぞれ配置されることを特徴とする前記［１］に記載のエア圧アクチュエータ。
［５］ 前記第１のサーボ弁は、前記一方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側と、前記他方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側との何れか一方側に配置され、
前記第２のサーボ弁は、前記第１のサーボ弁が配置された側とは反対側に配置されることを特徴とする前記［１］に記載のエア圧アクチュエータ。
［６］ 前記一方の圧力室内の圧力を検出する第１の圧力センサと、
前記他方の圧力室内の圧力を検出する第２の圧力センサと、
前記ピストンの位置を検出する位置センサとを備え、
前記位置センサの検出結果に基づいて、前記第１のサーボ弁及び前記第２のサーボ弁の作動を制御しながら、前記第１の圧力センサ及び前記第２の圧力センサの検出結果に基づいて、前記一方の圧力室に供給されるエアの圧力と、前記他方の圧力室に供給されるエアの圧力とが調整されることを特徴とする前記［１］〜［５］の何れか一項に記載のエア圧アクチュエータ。 In order to achieve the above object, the present invention provides the following means.
[1] a cylinder;
A piston moved inside the cylinder;
A rod that is moved integrally with the piston while being connected to one end of the piston;
A pressure adjusting unit that adjusts the pressure of air supplied to one pressure chamber sandwiching the piston in the cylinder and the pressure of air supplied to the other pressure chamber;
The pressure adjusting unit includes a first servo valve and a second servo valve having a higher response than the first servo valve,
The pressure of air supplied to the one pressure chamber and the pressure of air supplied to the other pressure chamber are adjusted by the first servo valve and the second servo valve. Air pressure actuator.
[2] The first servo valve has a side for adjusting the pressure of air supplied to the pressure chamber on the one side and a side for adjusting the pressure of air supplied to the pressure chamber on the other side, respectively. Arranged,
The second servo valve is disposed on a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the one side and a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the other side. The air pressure actuator according to [1] above, wherein
[3] The first servo valve may be any one of a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the one side and a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the other side. Placed on one side,
The pneumatic actuator according to [1], wherein the second servo valve is disposed on the same side as the side on which the first servo valve is disposed.
[4] The first servo valve may be any one of a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the one side and a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the other side. Placed on one side,
The second servo valve is disposed on a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the one side and a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the other side. The air pressure actuator according to [1] above, wherein
[5] The first servo valve may be any one of a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the one side and a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the other side. Placed on one side,
The pneumatic actuator according to [1], wherein the second servo valve is disposed on a side opposite to a side on which the first servo valve is disposed.
[6] a first pressure sensor for detecting a pressure in the one pressure chamber;
A second pressure sensor for detecting the pressure in the other pressure chamber;
A position sensor for detecting the position of the piston,
While controlling the operation of the first servo valve and the second servo valve based on the detection result of the position sensor, based on the detection result of the first pressure sensor and the second pressure sensor, The pressure of the air supplied to said one pressure chamber and the pressure of the air supplied to said other pressure chamber are adjusted, Any one of said [1]-[5] characterized by the above-mentioned. The described pneumatic actuator.

以上のように、本発明によれば、比較的コストをかけずに十分な応答性能を確保することを可能としたエア圧アクチュエータを提供することが可能である。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide an air pressure actuator that can ensure sufficient response performance without relatively cost.

本発明の第１の実施形態に係るエア圧アクチュエータの構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the air pressure actuator which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施形態に係るエア圧アクチュエータの構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the air pressure actuator which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施形態に係るエア圧アクチュエータの構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the air pressure actuator which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４の実施形態に係るエア圧アクチュエータの構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the air pressure actuator which concerns on the 4th Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
なお、以下の説明で用いる図面では、各構成要素を見やすくするため、構成要素を模式的に示している場合があり、構成要素によっては寸法の縮尺を異ならせて示すこともある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
Note that, in the drawings used in the following description, in order to make each component easy to see, the component may be schematically illustrated, and depending on the component, the dimensional scale may be different.

（第１の実施形態）
先ず、本発明の第１の実施形態として図１に示すエア圧アクチュエータ１Ａについて説明する。なお、図１は、エア圧アクチュエータ１Ａの構成を示す模式図である。 (First embodiment)
First, a pneumatic actuator 1A shown in FIG. 1 will be described as a first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of the air pressure actuator 1A.

エア圧アクチュエータ１Ａは、図１に示すように、差動流体としてエア（空気）Ｋを用いた空圧シリンダである。具体的に、このエア圧アクチュエータ１Ａは、シリンダ２と、シリンダ２の内部でスライド（移動）するピストン３と、ピストン３の一端（下端）側に接続されることによってピストン３と一体にスライド（移動）するロッド４とを備えている。なお、本実施形態では、ロッド４が上下方向にスライド（移動）する場合を例示しているが、ロッド４の移動方向については、特に限定されるものではない。   The air pressure actuator 1A is a pneumatic cylinder using air (air) K as a differential fluid, as shown in FIG. Specifically, the air pressure actuator 1A is connected to the piston 2 by being connected to the cylinder 2, the piston 3 that slides (moves) inside the cylinder 2, and one end (lower end) side of the piston 3 ( A moving rod 4. In this embodiment, the case where the rod 4 slides (moves) in the vertical direction is illustrated, but the moving direction of the rod 4 is not particularly limited.

シリンダ２は、略円筒状のシリンダハウジング５を有している。シリンダハウジング５の内側には、ボア孔６が軸線方向に沿って形成されている。シリンダハウジング５は、ボア孔６にピストン３が挿入された状態で、ボア孔６の一端（上端）側と他端（下端）側とが閉塞された構造を有している。また、シリンダハウジング５の下端には、ロッド４を貫通させる軸孔７が設けられている。   The cylinder 2 has a substantially cylindrical cylinder housing 5. A bore hole 6 is formed in the cylinder housing 5 along the axial direction. The cylinder housing 5 has a structure in which one end (upper end) side and the other end (lower end) side of the bore hole 6 are closed in a state where the piston 3 is inserted into the bore hole 6. A shaft hole 7 through which the rod 4 passes is provided at the lower end of the cylinder housing 5.

これにより、シリンダ２の内部は、ピストン３を挟んでロッド４とは反対側（上側）に位置する第１の圧力室（一方側の圧力室）Ｐ１と、ピストン３を挟んでロッド４側（下側）に位置する第２の圧力室（他方側の圧力室）Ｐ２とに分割されている。   Thereby, the inside of the cylinder 2 has the first pressure chamber (one pressure chamber) P1 located on the opposite side (upper side) of the rod 4 with the piston 3 interposed therebetween, and the rod 4 side (with the piston 3 interposed therebetween). It is divided into a second pressure chamber (the other pressure chamber) P2 located on the lower side.

シリンダハウジング５の側面には、第１の圧力室Ｐ１にエアＫを流入させる第１のポート８と、第２の圧力室Ｐ２にエアＫを流入させる第２のポート９とが接続されている。   Connected to the side surface of the cylinder housing 5 are a first port 8 through which air K flows into the first pressure chamber P1 and a second port 9 through which air K flows into the second pressure chamber P2. .

ピストン３は、第１のエアベアリングを介してシリンダ２とは非接触な状態で、上下方向にスライド（移動）自在に支持されている。第１のエアベアリングは、図示しないものの、シリンダ２とピストン３との間の隙間に流入するエアＫによって形成されている。   The piston 3 is supported so as to be slidable (movable) in the vertical direction in a non-contact state with the cylinder 2 via the first air bearing. Although not shown, the first air bearing is formed by air K that flows into the gap between the cylinder 2 and the piston 3.

ロッド４は、第１の軸孔７からシリンダ２（シリンダハウジング５）の外部（下方）へと突出した状態で、第２のエアベアリングを介して上下方向にスライド（移動）自在に支持されている。第２のエアベアリングは、図示しないものの、軸孔７とロッド４との間の隙間に流入するエアＫにより形成されている。   The rod 4 is supported so as to be slidable (movable) in the vertical direction via a second air bearing while protruding from the first shaft hole 7 to the outside (downward) of the cylinder 2 (cylinder housing 5). Yes. Although not shown, the second air bearing is formed by air K that flows into the gap between the shaft hole 7 and the rod 4.

エア圧アクチュエータ１Ａは、第１の圧力室Ｐ１内の圧力を検出する第１の圧力センサ１０と、第２の圧力室Ｐ２内の圧力を検出する第２の圧力センサ１１と、第１の圧力センサ１０の検出結果に基づいて、第１の圧力室Ｐ１に供給されるエアの圧力と第２の圧力室に供給されるエアの圧力とを調整する圧力調整部１２Ａとを備えている。   The air pressure actuator 1A includes a first pressure sensor 10 that detects a pressure in the first pressure chamber P1, a second pressure sensor 11 that detects a pressure in the second pressure chamber P2, and a first pressure. Based on the detection result of the sensor 10, a pressure adjusting unit 12A that adjusts the pressure of the air supplied to the first pressure chamber P1 and the pressure of the air supplied to the second pressure chamber is provided.

第１の圧力センサ１０は、第１の圧力室Ｐ１内の圧力を検出したときの第１の圧力信号ＳＰ１を圧力調整部１２Ａに供給する。同様に、第２の圧力センサ１１は、第２の圧力室Ｐ２内の圧力を検出したときの第２の圧力信号ＳＰ２を圧力調整部１２Ａに供給する。   The first pressure sensor 10 supplies a first pressure signal SP1 when the pressure in the first pressure chamber P1 is detected to the pressure adjustment unit 12A. Similarly, the second pressure sensor 11 supplies a second pressure signal SP2 when the pressure in the second pressure chamber P2 is detected to the pressure adjustment unit 12A.

また、エア圧アクチュエータ１Ａでは、図示を省略するものの、ロッド４又はピストン３の位置を検出するエンコーダ（位置センサ）を設けて、このエンコーダがロッド４又はピストン３の位置を検出したときの位置信号ＳＰ３を圧力調整部１２Ａに供給する。   In the air pressure actuator 1A, although not shown, an encoder (position sensor) for detecting the position of the rod 4 or the piston 3 is provided, and the position signal when the encoder detects the position of the rod 4 or the piston 3 is provided. SP3 is supplied to the pressure adjusting unit 12A.

圧力調整部１２Ａは、第１の圧力室Ｐ１に第１のポート８を介して供給されるエアＫの流量を調整する第１の空圧バルブ１３Ａ及び第２の空圧バルブ１４Ａと、第２の圧力室Ｐ２に第２のポート９を介して供給されるエアＫの流量を調整する第３の空圧バルブ１３Ｂ及び第４の空圧バルブ１４Ｂとを有している。   The pressure adjusting unit 12A includes a first pneumatic valve 13A and a second pneumatic valve 14A that adjust the flow rate of the air K supplied to the first pressure chamber P1 via the first port 8, and a second pneumatic valve 14A. The third air pressure valve 13B and the fourth air pressure valve 14B for adjusting the flow rate of the air K supplied to the pressure chamber P2 through the second port 9 are provided.

また、第１のポート８及び第２のポート９には、空気圧タンク１５が接続されている。空気圧タンク１５は、レギュレータ（図示せず。）により圧力調整された定圧のエアＫを供給する。   A pneumatic tank 15 is connected to the first port 8 and the second port 9. The pneumatic tank 15 supplies air K having a constant pressure adjusted by a regulator (not shown).

第１の空圧バルブ１３Ａと第２の空圧バルブ１４Ａとは、第１のポート８に対して並列に接続されることによって、第１の圧力室Ｐ１に供給されるエアＫの流量を同時に調整することが可能となっている。同様に、第３の空圧バルブ１３Ｂと第４の空圧バルブ１４Ｂとは、第２のポート９に対して並列に接続されることによって、第１の圧力室Ｐ２に供給されるエアＫの流量を同時に調整することが可能となっている。   The first pneumatic valve 13A and the second pneumatic valve 14A are connected in parallel to the first port 8 so that the flow rate of the air K supplied to the first pressure chamber P1 is simultaneously increased. It is possible to adjust. Similarly, the third pneumatic valve 13B and the fourth pneumatic valve 14B are connected in parallel to the second port 9, so that the air K supplied to the first pressure chamber P2 is supplied. The flow rate can be adjusted simultaneously.

ここで、第１及び第３の空圧バルブ１３Ａ，１３Ｂには、第２及び第４の空圧バルブ１４Ａ，１４Ｂよりも応答性が低いものの、第２及び第４の空圧バルブ１４Ａ，１４Ｂよりも安価で、なお且つ、エアＫの大容量化に対応可能なものを用いている（本発明の第１のサーボ弁に該当する。）。一方、第２及び第４の空圧バルブ１４Ａ，１４Ｂには、第１及び第３の空圧バルブ１３Ａ，１３Ｂよりも応答性が高いものを用いている（本発明の第２のサーボ弁に該当する。）。   Here, the first and third pneumatic valves 13A and 13B are less responsive than the second and fourth pneumatic valves 14A and 14B, but the second and fourth pneumatic valves 14A and 14B. It is less expensive and can use a larger capacity of the air K (corresponds to the first servo valve of the present invention). On the other hand, the second and fourth pneumatic valves 14A and 14B have higher responsiveness than the first and third pneumatic valves 13A and 13B (in the second servo valve of the present invention). Yes.)

これにより、本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ａでは、第１及び第３の空圧バルブ１３Ａ，１３Ｂ（第１のサーボ弁）によって、定常における流量を補償しつつ、第２及び第４の空圧バルブ１４Ａ，１４Ｂ（第２のサーボ弁）によって、過渡特性における応答性を補償する空圧回路（圧力調整部１２Ａ）を構成することが可能である。   As a result, in the air pressure actuator 1A of the present embodiment, the first and third pneumatic valves 13A and 13B (first servo valves) compensate the flow rate in the steady state, and the second and fourth pneumatic pressures. The valves 14A and 14B (second servo valves) can constitute a pneumatic circuit (pressure adjusting unit 12A) that compensates for responsiveness in transient characteristics.

圧力調整部１２Ａは、上述したエンコーダの検出結果（位置信号ＳＰ３）に基づいて、第１〜第４の空圧バルブ１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂの作動を制御しながら、第１の圧力センサ１０及び第２の圧力センサ１０，１１の検出結果（第１及び第２の圧力信号ＳＰ１，ＳＰ２）に基づいて、第１のポート８及び第２のポート９から第１の圧力室Ｐ１及び第２の圧力室Ｐ２に供給されるエアＫの流量（供給量）を調整する。   The pressure adjustment unit 12A controls the first pressure sensor 10 while controlling the operation of the first to fourth pneumatic valves 13A, 13B, 14A, and 14B based on the detection result (position signal SP3) of the encoder described above. Based on the detection results (first and second pressure signals SP1 and SP2) of the second pressure sensors 10 and 11, the first pressure chamber P1 and the second pressure chamber 8 are connected to the first port 8 and the second port 9, respectively. The flow rate (supply amount) of the air K supplied to the pressure chamber P2 is adjusted.

これにより、第１の圧力室Ｐ１内の圧力と第２の圧力室Ｐ２内の圧力とを制御することができる。その結果、シリンダ２の内部（ボア孔６）でスライドするピストン３の位置、すなわち、このピストン３と接続されたロッド４の上下方向の位置を制御することが可能である。   Thereby, the pressure in the first pressure chamber P1 and the pressure in the second pressure chamber P2 can be controlled. As a result, it is possible to control the position of the piston 3 that slides inside the cylinder 2 (bore hole 6), that is, the vertical position of the rod 4 connected to the piston 3.

本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ａは、例えば、半導体チップのダイボンディング工程やマウンティング工程等で用いられる。具体的には、半導体製造装置内において半導体チップを保持するツール（図示せず。）が先端に取り付けられたロッド４を上下方向にスライドさせる。これにより、半導体チップをリードフレームや基板等の実装面上に実装することが可能である。   The air pressure actuator 1A of the present embodiment is used, for example, in a die bonding process or a mounting process of a semiconductor chip. Specifically, a tool (not shown) for holding a semiconductor chip in the semiconductor manufacturing apparatus slides the rod 4 attached to the tip in the vertical direction. As a result, the semiconductor chip can be mounted on a mounting surface such as a lead frame or a substrate.

以上のように、本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ａでは、上述した大容量化に対応可能な第１及び第３の空圧バルブ１３Ａ，１３Ｂ（第１のサーボ弁）と、高い応答性を有する第２及び第４の空圧バルブ１４Ａ，１４Ｂ（第２のサーボ弁）との組み合わせによって、大容量化に伴うエアＫの流量増加に対しても、特殊な空圧バルブではなく、量産の空圧バルブを利用しながら、比較的コストをかけずに十分な応答性能を確保することが可能である。   As described above, the air pressure actuator 1A of the present embodiment has high responsiveness with the first and third pneumatic valves 13A and 13B (first servo valves) that can cope with the large capacity described above. By combining with the second and fourth pneumatic valves 14A and 14B (second servo valves), even if the flow rate of the air K increases due to the increase in capacity, it is not a special pneumatic valve but a mass production While using the pressure valve, it is possible to secure sufficient response performance without relatively cost.

（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態として図２に示すエア圧アクチュエータ１Ｂについて説明する。なお、図２は、エア圧アクチュエータ１Ｂの構成を示す模式図である。また、以下の説明では、上記図１に示すエア圧アクチュエータ１Ａと同等の部位については、説明を省略すると共に、図面において同じ符号を付すものとする。 (Second Embodiment)
Next, an air pressure actuator 1B shown in FIG. 2 will be described as a second embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of the air pressure actuator 1B. Moreover, in the following description, about the site | part equivalent to 1 A of air pressure actuators shown in the said FIG. 1, description is abbreviate | omitted and the same code | symbol shall be attached | subjected in drawing.

エア圧アクチュエータ１Ｂは、図２に示すように、上記圧力調整部１２Ａの代わりに、圧力調整部１２Ｂを備えた構成である。それ以外は、上記エア圧アクチュエータ１Ａと基本的に同じ構成を有している。   As shown in FIG. 2, the air pressure actuator 1 </ b> B includes a pressure adjustment unit 12 </ b> B instead of the pressure adjustment unit 12 </ b> A. The rest of the configuration is basically the same as that of the air pressure actuator 1A.

具体的に、圧力調整部１２Ｂは、第１の圧力室Ｐ１に第１のポート８を介して供給されるエアＫの流量を調整する第１の空圧バルブ１３Ａ及び第２の空圧バルブ１４Ａを有し、空気圧タンク１５から定圧のエアＫが第２のポート９を介して第２の圧力室Ｐ２に供給される構成である。   Specifically, the pressure adjusting unit 12B includes a first pneumatic valve 13A and a second pneumatic valve 14A that adjust the flow rate of the air K supplied to the first pressure chamber P1 via the first port 8. The constant pressure air K is supplied from the pneumatic tank 15 to the second pressure chamber P <b> 2 via the second port 9.

これにより、本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ｂでは、第１の空圧バルブ１３Ａ（第１のサーボ弁）によって、定常における流量を補償しつつ、第２の空圧バルブ１４Ａ（第２のサーボ弁）によって、過渡特性における応答性を補償する空圧回路（圧力調整部１２Ｂ）を構成することが可能である。   Thereby, in the air pressure actuator 1B of the present embodiment, the second pneumatic valve 14A (second servo valve) is compensated for by the first pneumatic valve 13A (first servo valve) while the flow rate in the steady state is compensated. ), It is possible to configure a pneumatic circuit (pressure adjusting unit 12B) that compensates for responsiveness in transient characteristics.

圧力調整部１２Ｂは、上述したエンコーダの検出結果（位置信号ＳＰ３）に基づいて、第１及び第２の空圧バルブ１３Ａ，１４Ａの作動を制御しながら、第１の圧力センサ１０及び第２の圧力センサ１１の検出結果（第１及び第２の圧力信号ＳＰ１，ＳＰ２）に基づいて、第１のポート８から第１の圧力室Ｐ１に供給されるエアＫの流量（供給量）を調整する。   The pressure adjustment unit 12B controls the operation of the first and second pneumatic valves 13A and 14A based on the detection result (position signal SP3) of the encoder described above, and controls the first pressure sensor 10 and the second pressure sensor 10B. Based on the detection result (first and second pressure signals SP1, SP2) of the pressure sensor 11, the flow rate (supply amount) of the air K supplied from the first port 8 to the first pressure chamber P1 is adjusted. .

これにより、第１の圧力室Ｐ１内の圧力と第２の圧力室Ｐ２内の圧力とを制御することができる。その結果、シリンダ２の内部（ボア孔６）でスライドするピストン３の位置、すなわち、このピストン３と接続されたロッド４の上下方向の位置を制御することが可能である。   Thereby, the pressure in the first pressure chamber P1 and the pressure in the second pressure chamber P2 can be controlled. As a result, it is possible to control the position of the piston 3 that slides inside the cylinder 2 (bore hole 6), that is, the vertical position of the rod 4 connected to the piston 3.

本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ｂは、上記エア圧アクチュエータ１Ａと同様に、例えば、半導体チップのダイボンディング工程やマウンティング工程等で用いられる。具体的には、半導体製造装置内において半導体チップを保持するツール（図示せず。）が先端に取り付けられたロッド４を上下方向にスライドさせる。これにより、半導体チップをリードフレームや基板等の実装面上に実装することが可能である。   The air pressure actuator 1B of the present embodiment is used in, for example, a die bonding process or a mounting process of a semiconductor chip, similarly to the air pressure actuator 1A. Specifically, a tool (not shown) for holding a semiconductor chip in the semiconductor manufacturing apparatus slides the rod 4 attached to the tip in the vertical direction. As a result, the semiconductor chip can be mounted on a mounting surface such as a lead frame or a substrate.

以上のように、本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ｂでは、上述した大容量化に対応可能な第１の空圧バルブ１３Ａ（第１のサーボ弁）と、高い応答性を有する第２の空圧バルブ１４Ａ（第２のサーボ弁）との組み合わせによって、大容量化に伴うエアＫの流量増加に対しても、特殊な空圧バルブではなく、量産の空圧バルブを利用しながら、比較的コストをかけずに十分な応答性能を確保することが可能である。   As described above, in the air pressure actuator 1B of the present embodiment, the first pneumatic valve 13A (first servo valve) that can cope with the above-described increase in capacity and the second pneumatic pressure having high responsiveness. By combining with the valve 14A (second servo valve), even if the flow rate of air K increases due to the increase in capacity, it is relatively cost-effective while using mass-produced pneumatic valves instead of special pneumatic valves. It is possible to ensure a sufficient response performance without applying a load.

なお、本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ｂでは、上述した第１及び第２の空圧バルブ１３Ａ，１４Ａにより圧力調整部１２Ｂを構成する場合に限らず、第３及び第４の空圧バルブ１３Ｂ，１４Ｂにより圧力調整部１２Ｂを構成し、空気圧タンク１５から定圧のエアＫが第１のポート８を介して第１の圧力室Ｐ１に供給される構成とすることも可能である。   In the air pressure actuator 1B of the present embodiment, the first and second pneumatic valves 13A, 14A described above are not limited to the case where the pressure adjusting unit 12B is configured, and the third and fourth pneumatic valves 13B, It is also possible to configure the pressure adjusting unit 12 </ b> B by 14 </ b> B so that constant-pressure air K is supplied from the pneumatic tank 15 to the first pressure chamber P <b> 1 through the first port 8.

（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態として図３に示すエア圧アクチュエータ１Ｃについて説明する。なお、図３は、エア圧アクチュエータ１Ｃの構成を示す模式図である。また、以下の説明では、上記図１に示すエア圧アクチュエータ１Ａと同等の部位については、説明を省略すると共に、図面において同じ符号を付すものとする。 (Third embodiment)
Next, an air pressure actuator 1C shown in FIG. 3 will be described as a third embodiment of the present invention. FIG. 3 is a schematic diagram showing the configuration of the air pressure actuator 1C. Moreover, in the following description, about the site | part equivalent to 1 A of air pressure actuators shown in the said FIG. 1, description is abbreviate | omitted and the same code | symbol shall be attached | subjected in drawing.

エア圧アクチュエータ１Ｃは、図３に示すように、上記圧力調整部１２Ａの代わりに、圧力調整部１２Ｃを備えた構成である。それ以外は、上記エア圧アクチュエータ１Ａと基本的に同じ構成を有している。   As shown in FIG. 3, the air pressure actuator 1 </ b> C includes a pressure adjustment unit 12 </ b> C instead of the pressure adjustment unit 12 </ b> A. The rest of the configuration is basically the same as that of the air pressure actuator 1A.

圧力調整部１２Ｃは、第１の圧力室Ｐ１に第１のポート８を介して供給されるエアＫの流量を調整する第１の空圧バルブ１３Ａ及び第２の空圧バルブ１４Ａと、第２の圧力室Ｐ２に第２のポート９を介して供給されるエアＫの流量を調整する第４の空圧バルブ１４Ｂとを有している。   The pressure adjusting unit 12C includes a first pneumatic valve 13A and a second pneumatic valve 14A that adjust the flow rate of the air K supplied to the first pressure chamber P1 through the first port 8, and a second pneumatic valve 14A. And a fourth pneumatic valve 14B for adjusting the flow rate of the air K supplied to the pressure chamber P2 through the second port 9.

これにより、本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ｃでは、第１の空圧バルブ１３Ａ（第１のサーボ弁）によって、定常における流量を補償しつつ、第２及び第４の空圧バルブ１４Ａ，１４Ｂ（第２のサーボ弁）によって、過渡特性における応答性を補償する空圧回路（圧力調整部１２Ｃ）を構成することが可能である。   Thus, in the air pressure actuator 1C of the present embodiment, the first and second pneumatic valves 14A and 14B (the first and second pneumatic valves 13A (first servo valves) are compensated for by the first pneumatic valve 13A while compensating the steady flow rate. A pneumatic circuit (pressure adjusting unit 12C) that compensates for responsiveness in the transient characteristics can be configured by the second servo valve).

圧力調整部１２Ｃは、上述したエンコーダの検出結果（位置信号ＳＰ３）に基づいて、第１、第２及び第４の空圧バルブ１３Ａ，１４Ａ，１４Ｂの作動を制御しながら、第１の圧力センサ１０及び第２の圧力センサ１１の検出結果（第１及び第２の圧力信号ＳＰ１，ＳＰ２）に基づいて、第１のポート８から第１の圧力室Ｐ１に供給されるエアＫの流量（供給量）を調整する。   The pressure adjusting unit 12C controls the operation of the first, second, and fourth pneumatic valves 13A, 14A, and 14B based on the detection result (position signal SP3) of the encoder described above, and the first pressure sensor 10 and the flow rate (supply) of the air K supplied from the first port 8 to the first pressure chamber P1 based on the detection results (first and second pressure signals SP1, SP2) of the second pressure sensor 11. Adjust the amount.

これにより、第１の圧力室Ｐ１内の圧力と第２の圧力室Ｐ２内の圧力とを制御することができる。その結果、シリンダ２の内部（ボア孔６）でスライドするピストン３の位置、すなわち、このピストン３と接続されたロッド４の上下方向の位置を制御することが可能である。   Thereby, the pressure in the first pressure chamber P1 and the pressure in the second pressure chamber P2 can be controlled. As a result, it is possible to control the position of the piston 3 that slides inside the cylinder 2 (bore hole 6), that is, the vertical position of the rod 4 connected to the piston 3.

本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ｃは、上記エア圧アクチュエータ１Ａと同様に、例えば、半導体チップのダイボンディング工程やマウンティング工程等で用いられる。具体的には、半導体製造装置内において半導体チップを保持するツール（図示せず。）が先端に取り付けられたロッド４を上下方向にスライドさせる。これにより、半導体チップをリードフレームや基板等の実装面上に実装することが可能である。   The air pressure actuator 1C of the present embodiment is used in, for example, a die bonding process or a mounting process of a semiconductor chip, similarly to the air pressure actuator 1A. Specifically, a tool (not shown) for holding a semiconductor chip in the semiconductor manufacturing apparatus slides the rod 4 attached to the tip in the vertical direction. As a result, the semiconductor chip can be mounted on a mounting surface such as a lead frame or a substrate.

以上のように、本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ｃでは、上述した大容量化に対応可能な第１の空圧バルブ１３Ａ（第１のサーボ弁）と、高い応答性を有する第２及び第４の空圧バルブ１４Ａ，１４Ｂ（第２のサーボ弁）との組み合わせによって、大容量化に伴うエアＫの流量増加に対しても、特殊な空圧バルブではなく、量産の空圧バルブを利用しながら、比較的コストをかけずに十分な応答性能を確保することが可能である。   As described above, in the air pressure actuator 1 </ b> C of the present embodiment, the first pneumatic valve 13 </ b> A (first servo valve) that can cope with the above-described increase in capacity, and the second and fourth having high responsiveness. In combination with the pneumatic valves 14A and 14B (second servo valve), the mass air pressure valve is used instead of a special pneumatic valve to increase the flow rate of air K due to the increase in capacity. However, it is possible to ensure sufficient response performance without relatively cost.

なお、本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ｃでは、上述した第１、第２及び第４の空圧バルブ１３Ａ，１４Ａ，１４Ｂにより圧力調整部１２Ｃを構成する場合に限らず、第２、第３及び第４の空圧バルブ１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂにより圧力調整部１２Ｃを構成することも可能である。   In the air pressure actuator 1C of this embodiment, the first, second, and fourth pneumatic valves 13A, 14A, 14B described above are not limited to the case where the pressure adjusting unit 12C is configured, but the second, third, and It is also possible to configure the pressure adjusting unit 12C by the fourth pneumatic valves 13B, 14A, and 14B.

（第４の実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態として図４に示すエア圧アクチュエータ１Ｄについて説明する。なお、図４は、エア圧アクチュエータ１Ｄの構成を示す模式図である。また、以下の説明では、上記図１に示すエア圧アクチュエータ１Ａと同等の部位については、説明を省略すると共に、図面において同じ符号を付すものとする。 (Fourth embodiment)
Next, an air pressure actuator 1D shown in FIG. 4 will be described as a fourth embodiment of the present invention. FIG. 4 is a schematic diagram showing the configuration of the air pressure actuator 1D. Moreover, in the following description, about the site | part equivalent to 1 A of air pressure actuators shown in the said FIG. 1, description is abbreviate | omitted and the same code | symbol shall be attached | subjected in drawing.

エア圧アクチュエータ１Ｄは、図４に示すように、上記圧力調整部１２Ａの代わりに、圧力調整部１２Ｄを備えた構成である。それ以外は、上記エア圧アクチュエータ１Ａと基本的に同じ構成を有している。   As shown in FIG. 4, the air pressure actuator 1 </ b> D includes a pressure adjustment unit 12 </ b> D instead of the pressure adjustment unit 12 </ b> A. The rest of the configuration is basically the same as that of the air pressure actuator 1A.

圧力調整部１２Ｄは、第１の圧力室Ｐ１に第１のポート８を介して供給されるエアＫの流量を調整する第１の空圧バルブ１３Ａと、第２の圧力室Ｐ２に第２のポート９を介して供給されるエアＫの流量を調整する第４の空圧バルブ１４Ｂとを有している。   The pressure adjusting unit 12D includes a first pneumatic valve 13A that adjusts the flow rate of the air K supplied to the first pressure chamber P1 via the first port 8, and a second pressure chamber P2 that is connected to the second pressure chamber P2. And a fourth pneumatic valve 14B that adjusts the flow rate of the air K supplied through the port 9.

これにより、本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ｄでは、第１の空圧バルブ１３Ａ（第１のサーボ弁）によって、定常における流量を補償しつつ、第４の空圧バルブ１４Ｂ（第２のサーボ弁）によって、過渡特性における応答性を補償する空圧回路（圧力調整部１２Ｄ）を構成することが可能である。   Thereby, in the air pressure actuator 1D of the present embodiment, the fourth pneumatic valve 14B (second servo valve) is compensated for by the first pneumatic valve 13A (first servo valve) while the flow rate in the steady state is compensated. ), It is possible to configure a pneumatic circuit (pressure adjusting unit 12D) that compensates for responsiveness in transient characteristics.

圧力調整部１２Ｄは、上述したエンコーダの検出結果（位置信号ＳＰ３）に基づいて、第１及び第４の空圧バルブ１３Ａ，１４Ｂの作動を制御しながら、第１の圧力センサ１０及び第２の圧力センサ１１の検出結果（第１及び第２の圧力信号ＳＰ１，ＳＰ２）に基づいて、第１のポート８から第１の圧力室Ｐ１に供給されるエアＫの流量（供給量）を調整する。   The pressure adjustment unit 12D controls the operation of the first and fourth pneumatic valves 13A and 14B based on the detection result (position signal SP3) of the encoder described above, and controls the first pressure sensor 10 and the second pressure sensor 10D. Based on the detection result (first and second pressure signals SP1, SP2) of the pressure sensor 11, the flow rate (supply amount) of the air K supplied from the first port 8 to the first pressure chamber P1 is adjusted. .

これにより、第１の圧力室Ｐ１内の圧力と第２の圧力室Ｐ２内の圧力とを制御することができる。その結果、シリンダ２の内部（ボア孔６）でスライドするピストン３の位置、すなわち、このピストン３と接続されたロッド４の上下方向の位置を制御することが可能である。   Thereby, the pressure in the first pressure chamber P1 and the pressure in the second pressure chamber P2 can be controlled. As a result, it is possible to control the position of the piston 3 that slides inside the cylinder 2 (bore hole 6), that is, the vertical position of the rod 4 connected to the piston 3.

本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ｄは、上記エア圧アクチュエータ１Ａと同様に、例えば、半導体チップのダイボンディング工程やマウンティング工程等で用いられる。具体的には、半導体製造装置内において半導体チップを保持するツール（図示せず。）が先端に取り付けられたロッド４を上下方向にスライドさせる。これにより、半導体チップをリードフレームや基板等の実装面上に実装することが可能である。   The air pressure actuator 1D of the present embodiment is used in, for example, a die bonding process or a mounting process of a semiconductor chip, similarly to the air pressure actuator 1A. Specifically, a tool (not shown) for holding a semiconductor chip in the semiconductor manufacturing apparatus slides the rod 4 attached to the tip in the vertical direction. As a result, the semiconductor chip can be mounted on a mounting surface such as a lead frame or a substrate.

以上のように、本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ｄでは、上述した大容量化に対応可能な第１の空圧バルブ１３Ａ（第１のサーボ弁）と、高い応答性を有する第４の空圧バルブ１４Ｂ（第２のサーボ弁）との組み合わせによって、大容量化に伴うエアＫの流量増加に対しても、特殊な空圧バルブではなく、量産の空圧バルブを利用しながら、比較的コストをかけずに十分な応答性能を確保することが可能である。   As described above, in the air pressure actuator 1D of the present embodiment, the first pneumatic valve 13A (first servo valve) that can cope with the above-described increase in capacity and the fourth pneumatic pressure having high responsiveness. By combining with the valve 14B (second servo valve), even if the flow rate of air K increases due to the increase in capacity, it is relatively cost-effective while using mass-produced pneumatic valves instead of special pneumatic valves. It is possible to ensure a sufficient response performance without applying a load.

なお、本実施形態のエア圧アクチュエータ１Ｄでは、上述した第１及び第４の空圧バルブ１３Ａ，１４Ｂにより圧力調整部１２Ｄを構成する場合に限らず、第２及び第３の空圧バルブ１３Ｂ，１４Ａにより圧力調整部１２Ｄを構成することも可能である。   In the air pressure actuator 1D of the present embodiment, the first and fourth pneumatic valves 13A and 14B described above are not limited to the case where the pressure adjusting unit 12D is configured, but the second and third pneumatic valves 13B, The pressure adjustment unit 12D can be configured by 14A.

なお、本発明は、上記実施形態のものに必ずしも限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記エア圧アクチュエータ１Ａ〜１Ｄは、上述したロッド４をスライドさせるだけでなく、回転駆動機構を設けることによって、ロッド４を軸回りに回転させる構成とすることも可能である。 In addition, this invention is not necessarily limited to the thing of the said embodiment, A various change can be added in the range which does not deviate from the meaning of this invention.
For example, the air pressure actuators 1 </ b> A to 1 </ b> D can be configured not only to slide the rod 4 described above but also to rotate the rod 4 around the axis by providing a rotation drive mechanism.

また、上記エア圧アクチュエータ１Ａ〜１Ｄの用途については、上述した半導体チップをリードフレームや基板等の実装面上に実装する場合に限らず、これらのエア圧アクチュエータ１Ａ〜１Ｄが使用可能な用途であればよく、特に限定されるものではない。   Further, the use of the air pressure actuators 1A to 1D is not limited to the case where the semiconductor chip described above is mounted on a mounting surface such as a lead frame or a substrate, but can be used for these air pressure actuators 1A to 1D. There is no particular limitation as long as it is present.

１Ａ〜１Ｄ…エア圧アクチュエータ ２…シリンダ ３…ピストン ４…ロッド ５…シリンダハウジング ６…ボア孔 ７…軸孔 ８…第１のポート ９…第２のポート １０…第１の圧力センサ １１…第２の圧力センサ １２Ａ〜１２Ｄ…圧力調整部 １３Ａ…第１の空圧バルブ（第１のサーボ弁） １３Ｂ…第３の空圧バルブ（第１のサーボ弁） １４Ａ…第２の空圧バルブ（第２のサーボ弁） １４Ｂ…第４の空圧バルブ（第２のサーボ弁） １５…空気圧タンク Ｐ１…第１の圧力室（一方の圧力室） Ｐ２…第２の圧力室（他方の圧力室） Ｋ…エア（空気）   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1A-1D ... Air pressure actuator 2 ... Cylinder 3 ... Piston 4 ... Rod 5 ... Cylinder housing 6 ... Bore hole 7 ... Shaft hole 8 ... 1st port 9 ... 2nd port 10 ... 1st pressure sensor 11 ... 1st 2 pressure sensors 12A to 12D ... pressure adjusting unit 13A ... first pneumatic valve (first servo valve) 13B ... third pneumatic valve (first servo valve) 14A ... second pneumatic valve ( Second servo valve) 14B ... Fourth pneumatic valve (second servo valve) 15 ... Pneumatic tank P1 ... First pressure chamber (one pressure chamber) P2 ... Second pressure chamber (the other pressure chamber) K ... Air

Claims (6)

シリンダと、
前記シリンダの内部で移動されるピストンと、
前記ピストンの一端側に接続された状態で、前記ピストンと一体に移動されるロッドと、
前記シリンダ内の前記ピストンを挟んだ一方側の圧力室に供給されるエアの圧力と、他方側の圧力室に供給されるエアの圧力とを調整する圧力調整部とを備え、
前記圧力調整部は、第１のサーボ弁と、前記第１のサーボ弁よりも応答性の高い第２のサーボ弁とを有し、
前記第１のサーボ弁及び前記第２のサーボ弁によって、前記一方の圧力室に供給されるエアの圧力と、前記他方の圧力室に供給されるエアの圧力とが調整されることを特徴とするエア圧アクチュエータ。 A cylinder,
A piston moved inside the cylinder;
A rod that is moved integrally with the piston while being connected to one end of the piston;
A pressure adjusting unit that adjusts the pressure of air supplied to one pressure chamber sandwiching the piston in the cylinder and the pressure of air supplied to the other pressure chamber;
The pressure adjusting unit includes a first servo valve and a second servo valve having a higher response than the first servo valve,
The pressure of air supplied to the one pressure chamber and the pressure of air supplied to the other pressure chamber are adjusted by the first servo valve and the second servo valve. Air pressure actuator. 前記第１のサーボ弁は、前記一方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側と、前記他方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側とにそれぞれ配置され、
前記第２のサーボ弁は、前記一方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側と、前記他方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側とにそれぞれ配置されることを特徴とする請求項１に記載のエア圧アクチュエータ。 The first servo valve is disposed on a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the one side and a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the other side,
The second servo valve is disposed on a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the one side and a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the other side. The air pressure actuator according to claim 1. 前記第１のサーボ弁は、前記一方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側と、前記他方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側との何れか一方側に配置され、
前記第２のサーボ弁は、前記第１のサーボ弁が配置された側と同じ側に配置されることを特徴とする請求項１に記載のエア圧アクチュエータ。 The first servo valve has one of a side for adjusting the pressure of air supplied to the pressure chamber on the one side and a side for adjusting the pressure of air supplied to the pressure chamber on the other side. Placed in
The pneumatic actuator according to claim 1, wherein the second servo valve is disposed on the same side as the side on which the first servo valve is disposed. 前記第１のサーボ弁は、前記一方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側と、前記他方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側との何れか一方側に配置され、
前記第２のサーボ弁は、前記一方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側と、前記他方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側とにそれぞれ配置されることを特徴とする請求項１に記載のエア圧アクチュエータ。 The first servo valve has one of a side for adjusting the pressure of air supplied to the pressure chamber on the one side and a side for adjusting the pressure of air supplied to the pressure chamber on the other side. Placed in
The second servo valve is disposed on a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the one side and a side for adjusting a pressure of air supplied to the pressure chamber on the other side. The air pressure actuator according to claim 1. 前記第１のサーボ弁は、前記一方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側と、前記他方側の圧力室に供給されるエアの圧力を調整する側との何れか一方側に配置され、
前記第２のサーボ弁は、前記第１のサーボ弁が配置された側とは反対側に配置されることを特徴とする請求項１に記載のエア圧アクチュエータ。 The first servo valve has one of a side for adjusting the pressure of air supplied to the pressure chamber on the one side and a side for adjusting the pressure of air supplied to the pressure chamber on the other side. Placed in
2. The pneumatic actuator according to claim 1, wherein the second servo valve is disposed on a side opposite to a side on which the first servo valve is disposed. 前記一方の圧力室内の圧力を検出する第１の圧力センサと、
前記他方の圧力室内の圧力を検出する第２の圧力センサと、
前記ピストンの位置を検出する位置センサとを備え、
前記位置センサの検出結果に基づいて、前記第１のサーボ弁及び前記第２のサーボ弁の作動を制御しながら、前記第１の圧力センサ及び前記第２の圧力センサの検出結果に基づいて、前記一方の圧力室に供給されるエアの圧力と、前記他方の圧力室に供給されるエアの圧力との何れ一方又は両方が調整されることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載のエア圧アクチュエータ。 A first pressure sensor for detecting a pressure in the one pressure chamber;
A second pressure sensor for detecting the pressure in the other pressure chamber;
A position sensor for detecting the position of the piston,
While controlling the operation of the first servo valve and the second servo valve based on the detection result of the position sensor, based on the detection result of the first pressure sensor and the second pressure sensor, 6. One or both of the pressure of air supplied to the one pressure chamber and the pressure of air supplied to the other pressure chamber are adjusted. The air pressure actuator according to item.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020163361A (en) * 2019-03-28 2020-10-08 東レエンジニアリング株式会社 Flow regulating valve, coating device, and manufacturing method of battery plate
JP7325700B2 (en) 2019-03-28 2023-08-15 東レエンジニアリング株式会社 Flow control valves, coating equipment, and battery electrode plate manufacturing equipment

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