JP2017075382A - 無酸素銅板、無酸素銅板の製造方法およびセラミック配線基板 - Google Patents
無酸素銅板、無酸素銅板の製造方法およびセラミック配線基板 Download PDFInfo
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Abstract
Description
圧延されることで平板状に形成された無酸素銅板であって、800℃以上1080℃以下の条件下で5分以上加熱した後、圧延面から測定した平均結晶粒径が500μm以上になり、かつ、前記無酸素銅板の前記圧延面と平行な面内に存在する各結晶面の結晶方位をそれぞれ測定し、(211)面の結晶方位からの傾きが15°以内である結晶方位を有する結晶面を前記(211)面とみなしたとき、前記圧延面の面積に対する前記圧延面に存在する前記(211)面の合計面積の割合が80%以上になる無酸素銅板が提供される。
セラミック基板上に設けられた後に熱処理が行われることで配線材になる無酸素銅板の製造方法であって、
無酸素銅で形成された被圧延材に対して、1回の加工度が40%以下である冷間圧延処理を、総加工度が90%以上になるように複数回行う冷間圧延工程を有する無酸素銅板の製造方法が提供される。
セラミック基板と、
無酸素銅に対して圧延加工を行うことで平板状に形成され、前記セラミック基板上に設けられた配線材としての無酸素銅板と、を備え、
前記無酸素銅板の圧延面の平均結晶粒径が500μm以上であるとともに、前記圧延面に存在する結晶粒が有する結晶面のうち(211)面の結晶方位からの傾きが15°以内である結晶方位を有する結晶面を前記(211)面とみなしたとき、前記圧延面の面積に対する前記(211)面の合計面積の割合が80%以上であるセラミック配線基板が提供される。
(1)セラミック配線基板の構成
まず、本発明の一実施形態にかかるセラミック配線基板の構成について説明する。本実施形態にかかるセラミック配線基板は、所定厚さ(例えば0.5mm)のセラミック基板と、セラミック基板上に設けられた配線材と、を備えている。配線材として、無酸素銅板が用いられている。セラミック配線基板は、セラミック基板と無酸素銅板とが、例えばロウ材を介して貼り合わされる(接合される)ことで形成されている。この貼り合わせは、炉中でセラミック基板と無酸素銅板とロウ材との積層体を所定の条件(例えば800℃以上1080℃以下の温度で5分以上)で加熱する熱処理によって行われる。所定の熱処理が行われてセラミック基板と無酸素銅板とが貼り合わされる。また、所定の熱処理が行われて配線材になった無酸素銅板の所定箇所が例えばエッチングにより除去されて配線パターン(銅配線)が形成される。
以下に、本発明の一実施形態にかかる無酸素銅板の構成について説明する。本実施形態にかかる無酸素銅板は、例えば上述のセラミック配線基板が有する配線材として好適に用いられる。
次に、本実施形態にかかる無酸素銅板及び無酸素銅板を用いたセラミック配線基板の製造方法について、図2を参照しながら説明する。図2は、本実施形態にかかる無酸素銅板及びセラミック配線基板の製造工程を示すフロー図である。
図2に示すように、鋳造工程と圧延工程(熱間圧延工程、冷間圧延工程)とを行って無酸素銅板を形成する。
まず、母材である純度99.99%の電気銅を例えば高周波溶解炉等を用いて溶解して銅の溶湯を生成する。続いて、溶湯湯面を木炭で被覆し、木炭のカーボン(C)と溶湯中の酸素(O)とを反応させ、溶湯中のOをCOガスとして溶湯中から除去する。そして、この銅の溶湯を鋳型に注いで冷却し、所定形状の鋳塊を鋳造(溶製)する。
鋳塊を高温(例えば750℃以上950℃以下)に維持した状態で、鋳塊に対して熱間圧延処理を行い、所定厚さ(例えば12mm)の熱間圧延材を形成する。
熱間圧延工程(S12)が終了した後、熱間圧延材に対して所定の冷間圧延処理を複数回行い、所定厚さ(例えば100μm以上)の平板状の無酸素銅板を形成する。
(数1)
加工度r(%)={(t0−t)/t0}×100
(数2)
総加工度R(%)={(T0−T)/T0}×100
続いて、上述の無酸素銅板を用いてセラミック配線基板を形成する。例えば、ロウ材を介して、上述の無酸素銅板と、AlNを主成分とするセラミック焼結体で形成されるセラミック基板のいずれかの主面と、を貼り合わせ、セラミック配線基板を形成する。
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果を奏する。
以上、本発明の一実施形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
まず、各試料(試料1〜13)となるセラミック基板と無酸素銅板とを有するセラミック配線基板(無酸素銅板付きセラミック配線基板)を作製した。
試料1では、母材として、純度が99.990質量%(99.990wt%)の銅(電気銅)を用いた。そして、カーボン坩堝(黒鉛ルツボ)を有する高周波溶解炉を用い、不活性ガス(N2ガス)雰囲気中にて、母材を所定温度に加熱して溶解し、銅の溶湯を作製した。そして、溶湯表面(溶湯湯面)を木炭で被覆し、木炭のCと溶湯中のOとを反応させてCOガスを発生させることで、溶湯中からOを取り除いて無酸素銅の溶湯を作製した。次いでこの溶湯を鋳型に注いで冷却し、所定形状の無酸素銅の鋳塊(インゴット)を鋳造した。
試料2〜13ではそれぞれ、無酸素銅に用いた銅の純度、無酸素銅中の酸素濃度、冷間圧延処理の総加工度R(熱間圧延後の総加工度R)、1回の冷間圧延処理(圧延パス)の加工度r、接合温度を下記の表1に示す通りとした。なお、表1中の1回の圧延パスの加工度rは、複数回行った圧延パスの各加工度のうち最大の加工度を示している。また、接合温度とは、酸素銅板とセラミック基板とを貼り合わせる際の熱処理の温度(加熱温度)である。その他は、試料1と同様にしてセラミック配線基板を作製した。これらをそれぞれ、試料2〜13とした。
各試料について、無酸素銅板の表面(圧延面)の平均結晶粒径と、無酸素銅板の表面の(211)面の配向性と、無酸素銅板とセラミック基板との接合状態と、ヒートサイクル試験での割れ・剥離評価と、を評価した。
試料1〜13の各試料が備える無酸素銅板(つまり所定の熱処理後の無酸素銅板)の圧延面(表面)の平均結晶粒径をそれぞれ測定した。結晶粒径の測定は、無酸素銅板の圧延面に相当する面を所定の粗さになるまで研磨した後、過酸化水素を加えたアンモニア水で表面(研磨した面)をエッチングする。そして、エッチングした面を光学顕微鏡で観察してJIS H5010の切断法にて結晶粒径を求め、求めた結晶粒径から平均結晶粒径を求めた。その結果を下記の表1に示す。
試料1〜13の各試料が備える無酸素銅板について、無酸素銅板の表面(セラミック配線基板においてセラミック基板と対向する側とは反対側の無酸素銅板の面)の(211)面の配向性について評価を行った。具体的には、SEM/EBSD法により、無酸素銅板の表面に存在する各結晶面の結晶方位をそれぞれ測定し、結晶方位マップを作製した。EBSDの測定装置及び解析ソフトは株式会社TSLソリューションズ製のものを用いた。このとき、(211)面の結晶方位からの傾きが15°以内である結晶方位を有する結晶面は、(211)面とみなした。そして、作製した結晶方位マップから、無酸素銅板の表面の面積Aに対する、無酸素銅板の表面に存在する(211)面の合計面積Bの割合((B/A)×100)を算出した。無酸素銅板の表面における(211)面の面積の割合を無酸素銅板の(211)面の配向性として下記の表1に示す。
試料1〜13の各試料をそれぞれ、超音波顕微鏡(株式会社日立パワーソリュションズ製Fine SAT III)を用いて無酸素銅板とセラミック基板との接合界面の未接合率を求めた。未接合率とは、接合界面の面積に対する未接合部分の面積の割合である。未接合率が10%未満である試料の評価を「○」とし、未接合率が10%以上である試料の評価を「×」とした。その結果を下記の表1に示す。
試料1〜13の各試料をそれぞれ、−65℃のエタノール及びドライアイスを混合した寒剤の液浴と、150℃のオイルバスの液浴と、に交互に投入した。具体的には、寒剤の液浴に5分間投入した後オイルバスの液浴に5分間投入するサイクルを1サイクルとして、このサイクルを合計500サイクル繰り返した。そして、各試料が備えるセラミック基板に割れ(クラック)が発生していないか否か、また無酸素銅板がセラミック基板から剥離している箇所がないか否かを確認し、割れ・剥離評価を行った。セラミック基板に割れが発生しておらず、無酸素銅板がセラミック基板から剥離している箇所がない試料の評価を「○」とし、セラミック基板に割れが発生していたり、無酸素銅板がセラミック基板から剥離している箇所がある試料の評価を「×」とした。その結果を下記の表1に示す。
試料1〜13の各試料の総合評価を行った。無酸素銅板の平均結晶粒径が500μm以上であり、無酸素銅板の表面の(211)面の配向性が80%以上であり、接合状態の評価が「○」であり、割れ・剥離評価が「○」である試料の総合評価を「◎」とした。無酸素銅板の結晶粒径が500μm未満であったり、無酸素銅板の(211)面の配向性が80%未満であったり、接合状態の評価が「×」であったり、割れ・剥離評価が「×」である試料の総合評価を「×」とした。評価結果を下記の表1に示す。
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
本発明の一態様によれば、
圧延されることで平板状に形成された無酸素銅板であって、800℃以上1080℃以下の条件下で5分以上加熱した後、圧延面から測定した平均結晶粒径が500μm以上になり、かつ、前記無酸素銅板の前記圧延面と平行な面内に存在する各結晶面の結晶方位をそれぞれ測定し、(211)面の結晶方位からの傾きが15°以内である結晶方位を有する結晶面を前記(211)面とみなしたとき、前記圧延面の面積に対する前記圧延面に存在する前記(211)面の合計面積の割合が80%以上になる無酸素銅板が提供される。
本発明の他の態様によれば、
無酸素銅からなる鋳塊に対して圧延加工が行われることで平板状に形成されており、セラミック基板上に設けられた後に熱処理が行われて配線材になる無酸素銅板であって、
800℃以上1080℃以下の条件下で5分以上加熱する熱処理を行った後、圧延面の平均結晶粒径が500μm以上になるとともに、前記圧延面に存在する結晶粒が有する結晶面のうち(211)面の結晶方位からの傾きが15°以内である結晶方位を有する結晶面を前記(211)面とみなしたとき、前記圧延面の面積に対する前記(211)面の合計面積の割合が80%以上になる無酸素銅板が提供される。
付記1又は2の無酸素銅板であって、好ましくは、
純度が99.96質量%以上の銅を用い、酸素濃度が0.001質量%以下であり、残部が不可避的不純物からなる無酸素銅で形成されている。例えば、無酸素銅板は、純度が99.96質量%以上であり、酸素濃度が0.001質量%以下であり、残部が不可避的不純物からなる無酸素銅に対して圧延加工が行われることで形成される。
付記1ないし3のいずれかに記載の無酸素銅板であって、好ましくは、
厚さが100μm以上である。
付記1ないし4のいずれかに記載の無酸素銅板であって、好ましくは、
厚さが100μm以上1mm以下である。
本発明のさらに他の態様によれば、
セラミック基板上に設けられた後に熱処理が行われることで配線材になる無酸素銅板の製造方法であって、
無酸素銅で形成された被圧延材に対して、1回の加工度が40%以下である冷間圧延処理を、総加工度が90%以上になるように複数回行う冷間圧延工程を有する無酸素銅板の製造方法が提供される。
付記6の無酸素銅板の製造方法であって、好ましくは、
前記冷間圧延工程では、焼鈍処理を行わない。
本発明のさらに他の態様によれば、
セラミック基板と、
無酸素銅に対して圧延加工を行うことで平板状に形成され、前記セラミック基板上に設けられた配線材としての無酸素銅板と、を備え、
前記無酸素銅板の圧延面の平均結晶粒径が500μm以上であるとともに、前記圧延面に存在する結晶粒が有する結晶面のうち(211)面の結晶方位からの傾きが15°以内である結晶方位を有する結晶面を前記(211)面とみなしたとき、前記圧延面の面積に対する前記(211)面の合計面積の割合が80%以上であるセラミック配線基板が提供される。
Claims (6)
- 圧延されることで平板状に形成された無酸素銅板であって、800℃以上1080℃以下の条件下で5分以上加熱した後、圧延面から測定した平均結晶粒径が500μm以上になり、かつ、前記無酸素銅板の前記圧延面と平行な面内に存在する各結晶面の結晶方位をそれぞれ測定し、(211)面の結晶方位からの傾きが15°以内である結晶方位を有する結晶面を前記(211)面とみなしたとき、前記圧延面の面積に対する前記圧延面に存在する前記(211)面の合計面積の割合が80%以上になる
無酸素銅板。 - 純度が99.96質量%以上の銅を用い、酸素濃度が0.001質量%以下であり、残部が不可避的不純物からなる無酸素銅で形成されている
請求項1に記載の無酸素銅板。 - 厚さが100μm以上である
請求項1又は2に記載の無酸素銅板。 - セラミック基板上に設けられた後に熱処理が行われることで配線材になる無酸素銅板の製造方法であって、
無酸素銅で形成された被圧延材に対して、1回の加工度が40%以下である冷間圧延処理を、総加工度が90%以上になるように複数回行う冷間圧延工程を有する
無酸素銅板の製造方法。 - 前記冷間圧延工程では、焼鈍処理を行わない
請求項4に記載の無酸素銅板の製造方法。 - セラミック基板と、
無酸素銅に対して圧延加工を行うことで平板状に形成され、前記セラミック基板上に設けられた配線材としての無酸素銅板と、を備え、
前記無酸素銅板の圧延面の平均結晶粒径が500μm以上であるとともに、前記圧延面に存在する結晶粒が有する結晶面のうち(211)面の結晶方位からの傾きが15°以内である結晶方位を有する結晶面を前記(211)面とみなしたとき、前記圧延面の面積に対する前記(211)面の合計面積の割合が80%以上である
セラミック配線基板。
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