JP2017045753A - 保守作業用の温度管理機能を有するレーザ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願の2番目の発明によれば、1番目の発明に係るレーザ装置が、外気温度を取得する第1の温度取得部と、前記外気温度に基づいて前記第2の温度を算出する温度算出部と、をさらに備える。
本願の3番目の発明によれば、2番目の発明に係るレーザ装置において、前記温度算出部は、前記第2の温度が前記外気温度以上になるように前記第2の温度を算出するように構成される。
本願の4番目の発明によれば、1番目の発明に係るレーザ装置が、外気の露点温度を取得する露点温度取得部と、前記露点温度に基づいて前記第2の温度を算出する温度算出部と、をさらに備える。
本願の5番目の発明によれば、1番目から4番目のいずれかの発明に係るレーザ装置が、前記光学系の温度が前記第2の温度に到達したときに、信号を出力する信号出力部をさらに備える。
本願の6番目の発明によれば、開放可能な密閉構造を有する筐体と、前記筐体内に設置された光学系と、前記光学系を所定温度に維持する温度調節機構と、前記筐体を開放する前に実行される準備工程を制御する準備工程制御部と、前記準備工程が開始されたときに、乾燥空気を前記筐体内に供給する空気供給部と、を備える、レーザ装置が提供される。
通常モードが選択されているとき、筐体4の扉41及び弁43はそれぞれ閉塞位置にある。すなわち、筐体4の内部空間は、第1の空間4a及び第2の空間4bに分離されている(図1A参照)。温度調節部32は、冷却水循環装置21を制御して冷却水を配管に通して供給し、光学系11を概ね一定の温度に維持する。例えば、光学系11は、15℃〜30℃の範囲内の所定温度、例えば約20℃に維持される。光学系11は、予め定められた温度から、例えば±1℃程度の範囲に維持される。他方、電源ユニット12は、熱交換器22によって、外気温度と同程度に維持される。
オペレータが、制御装置3に接続されるスイッチを操作してサービスモードを選択すると、それに応答して、制御装置3が、予め定められるシーケンスプログラムに従って、保守作業を実行するための準備工程を実行する。シーケンスプログラムは、制御装置3の不揮発性メモリから読出される。
3 制御装置
4 筐体
10 レーザ装置
11 光学系
12 電源ユニット
13 空気供給装置
21 冷却水循環装置
22 熱交換器
25 冷却装置
26 ポンプ
27 熱交換器
31 準備工程制御部
32 温度調節部
33 第1の温度取得部
34 目標温度算出部
35 第2の温度取得部
36 信号出力部
37 露点温度取得部
38 空気供給部
41 扉
42 隔壁
43 弁
Claims (6)
- 開放可能な密閉構造を有する筐体と、
前記筐体内に設置された光学系と、
前記光学系を所定温度に維持する温度調節機構と、
前記筐体を開放する前に実行される準備工程を制御する準備工程制御部と、
を備えるレーザ装置であって、
前記温度調節機構は、レーザ装置の稼働中においては、前記光学系を第1の温度に維持するとともに、前記準備工程が開始されたときに、前記光学系を、前記第1の温度以上の第2の温度に維持するように構成される、レーザ装置。 - 外気温度を取得する第1の温度取得部と、
前記外気温度に基づいて前記第2の温度を算出する温度算出部と、
をさらに備える、請求項1に記載のレーザ装置。 - 前記温度算出部は、前記第2の温度が前記外気温度以上になるように前記第2の温度を算出するように構成される、請求項2に記載のレーザ装置。
- 外気の露点温度を取得する露点温度取得部と、
前記露点温度に基づいて前記第2の温度を算出する温度算出部と、
をさらに備える、請求項1に記載のレーザ装置。 - 前記光学系の温度が前記第2の温度に到達したときに、信号を出力する信号出力部をさらに備える、請求項1から4のいずれか1項に記載のレーザ装置。
- 開放可能な密閉構造を有する筐体と、
前記筐体内に設置された光学系と、
前記光学系を所定温度に維持する温度調節機構と、
前記筐体を開放する前に実行される準備工程を制御する準備工程制御部と、
前記準備工程が開始されたときに、乾燥空気を前記筐体内に供給する空気供給部と、
を備える、レーザ装置。
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