JP2017044606A - 非接触内面形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 測定対象である測定孔に挿入される測定部から前記測定孔の内面である測定内面に測定光を照射することで非接触により前記測定内面の形状を測定する非接触内面形状測定装置であって、
前記測定部は、
前記測定部の前記測定孔への挿入方向に沿った基準軸と、
前記基準軸に沿った方向に測定光を出射する光出射部と、
前記基準軸に沿った方向に光軸を有する撮像手段と、
前記光出射部及び前記撮像手段に対向して配置され、前記光出射部から出射された測定光の進行方向と前記撮影手段により撮影される撮影方向とを変更し、前記測定内面に向けて前記測定光を出射すると共に前記測定内面に前記撮影方向を向ける方向変更部材と、
前記方向変更部材を前記基準軸周りに回転させる駆動手段と、
前記測定内面に当接して前記測定部を前記測定孔の内部に支持するガイド部と、
を備えた非接触内面形状測定装置。 - 前記方向変更部材は、前記基準軸に斜めに交差する反射面を有する反射部材である請求項1に記載の非接触内面形状測定装置。
- 前記光出射部及び前記撮像手段は、前記方向変更部材よりも前記挿入方向の先端側に配置され、前記光出射部の前記測定光の照射方向及び前記撮像手段の撮影方向が前記挿入方向の基端側に向けられた請求項1又は2に記載の非接触内面形状測定装置。
- 前記ガイド部は、前記測定部の前記挿入方向の先端側と基端側とに配置された請求項1、2、又は3に記載の非接触内面形状測定装置。
- 前記方向変更部材は透明円筒により前記基準軸周りの周囲が囲まれている請求項1〜4のいずれか1項に記載の非接触内面形状測定装置。
- 波長掃引光源と、
前記波長掃引光源から出射された光を互いに異なる光路を通過する測定光と参照光とに分岐する分岐手段と、
前記測定光を前記光出射部に案内する案内手段と、
前記光出射部から前記方向変更部材を介して出射された測定光が照射される測定点からの戻り光であって、前記方向変更部材、前記光出射部、及び、前記案内手段を介して戻る戻り光と前記参照光との干渉光を検出する光検出手段と、
前記駆動手段より回転する前記方向変更部材の各回転角度において、前記光検出手段により検出された干渉光に基づいて前記測定点の位置を検出することにより、前記測定内面の形状を検出する内面形状検出手段と、
を備えた請求項1〜5のいずれか1項に記載の非接触内面形状測定装置。 - 前記波長掃引光源は、波長を1200nm〜1600nmの範囲内で変化させる請求項6に記載の非接触内面形状測定装置。
- 前記撮像手段は、焦点を合わせる被写体までの距離を調整する焦点調整手段を有し、
前記焦点調整手段は、前記測定内面の形状の測定結果に基づいて制御される請求項1〜7のいずれか1項に記載の非接触内面形状測定装置。
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