JP2017029347A

JP2017029347A - Ozone treatment apparatus

Info

Publication number: JP2017029347A
Application number: JP2015151680A
Authority: JP
Inventors: 上田　敦士; Atsushi Ueda; 敦士上田; 靖史伊藤; Yasushi Ito; 倫明可児; Tomoaki Kani
Original assignee: Mitsubishi Heavy Industries Food and Packaging Machinery Co Ltd
Current assignee: Mitsubishi Heavy Industries Machinery Systems Co Ltd
Priority date: 2015-07-31
Filing date: 2015-07-31
Publication date: 2017-02-09
Anticipated expiration: 2035-07-31
Also published as: JP6454616B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To avoid discharging high concentration ozone from a treatment chamber in an apparatus for treating with ozone an object to be treated transferred continuously to the treatment chamber.SOLUTION: An ozone treatment apparatus 1 of the present invention comprises: a treatment chamber 10 in which objects 100 to be treated are subjected to sterilization treatment; a conveyor 17 for conveying the objects 100 to be treated into the treatment chamber 10 from a carry-in port 14 and discharging them from a carry-out port 15; an ozone supply source 30 for supplying ozone to the treatment chamber 10; a first decomposing light source 21 which is provided incidentally to the carry-in port 14 and emits ultraviolet rays having a wavelength range having an ozone decomposing effect; and a second decomposing light source 22 which is provided incidentally to the carry-out port 15 and emits ultraviolet rays having a wavelength range having an ozone decomposing effect.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、オゾンを用いて処理対象物を殺菌、脱臭、洗浄、有機物除去、その他の処理を行う処理室を備える装置に関する。 The present invention relates to an apparatus including a processing chamber that performs sterilization, deodorization, cleaning, organic substance removal, and other processing on a processing object using ozone.

オゾン（Ｏ_３）は、強力な酸化力を有しており、この酸化力により殺菌、脱臭、消毒、漂白などの効果を発揮することが知られている。例えば、殺菌については、オゾンが細胞膜を破壊し、これに伴って細胞の核が溶け、菌が死滅するので、耐性菌が発生する恐れがないという利点がある。
一方、オゾンは、高濃度になると人体に有害であることから、種々の規格により、大気中でのオゾン濃度の許容値が定められている。したがって、オゾンを用いて殺菌などの処理を行う装置には、使用したオゾンを分解する機器を付属する必要がある。また、オゾンによる処理を行う処理室は、オゾンが処理中に処理室の外部に漏れ出ないようにすることが求められる。 Ozone (O ₃ ) has a strong oxidizing power, and it is known that this oxidizing power exerts effects such as sterilization, deodorization, disinfection, and bleaching. For example, with regard to sterilization, ozone destroys the cell membrane, and as a result, cell nuclei are dissolved and bacteria are killed, so that there is an advantage that resistant bacteria are not generated.
On the other hand, since ozone is harmful to the human body at a high concentration, the allowable value of ozone concentration in the atmosphere is determined by various standards. Therefore, it is necessary to attach the apparatus which decomposes | disassembles the used ozone to the apparatus which processes sterilization etc. using ozone. In addition, a treatment chamber that performs treatment with ozone is required to prevent ozone from leaking out of the treatment chamber during treatment.

そこで、特許文献１の殺菌装置は、殺菌室の中に、オゾン発生源に加えて、オゾン分解作用を有する波長域の紫外線を出射する紫外線源を設ける。特許文献１の殺菌装置は、オゾンを発生させて殺菌室内に収容された処理対象物の殺菌処理を実行し、殺菌処理の終了後に紫外線源を駆動してオゾンの分解処理を実行することを提案している。
特許文献１の殺菌装置は、装置の構造を複雑にすることなく、短時間で殺菌処理後の残留オゾンの濃度を下げることができる、とされている。 Therefore, the sterilization apparatus of Patent Document 1 includes an ultraviolet ray source that emits ultraviolet rays in a wavelength region having an ozone decomposing action in addition to an ozone generation source in a sterilization chamber. The sterilization apparatus of Patent Document 1 proposes that ozone is generated to perform a sterilization process on a processing object accommodated in a sterilization chamber, and that after the sterilization process is finished, an ultraviolet ray source is driven to perform an ozone decomposition process. doing.
The sterilization apparatus of Patent Document 1 is said to be able to lower the concentration of residual ozone after sterilization in a short time without complicating the structure of the apparatus.

国際公開ＷＯ２０１３／０８４４８５号公報International Publication WO2013 / 084485

特許文献１の殺菌装置は、前提として殺菌室を密閉状態にしてオゾンによる殺菌処理を行うので、殺菌処理がいわゆるバッチ式にならざるを得ず、処理能力が制約される。 Since the sterilization apparatus of patent document 1 performs the sterilization process by ozone with the sterilization chamber sealed as a premise, the sterilization process has to be a so-called batch type, and the processing capacity is restricted.

例えば、飲料水などの液体を容器に充填するシステムにおいて容器の殺菌が行われるが、この殺菌としては、薬剤、例えば、過酢酸（ＰＡＡ）、過酸化水素（Ｈ_２Ｏ_２）を含む水溶液からなる過酢酸系殺菌剤や、過酸化水素を用いるのが主流である。ところが、過酢酸を殺菌剤として用いる場合は、過酢酸に対する耐性菌が作り出されることが指摘されている。また、過酸化水素については、耐性菌の問題は少ないものの、ＰＥＴ（Polyethylene terephthalate）ボトルを対象とする場合には、ＰＥＴに吸収されて、容器に残留してしまうという問題がある。したがって、耐性菌の問題がなく、かつ、殺菌対象物への残留の問題のないオゾンにより、この容器を殺菌することは有益である。 For example, a container is sterilized in a system in which a container is filled with a liquid such as drinking water. The sterilization is performed by using an aqueous solution containing a drug such as peracetic acid (PAA) or hydrogen peroxide (H ₂ O ₂ ). The mainstream is to use a peracetic acid-based disinfectant or hydrogen peroxide. However, when peracetic acid is used as a bactericidal agent, it has been pointed out that resistant bacteria against peracetic acid are created. In addition, as for hydrogen peroxide, although there are few problems of resistant bacteria, when a PET (Polyethylene terephthalate) bottle is targeted, there is a problem that it is absorbed by PET and remains in the container. Therefore, it is beneficial to sterilize this container with ozone that does not have a problem of resistant bacteria and does not have a problem of remaining on an object to be sterilized.

ところが、飲料水などを容器に充填するシステムは、通常、容器が連続的に搬送されており、製品液の充填工程などの一連の工程を行う装置類が連続処理に対応している。充填工程の前に行われる容器の殺菌工程も同様である。したがって、特許文献１のように、バッチ処理する殺菌装置は、飲料水の充填のように連続処理が前提となるシステムには適用することができない。
そこで本発明は、連続的に処理室に搬送される処理対象物をオゾンにより処理する装置において、処理室から高濃度のオゾンが排出されるのを避けることができるオゾン処理装置を提供することを目的とする。 However, in a system for filling a container with drinking water or the like, the container is usually transported continuously, and devices that perform a series of processes such as a product liquid filling process support continuous processing. The container sterilization process performed before the filling process is the same. Therefore, like patent document 1, the sterilizer which batch-processes cannot be applied to the system which presupposes continuous processing like filling of drinking water.
Therefore, the present invention provides an ozone processing apparatus capable of avoiding discharge of high-concentration ozone from a processing chamber in an apparatus for processing an object to be processed, which is continuously conveyed to the processing chamber, with ozone. Objective.

本発明のオゾン処理装置は、処理対象物を搬入する搬入口と、オゾンによる所定の処理が施された処理対象物を外部に搬出する搬出口とを有し、所定の処理が行われる処理室と、搬入口から処理室の内部に処理対象物を搬入し、かつ搬出口から処理室の外部に処理対象物を搬出するコンベヤと、処理室にオゾンを供給するオゾン供給源と、搬入口に付随して設けられる、オゾン分解作用を有する波長域の紫外線を出射する第一分解光源と、搬出口に付随して設けられる、オゾン分解作用を有する波長域の紫外線を出射する第二分解光源と、を備えることを特徴とする。 The ozone treatment apparatus of the present invention has a carry-in port for carrying in a treatment object and a carry-out port for carrying out a treatment object subjected to a predetermined treatment with ozone to the outside, and a treatment chamber in which a predetermined treatment is performed. A conveyor for carrying the processing object into the processing chamber from the carry-in port, and carrying the processing object from the carry-out port to the outside of the processing chamber, an ozone supply source for supplying ozone to the processing chamber, and a carry-in port A first decomposition light source that emits ultraviolet light in a wavelength range having an ozone decomposition action, and a second decomposition light source that emits ultraviolet light in a wavelength band that has an ozone decomposition action, which are attached to the carry-out port; It is characterized by providing.

本発明のオゾン処理装置は、処理室に供給されたオゾンが処理室の外部に漏れるおそれのある搬入口と搬出口のそれぞれに、第一分解光源と第二分解光源を設けるので、処理に使用された後に搬入口と搬出口から漏れるオゾンを含むガス（以下、単にガスというとこがある）に含まれるオゾンの濃度を下げることができる。したがって、本発明のオゾン処理装置によれば、オゾンの漏出量を低減して、オゾン処理装置の周辺における作業環境の安全性を確保することができる。しかも、本発明のオゾン処理装置によれば、処理対象物を連続的に搬送しながらオゾンにより処理することができるので、高い処理能力を獲得しつつ、処理室からのオゾンの漏出量を低減できる。 The ozone treatment apparatus according to the present invention is provided with a first decomposition light source and a second decomposition light source at each of a carry-in port and a carry-out port where ozone supplied to the treatment chamber may leak to the outside of the treatment chamber. Then, the concentration of ozone contained in the gas containing ozone leaking from the carry-in port and the carry-out port (hereinafter, simply referred to as gas) can be lowered. Therefore, according to the ozone treatment apparatus of the present invention, it is possible to reduce the amount of ozone leakage and to ensure the safety of the work environment around the ozone treatment apparatus. Moreover, according to the ozone treatment apparatus of the present invention, the treatment object can be treated with ozone while being continuously conveyed, so that the amount of ozone leaked from the treatment chamber can be reduced while obtaining a high treatment capacity. .

本発明のオゾン処理装置の特に、処理室とコンベヤの構成は、少なくとも二つの形態を含む。
一つ目の形態は、搬入口と搬出口が異なる部位に設けられており、搬入口から搬入された処理対象物を、直線状の軌道を有するコンベヤが、搬入口とは異なる部位に設けられる搬出口に向けて搬送する、というものである。
二つ目の形態は、搬入口と搬出口が同じ部位に設けられており、搬入口から搬入された処理対象物を、周回軌道を有するコンベヤが、搬入口を兼用する搬出口に向けて搬送する、というものである。 In particular, the configuration of the treatment chamber and the conveyor of the ozone treatment apparatus of the present invention includes at least two forms.
In the first form, the carry-in port and the carry-out port are provided in different parts, and a conveyor having a linear track is provided in a part different from the carry-in port for processing objects carried from the carry-in port. It is transported toward the carry-out port.
In the second form, the carry-in port and the carry-out port are provided at the same site, and the object to be processed carried from the carry-in port is transported toward the carry-out port also serving as the carry-in port by a conveyor having a circular track. Is to do.

本発明のオゾン処理装置は、処理室を、オゾン供給源からのオゾンの供給を受ける中央処理室と、搬入口が設けられ、中央処理室と遮光層により隔てられる搬入室と、搬出口が設けられ、中央処理室と遮光層により隔てられる搬出室と、に区分することができる。この場合、第一分解光源は、搬入室の内部に設け、第二分解光源は、搬出室の内部に設けることができる。
このオゾン処理装置によれば、第一分解光源によるオゾンの分解作用及び第二分解光源によるオゾンの分解作用を、中央処理室に及ばないようにできるので、中央処理室のオゾン濃度の低下を抑制することができ、一方で搬入口・搬出口からのガス中のオゾン濃度を低減することができる。 In the ozone treatment apparatus of the present invention, a treatment chamber is provided with a central treatment chamber that receives supply of ozone from an ozone supply source, a carry-in port, a carry-in chamber that is separated from the central treatment chamber by a light shielding layer, and a carry-out port. It can be divided into a central processing chamber and an unloading chamber separated by a light shielding layer. In this case, the first decomposition light source can be provided inside the carry-in chamber, and the second decomposition light source can be provided inside the carry-out chamber.
According to this ozone treatment apparatus, the ozone decomposition action by the first decomposition light source and the ozone decomposition action by the second decomposition light source can be prevented from reaching the central processing chamber, so that a decrease in ozone concentration in the central processing chamber is suppressed. On the other hand, the ozone concentration in the gas from the carry-in / carry-out port can be reduced.

本発明のオゾン処理装置は、処理室を処理室の外部に対して陰圧にする陰圧機構を設けることができる。
これにより、搬入口及び搬出口から漏れるガスの量、ひいてはオゾンの量を少なくできる。なお、陰圧とは、外部に対して気圧を低く抑えることをいう。
陰圧機構は、中央処理室、搬入室及び搬出室のそれぞれを陰圧にすることが好ましい。ただし、本発明は、中央処理室を陽圧として、搬入室及び搬出室を陰圧とすることを許容し、こうすることによっても、搬入口及び搬出口から漏れるオゾンの量を少なくできる。
これにより、搬入口及び搬出口から処理に使用されたガスが漏れるおそれをより小さくできる。この場合、搬入室及び搬出室は第一分解光源及び第二分解光源によりオゾン濃度が低減されているので、陰圧化のための機器、典型的には排気ファン及びオゾンキラーを能力の小さなものにすることができる。 The ozone treatment apparatus of the present invention can be provided with a negative pressure mechanism that makes the treatment chamber have a negative pressure with respect to the outside of the treatment chamber.
Thereby, the amount of gas leaking from the carry-in port and the carry-out port, and hence the amount of ozone can be reduced. The negative pressure refers to keeping the atmospheric pressure low with respect to the outside.
It is preferable that the negative pressure mechanism has a negative pressure in each of the central processing chamber, the loading chamber, and the unloading chamber. However, the present invention allows the central processing chamber to be a positive pressure and the loading chamber and the unloading chamber to be a negative pressure, and by doing so, the amount of ozone leaking from the loading port and the unloading port can be reduced.
Thereby, the possibility that the gas used for processing leaks from the carry-in port and the carry-out port can be further reduced. In this case, since the ozone concentration is reduced in the carry-in chamber and the carry-out chamber by the first decomposition light source and the second decomposition light source, a negative pressure device, typically an exhaust fan and an ozone killer, have a small capacity. Can be.

本発明のオゾン処理装置は、第一分解光源よりも処理対象物の搬送方向の下流側に、オゾン発生作用を有する波長域の紫外線を出射する第一発生光源を設け、第二分解光源よりも処理対象物の搬送方向の上流側に、オゾン発生作用を有する波長域の紫外線を出射する第二発生光源を設けることができる。
このオゾン処理装置によれば、第一分解光源及び第二分解光源により低減したオゾン濃度を、部分的に回復させて、殺菌効果を確保する。
第一発生光源と第二発生光源の間には遮光層を設けることが好ましい。 The ozone treatment apparatus of the present invention is provided with a first generation light source that emits ultraviolet rays in a wavelength region having an ozone generation action downstream of the first decomposition light source in the conveyance direction of the object to be processed. A second generation light source that emits ultraviolet rays in a wavelength region having an ozone generation function can be provided on the upstream side in the conveyance direction of the processing object.
According to this ozone treatment apparatus, the ozone concentration reduced by the first decomposition light source and the second decomposition light source is partially recovered to ensure a sterilizing effect.
It is preferable to provide a light shielding layer between the first generation light source and the second generation light source.

本発明によれば、処理対象物をオゾンにより連続的に処理しつつ、処理室からのオゾンの漏出量を低減できる。 According to the present invention, it is possible to reduce the amount of ozone leaked from the processing chamber while continuously processing the object to be processed with ozone.

本発明の第１実施形態に係るオゾン処理装置の概略構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic structure of the ozone treatment apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態に係るオゾン処理装置の概略構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic structure of the ozone treatment apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention. オゾン処理装置における搬入口から搬出口までの位置とオゾンの濃度の関係を概念的に示し、（ａ）は第一分解光源、第二分解光源、第一発生光源及び第二発生光源のいずれも設けない場合を示し、（ｂ）は第１実施形態に対応して第一分解光源及び第二分解光源を設ける例を示し、（ｃ）は第２実施形態に対応して第一分解光源、第二分解光源、第一発生光源及び第二発生光源を設ける場合を示す。The relationship between the position from the carry-in port to the carry-out port in the ozone treatment apparatus and the ozone concentration is conceptually shown, and (a) shows all of the first decomposition light source, the second decomposition light source, the first generation light source, and the second generation light source. (B) shows an example of providing a first decomposition light source and a second decomposition light source corresponding to the first embodiment, and (c) shows a first decomposition light source corresponding to the second embodiment, The case where a 2nd decomposition | disassembly light source, a 1st generation light source, and a 2nd generation light source are provided is shown. 本発明のその他の形態を示し、搬入口と搬出口が同じ部位に設けられており、搬入口から搬入された処理対象物を、周回軌道を有するコンベヤが、搬入口を兼用する搬出口に向けて搬送する例を示す。In another embodiment of the present invention, the carry-in port and the carry-out port are provided at the same site, and the object to be processed loaded from the carry-in port is directed to the carry-out port where the conveyor having a circular track also serves as the carry-in port. An example of conveying is shown. 本発明のその他の形態を示し、陰圧機構を設けない例を示す。The other form of this invention is shown and the example which does not provide a negative pressure mechanism is shown.

以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。
〔第１実施形態〕
図１に示すオゾン処理装置１は、その内部を連続的に搬送される処理対象物１００をオゾンにより処理する処理室１０と、処理室１０にオゾンを供給するオゾン供給源３０と、処理室１０を陰圧にする陰圧機構４０と、を備えている。
オゾン処理装置１は、処理室１０の内部を連続的に搬送される処理対象物１００にオゾン供給源３０からオゾンを供給することにより、処理対象物１００を殺菌処理するものである。そして、オゾン処理装置１は、処理に使用されたガスが漏れる可能性のある領域において、処理室１０に供給されたオゾンの濃度を下げる機能を備えることで、処理室１０の外部へのオゾンの漏出量を低減する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
[First Embodiment]
An ozone treatment apparatus 1 shown in FIG. 1 includes a treatment chamber 10 that treats a treatment object 100 that is continuously transported therein with ozone, an ozone supply source 30 that supplies ozone to the treatment chamber 10, and a treatment chamber 10. And a negative pressure mechanism 40 for making the pressure negative.
The ozone processing apparatus 1 sterilizes the processing target object 100 by supplying ozone from the ozone supply source 30 to the processing target object 100 continuously conveyed in the processing chamber 10. The ozone treatment apparatus 1 has a function of reducing the concentration of ozone supplied to the processing chamber 10 in an area where the gas used for the processing may leak, so that the ozone to the outside of the processing chamber 10 can be obtained. Reduce leakage.

処理室１０は、オゾン供給源３０からのオゾンの供給を直接的に受ける中央処理室１１と、処理対象物１００の搬送方向の上流側に設けられる搬入室１２と、処理対象物１００の搬送方向の下流側に設けられる搬出室１３と、を備えている。なお、以下の説明において、単に上流又は下流というときは、処理対象物１００の搬送方向Ｆを基準にするものとする。
中央処理室１１と搬入室１２はそれぞれの内部空間が連なり、また、中央処理室１１と搬出室１３はそれぞれの内部空間が連なることで、搬入室１２から搬出室１３にかけて、処理対象物１００が通過する空間が連なっている。搬入室１２は、中央処理室１１よりも容積が十分に小さく形成され、また、搬出室１３は、中央処理室１１よりも容積が十分に小さく構成されている。なお、この例では、搬入室１２と搬出室１３は同等の容積を有している。 The processing chamber 10 includes a central processing chamber 11 that directly receives the supply of ozone from the ozone supply source 30, a carry-in chamber 12 provided on the upstream side in the transport direction of the processing object 100, and the transport direction of the processing object 100. And a carry-out chamber 13 provided on the downstream side. In the following description, when the term “upstream” or “downstream” is used, the conveyance direction F of the processing object 100 is used as a reference.
The central processing chamber 11 and the carry-in chamber 12 are connected to each other internal space, and the central processing chamber 11 and the carry-out chamber 13 are connected to each other, so that the processing object 100 is transferred from the carry-in chamber 12 to the carry-out chamber 13. There are a series of passing spaces. The carry-in chamber 12 is formed with a sufficiently smaller volume than the central processing chamber 11, and the carry-out chamber 13 is configured with a sufficiently smaller volume than the central processing chamber 11. In this example, the carry-in chamber 12 and the carry-out chamber 13 have the same volume.

中央処理室１１と搬入室１２の境界部分及び中央処理室１１と搬出室１３の境界部分は、処理対象物１００が通過する領域を除いて構造壁を設けることができる。図１はこのことを実線で示している。この構造壁は、中央処理室１１と搬入室１２の境界及び中央処理室１１と搬出室１３の境界における遮光層として機能するものであり、この遮光層が中央処理室１１と搬入室１２の境界を隔て及び中央処理室１１と搬出室１３の境界を隔てているということができる。
ただし、この遮光層は、構造壁に限るものでなく、可撓性の部材で遮光層を構成することができる。後に説明する第２実施形態は、この可撓性の遮光層を適用していることを破線で示している。 The boundary between the central processing chamber 11 and the carry-in chamber 12 and the boundary between the central processing chamber 11 and the carry-out chamber 13 can be provided with structural walls except for the region through which the processing object 100 passes. FIG. 1 shows this with a solid line. This structural wall functions as a light shielding layer at the boundary between the central processing chamber 11 and the carry-in chamber 12 and at the boundary between the central processing chamber 11 and the carry-out chamber 13, and this light shielding layer is the boundary between the central processing chamber 11 and the carry-in chamber 12. It can be said that the central processing chamber 11 and the unloading chamber 13 are separated from each other.
However, the light shielding layer is not limited to the structural wall, and the light shielding layer can be formed of a flexible member. In the second embodiment described later, the application of this flexible light shielding layer is indicated by a broken line.

搬入室１２は、最も上流側に搬入口１４を備え、搬出室１３は、最も下流側に搬出口１５を備えている。搬入口１４は、搬入室１２の内部と外部を連通させる開口からなり、また、搬出口１５は、搬出室１３の内部と外部を連通させる開口からなる。上流側から搬送されてきた処理対象物１００は、搬入口１４を通って搬入室１２に搬入され、搬入室１２、中央処理室１１及び搬出室１３の順に搬送されてから搬出口１５を通って、外部に搬出される。なお、搬入口１４及び搬出口１５の開口は、処理対象物１００との隙間が最小になるように設定される。
搬入室１２及び搬出室１３は、それぞれ搬入口１４及び搬出口１５を開閉する扉を設けることができるが、処理対象物１００を連続的にオゾン処理する際には、扉は開けられる。 The carry-in chamber 12 has a carry-in port 14 on the most upstream side, and the carry-out chamber 13 has a carry-out port 15 on the most downstream side. The carry-in port 14 includes an opening that allows the inside and the outside of the carry-in chamber 12 to communicate with each other, and the carry-out port 15 includes an opening that allows the inside and the outside of the carry-out chamber 13 to communicate with each other. The processing object 100 conveyed from the upstream side is carried into the carry-in chamber 12 through the carry-in port 14, is carried in the order of the carry-in chamber 12, the central processing chamber 11, and the carry-out chamber 13, and then passes through the carry-out port 15. , It is carried outside. Note that the openings of the carry-in port 14 and the carry-out port 15 are set so that the gap with the processing object 100 is minimized.
The carry-in chamber 12 and the carry-out chamber 13 can be provided with doors that open and close the carry-in port 14 and the carry-out port 15, respectively, but the doors are opened when the processing object 100 is continuously subjected to ozone treatment.

コンベヤ１７は、搬入室１２から搬出室１３を貫通して設けられており、処理対象物１００を搬送する。
コンベヤ１７は、搬入室１２から搬出室１３に亘って処理対象物１００の搬送できる限り、その形態は問われない。例えば、コンベヤ１７は、搬送方向に複数の要素に区分されていてもよいし、一体的に構成されていてもよい。 The conveyor 17 is provided from the carry-in chamber 12 through the carry-out chamber 13 and conveys the processing object 100.
The form of the conveyor 17 is not limited as long as the processing object 100 can be conveyed from the carry-in chamber 12 to the carry-out chamber 13. For example, the conveyor 17 may be divided into a plurality of elements in the transport direction, or may be configured integrally.

処理室１０は、搬入室１２の内部に第一分解光源２１を、また、搬出室１３の内部に第二分解光源２２を備えている。第一分解光源２１は、搬入口１４に近接してその上方に設けられ、また、第二分解光源２２は、搬出口１５に近接してその上方に設けられている。
第一分解光源２１及び第二分解光源２２は、それぞれが、図示を省略する電源から電力が供給されると、オゾン分解作用を有する波長域の紫外線ＵＶ１を出射する。第一分解光源２１から出射される紫外線ＵＶ１は、カーテンのように搬入口１４を遮り、第二分解光源２２から出射される紫外線ＵＶ１は、カーテンのように搬出口１５を遮る。 The processing chamber 10 includes a first decomposition light source 21 inside the carry-in chamber 12 and a second decomposition light source 22 inside the carry-out chamber 13. The first decomposition light source 21 is provided close to and above the carry-in port 14, and the second decomposition light source 22 is provided close to the carry-out port 15 and above it.
Each of the first decomposition light source 21 and the second decomposition light source 22 emits ultraviolet rays UV1 in a wavelength region having an ozone decomposition action when electric power is supplied from a power supply (not shown). The ultraviolet ray UV1 emitted from the first decomposition light source 21 blocks the carry-in port 14 like a curtain, and the ultraviolet ray UV1 emitted from the second decomposition light source 22 blocks the carry-out port 15 like a curtain.

ここで、紫外線は１００ｎｍ〜４００ｎｍの波長領域にある電磁波であり、その中で、ピーク波長が２５４ｎｍの２００〜２８０ｎｍの波長域の紫外線は、オゾン分解作用を有する。第一分解光源２１は、この波長域の紫外線を出射するものであり、搬入室１２の搬入口１４の近傍に漂うオゾンを分解し、第二分解光源２２は、この波長域の紫外線を出射するものであり、搬出室１３の搬出口１５の近傍に漂うオゾンを分解する。したがって、搬入口１４及び搬出口１５の近傍のガスに含まれるオゾンの濃度は低い。 Here, ultraviolet rays are electromagnetic waves in a wavelength region of 100 nm to 400 nm, and among them, ultraviolet rays in a wavelength region of 200 to 280 nm having a peak wavelength of 254 nm have an ozone decomposing action. The first decomposition light source 21 emits ultraviolet light in this wavelength range, decomposes ozone drifting in the vicinity of the carry-in entrance 14 of the carry-in chamber 12, and the second decomposition light source 22 emits ultraviolet light in this wavelength range. The ozone floating in the vicinity of the carry-out port 15 of the carry-out chamber 13 is decomposed. Therefore, the concentration of ozone contained in the gas near the carry-in port 14 and the carry-out port 15 is low.

オゾン処理装置１において、処理室１０は、酸化力の強いオゾンが供給されるものであるから、この酸化力に耐え得る材料で構成されるのがよい。 In the ozone processing apparatus 1, the processing chamber 10 is supplied with ozone having a strong oxidizing power, and therefore it is preferable that the processing chamber 10 be made of a material that can withstand this oxidizing power.

次に、オゾン供給源３０は、オゾン生成器３１と、オゾン生成器３１と処理室１０の中央処理室１１を繋ぐ供給管３３と、を備える。
オゾン生成器３１は、原料供給源から供給される酸素（Ｏ_２）ガスを原料として、オゾン（Ｏ_３）と酸素（Ｏ_２）の混合ガスを生成する。本願においては、この混合ガスをオゾンガスと称する。このオゾンガスにおけるオゾンの濃度は、例えば、５〜２０体積％程度、典型的には１０体積％である。なお、酸素に限らず、原料として酸素を含むガス、例えば空気を用いることもできる。
オゾン生成の方式には無声放電方式、電気分解方式、紫外線ランプ方式等がある。工業的用途には無声放電方式が用いられており、無声放電方式を適用することが好ましいが、他の方式を採用することを妨げない。ここで、無声放電（Silent discharge）とは、平行電極間に誘電体（dielectric）を設け、この間に酸素ガスを供給し、両極間に交流高電圧を印加する際に観察される放電現象である。この無声放電により気体中に電子ｅが放出される。この電子ｅを安定な酸素分子Ｏ_２に衝突させて、酸素分子Ｏ_２を酸素原子Ｏに解離させる第一ステップと、酸素原子Ｏと酸素分子Ｏ_２と第三の物質Ｍ（例えば、窒素分子）を含めた三体衝突が生ずる第二ステップにより、オゾンが生成される。オゾンガスには、第三の物質Ｍも含まれる。
第一ステップ：Ｏ_２＋ｅ→２Ｏ＋ｅ
第二ステップ：Ｏ＋Ｏ_２＋Ｍ→Ｏ_３＋Ｍ
また、必要に応じてＰＳＡ法（ＰｒｅｓｓｕｒｅＳｗｉｎｇＡｄｓｏｒｐｔｉｏｎ：圧力スイング法）によるオゾン濃縮が併用されることもある。 Next, the ozone supply source 30 includes an ozone generator 31 and a supply pipe 33 that connects the ozone generator 31 and the central processing chamber 11 of the processing chamber 10.
The ozone generator 31 generates a mixed gas of ozone (O ₃ ) and oxygen (O ₂ ) using oxygen (O ₂ ) gas supplied from a raw material supply source as a raw material. In the present application, this mixed gas is referred to as ozone gas. The concentration of ozone in this ozone gas is, for example, about 5 to 20% by volume, typically 10% by volume. Note that not only oxygen but also a gas containing oxygen, such as air, can be used as a raw material.
There are a silent discharge method, an electrolysis method, an ultraviolet lamp method, and the like as a method for generating ozone. The silent discharge method is used for industrial applications, and it is preferable to apply the silent discharge method, but it does not prevent other methods from being adopted. Here, silent discharge is a discharge phenomenon observed when a dielectric is provided between parallel electrodes, oxygen gas is supplied therebetween, and an alternating high voltage is applied between the two electrodes. . Electrons e are emitted into the gas by this silent discharge. The electron e collides with a stable oxygen molecule O ₂ to dissociate the oxygen molecule O ₂ into an oxygen atom O, an oxygen atom O, an oxygen molecule O _2, and a third substance M (for example, a nitrogen molecule Ozone is generated by the second step in which a three-body collision including) occurs. The ozone gas includes the third substance M.
First step: O ₂ + e → 2O + e
Second step: O + O ₂ + M → O ₃ + M
Moreover, ozone concentration by PSA method (Pressure Swing Adsorption: pressure swing method) may be used together as needed.

以上のようにしてオゾン生成器３１で生成されたオゾンは、供給管３３を介して中央処理室１１の内部に供給される。供給管３３は、中央処理室１１の天井部分に連なっているので、供給されたオゾンは、上方から中央処理室１１の内部に向けて浸透される。 The ozone generated by the ozone generator 31 as described above is supplied into the central processing chamber 11 through the supply pipe 33. Since the supply pipe 33 is connected to the ceiling portion of the central processing chamber 11, the supplied ozone is permeated into the central processing chamber 11 from above.

以上のオゾン生成器３１で生成されたオゾンは乾燥状態のガス（以下、ドライオゾンガス）であり、ドライオゾンガスのままで中央処理室１１に供給することができるが、ドライオゾンガスに湿度を付与した湿潤状態のウェットオゾンガスとして中央処理室１１に供給することができる。なお、乾燥状態とは、湿潤状態に対する相対的な表現であって、一切の湿度を持たないことを意味するものではなく、意図的に湿度を持たせていないという程度の意味である。
湿度を付与する方法は任意であり、気泡式溶解法、それぞれ生成された湿潤酸素等の湿潤ガスとオゾンガスとを混合する混合法、シャワー状に散布される水にドライオゾンガスを供給するシャワー法等を採用することができる。また、任意の方法でオゾン水を生成した後に、これを気化してウェットオゾンガスを生成することもできるし、任意の方法で水蒸気を生成し、これにドライオゾンガスを接触させることもできる。 The ozone generated by the ozone generator 31 described above is a dry gas (hereinafter referred to as dry ozone gas), and can be supplied to the central processing chamber 11 as it is, but is wet with moisture applied to the dry ozone gas. The wet ozone gas in a state can be supplied to the central processing chamber 11. The dry state is a relative expression with respect to the wet state, and does not mean that no humidity is provided, but means that no humidity is intentionally provided.
The method of applying humidity is arbitrary, such as a bubble dissolution method, a mixing method in which each of the generated wet gases such as wet oxygen and ozone gas is mixed, a shower method in which dry ozone gas is supplied to water sprayed in a shower form, etc. Can be adopted. Moreover, after producing | generating ozone water by arbitrary methods, this can be vaporized and wet ozone gas can also be produced | generated, water vapor | steam can be produced | generated by arbitrary methods, and dry ozone gas can also be made to contact this.

また、以上のドライオゾンガス、ウェットオゾンガスの他にオゾン水を霧状にしたオゾンミストとして中央処理室１１に供給することができる。オゾンミストは、ドライオゾンガスと水をエジェクター方式により混合して得ることができる。
さらには、オゾンガスを水中に溶解させたオゾン水を直接被処理物に吹き付けたり、オゾン水中に被処理物を浸漬させたりすることもできる。 Further, in addition to the above dry ozone gas and wet ozone gas, ozone water can be supplied to the central processing chamber 11 as an ozone mist in the form of a mist. The ozone mist can be obtained by mixing dry ozone gas and water by an ejector method.
Furthermore, ozone water in which ozone gas is dissolved in water can be directly sprayed on the object to be processed, or the object to be processed can be immersed in ozone water.

次に、陰圧機構４０は、処理室１０の内部を排気する排気ファン４１と、排気ファン４１と中央処理室１１，搬入室１２，搬出室１３を繋ぐ排気ダクト４３と、を備えている。排気ダクト４３は、排気ファン４１と中央処理室１１を繋ぐ第一ダクト４４と、排気ファン４１と搬入室１２を繋ぐ第二ダクト４５と、排気ファン４１と搬出室１３を繋ぐ第三ダクト４６と、から構成される。第二ダクト４５と第三ダクト４６は、第一ダクト４４から分岐して設けられているので、分岐部分より排気ファン４１の側は、第一ダクト４４が第二ダクト４５と第三ダクト４６を兼ねている。したがって、排気ファン４１を作動させると、中央処理室１１の内部のオゾンガスは第一ダクト４４を通って排気ファン４１に至り、搬入室１２の内部のオゾンガスは第二ダクト４５及び途中から第一ダクト４４を通って排気ファン４１に至り、搬出室１３の内部のオゾンガスは第三ダクト４６及び第一ダクト４４を通って排気ファン４１に至る。
このように、陰圧機構４０は、中央処理室１１、搬入室１２及び搬出室１３のそれぞれに作用して陰圧にする。 Next, the negative pressure mechanism 40 includes an exhaust fan 41 that exhausts the inside of the processing chamber 10, and an exhaust duct 43 that connects the exhaust fan 41 to the central processing chamber 11, the carry-in chamber 12, and the carry-out chamber 13. The exhaust duct 43 includes a first duct 44 that connects the exhaust fan 41 and the central processing chamber 11, a second duct 45 that connects the exhaust fan 41 and the carry-in chamber 12, and a third duct 46 that connects the exhaust fan 41 and the carry-out chamber 13. Is composed of. Since the second duct 45 and the third duct 46 are branched from the first duct 44, the first duct 44 connects the second duct 45 and the third duct 46 on the exhaust fan 41 side from the branch portion. Also serves as. Therefore, when the exhaust fan 41 is operated, the ozone gas inside the central processing chamber 11 reaches the exhaust fan 41 through the first duct 44, and the ozone gas inside the carry-in chamber 12 passes through the second duct 45 and the first duct from the middle. The ozone gas inside the carry-out chamber 13 reaches the exhaust fan 41 through the third duct 46 and the first duct 44.
As described above, the negative pressure mechanism 40 acts on each of the central processing chamber 11, the carry-in chamber 12, and the carry-out chamber 13 to make negative pressure.

第一ダクト４４には、排気ファン４１よりも排気を基準として上流側に、オゾンキラー４９が設けられており、中央処理室１１から排気されたオゾンガスに含まれるオゾンはここで分解された後に排気ファン４１から系外に排出される。
オゾンの分解については、熱分解法、薬液洗浄法、活性炭法、触媒法及び紫外線法が知られており、オゾンキラー４９はこれらのいずれの方式をも採用することができる。
また、第一ダクト４４、第二ダクト４５及び第三ダクト４６のそれぞれには、気体の流路を開閉する弁４７Ａ，４７Ｂ，４７Ｃが設けられており、必要に応じて開閉される。 The first duct 44 is provided with an ozone killer 49 upstream of the exhaust fan 41 with respect to the exhaust, and ozone contained in the ozone gas exhausted from the central processing chamber 11 is exhausted after being decomposed here. The air is discharged from the fan 41 to the outside of the system.
As for the decomposition of ozone, a thermal decomposition method, a chemical solution cleaning method, an activated carbon method, a catalytic method, and an ultraviolet ray method are known, and the ozone killer 49 can employ any of these methods.
Each of the first duct 44, the second duct 45, and the third duct 46 is provided with valves 47A, 47B, and 47C that open and close the gas flow path, and are opened and closed as necessary.

［オゾン処理装置１の動作］
次に、オゾン処理装置１の動作を説明する。
上流工程から連続的に搬送されてきた複数の処理対象物１００は、コンベヤ１７に載せられてオゾン処理装置１を連続的に搬送される。このとき、オゾン供給源３０のオゾン生成器３１ではドライオゾンガスが生成され、生成されたドライオゾンガスは供給管３３を通り、中央処理室１１の内部に供給される。中央処理室１１は、処理対象物１００が連続的に搬送されており、供給されたドライオゾンガスは、処理対象物１００に接触することにより、含まれるオゾンが処理対象物１００の表面を殺菌する。この殺菌処理が、処理対象物１００が連続的に搬送されてくる限り継続して行われる。 [Operation of the ozone treatment apparatus 1]
Next, the operation of the ozone treatment apparatus 1 will be described.
The plurality of processing objects 100 that have been continuously conveyed from the upstream process are placed on the conveyor 17 and are continuously conveyed through the ozone treatment apparatus 1. At this time, dry ozone gas is generated in the ozone generator 31 of the ozone supply source 30, and the generated dry ozone gas passes through the supply pipe 33 and is supplied into the central processing chamber 11. The processing object 100 is continuously conveyed in the central processing chamber 11, and the supplied dry ozone gas contacts the processing object 100, so that the contained ozone sterilizes the surface of the processing object 100. This sterilization process is continuously performed as long as the processing object 100 is continuously conveyed.

以上の殺菌処理が継続して行われる間、搬入室１２に設けられる第一分解光源２１と搬入口１４に設けられる第二分解光源２２は、紫外線を照射する。この紫外線は、ピーク波長が２５４ｎｍの２００〜２８０ｎｍの波長域の紫外線はオゾン分解作用を有する。
また、以上の殺菌処理が継続して行われる間、排気ファン４１が連続的に動作しており、中央処理室１１，搬入室１２及び搬出室１３は、処理室１０の外部に対して陰圧となるように排気される。 While the above sterilization process is continuously performed, the first decomposition light source 21 provided in the carry-in chamber 12 and the second decomposition light source 22 provided in the carry-in port 14 irradiate ultraviolet rays. As for this ultraviolet ray, the ultraviolet ray in the wavelength range of 200 to 280 nm having a peak wavelength of 254 nm has an ozone decomposing action.
Further, while the above sterilization process is continuously performed, the exhaust fan 41 is continuously operated, and the central processing chamber 11, the carry-in chamber 12, and the carry-out chamber 13 have a negative pressure with respect to the outside of the processing chamber 10. It is exhausted to become.

［オゾン処理装置１の効果］
以上説明したように、本実施形態によるオゾン処理装置１は、処理対象物１００を連続的に搬送しながら、処理室１０の搬入口１４に第一分解光源２１を設けるとともに、搬出口１５に第二分解光源２２を設けることにより、搬入口１４の近傍及び搬出口１５の近傍におけるオゾン濃度を低くできる。したがって、搬入口１４及び搬出口１５からガスが漏れ出たとしてもそのオゾン濃度は低く、オゾン処理装置１の周囲の作業環境の安全性を確保できる。特に、オゾン処理装置１は、中央処理室１１が排気され、さらに第一分解光源２１が設けられる搬入室１２及び第二分解光源２２が設けられる搬出室１３が、それぞれ排気され、外部に対して陰圧化されているので、搬入口１４及び搬出口１５から処理に供されたガスが漏れるおそれが小さい。
しかも、オゾン処理装置１は、第一分解光源２１及び第二分解光源２２が、それぞれ搬入口１４及び搬出口１５の近傍に設けられている。つまり、殺菌処理の主体をなす部分である中央処理室１１は、第一分解光源２１及び第二分解光源２２から離れており、第一分解光源２１及び第二分解光源２２からの紫外線の影響がほとんど及ばないので、オゾンによる殺菌の性能を維持することができる。特に、本実施形態では、中央処理室１１と搬入室１２の境界及び中央処理室１１と搬出室１３の境界における遮光層を設けているので、搬入室１２と搬出室１３の内部のオゾン濃度を低くできる一方、中央処理室１１の内部のオゾン濃度を高く維持できる。
さらに、オゾン処理装置１は、中央処理室１１よりも容積の小さい搬入室１２に第一分解光源２１を、また、搬出室１３に第二分解光源２２を設けており、第一分解光源２１及び第二分解光源２２により濃度を低くすべきガスの量を抑制している。したがって、本実施形態によれば、紫外線によるオゾン濃度の低減の効果をより確実に得ることができる。 [Effect of ozone treatment device 1]
As described above, the ozone treatment apparatus 1 according to the present embodiment provides the first decomposition light source 21 at the carry-in port 14 of the processing chamber 10 while continuously carrying the object 100 to be processed, and the first at the carry-out port 15. By providing the two-resolution light source 22, the ozone concentration in the vicinity of the carry-in port 14 and in the vicinity of the carry-out port 15 can be lowered. Therefore, even if gas leaks from the carry-in port 14 and the carry-out port 15, the ozone concentration is low, and the safety of the work environment around the ozone treatment apparatus 1 can be ensured. In particular, in the ozone treatment apparatus 1, the central processing chamber 11 is evacuated, and the carry-in chamber 12 in which the first decomposition light source 21 is provided and the carry-out chamber 13 in which the second decomposition light source 22 is provided are evacuated to the outside. Since the negative pressure is applied, there is little possibility that gas used for processing leaks from the carry-in port 14 and the carry-out port 15.
Moreover, in the ozone treatment apparatus 1, the first decomposition light source 21 and the second decomposition light source 22 are provided in the vicinity of the carry-in port 14 and the carry-out port 15, respectively. That is, the central processing chamber 11, which is a main part of the sterilization process, is separated from the first decomposition light source 21 and the second decomposition light source 22, and the influence of ultraviolet rays from the first decomposition light source 21 and the second decomposition light source 22 is affected. Since it is almost inferior, the sterilization performance by ozone can be maintained. In particular, in this embodiment, since the light shielding layer is provided at the boundary between the central processing chamber 11 and the carry-in chamber 12 and at the boundary between the central processing chamber 11 and the carry-out chamber 13, the ozone concentration inside the carry-in chamber 12 and the carry-out chamber 13 is adjusted. On the other hand, the ozone concentration inside the central processing chamber 11 can be maintained high.
Furthermore, the ozone treatment apparatus 1 is provided with a first decomposition light source 21 in the carry-in chamber 12 having a smaller volume than the central processing chamber 11, and a second decomposition light source 22 in the carry-out chamber 13. The amount of gas whose concentration should be lowered is suppressed by the second decomposition light source 22. Therefore, according to this embodiment, the effect of reducing the ozone concentration by ultraviolet rays can be obtained more reliably.

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係るオゾン処理装置２を図３及び図４を参照して説明する。
オゾン処理装置２は、オゾン処理装置１と共通する基本構成を備えているが、第一分解光源２１よりも処理対象物１００の搬送方向Ｆの下流側に近接して第一発生光源２４を設け、また、第二分解光源２２よりも処理対象物１００の搬送方向Ｆの上流側に近接して第二発生光源２５を設けている点で、オゾン処理装置１と相違する。第一発生光源２４及び第二発生光源２５は、それぞれオゾン発生作用を有する波長域の紫外線を出射する。 [Second Embodiment]
Next, an ozone treatment apparatus 2 according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
Although the ozone treatment apparatus 2 has a basic configuration common to the ozone treatment apparatus 1, the first generation light source 24 is provided closer to the downstream side in the transport direction F of the processing object 100 than the first decomposition light source 21. In addition, the second generation light source 25 is provided closer to the upstream side in the transport direction F of the processing object 100 than the second decomposition light source 22, and is different from the ozone processing apparatus 1. The first generation light source 24 and the second generation light source 25 each emit ultraviolet rays in a wavelength region having an ozone generation function.

紫外線は、ピーク波長が１００ｎｍ〜２２０ｎｍの波長域、典型的には１８５ｎｍの波長において、酸素を解離することによるオゾン生成作用を有する。オゾン処理装置２は、このオゾン生成作用を、第一分解光源２１及び第二分解光源２２によって低下したオゾン濃度を回復させて、処理対象物１００の殺菌作用の低下を最小限に留める。つまり、第一分解光源２１及び第二分解光源２２を単独で用いると、第一分解光源２１及び第二分解光源２２の周囲のオゾンの濃度低下は否めない。そうすると、第一分解光源２１及び第二分解光源２２の周囲における処理対象物１００の殺菌効果が低くなる。 Ultraviolet rays have an ozone generating action by dissociating oxygen in a wavelength region having a peak wavelength of 100 nm to 220 nm, typically 185 nm. The ozone treatment device 2 recovers the ozone concentration reduced by the first decomposition light source 21 and the second decomposition light source 22 and minimizes the decrease in the sterilization effect of the processing object 100. That is, if the first decomposition light source 21 and the second decomposition light source 22 are used alone, the concentration of ozone around the first decomposition light source 21 and the second decomposition light source 22 cannot be denied. If it does so, the disinfection effect of the process target object 100 around the 1st decomposition | disassembly light source 21 and the 2nd decomposition | disassembly light source 22 will become low.

そこで、オゾン処理装置２は、第一発生光源２４及び第二発生光源２５を設けることにより、オゾンの濃度低下を部分的に回復させて、殺菌効果を確保する。ただし、本実施形態の場合には、第一分解光源２１よりも上流側に第一発生光源２４を設け、また、第二分解光源２２よりも下流側に第二発生光源２５を設けても、オゾンの濃度低下を回復できる範囲がほとんどない。そこで、第一分解光源２１よりも下流側に第一発生光源２４を設け、また、第二分解光源２２よりも上流側に第二発生光源２５を設ける。これにより、オゾンの濃度低下を回復できる範囲を広くすることができる。
ここで、第一分解光源２１と第一発生光源２４の間、及び、第二分解光源２２と第二発生光源２５の間に、遮光層２７を設ければ、それぞれの光源による作用をより効果的に得ることができる。 Therefore, the ozone treatment apparatus 2 provides the first generation light source 24 and the second generation light source 25 to partially recover the decrease in ozone concentration and ensure the sterilization effect. However, in the case of this embodiment, even if the first generation light source 24 is provided upstream of the first decomposition light source 21 and the second generation light source 25 is provided downstream of the second decomposition light source 22, There is almost no range that can recover the decrease in ozone concentration. Therefore, the first generation light source 24 is provided downstream of the first decomposition light source 21, and the second generation light source 25 is provided upstream of the second decomposition light source 22. Thereby, the range which can recover | restore the ozone concentration fall can be widened.
Here, if the light shielding layer 27 is provided between the first decomposition light source 21 and the first generation light source 24 and between the second decomposition light source 22 and the second generation light source 25, the action of each light source is more effective. Can be obtained.

ここで、図３は、オゾン処理装置２における搬入口１４から搬出口１５までの位置とオゾンの濃度の関係を概念的に示している。
図３（ａ）に示すように、第一分解光源２１、第二分解光源２２、第一発生光源２４及び第二発生光源２５のいずれも設けない場合には、オゾン濃度Ｃ_Ｏ３はほぼ均等である。これに対して、第１実施形態のように第一分解光源２１及び第二分解光源２２を設け、オゾン分解作用を有する波長域の紫外線を出射することにより、図３（ｂ）に示すように、搬入口１４及び搬出口１５の近傍のオゾン濃度Ｃ_Ｏ３が低下する。さらに、第２実施形態のよう第一発生光源２４及び第二発生光源２５を設け、オゾン発生作用を有する波長域の紫外線を出射すると、図３（ｃ）に示すように、第一分解光源２１よりも下流側のオゾン濃度Ｃ_Ｏ３の低下及び第二分解光源２２よりも上流側のオゾン濃度Ｃ_Ｏ３の低下を回復できる。 Here, FIG. 3 conceptually shows the relationship between the position from the carry-in port 14 to the carry-out port 15 and the ozone concentration in the ozone treatment apparatus 2.
As shown in FIG. 3A, when none of the first decomposition light source 21, the second decomposition light source 22, the first generation light source 24, and the second generation light source 25 is provided, the ozone concentration C _O3 is substantially equal. is there. On the other hand, as shown in FIG. 3B, the first decomposition light source 21 and the second decomposition light source 22 are provided as in the first embodiment, and ultraviolet rays in a wavelength region having an ozone decomposition action are emitted. The ozone concentration _C03 near the carry-in port 14 and the carry-out port 15 decreases. Furthermore, when the 1st generation light source 24 and the 2nd generation light source 25 are provided like 2nd Embodiment, and the ultraviolet-ray of the wavelength range which has an ozone generation effect | action is emitted, as shown in FIG.3 (c), the 1st decomposition | disassembly light source 21 will be shown. It is possible to recover the decrease in the ozone concentration C _O3 on the downstream side and the decrease in the ozone concentration C _O3 on the upstream side with respect to the second decomposition light source 22.

以上の通りであり、オゾン処理装置２によれば、第一発生光源２４及び第二発生光源２５を設けるので、第一分解光源２１及び第二分解光源２２によるオゾン濃度の低下を回復し、オゾンによる殺菌性能を確保することができる。 As described above, according to the ozone treatment apparatus 2, since the first generation light source 24 and the second generation light source 25 are provided, the decrease in the ozone concentration caused by the first decomposition light source 21 and the second decomposition light source 22 is recovered. The sterilization performance by can be ensured.

以上、本発明を実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない限り、上記実施形態で挙げた構成を取捨選択したり、他の構成に適宜変更したりすることが可能である。 As described above, the present invention has been described based on the embodiments. However, the present invention is not limited to these embodiments, and the configuration described in the above embodiments may be selected without departing from the gist of the present invention. It is possible to appropriately change the configuration.

例えば、本実施形態は第一分解光源２１を処理室１０（搬入室１２）の内部に設けたが、搬入口１４の近傍であれば、搬入室１２の外部に設けることもできる。この場合でも、搬入口１４から漏れるオゾンガスに第一分解光源２１から出射される紫外線が照射されるので、搬入口１４よりも外部に漏れるオゾンガスのオゾン濃度を低減できる。要は、オゾン分解性を有する紫外線を出射する光源を、搬入口１４の内外を問わず、搬入口１４に付随して設ければ、本発明の効果を享受できる。
また、本実施形態は、第一分解光源２１を搬入口１４に対して上方の一箇所に設けているが、第一分解光源２１をコンベヤ１７の幅方向の両側に設けるなど、搬入口１４に対する位置は適宜選択できる。
以上のことは、第二分解光源２２についてもあてはまる。
また、陰圧機構４０のオゾンキラー４９より排気の上流側にオゾン分解性を有する紫外線を出射する光源をもうければ、排気ファン４１及びオゾンキラー４９の能力を小さくできる。 For example, in the present embodiment, the first decomposition light source 21 is provided inside the processing chamber 10 (the carry-in chamber 12). Even in this case, since the ultraviolet light emitted from the first decomposition light source 21 is irradiated to the ozone gas leaking from the carry-in port 14, the ozone concentration of the ozone gas leaking outside from the carry-in port 14 can be reduced. In short, the effect of the present invention can be enjoyed if a light source that emits ozone decomposable ultraviolet light is provided along with the carry-in entrance 14 regardless of the inside or outside of the carry-in entrance 14.
Further, in the present embodiment, the first decomposition light source 21 is provided at one place above the carry-in entrance 14, but the first decomposition light source 21 is provided on both sides in the width direction of the conveyor 17. The position can be selected as appropriate.
The above also applies to the second decomposition light source 22.
Further, if a light source that emits ultraviolet rays having ozone decomposability is provided upstream of the ozone killer 49 of the negative pressure mechanism 40, the capabilities of the exhaust fan 41 and the ozone killer 49 can be reduced.

次に、本実施形態は、中央処理室１１に加えて搬入室１２及び搬出室１３を設けることは好ましい形態であるが、本発明を限定する要素にはならない。中央処理室１１の上流側に搬入室１２を設けることなく搬入口１４を直接的に設け、中央処理室１１の下流側に搬出室１３を設けることなく搬出口１５を直接的に設けることもできる。 Next, in the present embodiment, it is preferable to provide the carry-in chamber 12 and the carry-out chamber 13 in addition to the central processing chamber 11, but this does not limit the present invention. The carry-in port 14 can be provided directly without providing the carry-in chamber 12 upstream of the central processing chamber 11, and the carry-out port 15 can be provided directly without providing the carry-out chamber 13 downstream of the central process chamber 11. .

また、以上で説明した処理室１０は、搬入口１４と搬出口１５が異なる部位に設けられており、搬入口１４から搬入された処理対象物１００を、直線状の軌道を有するコンベヤ１７が、搬入口１４とは異なり、下流の部位に設けられる搬出口１５に向けて搬送する、というものであるが、これは本発明の一形態に過ぎない。つまり、本発明は、図４に示すように、搬入口１４と搬出口１５が同じ部位に設けられており、搬入口１４から搬入された処理対象物１００を、周回軌道を有するコンベヤ１７が、搬入口１４を兼用する搬出口１５に向けて搬送する、というオゾン処理装置３を採用することができる。
オゾン処理装置３は、第一分解光源２１と第二分解光源２２が一体となった、分解光源２６を用いることができ、また、搬入室１２と搬出室１３が一体となった搬入出室１６を設けることができる。 Moreover, the processing chamber 10 demonstrated above is provided in the site | part from which the carrying-in port 14 and the carrying-out port 15 differ, The conveyor 17 which has the linear track | orbit about the process target object 100 carried in from the carrying-in port 14, Unlike the carry-in port 14, it conveys toward the carry-out port 15 provided in a downstream site | part, but this is only one form of this invention. That is, in the present invention, as shown in FIG. 4, the carry-in port 14 and the carry-out port 15 are provided in the same part, and the conveyor 17 having a circular track is formed by processing the object 100 loaded from the carry-in port 14. It is possible to employ the ozone treatment device 3 that conveys toward the carry-out port 15 that also serves as the carry-in port 14.
The ozone treatment apparatus 3 can use a decomposition light source 26 in which the first decomposition light source 21 and the second decomposition light source 22 are integrated, and a carry-in / out chamber 16 in which the carry-in chamber 12 and the carry-out chamber 13 are integrated. Can be provided.

また、本実施形態は、中央処理室１１、搬入室１２及び搬出室１３の全てに陰圧機構４０による陰圧を作用させているが、中央処理室１１だけに作用させることもできる。あるいは、陰圧機構４０を省略することもできる。
陰圧機構４０を省略できるケースとしては、装置全体の容積が大きいときである。つまり、図５に示すように、大きな容積を有する建屋６の中にオゾン処理装置４が設けられている場合を想定する。建屋６は、建屋６の外部から内部に空気Ａ１が流入し得ることとし、また、建屋６の内部の空気Ａ４も排気ファン７の動作により排気され得るものとする。
このオゾン処理装置４は、処理対象物１００に伴って搬入口１４から空気Ａ２が流入し、オゾン供給源３０から供給されたオゾンが加わるので、処理室１０の内部が陽圧とされる。搬出口１５からガスＡ３が漏れ出るが、これを排気ファン７により換気すれば、この搬出口１５からの漏れ出るガスのオゾン濃度を低下させることができる。 In this embodiment, the negative pressure by the negative pressure mechanism 40 is applied to all of the central processing chamber 11, the carry-in chamber 12, and the carry-out chamber 13, but it can also be applied only to the central processing chamber 11. Alternatively, the negative pressure mechanism 40 can be omitted.
A case where the negative pressure mechanism 40 can be omitted is when the volume of the entire apparatus is large. That is, as shown in FIG. 5, the case where the ozone treatment apparatus 4 is provided in the building 6 having a large volume is assumed. In the building 6, air A <b> 1 can flow into the inside from the outside of the building 6, and air A <b> 4 inside the building 6 can also be exhausted by the operation of the exhaust fan 7.
In the ozone processing apparatus 4, air A <b> 2 flows in from the carry-in port 14 along with the processing object 100, and ozone supplied from the ozone supply source 30 is added, so that the inside of the processing chamber 10 is set to a positive pressure. The gas A3 leaks from the carry-out port 15. If this is ventilated by the exhaust fan 7, the ozone concentration of the gas leaked from the carry-out port 15 can be lowered.

本実施形態は、処理対象物１００を殺菌することを前提として説明したが、本発明における所定の処理理は殺菌に限らず、オゾンの特性を利用する種々の処理に適用することができる。
また、本発明における処理対象物１００は任意であり、食品分野、医療分野、工業分野などにおいて、オゾンにより処理される物品を広く包含する。 Although the present embodiment has been described on the premise that the processing object 100 is sterilized, the predetermined processing principle in the present invention is not limited to sterilization but can be applied to various processes utilizing the characteristics of ozone.
Further, the object 100 to be treated in the present invention is arbitrary, and widely includes articles treated with ozone in the food field, the medical field, the industrial field, and the like.

１オゾン処理装置
２オゾン処理装置
３オゾン処理装置
４オゾン処理装置
６建屋
７排気ファン
１０処理室
１１中央処理室
１２搬入室
１３搬出室
１４搬入口
１５搬出口
１６搬入出室
１７コンベヤ
２１第一分解光源
２２第二分解光源
２４第一発生光源
２５第二発生光源
２６分解光源
２７遮光層
３０オゾン供給源
３１オゾン生成器
３３供給管
４０陰圧機構
４１排気ファン
４３排気ダクト
４４第一ダクト
４５第二ダクト
４６第三ダクト
４７Ａ，４７Ｂ，４７Ｃ弁
４９オゾンキラー
１００処理対象物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ozone processing apparatus 2 Ozone processing apparatus 3 Ozone processing apparatus 4 Ozone processing apparatus 6 Building 7 Exhaust fan 10 Processing chamber 11 Central processing chamber 12 Carry-in chamber 13 Carry-out chamber 14 Carry-in port 15 Carry-out port 16 Carry-in / out chamber 17 Conveyor 21 First decomposition Light source 22 Second decomposition light source 24 First generation light source 25 Second generation light source 26 Decomposition light source 27 Light shielding layer 30 Ozone supply source 31 Ozone generator 33 Supply pipe 40 Negative pressure mechanism 41 Exhaust fan 43 Exhaust duct 44 First duct 45 Second Duct 46 Third duct 47A, 47B, 47C Valve 49 Ozone killer 100 Object to be treated

Claims

処理対象物を搬入する搬入口と、オゾンによる所定の処理が施された前記処理対象物を搬出する搬出口とを有し、前記所定の処理が施される処理室と、
前記搬入口から前記処理室の内部に前記処理対象物を搬入し、かつ前記搬出口から前記処理室の外部に前記処理対象物を搬出するコンベヤと、
前記処理室にオゾンを供給するオゾン供給源と、
前記搬入口に付随して設けられる、オゾン分解作用を有する波長域の紫外線を出射する第一分解光源と、
前記搬出口に付随して設けられる、オゾン分解作用を有する波長域の紫外線を出射する第二分解光源と、
を備えることを特徴とするオゾン処理装置。 A processing chamber having a carry-in port for carrying in the treatment object and a carry-out port for carrying out the treatment object subjected to the predetermined treatment by ozone;
A conveyor that carries the processing object from the carry-in port into the processing chamber and carries the processing object from the carry-out port to the outside of the processing chamber;
An ozone supply source for supplying ozone to the processing chamber;
A first decomposition light source that emits ultraviolet rays in a wavelength region having an ozone decomposing action, provided in association with the carry-in port;
A second decomposing light source that emits ultraviolet light in a wavelength region having an ozone decomposing action, which is provided along with the carry-out port;
An ozone treatment apparatus comprising:

前記搬入口から搬入された前記処理対象物を、直線状の軌道を有する前記コンベヤが、前記搬入口とは異なる部位に設けられる前記搬出口に向けて搬送するか、
又は、
前記搬入口から搬入された前記処理対象物を、周回軌道を有する前記コンベヤが、前記搬入口を兼用する前記搬出口に向けて搬送する、
請求項１に記載のオゾン処理装置。 The conveyor object having a linear track conveys the processing object carried in from the carry-in port toward the carry-out port provided at a site different from the carry-in port,
Or
The conveyor having the circular path conveys the processing object carried in from the carry-in port toward the carry-out port also serving as the carry-in port,
The ozone treatment apparatus according to claim 1.

前記処理室は、
前記オゾン供給源からの前記オゾンの供給を受ける中央処理室と、
前記搬入口が設けられる、前記中央処理室と遮光層により隔てられる搬入室と、
前記搬出口が設けられる、前記中央処理室と遮光層により隔てられる搬出室と、を備え、
前記第一分解光源は、前記搬入室の内部に設けられ、
前記第二分解光源は、前記搬出室の内部に設けられる、
請求項１又は請求項２に記載のオゾン処理装置。 The processing chamber is
A central processing chamber for receiving the supply of ozone from the ozone supply source;
A carry-in chamber provided with the carry-in entrance and separated from the central processing chamber by a light shielding layer;
An unloading chamber provided with the unloading port, and separated from the central processing chamber by a light shielding layer;
The first decomposition light source is provided inside the carry-in chamber,
The second decomposition light source is provided inside the carry-out chamber,
The ozone treatment apparatus according to claim 1 or 2.

前記処理室を前記処理室の外部に対して陰圧にする陰圧機構を備える、
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のオゾン処理装置。 A negative pressure mechanism for setting the processing chamber to a negative pressure with respect to the outside of the processing chamber;
The ozone processing apparatus as described in any one of Claims 1-3.

前記陰圧機構は、
前記中央処理室、前記搬入室及び前記搬出室のそれぞれに作用して陰圧にする、
請求項４に記載のオゾン処理装置。 The negative pressure mechanism is
Acting on each of the central processing chamber, the carry-in chamber and the carry-out chamber to create negative pressure;
The ozone treatment apparatus according to claim 4.

前記第一分解光源よりも前記処理対象物の搬送方向の下流側に設けられ、オゾン発生作用を有する波長域の紫外線を出射する第一発生光源と、
前記第二分解光源よりも前記処理対象物の搬送方向の上流側に設けられ、オゾン発生作用を有する波長域の紫外線を出射する第二発生光源と、
を備える請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載のオゾン処理装置。 A first generation light source that is provided downstream of the first decomposition light source in the transport direction of the object to be processed and emits ultraviolet rays in a wavelength region having an ozone generation action;
A second generation light source that is provided upstream of the second decomposition light source in the transport direction of the object to be processed and emits ultraviolet rays in a wavelength region having an ozone generation action;
The ozone treatment apparatus according to any one of claims 1 to 5, further comprising:

前記第一発生光源と前記第二発生光源の間に遮光層が設けられている、
請求項６に記載のオゾン処理装置。 A light shielding layer is provided between the first generation light source and the second generation light source;
The ozone treatment apparatus according to claim 6.