JP2017020091A - 堆積膜形成装置のメンテナンス方法および堆積膜形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 装置コストを抑えた堆積膜形成装置のメンテナンス方法、および、前記メンテナンス方法が実施可能な堆積膜形成装置を提供する。
【解決手段】 反応容器、排気装置および反応容器と排気装置とを接続している排気配管を有する堆積膜形成装置であって、反応容器の内部にケイ素原子を含む原料ガスを導入し、原料ガスをグロー放電により分解し、反応容器の内部に設置された基体上に堆積膜を形成するための堆積膜形成装置の排気装置・排気配管のメンテナンスを行う堆積膜形成装置のメンテナンス方法において、排気装置・排気配管の内部に閉塞空間を形成し、閉塞空間をオイルで満たした後、オイルを抜き、その後、排気装置・排気配管の大気開放を行い、排気装置・排気配管のメンテナンスを行う。
【選択図】 図１

Description

本発明は、グロー放電を利用したプラズマＣＶＤ（ＣＶＤ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により、基体上にアモルファスシリコン（以下「ａ−Ｓｉ」とも表記する。）の堆積膜を形成するための堆積膜形成装置のメンテナンス方法、および、堆積膜形成装置に関する。

グロー放電を利用したプラズマＣＶＤ法により、堆積膜形成装置の前記反応容器の内部に設置された基体上にａ−Ｓｉ堆積膜を形成する場合、基体以外の場所にもａ−Ｓｉの堆積膜が形成されることがある。また、ａ−Ｓｉの堆積膜とともに粉状のポリシランが生成し、堆積膜形成装置の反応容器の内部や排気配管の内部に付着することがある。

このようなａ−Ｓｉの堆積膜の膜片やポリシラン（まとめて以下「副生成物」とも表記する。）は、次回の堆積膜形成時に反応容器の内部に浮遊しやすく、これらが堆積膜に取り込まれると、堆積膜の欠陥となり、得られる堆積膜の特性を悪化させてしまう場合がある。

特に、形成する堆積膜を電子写真感光体の堆積膜として利用する場合、２０μｍ以上４０μｍ以下程度の膜厚を必要とするため、反応容器の内部などに生じる副生成物の量も多くなり、堆積膜の特性に対する影響が大きくなる。

また、副生成物は、排気配管の内部に残存し、付着することで、排気配管の詰まりを発生させる場合がある。この場合、次回の堆積膜形成時に成膜条件（堆積膜形成条件）の安定性に影響を及ぼす場合がある。

こうした影響を減らすため、堆積膜形成後には、反応容器の内部や排気配管の内部の副生成物を除去することが一般的である。その方法としては、エッチングガス（例えば、ＣｌＦ_３など）を用いて、気相化学反応により、副生成物を形成している元素（原子）を気相分子に変えて（還元して）クリーニングする方法が一般的である。

このような堆積膜形成工程とクリーニング工程とを繰り返し行うシステムにおいては、排気能力の低下が進行する場合がある。これは、排気ポンプオイルの劣化や、十分にクリーニングされなかった副生成物が排気配管の内部に残存することによる排気配管の詰まりによるものが原因と考えられている。

従来、排気配管の内部の副生成物の除去に関する提案がなされている。

特許文献１には、処理室と排気配管との間にトラップを設け、トラップに高融点金属フィラメントを設置することが開示されている。具体的には、高融点金属フィラメントを加熱することによって、処理室より排気された未反応ガスおよび副生成物に化学反応を起こさせ、これらを十分に分解してトラップ１０１の内壁に硬質の膜として付着させ、堆積させることが開示されている。

特許文献２には、排気システムの途中に接続されるガス配管を流れるＣｌＦ_３ガスを加熱しながら、ＣｌＦ_３ガスを排気システムに直接に供給する処理装置の洗浄方法が開示されている。

特開２０００−３０６８４１号公報 特許第０２７７３０７８号公報

しかしながら、堆積膜形成工程とクリーニング工程とを繰り返し行うシステムにおいて、稀に、工程中に排気装置のトラブルが発生し、やむなく工程を中断せざる得ない場合がある。

この場合、トラブルが発生した排気装置および／または排気配管を交換し、反応容器の内部や排気配管の内部のクリーニングを実施することとなる。

堆積膜形成工程および／またはクリーニング工程において、排気装置にトラブルが発生した場合、排気装置の修理または交換を行う必要がある。この場合、排気装置を大気開放し、取り外す必要がある。

また、排気配管の一部が閉塞してしまい、排気配管の内部のクリーニングまたは排気配管の取り換えが必要となる場合もあり、この場合も、排気配管の一部を大気開放する必要がある。

排気装置や排気配管を大気開放する場合、排気装置内や排気配管の内部にポリシランが残存していると、大気中の酸素との反応する可能性があるため、大気開放前のクリーニングを十分に行わなければならない。

こうした状況を想定し、通常、排気システムには、予備の排気装置が備わっている。そして、メインの排気装置が停止した場合は、予備の排気装置を用いて反応容器の内部や排気配管の内部のクリーニングを実施した後、停止したメインの排気装置のメンテナンスを実施することになる。

このように、従来の堆積膜形成装置では、メインの排気装置とは別に予備の排気装置を備え付けておく必要があり、その分、装置コストが余分にかかってしまうという課題がある。

本発明の目的は、上記課題に鑑みなされたものであり、装置コストを抑えた堆積膜形成装置のメンテナンス方法、および、前記メンテナンス方法が実施可能な堆積膜形成装置を提供することにある。

本発明は、
反応容器、
排気装置、および、
前記反応容器と前記排気装置とを接続している配管
を有する堆積膜形成装置であって、前記反応容器の内部にケイ素原子を含む原料ガスを導入し、前記原料ガスをグロー放電により分解し、前記反応容器の内部に設置された基体上に堆積膜をするための堆積膜形成装置
の前記排気装置および／または前記排気配管のメンテナンスを行う堆積膜形成装置のメンテナンス方法において、
前記排気装置および／または前記排気配管の内部に閉塞空間を形成し、前記閉塞空間をオイルで満たした後、前記オイルを抜き、その後、前記排気装置および／または前記排気配管の大気開放を行い、前記排気装置および／または前記排気配管のメンテナンスを行う
ことを特徴とする堆積膜形成装置のメンテナンス方法である。

また、本発明は、
反応容器、
排気装置、および、
前記反応容器と前記排気装置とを接続している排気配管
を有する堆積膜形成装置であって、前記反応容器の内部にケイ素原子を含む原料ガスを導入し、前記原料ガスをグロー放電により分解し、前記反応容器の内部に設置された基体上に堆積膜を形成するための堆積膜形成装置において、
前記堆積膜形成装置が、さらに、
前記排気装置および／または前記排気配管の内部に閉塞空間を形成するための手段、
前記閉塞空間にオイルを満たすためのオイル供給手段、および、
前記閉塞空間に満たされたオイルを排出するためのオイル排出手段
を有することを特徴とする堆積膜形成装置である。

本発明によれば、装置コストを抑えた堆積膜形成装置のメンテナンス方法、および、前記メンテナンス方法が実施可能な堆積膜形成装置を提供することができる。

本発明に係る堆積膜形成装置の概略図である。 オイルが充填した状態を示す模式図である。 オイルが充填した状態を示す模式図である。 従来例の堆積膜形成装置の概略図である。 比較例１でのクリーニング処理時間と排気配管の各箇所の温度推移を示すグラフである。 実施例にて作製した電子写真感光体の層構成を示す模式図である。

本発明者らは、上述した排気システムのトラブルによって堆積膜形成工程を中止した場合の後処理についての検討を行い、安全かつ効率よく、かつ、低コストで排気装置および／または排気配管のメンテナンスを行う方法を模索した。

その結果、排気装置および／または排気配管を大気開放する前の準備として、大気に晒されうる部分をオイルで満たしたのち、大気開放を行うことが有効であることを見出した。

排気装置や排気配管の内部に残存したポリシランにオイルを浸透させることにより、大気開放したときに酸素とポリシランなどの副生成物との反応を抑えることができる。また、オイルで満たすことで、静電気の発生を抑えることができる。

このことにより、予備の排気装置によるクリーニング処理を実施しなくとも、安全に排気装置や排気配管を大気開放することができるようになる。

以下、本発明のメンテナンス方法が実施可能な堆積膜形成装置の図面を用いて、本発明を説明する。

図１に、本発明に係る堆積膜形成装置の概略図を示す。

図１に示す堆積膜形成装置は、反応容器１０１、排気装置１０２、および、反応容器１０１と排気装置１０２とを接続している排気配管１０３を有している。排気配管１０３には、オイル注入配管１０４を介してオイルタンク１０５が接続されている。また、排気配管１０３には、オイル回収配管１０６を介してオイル回収装置１０７が接続されている。

排気装置１０２の下流は、ポンプ排気弁１２０を介して排ガス処理装置（不図示）に接続されている。

堆積膜の形成は、反応容器１０１の内部に基体を設置し、排気バルブ１０８、１０９、１１０を開け、排気装置１０２によって反応容器１０１の内部の圧力が１Ｐａ以下の真空状態になるように排気して行う。

反応容器１０１には、ケイ素原子を含む原料ガスや、希釈ガス、ドーピングガス、クリーニング用ガスなどを導入するためのミキシング装置１１１が接続されており、ガス供給システムに接続されている。

次に、基体を例えば２００〜３００℃に加熱する。このとき、アルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）、窒素（Ｎ_２）などの不活性ガスを流してもよい。その後、堆積膜形成条件に合わせて、各種のガスを所定の流量で反応容器１０１の内部に導入し、圧力調整バルブ１１４にて所定の圧力に調整する。その後、電源１１２により、反応容器１０１の内部に電力を印加し、原料ガスをプラズマエネルギーにより分解し、基体上に堆積膜を形成する。

堆積膜形成工程が終了した後、基体を取り出し、反応容器１０１の内部や排気配管１０３の内部のポリシランなどの副生成物のクリーニングを行う。

クリーニング工程は、反応容器１０１の内部にダミー用の基体を設置し、堆積膜形成時と同様に反応容器１０１の内部を真空に排気する。そして、ミキシング装置１１１より、クリーニング用の反応ガスを反応容器１０１の内部に導入し、反応容器１０１の内部に電力を印加し、クリーニングを行う。

以下、排気装置１０２にトラブルが発生し、工程を中断して排気装置１０２を別の正常な排気装置に交換する場合の手順を説明する。

供給ガスおよび電力を停止した後、排気バルブ１１０を閉じた状態で、排気装置１０２を停止し、ポンプ排気弁１２０を閉じる。この状態で、オイル導入バルブ１１７を開け、排気バルブ１１０の下流と排気装置１０２の内部にオイルを充填する。このとき、大気が入り込まないようにオイルを充填するために、オイルタンクのオイル量が空にならないようにタンク給油口１１８から給油バルブ１１９を開け、オイルを適宜給油しながらオイルの充填を行う。オイルタンク１０５のオイル量が均衡状態になれば、オイルは充填されたこととなり、オイル導入バルブ１１７を閉じる。

本発明において、排気装置や排気配管が大気開放されたとき、大気に晒されうる部分すべてがオイルで満たされることが重要である。そのため、あらかじめ排気装置や排気配管の空間内の容積を調べておき、その体積と同じ量のオイルが充填されたことを確認することが好ましい。例えば、オイルタンク１０５にオイル供給量を測定可能な目盛りを設けておくことで、オイルの供給量を把握できるようにしておくことが好ましい。

図２は、オイルが充填した状態を示す模式図である。

その後、オイル排出バルブ１２３を開け、ベント用配管（不図示）からＮ_２ガスなどの圧力でオイルを押し出し、オイル回収装置１０７にてオイルを抜き取る。充填されていたオイルを抜き取った後、オイル排出バルブ１２３を閉じ、排気装置１０２の交換作業を行う。

次に、別の例として、例えば、堆積膜形成工程またはクリーニング工程において、圧力調整バルブ１１４が故障し、工程を中断して別の正常な圧力調整バルブに交換しなければならない場合の手順を説明する。

供給ガスおよび電力を停止した後、排気バルブ１０９および１１０を閉じ、閉塞空間を形成する。次いで、オイル導入バルブ１１６を開け、排気バルブ１０９と１１０との間にオイルを充填する。このとき、オイルタンクのオイル量が空にならないようにタンク給油口からオイルを適宜給油しながらオイルの充填を行い、オイルが充填された後、オイル導入バルブ１１６を閉じる。この場合、あらかじめ排気配管の空間内の容積を調べておき、その量と同じ量のオイルが充填されたことを確認することが好ましい。

図３は、オイルが充填した状態を示す模式図である。

その後、オイル排出バルブ１２２を開け、ベント用配管（不図示）からＮ_２ガスなどの圧力でオイルを押し出し、オイル回収装置１０７にてオイルを抜き取る。オイル排出バルブ１２２を閉じ、圧力調整バルブ１１４および排気バルブ１０９と１１０間の配管の交換作業を行う。

このような方法により、大気開放する部分に残存したポリシランなどの副生成物は、充填されたオイルとともにオイル回収装置１０７により回収される。また、一部排気配管の内部に残されたポリシランは、オイルが十分に付着しているため、大気開放の際の酸素との反応は防がれる。このため、安全にメンテナンス作業が実施できることになる。

なお、反応容器の内部から基体を取り出す場合は、反応容器の一部のみを開放した状態で行われるため、Ｎ_２などの不活性ガスをフローしたまま取り出しを行うことで、反応容器の内部の酸素濃度を上昇させずに作業できる。

しかし、ポリシランが付着した状態で排気配管を取り外すために大気開放する場合、真空状態からベントする際に、Ｎ_２などの不活性ガスを使用した場合でも、取り外す際、および取り外した後にはどうしても大気に晒されてしまう。このため、本発明のメンテナンス方法が有効に作用することになる。

本発明において用いられるオイルとしては、堆積膜形成装置の汚染を抑制する観点から、蒸気圧（オイル温度が５０℃のときの値）が１．３×１０^−２Ｐａ以下のものが好ましい。具体的には、堆積膜形成装置の排気装置に用いられる真空ポンプ用オイルと同等のものが好ましい。真空ポンプ用オイルとしては、例えば、（株）ＭＯＲＥＳＣＯ社製のネオバックＳＴ−２００（商品名）、昭和シェル（株）社製のハイバックＸ６８（商品名）などが挙げられる。

本発明は、メンテナンス作業や交換作業において作業中に大気に晒されうる部分が事前にオイルに満たされることが好ましい。

したがって、例えば、排気配管に設けられるオイル供給手段の両端は、排気弁により閉じられる空間を形成する構成となることが好ましい。オイル供給手段は、あらかじめ、ポリシランなどの副生成物によって閉塞しやすい箇所や、故障の可能性がある動作式の調整バルブの近傍に配置しておいてもよい。

トラブルが発生し、排気システムの一部を大気開放する場合の準備工程において、従来の予備ポンプを用いる場合は、基体を一旦反応容器の内部から取り出してからクリーニング工程を実施しなければならない。そのため、トラブルが発生したときに形成された堆積膜は廃棄せざるを得ない。一方、本発明のメンテナンス方法によれば、堆積膜形成中にトラブルが発生しても、反応容器の内部の基体は真空保持されたままの状態でメンテナンス作業が行える。メンテナンス作業が終了した後、継続して堆積膜形成が行えるため、トラブルによるロスを抑制することができる。

以下、実施例および比較例により本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれらに制限されるものではない。

［実施例１］
図１に示す堆積膜形成装置を用いて、アルミニウム製の直径８４ｍｍ、長さ３８１ｍｍおよび肉厚３ｍｍの円筒状の基体１０２上に、表１に示す条件で堆積膜を形成し、図６に示す層構成の電子写真感光体を作製した。

電子写真感光体は、円筒状基体６０１、阻止層６０２、光導電層６０３および表面保護層６０４で構成されている。

その後、排気装置が故障したという想定で、排気装置の交換作業を実施した。

本実施例では、排気装置の交換作業の準備として、排気バルブ１１０より下流の排気配管の内部と排気装置１０２の内部にオイルを充填した。

手順としては、排気バルブ１１０を閉じ、排気装置１０２を停止した後、ポンプ排気弁１２０を閉じ、オイル導入バルブ１１７を開けた。そして、あらかじめ測定した排気バルブ１１０の下流の排気配管の内部と排気装置の内部の容積と同量のオイルを計測しながら充填した。

オイル充填後、オイル排出バルブ１２３を開け、ベント用配管（不図示）からＮ_２ガスなどの圧力でオイルを押し出し、オイル回収装置１０７にてオイルを抜き取った。充填されていたオイルを抜き取った後、オイル排出バルブ１２３を閉じ、排気装置１０２を取り外した。

本実施例においては、（株）ＭＯＲＥＳＣＯ社製のネオバックＳＴ−２００（商品名）を充填用オイルとして使用し、使用量よりコストを計算した。

また、排気装置を停止させた後、交換作業終了までの所要時間を測定した。

［比較例１］
図４に示す堆積膜形成装置を用いて、実施例１と同様に表１に示す条件で堆積膜を形成し、図６に示す層構成の電子写真感光体を作製した。その後、実施例１と同様に排気装置が故障したという想定で、排気装置の交換作業を実施した。

本比較例では、排気装置の交換作業の準備として、予備ポンプ４２２を用いて排気配管の内部のクリーニング処理を実施した。クリーニング条件は、表２に示す条件とした。

手順としては、ダミー用のホルダーを反応容器の内部に設置し、予備の排気装置４２２のポンプ排気弁４２３および排気装置４０２のポンプ排気弁４２０を開け、排気弁４２１、４１０、４０９、４０８を開けた。この状態で反応容器４０１を真空排気し、表２に示す条件でクリーニング処理を実施した。

図４に示す排気配管のＡ〜Ｄのポイントの温度測定を行い、処理状態を判断した。判断方法は、各地点の温度上昇のピークを確認することで行った。排気配管の温度上昇が始まると、その箇所の反応が進行していることを示している。これは、ポリシランがフッ素と反応して気化するときに発熱するためである。

図５は、比較例１でのクリーニング処理時間と排気配管の各箇所の温度推移を示すグラフである。

クリーニング処理は、反応容器側の上流部から排気装置側の下流部へと進行する。グラフで示すように、各箇所の温度がピークを過ぎると、その箇所までクリーニングが進行し終了したことを示すこととなる。

本比較例では、大気開放するＤ地点の温度上昇がピークを過ぎれば、ポリシランの反応が終了したと判断でき、排気装置の交換作業を実施することができる。なお、本比較例での予備ポンプによるクリーニング終了までに時間（Ｄ地点の温度上昇がピークを過ぎるまでの時間）は、通常のメインポンプを用いたときのクリーニング時間の１．５倍の時間を要した。これは、排気装置４０２側へ流れるクリーニングガスが少なく、反応に時間を要したためである。

クリーニング処理終了後、排気バルブ４１０の下流をベント用配管（不図示）からＮ_２ガスなどによりベントし、排気装置４０２を取り外した。

本比較例において、通常のクリーニング時間よりも延びた分の時間から、実質の交換作業の所要時間と、クリーニング用のガスの増加分のコストを計算した。

なお、実質の交換作業時間とは、実施例１においては、オイルを満たして抜き取り、交換作業が終了するまでの時間とした。比較例１においては、通常のクリーニング時間よりも延びた分の時間と交換作業時間の合計とした。

実施例１および比較例１での排気装置交換のための準備にかかるコストと交換作業に要した時間を比較した。

比較例１は実施例１に比べて、コストでは２倍を要し、時間は１．５倍を要する結果となった。

［実施例２］
図１に示す堆積膜形成装置を用いて、実施例１と同様に表１に示す条件で堆積膜を形成し、図６に示す層構成の電子写真感光体を作製した。

本実施例では、阻止層の形成終了後、光導電層の形成開始前の内圧調整中に圧力調整バルブ１１４が故障したという想定で圧力調整バルブ１１４の交換作業を実施した。

本実施例では、圧力調整バルブ１１４の交換作業の準備として、原料ガスの供給を停止した後、排気バルブ１０９および１１０を閉じ、オイル導入バルブ１１６から排気バルブ１０９と１１０との間にオイルを充填した。実施例１と同様に、あらかじめ測定した排気バルブ１０９と１１０との排気配管の内部の容積と同量のオイルを計測しながら充填した。

オイル充填後、オイル排出バルブ１２２を開け、ベント用配管（不図示）からＮ_２ガスなどの圧力でオイルを押し出し、オイル回収装置１０７にてオイルを抜き取った。充填されていたオイルを抜き取った後、オイル排出バルブ１２２を閉じ、圧力調整バルブ１１４および配管を取り外した。

本実施例においては、圧力調整バルブの交換後、再び光導電層用のガスを反応容器の内部に供給し、圧力調整を行い、続けて電子写真感光体の作製を継続した。

［比較例２］
図４に示す堆積膜形成装置を用いて、実施例２と同様に表１に示す条件で堆積膜を形成し、図６に示す層構成の電子写真感光体を作製した。

本比較例においても、阻止層の形成終了後、光導電層の形成開始前の内圧調整中に圧力調整バルブ４１４が故障したという想定で交換作業を実施した。

手順としては、基体上に阻止層まで形成したものを反応容器の内部から取り出し、ダミー用のホルダーを反応容器の内部に設置した。次いで、表２に示す条件で排気配管の内部のクリーニング処理を実施した。

クリーニング処理終了後、排気バルブ４１０の下流をベント用配管（不図示）からＮ_２ガスなどによりベントし、排気装置４０２を取り外し、圧力調整バルブ１１４の交換作業を行った。

本比較例において阻止層まで形成したものは、その後、再び反応容器の内部に設置して続けて電子写真感光体の作製を継続しても、反応容器の内部から取り出さなかったものに比べて特性が劣るため、廃棄処分とした。これは、大気開放および真空排気の工程で、基体にポリシランなどの副生成物や他の浮遊物が付着してしまい、出力画像に欠陥を生じさせる欠陥が増えたためである。

一方、実施例２において、継続して作製した電子写真感光体は、交換作業を実施しなかった場合と同等のものが得られ、トラブル（交換作業の実施）によるロス（廃棄処分）を回避できた。

１０１、４０１ 反応容器
１０２、４０２ 排気装置
１０３、４０３ 排気配管
１０４ オイル注入配管
１０５ オイルタンク
１０６ オイル回収配管
１０７ オイル回収装置
１０８、１０９、１１０、４０８、４０９、４１０、４２１ 排気バルブ
１１１、４１１ ミキシング装置
１１２、４１２ 電源
１１３、４１３ マッチングボックス
１１４、４１４ 圧力調整バルブ
１１６、１１７ オイル導入バルブ
１１８ タンク給油口
１１９ 給油バルブ
１２０、４２０、４２３ ポンプ排気弁
１２１、１２２、１２３ オイル排出バルブ
４２２ 予備の排気装置

Claims (6)

1. 反応容器、
   排気装置、および、
   前記反応容器と前記排気装置とを接続している排気配管
   を有する堆積膜形成装置であって、前記反応容器の内部にケイ素原子を含む原料ガスを導入し、前記原料ガスをグロー放電により分解し、前記反応容器の内部に設置された基体上に堆積膜を形成するための堆積膜形成装置
   の前記排気装置および／または前記排気配管のメンテナンスを行う堆積膜形成装置のメンテナンス方法において、
   前記排気装置および／または前記排気配管の内部に閉塞空間を形成し、前記閉塞空間をオイルで満たした後、前記オイルを抜き、その後、前記排気装置および／または前記排気配管の大気開放を行い、前記排気装置および／または前記排気配管のメンテナンスを行う
   ことを特徴とする堆積膜形成装置のメンテナンス方法。
2. 前記排気装置および／または前記排気配管が大気開放されるときに大気に晒されうる部分のすべてを前記オイルで満たした後、前記オイルを抜き、その後、前記排気装置および／または前記排気配管の大気開放を行い、前記排気装置および／または前記排気配管のメンテナンスを行う請求項１に記載の堆積膜形成装置のメンテナンス方法。
3. 前記排気装置および／または前記排気配管の内部に大気が入り込まないように前記オイルを導入し、前記排気装置および／または前記排気配管の内部をオイルで満たした後、前記オイルを抜き、その後、前記排気装置および／または前記排気配管の大気開放を行い、前記排気装置および／または前記排気配管のメンテナンスを行う請求項１または２に記載の堆積膜形成装置のメンテナンス方法。
4. 前記オイルの蒸気圧（オイル温度が５０℃のときの値）が、１．３×１０^−２Ｐａ以下である請求項１〜３のいずれか１項に記載の堆積膜形成装置のメンテナンス方法。
5. 反応容器、
   排気装置、および、
   前記反応容器と前記排気装置とを接続している排気配管
   を有する堆積膜形成装置であって、前記反応容器の内部にケイ素原子を含む原料ガスを導入し、前記原料ガスをグロー放電により分解し、前記反応容器の内部に設置された基体上に堆積膜を形成するための堆積膜形成装置において、
   前記堆積膜形成装置が、さらに、
   前記排気装置および／または前記排気配管の内部に閉塞空間を形成するための手段、
   前記閉塞空間にオイルを満たすためのオイル供給手段、および、
   前記閉塞空間に満たされたオイルを排出するためのオイル排出手段
   を有することを特徴とする堆積膜形成装置。
6. 前記オイル供給手段に、オイル供給量を測定可能な目盛りが設けられている請求項５に記載の堆積膜形成装置。

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