JP2017011023A - Substrate processing apparatus and substrate processing method - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、基板を処理する処理ユニットと、基板を搬送する搬送ユニットとを備えた基板処理装置、およびこのような基板処理装置に適用される基板処理方法に関する。 The present invention relates to a substrate processing apparatus including a processing unit for processing a substrate and a transport unit for transporting a substrate, and a substrate processing method applied to such a substrate processing apparatus.
半導体装置や液晶表示装置の製造工程では、基板に対して処理を実行する基板処理装置が用いられる。基板処理装置は、基板を処理する処理ユニットと、基板を搬送する搬送ユニットと、それらを制御する制御ユニットとを含む。基板処理を実行すると処理ユニットの内部が汚染されるので、必要に応じて、処理ユニットの内部を洗浄するユニット洗浄処理が実行される。 In a manufacturing process of a semiconductor device or a liquid crystal display device, a substrate processing apparatus that performs processing on a substrate is used. The substrate processing apparatus includes a processing unit that processes a substrate, a transport unit that transports the substrate, and a control unit that controls them. When the substrate processing is executed, the inside of the processing unit is contaminated. Therefore, a unit cleaning process for cleaning the inside of the processing unit is executed as necessary.
ユニット洗浄処理のために、ダミー基板が用いられる場合がある。ダミー基板とは、半導体デバイス等の製品を作製するための基板(製品基板)と同じ外形を有する基板である。ダミー基板を処理ユニット内の基板ホルダに保持させた状態でユニット洗浄処理を行うことにより、基板ホルダにいずれの基板も保持させていない状態に比較して、多様なユニット洗浄が可能になる。たとえば、処理ユニット内の特定の位置に洗浄液を到達させるために、ダミー基板を基板ホルダに保持させ、ダミー基板に向けて洗浄液を供給する場合がある。 A dummy substrate may be used for the unit cleaning process. A dummy substrate is a substrate having the same outer shape as a substrate (product substrate) for producing a product such as a semiconductor device. By performing the unit cleaning process while the dummy substrate is held by the substrate holder in the processing unit, various unit cleanings are possible as compared to a state in which no substrate is held by the substrate holder. For example, in order to allow the cleaning liquid to reach a specific position in the processing unit, the dummy substrate may be held by the substrate holder and the cleaning liquid may be supplied toward the dummy substrate.
製品基板を処理するときには、処理ユニット外にダミー基板を退避させる必要がある。特許文献1の装置では、ダミー基板を使用しないときには、そのダミー基板をカセット内に保管している。特許文献2の装置では、ダミー基板を使用しないときには、基板処理装置内に設けた専用の格納スペースにダミー基板を保管している。
When processing the product substrate, it is necessary to retract the dummy substrate outside the processing unit. In the apparatus of Patent Document 1, when a dummy substrate is not used, the dummy substrate is stored in a cassette. In the apparatus of
基板処理装置は、未処理の製品基板および処理後の製品基板を格納するためのキャリヤを保持するキャリヤ保持部を有している。前述のカセットは、キャリヤの一例である。キャリヤ保持部は、有限個(たとえば3〜4個)のキャリヤを保持できるように構成されている。ダミー基板を専用のキャリヤに保持するとすれば、ダミー基板用のキャリヤによって一つのキャリヤ保持位置が占有されるから、製品基板を収容するキャリヤのためのスペースが少なくなる。したがって、基板処理装置が備える複数の処理ユニットを効率的に稼働させることができないおそれがあるので、生産性が損なわれる。特許文献1の構成には、この問題がある。 The substrate processing apparatus includes a carrier holding unit that holds a carrier for storing an unprocessed product substrate and a processed product substrate. The aforementioned cassette is an example of a carrier. The carrier holding unit is configured to hold a finite number (for example, 3 to 4) of carriers. If the dummy substrate is held by a dedicated carrier, one carrier holding position is occupied by the dummy substrate carrier, so that the space for the carrier for storing the product substrate is reduced. Therefore, since there exists a possibility that the some processing unit with which a substrate processing apparatus is provided cannot be operated efficiently, productivity is impaired. The configuration of Patent Document 1 has this problem.
特許文献2の構成では、この問題は生じない。しかし、基板処理装置内に専用の格納スペースが備えられるので、基板処理装置全体の占有面積(フットプリント)が大きくなるおそれがある。また、基板処理装置の占有面積を維持しようとすると、基板処理装置内への処理ユニットの配置が制限を受ける。さらに、専用の格納スペースを基板処理装置内に備えるには、相応のコストがかかる。
In the configuration of
そこで、この発明の一つの目的は、生産性を損なうことなく、かつ基板処理装置内に専用スペースを設けることなく装置内にダミー基板を保持することができる基板処理装置を提供することである。
また、この発明の他の目的は、生産性を損なうことなく、かつ基板処理装置内に専用スペースを設けることなく装置内にダミー基板を保持しつつ基板を処理できる基板処理方法を提供することである。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus capable of holding a dummy substrate in the apparatus without impairing productivity and without providing a dedicated space in the substrate processing apparatus.
Another object of the present invention is to provide a substrate processing method capable of processing a substrate while holding a dummy substrate in the apparatus without impairing productivity and without providing a dedicated space in the substrate processing apparatus. is there.
この発明は、基板を保持する基板ホルダを有し、前記基板ホルダに保持した基板を処理する複数の処理ユニットと、基板を保持するハンドを有し、前記ハンドによって前記複数の処理ユニットに対して基板を搬入および搬出する搬送ユニットと、前記複数の処理ユニットおよび前記搬送ユニットを制御する制御ユニットとを含む基板処理装置を提供する。前記制御ユニットは、処理対象の基板を前記基板ホルダに保持させて前記処理ユニットに基板処理動作を実行させる基板処理制御と、ダミー基板を前記基板ホルダに保持させて前記処理ユニットにユニット洗浄動作を実行させるユニット洗浄制御と、ダミー基板の不使用時に前記基板ホルダまたは前記ハンドにダミー基板を保持させて待機させるダミー基板待機制御とを実行する。 The present invention has a substrate holder for holding a substrate, and has a plurality of processing units for processing the substrate held on the substrate holder, and a hand for holding the substrate, and the hands are used to handle the plurality of processing units. Provided is a substrate processing apparatus including a transfer unit that loads and unloads a substrate, and a plurality of processing units and a control unit that controls the transfer unit. The control unit holds a substrate to be processed on the substrate holder and causes the processing unit to perform a substrate processing operation, and holds a dummy substrate on the substrate holder and performs a unit cleaning operation on the processing unit. The unit cleaning control to be executed and the dummy substrate standby control for holding the dummy substrate on the substrate holder or the hand and waiting when the dummy substrate is not used are executed.
この構成によれば、ダミー基板の不使用時には、基板処理装置に備えられた処理ユニットの基板ホルダまたは搬送ユニットのハンドにダミー基板を保持させて待機させることができる。それにより、処理ユニットでの処理対象の基板を収納するキャリヤを保持するキャリヤ保持部を占有することなく、基板処理装置内でダミー基板を待機させ、そのダミー基板を必要に応じて処理ユニットの洗浄のために用いることができる。したがって、キャリヤ保持部には、処理対象の基板を収納するための多数のキャリヤを保持できるので、基板処理装置の生産性を損なうことなく、ダミー基板を用いたユニット洗浄機能を備える基板処理装置を提供できる。 According to this configuration, when the dummy substrate is not used, the dummy substrate can be held on the substrate holder of the processing unit provided in the substrate processing apparatus or the hand of the transfer unit and can be made to stand by. Accordingly, the dummy substrate is made to stand by in the substrate processing apparatus without occupying the carrier holding unit for holding the carrier for storing the substrate to be processed in the processing unit, and the dummy substrate is cleaned as necessary. Can be used for. Therefore, since the carrier holding unit can hold a large number of carriers for storing substrates to be processed, a substrate processing apparatus having a unit cleaning function using a dummy substrate can be provided without impairing the productivity of the substrate processing apparatus. Can be provided.
また、基板処理装置内に専用のダミー基板格納場所を設けるのではなく、基板の処理や搬送のために用いられる基板ホルダまたはハンドをダミー基板の待機のために兼用している。それにより、基板処理装置全体の占有面積(フットプリント)を大きくすることなくダミー基板を基板処理装置内に待機させることができる。また、基板処理装置の占有面積を維持するために処理ユニット等の配置が大きく制限されることもない。しかも、基板の処理または搬送のために基板を保持する構成を兼用しているので、コストの増加や構成の複雑化を招くことがない。 In addition, instead of providing a dedicated dummy substrate storage place in the substrate processing apparatus, a substrate holder or hand used for processing and transporting the substrate is also used for standby of the dummy substrate. Thereby, the dummy substrate can be made to wait in the substrate processing apparatus without increasing the occupation area (footprint) of the entire substrate processing apparatus. In addition, the arrangement of processing units and the like is not greatly limited in order to maintain the area occupied by the substrate processing apparatus. In addition, since the structure for holding the substrate for processing or transporting the substrate is also used, the cost is not increased and the structure is not complicated.
処理ユニットは、基板に対して処理流体(液体または気体)を供給するノズルを有していてもよい。また、処理ユニットは、基板ホルダに保持した基板を回転させる基板回転ユニットを有していてもよい。また、処理ユニットは、基板ホルダに保持した基板に紫外線等の電磁波を照射する電磁波照射ユニットを備えていてもよい。さらに、処理ユニットは、基板ホルダに保持した基板に対して、ブラシ洗浄、スプレーノズル洗浄等の物理洗浄を施すように構成されていてもよい。さらにまた、処理ユニットは、基板ホルダに保持した基板の姿勢を変化(たとえば、表裏反転)させる姿勢転換ユニットを有していてもよい。処理流体による処理、基板の回転、電磁波の照射、物理洗浄、基板の姿勢転換等は、基板に対する処理の例である。 The processing unit may have a nozzle that supplies a processing fluid (liquid or gas) to the substrate. Further, the processing unit may have a substrate rotating unit that rotates the substrate held by the substrate holder. Further, the processing unit may include an electromagnetic wave irradiation unit that irradiates the substrate held by the substrate holder with electromagnetic waves such as ultraviolet rays. Further, the processing unit may be configured to perform physical cleaning such as brush cleaning or spray nozzle cleaning on the substrate held by the substrate holder. Furthermore, the processing unit may include a posture changing unit that changes the posture of the substrate held by the substrate holder (for example, reverses the front and back). Processing with a processing fluid, substrate rotation, electromagnetic wave irradiation, physical cleaning, substrate orientation change, and the like are examples of processing on a substrate.
この発明の一実施形態では、前記制御ユニットは、前記複数の処理ユニットのいずれかに対してユニット洗浄動作を実行すべきか否かを判断し、ユニット洗浄動作を実行すべきであると判断した処理ユニットに対してダミー基板を搬入するように前記搬送ユニットを制御する。
この構成によれば、ユニット洗浄が必要となった処理ユニットに対してダミー基板が搬入され、そのダミー基板を当該処理ユニットの基板ホルダに保持させて当該処理ユニットが洗浄される。こうして、必要に応じてダミー基板を移動させながら、複数の処理ユニットを必要に応じて洗浄できる。
In one embodiment of the present invention, the control unit determines whether or not a unit cleaning operation should be performed on any of the plurality of processing units, and the process determined that the unit cleaning operation should be performed. The transfer unit is controlled so that a dummy substrate is carried into the unit.
According to this configuration, a dummy substrate is carried into a processing unit that requires unit cleaning, and the processing substrate is cleaned by holding the dummy substrate on the substrate holder of the processing unit. In this way, a plurality of processing units can be cleaned as required while moving the dummy substrate as necessary.
この発明の一実施形態では、前記制御ユニットは、ユニット洗浄動作を実行すべきであると判断した処理ユニットの基板ホルダにダミー基板が保持されているときは、そのダミー基板をそのまま用いて前記ユニット洗浄制御を実行する。
この構成によれば、ダミー基板が保持されている処理ユニットの洗浄が必要になると、そのダミー基板をそのまま用いて当該処理ユニットの洗浄処理が行われる。したがって、ダミー基板の搬送動作を伴うことなく、処理ユニットを洗浄できる。すなわち、ダミー基板の搬送動作を最小限にしながら、基板処理およびユニット洗浄を行うことができる。
In one embodiment of the present invention, when a dummy substrate is held on the substrate holder of the processing unit that is determined that the control unit should perform a unit cleaning operation, the control unit uses the dummy substrate as it is. Perform cleaning control.
According to this configuration, when the processing unit holding the dummy substrate needs to be cleaned, the processing unit is cleaned using the dummy substrate as it is. Therefore, the processing unit can be cleaned without accompanying the dummy substrate transfer operation. That is, substrate processing and unit cleaning can be performed while minimizing the transfer operation of the dummy substrate.
たとえば、制御ユニットは、処理ユニットが一定時間以上使用されなかった場合に、当該処理ユニットのユニット洗浄が必要であると判断してもよい。ダミー基板は、基板処理のために使用されない処理ユニット内の基板ホルダまたは基板搬送のために使用されないハンドに保持される。したがって、或る処理ユニットが長時間にわたって使用されない場合には、当該処理ユニットの基板ホルダにダミー基板が保持されている状況が生じ得る。このような場合に、当該処理ユニットのユニット洗浄が必要であると判断されると、そのダミー基板をそのまま用いて当該処理ユニットのユニット洗浄を行うことができる。 For example, the control unit may determine that unit cleaning of the processing unit is necessary when the processing unit has not been used for a certain period of time. The dummy substrate is held by a substrate holder in a processing unit that is not used for substrate processing or a hand that is not used for substrate transfer. Therefore, when a certain processing unit is not used for a long time, a situation may occur in which a dummy substrate is held by the substrate holder of the processing unit. In such a case, if it is determined that unit cleaning of the processing unit is necessary, unit cleaning of the processing unit can be performed using the dummy substrate as it is.
この発明の一実施形態では、前記制御ユニットは、処理対象の基板を搬入すべき処理ユニットの基板ホルダにダミー基板が保持されているときは、そのダミー基板を搬出して他の処理ユニットの基板ホルダまたは前記搬送ユニットのハンドに当該ダミー基板を保持させるように前記搬送ユニットを制御する。
この構成によれば、処理対象の基板の搬入先の処理ユニットにダミー基板が保持されていれば、そのダミー基板を搬出したうえで、当該処理ユニットに処理対象の基板が搬入される。したがって、ダミー基板を処理ユニットに保持している場合でも、当該処理ユニットを基板処理のために用いることができる。
In one embodiment of the present invention, when the dummy substrate is held by the substrate holder of the processing unit into which the substrate to be processed is to be loaded, the control unit unloads the dummy substrate and the substrate of another processing unit. The transport unit is controlled so that the dummy substrate is held by a holder or a hand of the transport unit.
According to this configuration, if the dummy substrate is held in the processing unit to which the substrate to be processed is carried, the dummy substrate is unloaded and the substrate to be processed is loaded into the processing unit. Therefore, even when the dummy substrate is held in the processing unit, the processing unit can be used for substrate processing.
この発明の一実施形態では、前記制御ユニットは、基板を収容するキャリヤを当該基板処理装置に対して搬送するキャリヤ搬送機構を制御するホスト装置と通信し、当該基板処理装置内にダミー基板が導入されていないときに、前記ホスト装置に対してダミー基板の搬入を要求する。
この構成によれば、ホスト装置に対してダミー基板の搬入を要求することにより、基板処理装置内にダミー基板を導入できる。たとえば、ホスト装置は、キャリヤ搬送機構を制御して、ダミー基板を収容したダミーキャリヤを基板処理装置のキャリヤ保持部に搬入させるように動作してもよい。こうして、基板処理装置にダミー基板を導入できる。
In one embodiment of the present invention, the control unit communicates with a host device that controls a carrier transport mechanism that transports a carrier containing a substrate to the substrate processing apparatus, and a dummy substrate is introduced into the substrate processing apparatus. If not, the host device is requested to carry in a dummy substrate.
According to this configuration, the dummy substrate can be introduced into the substrate processing apparatus by requesting the host device to carry in the dummy substrate. For example, the host device may operate to control the carrier transport mechanism so that the dummy carrier containing the dummy substrate is carried into the carrier holding portion of the substrate processing apparatus. Thus, a dummy substrate can be introduced into the substrate processing apparatus.
制御ユニットは、ダミー基板を用いたユニット洗浄の必要が生じたとき、またはその必要が近い将来に生じると予測したときに、ホスト装置に対して、ダミー基板の搬入を要求してもよい。
この発明は、複数の処理ユニットのいずれかの基板ホルダに処理対象の基板を保持し、当該基板を処理する基板処理ステップと、前記複数の処理ユニットのうちのいずれかの基板ホルダにダミー基板を保持させて、当該処理ユニットのユニット洗浄を実行するユニット洗浄ステップと、前記ダミー基板の不使用時に、前記複数の処理ユニットのいずれかの基板ホルダ、または前記複数の処理ユニットに対して基板を搬入および搬出する搬送ユニットのハンドに前記ダミー基板を待機させるダミー基板待機ステップとを含む、基板処理方法を提供する。
The control unit may request the host device to carry in the dummy substrate when it becomes necessary to clean the unit using the dummy substrate, or when it is predicted that the necessity will occur in the near future.
The present invention includes a substrate processing step for holding a substrate to be processed in any one of a plurality of processing units and processing the substrate, and a dummy substrate in any one of the plurality of processing units. A unit cleaning step for holding and performing unit cleaning of the processing unit; and when the dummy substrate is not used, the substrate is carried into one of the substrate holders of the plurality of processing units or the plurality of processing units. And a dummy substrate waiting step of waiting the dummy substrate in the hand of the carrying unit to be carried out.
この基板処理方法の一実施形態は、前記複数の処理ユニットのいずれかに対してユニット洗浄を実行すべきか否かを判断するステップと、ユニット洗浄を実行すべきであると判断した処理ユニットに対して、前記ダミー基板を搬入するステップとをさらに含む。
前記基板処理方法の一実施形態では、前記ユニット洗浄を実行すべきであると判断した処理ユニットの基板ホルダにダミー基板が保持されているときは、そのダミー基板をそのまま用いて当該処理ユニットのユニット洗浄を実行する。
In one embodiment of the substrate processing method, a step of determining whether or not to perform unit cleaning on any of the plurality of processing units, and a processing unit that determines that unit cleaning should be performed are performed. And a step of carrying in the dummy substrate.
In one embodiment of the substrate processing method, when a dummy substrate is held on the substrate holder of the processing unit that is determined to be subjected to the unit cleaning, the dummy substrate is used as it is and the unit of the processing unit is used. Perform cleaning.
前記基板処理方法の一実施形態では、処理対象の基板を搬入すべき処理ユニットの基板ホルダにダミー基板が保持されているときに、そのダミー基板を前記搬送ユニットによって搬出し、他の処理ユニットの基板ホルダまたは前記搬送ユニットのハンドに当該ダミー基板を保持させて前記ダミー基板待機ステップを実行する。
前記基板処理方法の一実施形態は、前記複数の処理ユニットおよび前記搬送ユニットを備える基板処理装置にダミー基板が導入されていないときに、前記基板処理装置の制御ユニットが、ホスト装置に対してダミー基板の搬入を要求するステップと、前記ダミー基板の搬入を要求されたホスト装置が、ダミー基板を収容したキャリヤをキャリヤ搬送機構によって前記基板処理装置に搬入させるステップとをさらに含む。
In one embodiment of the substrate processing method, when a dummy substrate is held by a substrate holder of a processing unit into which a substrate to be processed is to be loaded, the dummy substrate is unloaded by the transfer unit, and the other processing unit The dummy substrate waiting step is executed by holding the dummy substrate on the substrate holder or the hand of the transfer unit.
According to an embodiment of the substrate processing method, when a dummy substrate is not introduced into the substrate processing apparatus including the plurality of processing units and the transfer unit, the control unit of the substrate processing apparatus performs a dummy operation on the host device. The method further includes a step of requesting loading of the substrate and a step of causing the host device requested to load the dummy substrate to load the carrier containing the dummy substrate into the substrate processing apparatus by a carrier transfer mechanism.
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置100のレイアウトを示す図解的な平面図である。基板処理装置100は、インデクサセクション1と、処理セクション2と、制御ユニット3とを含む。処理セクション2は、インデクサセクション1との間で基板Wを受け渡しするための受け渡しユニットPASSを備えている。インデクサセクション1は、未処理の基板Wを受け渡しユニットPASSに渡し、受け渡しユニットPASSから処理済みの基板Wを受け取る。処理セクション2は、受け渡しユニットPASSから未処理の基板Wを受け取って、その基板Wに対して、処理剤(処理液または処理ガス)を用いた処理、紫外線等の電磁波を用いた処理、物理洗浄処理(ブラシ洗浄、スプレーノズル洗浄等)などの各種の処理を施す。そして、処理セクション2は、処理後の基板Wを受け渡しユニットPASSに渡す。制御ユニット3は、インデクサセクション1および処理セクション2の動作を制御する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a schematic plan view showing a layout of a
インデクサセクション1は、複数のステージST1〜ST4と、インデクサロボットIRとを含む。
ステージST1〜ST4は、複数枚の基板W(たとえば半導体ウエハ)を積層状態で収容したキャリヤ(基板収容器)Cをそれぞれ保持することができるキャリヤ保持部である。キャリヤCは、基板Wを密閉した状態で収納するFOUP(Front Opening Unified Pod)であってもよいし、SMIF(Standard Mechanical Inter Face)ポッド、OC(Open Cassette)等であってもよい。たとえば、キャリヤCをステージST1〜ST4に載置したとき、キャリヤCでは、水平姿勢の複数枚の基板Wが互いに間隔を開けて鉛直方向に積層された状態となる。
The indexer section 1 includes a plurality of stages ST1 to ST4 and an indexer robot IR.
Stages ST <b> 1 to ST <b> 4 are carrier holding units that can hold carriers (substrate containers) C each holding a plurality of substrates W (for example, semiconductor wafers) in a stacked state. The carrier C may be a FOUP (Front Opening Unified Pod) that accommodates the substrate W in a sealed state, a SMIF (Standard Mechanical Interface) pod, an OC (Open Cassette), or the like. For example, when the carrier C is placed on the stages ST <b> 1 to ST <b> 4, the carrier C is in a state where a plurality of substrates W in a horizontal posture are stacked in the vertical direction at intervals.
インデクサロボットIRは、たとえば、基台部6と、多関節アーム7と、一対のハンド8A,8Bとを含む。基台部6は、たとえば、当該基板処理装置100のフレームに固定されている。多関節アーム7は、水平面に沿って回動可能な複数本のアーム部を互いに回動可能に結合して構成されており、アーム部の結合箇所である関節部でアーム部間の角度を変更することによって、屈伸するように構成されている。多関節アーム7の基端部は、基台部6に対して、鉛直軸線回りの回動が可能であるように結合されている。さらに、多関節アーム7は、基台部6に対して昇降可能に結合されている。換言すれば、基台部6には、多関節アーム7を昇降させるための昇降駆動機構、多関節アーム7を鉛直軸線回りに回動させるための回動駆動機構が内蔵されている。また、多関節アーム7には、各アーム部を独立して回動させるための個別回動駆動機構が備えられている。多関節アーム7の先端部に、鉛直軸線回りの個別回動および水平方向への個別進退が可能であるように、ハンド8A,8Bが結合されている。多関節アーム7には、ハンド8A,8Bを鉛直軸線回りに個別に回動させるためのハンド回動駆動機構と、ハンド8A,8Bを水平方向に個別に進退させるためのハンド進退機構とが備えられている。ハンド8A,8Bは、たとえば、1枚の基板Wをそれぞれ保持できるように構成されている。なお、ハンド8A,8Bは上下に重なった状態で配置されていてもよいが、図1では、明瞭化のために、ハンド8A,8Bを紙面に平行な方向(水平方向)にずらして描いてある。
The indexer robot IR includes, for example, a base unit 6, a multi-joint arm 7, and a pair of
この構成により、インデクサロボットIRは、制御ユニット3による制御により、いずれかのステージST1〜ST4に保持されたキャリヤCから一枚の未処理基板Wをハンド8Aで搬出して受け渡しユニットPASSに渡すように動作する。さらに、インデクサロボットIRは、受け渡しユニットPASSから一枚の処理済み基板Wをハンド8Bで受け取って、いずれかのステージST1〜ST4に保持されたキャリヤCに収容するように動作する。受け渡しユニットPASSは、基板を保持するための一つまたは複数のハンド10を備えている。
With this configuration, the indexer robot IR carries out a single unprocessed substrate W from the carrier C held on any of the stages ST1 to ST4 by the
処理セクション2は、複数(この実施形態では4個)の処理ユニットU1〜U4と、主搬送ロボットCRと、前述の受け渡しユニットPASSとを含む。具体的には、平面視において処理セクション2の中央に主搬送ロボットCRが配置されており、この主搬送ロボットCRとインデクサロボットIRとの間に受け渡しユニットPASSが配置されている。受け渡しユニットPASSを挟んで対向するように、処理ユニットU1と、別の処理ユニットU2とが配置されている。そして、処理ユニットU1に対してインデクサロボットIRから遠い側に隣接するように、処理ユニットU3が配置されている。同様に、処理ユニットU2に対してインデクサロボットIRから遠い側に隣接するように、処理ユニットU4が配置されている。処理ユニットU1〜U4によって、主搬送ロボットCRが取り囲まれている。
The
主搬送ロボットCRは、たとえば、基台部11と、多関節アーム12と、一対のハンド13A,13Bとを含む。基台部11は、たとえば、当該基板処理装置100のフレームに固定されている。多関節アーム12は、水平面に沿って延びた複数本のアーム部を互いに回動可能に結合して構成されており、アーム部の結合箇所である関節部でアーム部間の角度を変更することによって、屈伸するように構成されている。多関節アーム12の基端部は基台部11に対して、鉛直軸線回りの回動が可能であるように結合されている。さらに、多関節アーム12は、基台部11に対して昇降可能に結合されている。換言すれば、基台部11には、多関節アーム12を昇降させるための昇降駆動機構、多関節アーム12を鉛直軸線回りに回動させるための回動駆動機構が内蔵されている。また、多関節アーム12には、各アーム部を独立して回動させるための個別回動駆動機構が備えられている。多関節アーム12の先端部に、鉛直軸線回りの個別回動および水平方向への個別進退が可能であるように、ハンド13A,13Bが結合されている。多関節アーム12には、ハンド13A,13Bを鉛直軸線回りに個別に回動させるためのハンド回動駆動機構と、ハンド13A,13Bを水平方向に個別に進退させるためのハンド進退機構とが備えられている。ハンド13A,13Bは、たとえば、1枚の基板Wをそれぞれ保持できるように構成されている。なお、ハンド13A,13Bは上下に重なった状態で配置されていてもよいが、図1では、明瞭化のために、ハンド13A,13Bを紙面に平行な方向(水平方向)にずらして描いてある。
The main transfer robot CR includes, for example, a
この構成により、主搬送ロボットCRは、受け渡しユニットPASSから未処理の一枚の基板Wをハンド13Aで受け取り、その未処理の基板Wをいずれかの処理ユニットU1〜U4に搬入する。また、主搬送ロボットCRは、処理ユニットU1〜U4で処理された処理済みの基板Wをハンド13Bで受け取り、その基板Wを受け渡しユニットPASSに渡す。
With this configuration, the main transfer robot CR receives an unprocessed substrate W from the delivery unit PASS with the
処理ユニットU1〜U4は、基板Wを1枚ずつ処理する枚葉型の処理ユニットである。処理ユニットU1〜U4は、たとえば、1枚の基板Wを水平姿勢で保持して回転させるスピンチャック15と、スピンチャック15に対して処理液(薬液またはリンス液)を供給する処理液ノズル16とを処理室17(チャンバ)内に備えた、回転液処理ユニットであってもよい。スピンチャック15は、処理ユニットU1〜U4内で基板を保持する基板ホルダの一例である。
The processing units U1 to U4 are single wafer processing units that process the substrates W one by one. The processing units U1 to U4 include, for example, a
制御ユニット3は、インデクサロボットIR、処理ユニットU1〜U4および主搬送ロボットCRの動作を制御する。制御ユニット3は、さらに、基板処理装置100外に備えられたホスト装置200との間で、通信回線150を介してデータ通信を行う。ホスト装置200は、キャリヤ搬送機構300を制御する。キャリヤ搬送機構300は、ホスト装置200によって制御され、基板処理装置100に対してキャリヤCを搬入したり、基板処理装置100からキャリヤCを搬出したりする。より具体的には、キャリヤ搬送機構300は、インデクサセクション1のステージST1〜ST4に対してキャリヤCの搬入/搬出を実行する。キャリヤ搬送機構300は、基板処理装置100と、基板処理装置100外のキャリヤ置き場350との間でキャリヤCを搬送する。
The control unit 3 controls the operations of the indexer robot IR, the processing units U1 to U4, and the main transfer robot CR. The control unit 3 further performs data communication with the
ホスト装置200は、キャリヤ搬送機構300を制御して、未処理の基板Wを収容したキャリヤCを基板処理装置100に搬入させる。それとともに、ホスト装置200は、その搬入したキャリヤCに収容されている未処理基板Wに対して実行すべき処理を指定するジョブ情報を基板処理装置100の制御ユニット3に与える。制御ユニット3は、ホスト装置200から受信したジョブ情報に基づいて、基板Wに対する処理を計画して実行する。ジョブとは1枚以上の基板Wに対して実行する処理であり、ジョブ情報とはジョブの内容を指定する情報である。
The
制御ユニット3は、基板処理制御と、ユニット洗浄制御と、ダミー基板待機制御とを実行するようにプログラムされている。
基板処理制御とは、ホスト装置200から与えられるジョブ情報に基づいて、処理ユニットU1〜U4のスピンチャック15に処理対象の基板Wを保持させて処理を行うための制御である。処理対象の基板とは、半導体デバイス等の製品を作製するために処理される製品基板である。具体的には、基板処理制御は、インデクサロボットIRおよび主搬送ロボットCRによって製品基板WをキャリヤCから取り出していずれかの処理ユニットU1〜U4のスピンチャック15に搬送する基板搬送制御を含む。基板処理制御は、さらに、スピンチャック15に保持された基板Wに対して処理液ノズル16から処理液を供給する制御、必要に応じて基板Wを回転させる制御などを含む。基板処理制御は、さらに、処理ユニットU1〜U4で処理された処理済みの基板Wを主搬送ロボットCRおよびインデクサロボットIRによってキャリヤCへと搬送する基板搬送制御を含む。
The control unit 3 is programmed to execute substrate processing control, unit cleaning control, and dummy substrate standby control.
The substrate processing control is control for performing processing while holding the substrate W to be processed on the
ユニット洗浄制御は、処理ユニットU1〜U4のいずれか(たとえば処理ユニットU4)にダミー基板Pを搬入してスピンチャック15に保持させ、その状態で処理ユニットの内部を洗浄するための制御である。ダミー基板Pは、製品基板Wと同形同大の基板である。製品基板Wと同材料の基板であってもよいし、異種材料の基板であってもよい。製品基板Wは、製品の製造に用いられるのに対して、ダミー基板Pは専ら処理ユニットの内部洗浄のために用いられる。ユニット洗浄制御は、たとえば、スピンチャック15に保持したダミー基板Pを回転させる基板回転制御と、回転状態のダミー基板Pの表面に洗浄液を供給する洗浄液供給制御とを含む。ダミー基板Pをスピンチャック15に保持させた状態で洗浄液を供給することにより、処理ユニットの内部を効率的にかつ精密に洗浄できる。
The unit cleaning control is control for carrying the dummy substrate P into one of the processing units U1 to U4 (for example, the processing unit U4) and holding the dummy substrate P in the state, and cleaning the inside of the processing unit in that state. The dummy substrate P is a substrate having the same shape and size as the product substrate W. It may be a substrate made of the same material as the product substrate W or a substrate made of a different material. The product substrate W is used for manufacturing the product, while the dummy substrate P is used exclusively for the internal cleaning of the processing unit. The unit cleaning control includes, for example, substrate rotation control for rotating the dummy substrate P held on the
ダミー基板待機制御とは、基板処理のために用いられている処理ユニット以外の処理ユニットのスピンチャック15にダミー基板Pを保持させて待機させるための制御である。ダミー基板待機制御は、製品基板Wを処理するために用いる処理ユニットからダミー基板Pを搬出する制御、製品基板Wの処理に用いられない処理ユニットにダミー基板Pを搬入する制御などを含む。ダミー基板Pは、インデクサロボットIRまたは主搬送ロボットCRのハンド8A,8B,13A,13Bに待機させてもよいし、受け渡しユニットPASSのハンド10に待機させてもよい。インデクサロボットIR、主搬送ロボットCRおよび受け渡しユニットPASSは、キャリヤCと処理ユニットU1〜U4との間で基板W,Pを搬送する搬送ユニットの一例である。
The dummy substrate standby control is control for holding the dummy substrate P on the
制御ユニット3は、さらに、処理ユニットU1〜U4のいずれかに対してユニット洗浄を実行すべきかどうかを判断する。具体的には、制御ユニット3は、個々の処理ユニットU1〜U4に関して、ライフが尽きたか(ライフアップしたか)どうか、またはライフが近い将来尽きるか(ライフアップが近いか)どうかを判断する。ライフとは、ユニット洗浄を行うことなく処理ユニットを使用できる寿命である。ライフの定め方は、たとえば、処理ユニットU1〜U4の設計者または使用者が決定する。具体的には、基板処理枚数によってライフを定めることができる。この場合、一定枚数の製品基板Wを処理すると、処理ユニットがライフアップする。また、製品基板の処理のために稼働した時間によってライフを定めることができる。この場合、一定の稼働時間に達すると処理ユニットがライフアップする。さらにまた、製品基板の処理のために用いられない不使用状態の継続時間をライフの要素としてもよい。この場合、制御ユニット3は、不使用継続時間が一定時間に達すると、当該処理ユニットがライフアップしたと判断してもよい。 The control unit 3 further determines whether or not unit cleaning should be performed on any of the processing units U1 to U4. Specifically, the control unit 3 determines whether each of the processing units U <b> 1 to U <b> 4 has run out of life (life is up) or whether life is up in the near future (life up is near). The life is a life in which the processing unit can be used without performing unit cleaning. For example, the designer or the user of the processing units U1 to U4 determines how to determine the life. Specifically, the life can be determined by the number of processed substrates. In this case, if a certain number of product substrates W are processed, the processing unit will have an increased life. Further, the life can be determined by the time of operation for processing the product substrate. In this case, when a certain operating time is reached, the processing unit is up. Furthermore, the duration of the unused state that is not used for processing the product substrate may be used as a life factor. In this case, the control unit 3 may determine that the processing unit has expired when the non-use duration has reached a certain time.
図2は、基板処理装置100の動作の一例を示すタイムチャートである。この動作例では、ステージST1〜ST4のいずれかに保持された一つのキャリヤC1に未処理の製品基板Wが収容されており、別のステージに保持された別のキャリヤC2に処理済みの製品基板Wが収納される。ホスト装置200が制御ユニット3に与えるジョブ情報は、処理ユニットU1〜U3を用いた並行処理によって、製品基板W1〜W6を処理することを指示する内容である。並行処理とは、指定された複数の処理ユニットを可能な限り並列的に用いて行う処理である。ダミー基板Pは、処理ユニットU4のスピンチャック15に保持されて待機させられている。
FIG. 2 is a time chart showing an example of the operation of the
時刻t0にキャリヤC1が基板処理装置のステージST1に搬入される。キャリヤC1には、未処理の基板W1〜W6が収容されている。ホスト装置200は、制御ユニット3に対して、基板W1〜W6の処理内容を指示するジョブ情報を与える。
ジョブ情報を受信した制御ユニット3は、基板W1〜W6の処理を順に計画して実行する。処理の実行開始は、たとえば、一つのジョブ情報により指示された基板W1〜W6の処理計画(スケジューリング)を完了した後であってもよい。
At time t0, the carrier C1 is carried into the stage ST1 of the substrate processing apparatus. Unprocessed substrates W1 to W6 are accommodated in the carrier C1. The
The control unit 3 that has received the job information plans and executes the processes for the substrates W1 to W6 in order. For example, the processing may be started after the processing plan (scheduling) of the substrates W1 to W6 instructed by one job information is completed.
より詳細に説明すると、制御ユニット3は、時刻t1からの期間に基板W1をキャリヤC1からインデクサロボットIRにより取り出して主搬送ロボットCRのハンドに渡す動作b1を計画する。さらに、制御ユニット3は、主搬送ロボットCRによって、ジョブ情報によって指定されている処理ユニットU1〜U3のうちのいずれかに基板W1を搬入する動作b2を、動作b1が完了した後の時刻t2に実行するように計画する。図2の例では、時刻t2は、処理ユニットU1〜U3がいずれも基板処理のために動作していない期間に属するので、それらの何れの処理ユニットを選択してもよい。図2の例では、処理ユニットU1が選択されている。 More specifically, the control unit 3 plans an operation b1 for taking out the substrate W1 from the carrier C1 by the indexer robot IR and delivering it to the hand of the main transfer robot CR during the period from the time t1. Further, the control unit 3 performs the operation b2 for carrying the substrate W1 into one of the processing units U1 to U3 specified by the job information by the main transfer robot CR at time t2 after the operation b1 is completed. Plan to do it. In the example of FIG. 2, the time t2 belongs to a period in which none of the processing units U1 to U3 is operating for substrate processing, so any of these processing units may be selected. In the example of FIG. 2, the processing unit U1 is selected.
そこで、制御ユニット3は、動作b2が完了した後の期間において処理ユニットU1により基板Wを処理する動作b3を計画する。動作b3は、ジョブ情報によって指定された処理を基板Wに対して実行するために処理ユニットU1によって行われる動作である。具体的には、制御ユニット3には、複数種類のレシピが予め登録されている。レシピとは、基板に対する処理手順を規定した情報である。レシピは、基板処理条件を時系列に従って指定する情報を含む。基板処理条件は、たとえば、スピンチャック15による基板Wの回転速度、ならびに処理液ノズル16から吐出する処理液の種類および吐出時間を含む。制御ユニット3は、ジョブ情報によって指定されたレシピに従って処理ユニットU1を制御する動作b3を計画する。図2の例では、時刻t2〜t9の期間に、処理ユニットU1が基板W1を処理する動作b3が計画されている。
Therefore, the control unit 3 plans an operation b3 for processing the substrate W by the processing unit U1 in a period after the operation b2 is completed. The operation b3 is an operation performed by the processing unit U1 in order to execute the processing specified by the job information on the substrate W. Specifically, a plurality of types of recipes are registered in the control unit 3 in advance. A recipe is information that defines a processing procedure for a substrate. The recipe includes information for specifying the substrate processing conditions in time series. The substrate processing conditions include, for example, the rotational speed of the substrate W by the
一方、制御ユニット3は、基板W2をキャリヤC1からインデクサロボットIRにより取り出して主搬送ロボットCRに渡す動作b4を、主搬送ロボットCRが基板W1を処理ユニットU1に搬入した後の時刻t3に実行するように計画する。さらに、制御ユニット3は、主搬送ロボットCRによって、ジョブ情報によって指定されている処理ユニットU1〜U3のうちのいずれかに基板W2を搬入する動作b5を、動作b4が完了した後の時刻t4に実行するように計画する。図2の例では、時刻t4において、処理ユニットU1が基板W1の処理のために使用中であり、処理ユニットU2,U3はいずれも基板処理のために使用されていないので、処理ユニットU2,U3のいずれかが選択される。図2の例では、処理ユニットU2が選択されている。そこで、制御ユニット3は、動作b5が完了した後の期間において処理ユニットU2により基板W2を処理する動作b6を計画する。より具体的には、制御ユニット3は、ジョブ情報によって指定されたレシピに従って処理ユニットU2を制御する動作b6を計画する。図2の例では、時刻t4〜t11の期間に、処理ユニットU2が基板W2を処理する動作b6が計画されている。基板W2に適用されるレシピは、基板W1に適用されるレシピと同じであってもよいし異なっていてもよい。 On the other hand, the control unit 3 executes the operation b4 for taking out the substrate W2 from the carrier C1 by the indexer robot IR and passing it to the main transport robot CR at time t3 after the main transport robot CR carries the substrate W1 into the processing unit U1. To plan. Further, the control unit 3 performs the operation b5 for carrying the substrate W2 into any of the processing units U1 to U3 specified by the job information by the main transport robot CR at time t4 after the operation b4 is completed. Plan to do it. In the example of FIG. 2, at time t4, the processing unit U1 is in use for processing the substrate W1, and the processing units U2, U3 are not used for substrate processing. Is selected. In the example of FIG. 2, the processing unit U2 is selected. Therefore, the control unit 3 plans an operation b6 for processing the substrate W2 by the processing unit U2 in a period after the operation b5 is completed. More specifically, the control unit 3 plans an operation b6 for controlling the processing unit U2 according to a recipe specified by the job information. In the example of FIG. 2, the operation b6 in which the processing unit U2 processes the substrate W2 is planned during the period from time t4 to t11. The recipe applied to the substrate W2 may be the same as or different from the recipe applied to the substrate W1.
たとえば、一つのジョブ情報で指定されるレシピは一つであって、当該ジョブ情報によって処理が指定される1枚以上の基板Wに対して当該レシピが共通に適用されてもよい。
制御ユニット3は、さらに、基板W3をキャリヤC1からインデクサロボットIRにより取り出して主搬送ロボットCRに渡す動作b7を、主搬送ロボットCRが基板W2を処理ユニットU2に搬入した後の時刻t5に実行するように計画する。さらに、制御ユニット3は、主搬送ロボットCRによって、ジョブ情報によって指定されている処理ユニットU1〜U3のうちのいずれかに基板W3を搬入する動作b8を、動作b7が完了した後の時刻t6に実行するように計画する。図2の例では、時刻t6において、処理ユニットU1,U2が基板W1,W2の処理のために使用中であり、処理ユニットU3は基板処理のために使用されていないので、処理ユニットU3が選択されている。そこで、制御ユニット3は、動作b8が完了した後の期間において処理ユニットU3により基板W3を処理する動作b9を計画する。より具体的には、制御ユニット3は、ジョブ情報によって指定されたレシピに従って処理ユニットU3を制御する動作b9を計画する。図2の例では、時刻t6〜t13の期間に、処理ユニットU3が基板W3を処理する動作b9が計画されている。基板W3に適用されるレシピは、基板W1,W2に適用されるレシピと同じであってもよいし異なっていてもよい。
For example, one recipe may be designated by one job information, and the recipe may be commonly applied to one or more substrates W whose processing is designated by the job information.
The control unit 3 further executes an operation b7 for taking out the substrate W3 from the carrier C1 by the indexer robot IR and passing it to the main transport robot CR at time t5 after the main transport robot CR carries the substrate W2 into the processing unit U2. To plan. Further, the control unit 3 performs the operation b8 for loading the substrate W3 into any of the processing units U1 to U3 specified by the job information by the main transfer robot CR at time t6 after the operation b7 is completed. Plan to do it. In the example of FIG. 2, at time t6, the processing units U1 and U2 are in use for processing the substrates W1 and W2, and the processing unit U3 is not used for substrate processing. Has been. Therefore, the control unit 3 plans an operation b9 for processing the substrate W3 by the processing unit U3 in a period after the operation b8 is completed. More specifically, the control unit 3 plans an operation b9 for controlling the processing unit U3 according to a recipe specified by the job information. In the example of FIG. 2, an operation b9 in which the processing unit U3 processes the substrate W3 is planned in the period from time t6 to t13. The recipe applied to the substrate W3 may be the same as or different from the recipe applied to the substrates W1 and W2.
時刻t6からの期間には、ジョブ情報によって指定された処理ユニットU1〜U3の全てが基板処理のために使用されている。そこで、制御ユニット3は、次の基板W4をキャリヤC1から搬出するタイミングを調整する。具体的には、処理ユニットU1〜U3のいずれか(図2の例では処理ユニットU1)における基板処理が終了する時刻t9に基板W4を当該処理ユニット(図2の例では処理ユニットU1)に搬入するようにタイミングを調整した計画を作成する。 During the period from time t6, all of the processing units U1 to U3 designated by the job information are used for substrate processing. Therefore, the control unit 3 adjusts the timing for unloading the next substrate W4 from the carrier C1. Specifically, the substrate W4 is loaded into the processing unit (processing unit U1 in the example of FIG. 2) at time t9 when the substrate processing in any of the processing units U1 to U3 (processing unit U1 in the example of FIG. 2) ends. Create a plan that adjusts the timing.
このタイミング調整の結果、制御ユニット3は、基板W4をキャリヤC1からインデクサロボットIRにより取り出して主搬送ロボットCRに渡す動作b10を、主搬送ロボットCRが基板W3を処理ユニットU3に搬入した後の時刻t8に実行するように計画する。さらに、制御ユニット3は、動作b10が完了した後の時刻t9に実行する主搬送ロボットCRの基板交換動作b11を計画する。基板交換動作b11は、主搬送ロボットCRがハンド13A,13Bのいずれか一方で処理ユニットU1から処理済みの基板W1を搬出し、それらのハンドの他方で処理ユニットU1に未処理の基板W4を搬入する動作である。そこで、制御ユニット3は、基板交換動作b11が完了した後の期間において処理ユニットU1により基板W4を処理する動作b12を計画する。より具体的には、制御ユニット3は、ジョブ情報によって指定されたレシピに従って処理ユニットU1を制御する動作b12を計画する。図2の例では、時刻t9〜t16の期間に処理ユニットU1が基板W4を処理する動作b12が計画されている。基板W4に適用されるレシピは、基板W1〜W3に適用されるレシピと同じであってもよいし異なっていてもよい。
As a result of this timing adjustment, the control unit 3 performs the operation b10 for taking out the substrate W4 from the carrier C1 by the indexer robot IR and passing it to the main transfer robot CR, and the time after the main transfer robot CR carries the substrate W3 into the processing unit U3. Schedule to run at t8. Further, the control unit 3 schedules the substrate exchange operation b11 of the main transfer robot CR to be executed at time t9 after the operation b10 is completed. In the substrate exchange operation b11, the main transfer robot CR carries out the processed substrate W1 from the processing unit U1 with one of the
一方、制御ユニット3は、主搬送ロボットCR1からインデクサロボットIRに処理済みの基板W1を渡し、さらにインデクサロボットIRがキャリヤC2に処理済みの基板W1を搬入する動作b13を、基板交換動作b11の後の時刻t10に実行するように計画する。
時刻t9からの期間には、ジョブ情報によって指定された処理ユニットU1〜U3の全てが基板処理のために使用されている。そこで、制御ユニット3は、次の基板W5をキャリヤC1から搬出するタイミングを調整する。具体的には、処理ユニットU1〜U3のいずれか(図2の例では処理ユニットU2)における基板処理が終了する時刻t13に基板W5を当該処理ユニット(図2の例では処理ユニットU2)に搬入するようにタイミングを調整した計画を作成する。
On the other hand, the control unit 3 transfers the processed substrate W1 from the main transfer robot CR1 to the indexer robot IR, and the indexer robot IR carries the operation b13 to carry the processed substrate W1 into the carrier C2, after the substrate exchange operation b11. It is planned to execute at time t10.
During the period from time t9, all of the processing units U1 to U3 designated by the job information are used for substrate processing. Therefore, the control unit 3 adjusts the timing for carrying out the next substrate W5 from the carrier C1. Specifically, the substrate W5 is loaded into the processing unit (processing unit U2 in the example of FIG. 2) at time t13 when the substrate processing in any of the processing units U1 to U3 (processing unit U2 in the example of FIG. 2) ends. Create a plan that adjusts the timing.
このタイミング調整の結果、制御ユニット3は、基板W5をキャリヤC1からインデクサロボットIRにより取り出して主搬送ロボットCRに渡す動作b14を、主搬送ロボットCRが基板W4を処理ユニットU1に搬入した後の時刻t12に実行するように計画する。さらに制御ユニット3は、動作b14が完了した後の時刻t13に実行する主搬送ロボットCRの基板交換動作b15を計画する。基板交換動作b15は、主搬送ロボットCRがハンド13A,13Bのいずれか一方で処理ユニットU2から処理済みの基板W2を搬出し、それらのハンドの他方で処理ユニットU2に未処理の基板W5を搬入する動作である。そこで、制御ユニット3は、基板交換動作b15が完了した後の期間において処理ユニットU2により基板W5を処理する動作b16を計画する。より具体的には、制御ユニット3は、ジョブ情報によって指定されたレシピに従って処理ユニットU2を制御する動作b16を計画する。図2の例では、時刻t13〜t20の期間に処理ユニットU2が基板W5を処理する動作が計画されている。基板W5に適用されるレシピは、基板W1〜W4に適用されるレシピと同じであってもよいし異なっていてもよい。
As a result of this timing adjustment, the control unit 3 performs the operation b14 of taking out the substrate W5 from the carrier C1 by the indexer robot IR and passing it to the main transfer robot CR, and the time after the main transfer robot CR carries the substrate W4 into the processing unit U1. Schedule to run at t12. Further, the control unit 3 schedules the substrate exchange operation b15 of the main transfer robot CR to be executed at time t13 after the operation b14 is completed. In the substrate exchange operation b15, the main transport robot CR carries out the processed substrate W2 from the processing unit U2 with one of the
一方、制御ユニット3は、基板交換動作b15の後の時刻t14に主搬送ロボットCR1からインデクサロボットIRに処理済みの基板W2を渡し、さらにインデクサロボットIRがキャリヤC2に処理済みの基板W2を搬入する動作b17を計画する。
時刻t13には処理ユニットU3での基板W3に対する処理が完了する。しかし、主搬送ロボットCRが関与する動作b15,b17のために、次の基板W6に対する動作は、時刻t16まで待たなければならない。
On the other hand, the control unit 3 transfers the processed substrate W2 from the main transport robot CR1 to the indexer robot IR at time t14 after the substrate replacement operation b15, and the indexer robot IR carries the processed substrate W2 into the carrier C2. Plan the operation b17.
At time t13, the processing for the substrate W3 in the processing unit U3 is completed. However, for the operations b15 and b17 involving the main transfer robot CR, the next operation on the substrate W6 must wait until time t16.
制御ユニット3は、時刻t16に基板W6をキャリヤC1からインデクサロボットIRにより取り出して主搬送ロボットCRに渡す動作b18を計画する。さらに、制御ユニット3は、動作b18が完了した後の時刻t17に実行する主搬送ロボットCRの基板交換動作b19を計画する。基板交換動作b19は、主搬送ロボットCRがハンド13A,13Bのいずれか一方で処理ユニットU3から処理済みの基板W3を搬出し、それらのハンドの他方で処理ユニットU3に未処理の基板W6を搬入する動作である。そこで、制御ユニット3は、基板交換動作b19が完了した後の期間において処理ユニットU3により基板W6を処理する動作b20を計画する。より具体的には、制御ユニット3は、ジョブ情報によって指定されたレシピに従って処理ユニットU3を制御する動作b20を計画する。図2の例では、時刻t17〜t24の期間に処理ユニットU3が基板W6を処理する動作が計画されている。基板W6に適用されるレシピは、基板W1〜W5に適用されるレシピと同じであってもよいし異なっていてもよい。
The control unit 3 plans an operation b18 for taking out the substrate W6 from the carrier C1 by the indexer robot IR and transferring it to the main transport robot CR at time t16. Furthermore, the control unit 3 schedules the substrate exchange operation b19 of the main transfer robot CR to be executed at time t17 after the operation b18 is completed. In the substrate exchange operation b19, the main transport robot CR carries out the processed substrate W3 from the processing unit U3 with one of the
一方、制御ユニット3は、基板交換動作b19の後の時刻t18に主搬送ロボットCR1からインデクサロボットIRに処理済みの基板W3を渡し、さらにインデクサロボットIRがキャリヤC2に処理済みの基板W3を搬入する動作b21を計画する。
基板交換動作b19までに処理ユニットU1における基板W4の処理が完了している。そこで、制御ユニット3は、基板W4の搬出を計画する。具体的には、主搬送ロボットCRが基板W3の搬送動作b21から解放される後の時刻t19に、主搬送ロボットCRが処理ユニットU1から基板W4を搬出する動作b22が計画される。もしも、基板W4の搬出を計画するまでに処理ユニットU1を指定する別のジョブ情報がホスト装置200から与えられており、その処理対象の基板Wを収容したキャリヤCがステージST1〜ST4に搬入されていれば、制御ユニット3は、その新たなジョブ情報の処理対象の基板Wに対する処理を計画してもよい。そして、処理ユニットU1から処理済みの基板W4を搬出し、当該新たなジョブ情報に対応する基板Wを処理ユニットU1に搬入する基板交換動作が、時刻t19に実行されるように計画されてもよい。
On the other hand, the control unit 3 delivers the processed substrate W3 from the main transport robot CR1 to the indexer robot IR at time t18 after the substrate replacement operation b19, and the indexer robot IR carries the processed substrate W3 into the carrier C2. Plan the operation b21.
The processing of the substrate W4 in the processing unit U1 has been completed by the substrate replacement operation b19. Therefore, the control unit 3 plans to carry out the substrate W4. Specifically, an operation b22 in which the main transport robot CR unloads the substrate W4 from the processing unit U1 is planned at time t19 after the main transport robot CR is released from the transport operation b21 of the substrate W3. If the
制御ユニット3は、基板搬出動作b22の後の時刻t20に主搬送ロボットCR1からインデクサロボットIRに処理済みの基板W4を渡し、さらにインデクサロボットIRがキャリヤC2に処理済みの基板W4を搬入する動作b23を計画する。
処理ユニットU2において基板W5の処理が完了し、かつ主搬送ロボットCRが基板W4の搬送動作b23から解放される後の時刻t21に、主搬送ロボットCRが処理ユニットU2から基板W5を搬出する動作b24が計画される。もしも、基板W5の搬出を計画するまでに処理ユニットU2を指定する別のジョブ情報がホスト装置200から与えられており、その処理対象の基板Wを収容したキャリヤCがステージST1〜ST4に搬入されていれば、制御ユニット3は、その新たなジョブ情報の処理対象の基板Wに対する処理を計画してもよい。そして、時刻t21において、処理ユニットU2から処理済みの基板W5を搬出し、当該新たなジョブ情報に対応する基板Wを処理ユニットU2に搬入する基板交換動作が計画されてもよい。
The control unit 3 delivers the processed substrate W4 from the main transport robot CR1 to the indexer robot IR at time t20 after the substrate carry-out operation b22, and the indexer robot IR carries the processed substrate W4 into the carrier C2 b23. To plan.
At time t21 after the processing of the substrate W5 is completed in the processing unit U2 and the main transport robot CR is released from the transport operation b23 of the substrate W4, the main transport robot CR carries out the substrate W5 from the processing unit U2. Is planned. If the
制御ユニット3は、基板搬出動作b24の後の時刻t22に主搬送ロボットCR1からインデクサロボットIRに処理済みの基板W5を渡し、さらにインデクサロボットIRがキャリヤC2に処理済みの基板W5を搬入する動作b25を計画する。
処理ユニットU3において基板W6の処理が完了し、かつ主搬送ロボットCRが基板W5の搬送動作b23から解放される後の時刻t24に実行されるように、主搬送ロボットCRが処理ユニットU3から基板W6を搬出する動作b26が計画される。もしも、基板W6の搬出を計画するまでに処理ユニットU3を指定する別のジョブ情報がホスト装置200から与えられており、その処理対象の基板Wを収容したキャリヤCがステージST1〜ST4に搬入されていれば、制御ユニット3は、その新たなジョブ情報の処理対象の基板Wに対する処理を計画してもよい。そして、時刻t24において、処理ユニットU3から処理済みの基板W6を搬出し、当該新たなジョブ情報に対応する基板Wを処理ユニットU3に搬入する基板交換動作が計画されてもよい。
The control unit 3 delivers the processed substrate W5 from the main transport robot CR1 to the indexer robot IR at time t22 after the substrate carry-out operation b24, and the indexer robot IR carries the processed substrate W5 into the carrier C2 b25. To plan.
The main transport robot CR is processed from the processing unit U3 to the substrate W6 so that the processing is performed at time t24 after the processing of the substrate W6 is completed in the processing unit U3 and the main transport robot CR is released from the transport operation b23 of the substrate W5. The operation b26 is carried out. If the
制御ユニット3は、基板搬出動作b26の後の時刻t25に実行されるように、主搬送ロボットCR1からインデクサロボットIRに処理済みの基板W6を渡し、さらにインデクサロボットIRがキャリヤC2に処理済みの基板W6を搬入する動作b27を計画する。
こうして、ホスト装置200から与えられたジョブ情報に対応する計画の作成が完了すると、当該ジョブ情報に対応する最初の基板W1に対する搬送および処理が開始される。
The control unit 3 passes the processed substrate W6 from the main transport robot CR1 to the indexer robot IR so as to be executed at the time t25 after the substrate carry-out operation b26, and the indexer robot IR passes the processed substrate to the carrier C2. The operation b27 for carrying in W6 is planned.
Thus, when the creation of the plan corresponding to the job information given from the
図3は、計画したジョブの実行中にダミー基板を用いたユニット洗浄が必要となった場合の計画の一例を説明するためのタイムチャートである。図3において、図2の対応箇所には図3と同一参照符号を付す。
処理ユニットU1において基板W4を処理している期間中の時刻t14において、制御ユニット3は、図3に参照符号30で示すように、処理ユニットU1においてライフアップが生じたと判断する。それに応じて、制御ユニット3は、処理ユニットU1でのユニット洗浄を計画し、必要に応じて、作成済みの計画を変更する。より具体的には、制御ユニット3は、ライフアップ発生前に処理ユニットU1に対して計画済みの基板W4の処理を終えた後に当該処理ユニットU1に対するユニット洗浄を実行するように、計画を作成する。
FIG. 3 is a time chart for explaining an example of a plan in the case where unit cleaning using a dummy substrate becomes necessary during execution of the planned job. 3, the same reference numerals as those in FIG. 3 are assigned to the corresponding portions in FIG.
At time t14 during the period in which the substrate W4 is being processed in the processing unit U1, the control unit 3 determines that life has occurred in the processing unit U1, as indicated by
制御ユニット3は、処理済み基板W4の搬送動作b23から主搬送ロボットCRが解放された後の時刻t21に処理ユニットU4からのダミー基板Pの搬出動作b31を実行するように計画する。そして、制御ユニット3は、その後の時刻t22に実行するように、主搬送ロボットCRがダミー基板Pを処理ユニットU1に搬入する動作b32を計画する。その後、制御ユニット3は、処理ユニットU1に対して、ダミー基板Pを用いたユニット洗浄動作b33を時刻t22〜t29の期間に実行するように計画する。ユニット洗浄動作のためのレシピは、制御ユニット3に予め登録されており、制御ユニット3は、そのレシピに従って処理ユニットU1のユニット洗浄動作を制御する。 The control unit 3 plans to execute a dummy substrate P carry-out operation b31 from the processing unit U4 at time t21 after the main transfer robot CR is released from the transfer operation b23 of the processed substrate W4. Then, the control unit 3 plans an operation b32 in which the main transport robot CR carries the dummy substrate P into the processing unit U1 so as to be executed at the subsequent time t22. Thereafter, the control unit 3 plans for the processing unit U1 to execute the unit cleaning operation b33 using the dummy substrate P during the period from time t22 to t29. The recipe for the unit cleaning operation is registered in advance in the control unit 3, and the control unit 3 controls the unit cleaning operation of the processing unit U1 according to the recipe.
図3の例では、時刻t14よりも後に、ホスト装置200から基板W7〜W9の処理を指定する新たなジョブ情報が制御ユニット3に入力されている。この新たなジョブ情報は、図3の例では、処理ユニットU2〜U4での並行処理を指定している。キャリヤ搬送機構300は、未処理の基板W7〜W9を収容したキャリヤC3をたとえばステージST3に搬入し、処理後の基板W7〜W9を収容するためのキャリヤC4をステージST4に搬入する。制御ユニット3は、新たなジョブ情報に対応する処理計画を作成する前に、ダミー基板Pの搬送および処理ユニットU1のユニット洗浄を計画する。
In the example of FIG. 3, new job information designating processing of the substrates W7 to W9 is input from the
制御ユニット3は、時刻t22よりも後の時刻t23において未処理基板W7をキャリヤC3からインデクサロボットIRにより取り出して主搬送ロボットCRに渡す動作b34を計画する。さらに、制御ユニット3は、その未処理基板W7を処理ユニットU2〜U4のいずれか(図3の例では処理ユニットU2)に搬入する動作b35を時刻t24に実行するように計画する。図3の例では、動作b35は、主搬送ロボットCRがハンド13A,13Bのいずれか一方で処理ユニットU2から処理済みの基板W5を搬出し、それらのハンドの他方で処理ユニットU2に未処理の基板W7を搬入する基板交換動作である。そして、制御ユニット3は、基板交換動作b35が完了した後の期間において処理ユニットU2により基板W7を処理する動作b36を計画する。より具体的には、制御ユニット3は、ジョブ情報によって指定されたレシピに従って処理ユニットU2を制御する動作b36を計画する。図3の例では、時刻t24〜t31の期間に処理ユニットU2が基板W5を処理する動作b36が計画されている。基板W7に適用されるレシピは、ジョブ情報によって指定されたレシピである。 The control unit 3 plans an operation b34 for taking out the unprocessed substrate W7 from the carrier C3 by the indexer robot IR and passing it to the main transport robot CR at time t23 after time t22. Further, the control unit 3 plans to execute the operation b35 for carrying the unprocessed substrate W7 into any of the processing units U2 to U4 (processing unit U2 in the example of FIG. 3) at time t24. In the example of FIG. 3, the operation b <b> 35 is performed by the main transport robot CR carrying out the processed substrate W <b> 5 from the processing unit U <b> 2 with one of the hands 13 </ b> A and 13 </ b> B and unprocessing to the processing unit U <b> 2 with the other hand. This is a substrate exchange operation for loading the substrate W7. Then, the control unit 3 plans an operation b36 for processing the substrate W7 by the processing unit U2 in a period after the substrate replacement operation b35 is completed. More specifically, the control unit 3 plans an operation b36 for controlling the processing unit U2 according to a recipe specified by the job information. In the example of FIG. 3, an operation b36 in which the processing unit U2 processes the substrate W5 during the period from time t24 to t31 is planned. The recipe applied to the substrate W7 is a recipe specified by the job information.
一方、制御ユニット3は、基板交換動作b35の後の時刻t25に実行するように、主搬送ロボットCR1からインデクサロボットIRに処理済みの基板W5を渡し、さらにインデクサロボットIRがキャリヤC2に処理済みの基板W5を搬入する動作b37を計画する。
制御ユニット3は、さらに、主搬送ロボットCRが基板W5を搬出した後の時刻t27に次の基板W8をキャリヤC3からインデクサロボットIRにより取り出して主搬送ロボットCRに渡す動作b38を計画する。さらに、制御ユニット3は、動作b38が完了した後の時刻t28に主搬送ロボットCRが基板交換動作b39を実行するように計画する。基板交換動作b39は、主搬送ロボットCRがハンド13A,13Bのいずれか一方で処理ユニットU3から処理済みの基板W6を搬出し、それらのハンドの他方で処理ユニットU3に未処理の基板W8を搬入する動作である。そこで、制御ユニット3は、基板交換動作b39が完了した後の期間において処理ユニットU3により基板W8を処理する動作b40を計画する。より具体的には、制御ユニット3は、ジョブ情報によって指定されたレシピに従って処理ユニットU3を制御する動作b40を計画する。図3の例では、時刻t28〜t35の期間に実行するように、処理ユニットU3が基板W8を処理する動作b40が計画されている。基板W8に適用されるレシピは、基板W7に適用されるレシピと同じであってもよいし異なっていてもよい。
On the other hand, the control unit 3 passes the processed substrate W5 from the main transfer robot CR1 to the indexer robot IR so as to be executed at time t25 after the substrate replacement operation b35, and the indexer robot IR is processed to the carrier C2. The operation b37 for carrying in the substrate W5 is planned.
The control unit 3 further plans an operation b38 for taking out the next substrate W8 from the carrier C3 by the indexer robot IR and transferring it to the main transfer robot CR at time t27 after the main transfer robot CR carries out the substrate W5. Furthermore, the control unit 3 schedules the main transfer robot CR to execute the substrate replacement operation b39 at time t28 after the operation b38 is completed. In the substrate exchanging operation b39, the main transfer robot CR carries out the processed substrate W6 from the processing unit U3 with one of the
一方、制御ユニット3は、基板交換動作b39の後の時刻t29に実行するように、主搬送ロボットCR1からインデクサロボットIRに処理済みの基板W6を渡し、さらにインデクサロボットIRがキャリヤC2に処理済みの基板W6を搬入する動作b41を計画する。
制御ユニット3は、さらに、主搬送ロボットCRが基板W6を搬出した後の時刻t30に次の基板W9をキャリヤC3からインデクサロボットIRにより取り出して主搬送ロボットCRに渡す動作b42を実行するように計画する。さらに、制御ユニット3は、動作b42が完了した後の時刻t31に主搬送ロボットCRの基板搬入動作b43を実行するように計画する。基板搬入動作b43は、主搬送ロボットCRがハンド13A,13Bのいずれか一方で処理ユニットU4に未処理の基板W9を搬入する動作である。そこで、制御ユニット3は、基板搬入動作b43が完了した後の期間において処理ユニットU4により基板W9を処理する動作b44を計画する。より具体的には、制御ユニット3は、ジョブ情報によって指定されたレシピに従って処理ユニットU4を制御する動作b44を計画する。図3の例では、時刻t31からの期間に処理ユニットU4が基板W9を処理する動作b44が計画されている。基板W9に適用されるレシピは、基板W7,W8に適用されるレシピと同じであってもよいし異なっていてもよい。
On the other hand, the control unit 3 passes the processed substrate W6 from the main transport robot CR1 to the indexer robot IR so as to be executed at time t29 after the substrate replacement operation b39, and the indexer robot IR is processed to the carrier C2. The operation b41 for carrying in the substrate W6 is planned.
The control unit 3 further plans to execute an operation b42 for taking out the next substrate W9 from the carrier C3 by the indexer robot IR and passing it to the main transfer robot CR at time t30 after the main transfer robot CR carries out the substrate W6. To do. Further, the control unit 3 plans to execute the substrate carry-in operation b43 of the main transfer robot CR at time t31 after the operation b42 is completed. The substrate carry-in operation b43 is an operation in which the main transport robot CR carries the unprocessed substrate W9 into the processing unit U4 with one of the
図3では図示を省略するが、制御ユニット3は、さらに、処理後の基板W7〜W9を処理ユニットU2,U3,U4から搬出してキャリヤC4に収納する動作を順次計画する。
処理ユニットU1では、ダミー基板Pを用いたユニット洗浄の後、そのダミー基板Pは、当該処理ユニットU1のスピンチャック15に保持される。
図4は、計画したジョブの実行中にダミー基板を用いたユニット洗浄が必要となった場合の計画の他の例を説明するためのタイムチャートである。図4において、図3の対応箇所には図3と同一参照符号を付す。
Although not shown in FIG. 3, the control unit 3 further sequentially schedules the operation of unloading the processed substrates W7 to W9 from the processing units U2, U3, U4 and storing them in the carrier C4.
In the processing unit U1, after the unit cleaning using the dummy substrate P, the dummy substrate P is held by the
FIG. 4 is a time chart for explaining another example of a plan in the case where unit cleaning using a dummy substrate becomes necessary during execution of the planned job. 4, the same reference numerals as those in FIG. 3 are assigned to the corresponding portions in FIG.
図3の例の場合と同様に、処理ユニットU1のライフアップ30が生じた時刻t14の後に、ホスト装置200から基板W7〜W9の処理を指定する新たなジョブ情報が制御ユニット3に入力されている。この新たなジョブ情報は、図3の例の場合と同じく、処理ユニットU2〜U4での並行処理を指定している。キャリヤ搬送機構300は、未処理の基板W7〜W9を収容したキャリヤC3をたとえばステージST3に搬入し、処理後の基板W7〜W9を収容するためのキャリヤC4をステージST4に搬入する。
As in the case of the example in FIG. 3, new job information designating the processing of the substrates W7 to W9 is input from the
図3の動作例では、ダミー基板Pの搬送およびユニット洗浄の計画を優先し、その後に、製品基板W7〜W9の搬送および処理が計画されている。これに対して、図4の動作例では、製品基板W7〜W9に対する処理の計画が優先されている。その結果、基板W9を処理ユニットU4に搬入するときに、処理ユニットU4に保持されているダミー基板Pを搬出し、その後に、処理ユニットU1においてユニット洗浄動作を実行するように計画されている。 In the operation example of FIG. 3, priority is given to the transfer of the dummy substrate P and the unit cleaning plan, and then the transfer and processing of the product substrates W7 to W9 are planned. On the other hand, in the operation example of FIG. 4, the processing plan for the product substrates W7 to W9 is prioritized. As a result, when the substrate W9 is carried into the processing unit U4, it is planned to carry out the dummy substrate P held by the processing unit U4 and then perform a unit cleaning operation in the processing unit U1.
具体的に説明すると、制御ユニット3は、処理ユニットU2〜U4のいずれか(図4の例では処理ユニットU2)における基板処理が終了する時刻t20以降に基板W7を当該処理ユニット(図4の例では処理ユニットU2)に搬入するようにタイミングを調整した計画を作成する。このタイミング調整の結果、制御ユニット3は、基板W7をキャリヤC3からインデクサロボットIRにより取り出して主搬送ロボットCRに渡し、かつ処理ユニットU1から搬出された基板W4をインデクサロボットIRに渡してキャリヤC2に収納する動作b51を時刻t20に実行するように計画する。インデクサロボットIRおよび主搬送ロボットCRは、受け渡しユニットPASSを介して、基板W4,W7を交換する基板交換動作を行うことができる。 More specifically, the control unit 3 transfers the substrate W7 to the processing unit (example of FIG. 4) after time t20 when the substrate processing in any of the processing units U2 to U4 (processing unit U2 in the example of FIG. 4) ends. Then, the plan which adjusted the timing so that it may carry in to the processing unit U2) is created. As a result of this timing adjustment, the control unit 3 takes out the substrate W7 from the carrier C3 by the indexer robot IR and passes it to the main transfer robot CR, and passes the substrate W4 unloaded from the processing unit U1 to the indexer robot IR to the carrier C2. The storing operation b51 is planned to be executed at time t20. The indexer robot IR and the main transfer robot CR can perform a substrate exchange operation for exchanging the substrates W4 and W7 via the delivery unit PASS.
さらに、制御ユニット3は、動作b51が完了した後の時刻t21に主搬送ロボットCRが基板交換動作b52を実行するように計画する。基板交換動作b52は、主搬送ロボットCRがハンド13A,13Bのいずれか一方で処理ユニットU2から処理済みの基板W5を搬出し、それらのハンドの他方で処理ユニットU2に未処理の基板W7を搬入する動作である。そこで、制御ユニット3は、基板交換動作b52が完了した後の期間において処理ユニットU2により基板W7を処理する動作b53を計画する。より具体的には、制御ユニット3は、ジョブ情報によって指定されたレシピに従って処理ユニットU2を制御する動作b53を計画する。図4の例では、時刻t21〜t28の期間に実行するように、処理ユニットU2が基板W7を処理する動作が計画されている。
Further, the control unit 3 schedules the main transfer robot CR to execute the substrate replacement operation b52 at time t21 after the operation b51 is completed. In the substrate exchange operation b52, the main transport robot CR carries out the processed substrate W5 from the processing unit U2 with one of the
一方、制御ユニット3は、基板交換動作b52の後の時刻t22に主搬送ロボットCR1からインデクサロボットIRに処理済みの基板W5を渡してキャリヤC2に収納する動作b54を計画する。
制御ユニット3は、処理ユニットU2〜U4のいずれか(図4の例では処理ユニットU3)における基板処理が終了する時刻t24以降に基板W8を当該処理ユニット(図4の例では処理ユニットU3)に搬入するようにタイミングを調整した計画を作成する。このタイミング調整の結果、制御ユニット3は、基板W8をキャリヤC3からインデクサロボットIRにより取り出して主搬送ロボットCRに渡す動作b55を時刻t23に実行するように計画する。さらに、制御ユニット3は、動作b55が完了した後の時刻t24に主搬送ロボットCRが基板交換動作b56を実行するように計画する。基板交換動作b56は、主搬送ロボットCRがハンド13A,13Bのいずれか一方で処理ユニットU3から処理済みの基板W6を搬出し、それらのハンドの他方で処理ユニットU3に未処理の基板W8を搬入する動作である。そこで、制御ユニット3は、基板交換動作b56が完了した後の期間において処理ユニットU3により基板W8を処理する動作b57を計画する。より具体的には、制御ユニット3は、ジョブ情報によって指定されたレシピに従って処理ユニットU3を制御する動作b57を計画する。図4の例では、時刻t24〜t31の期間に実行するように、処理ユニットU3が基板W8を処理する動作b57が計画されている。
On the other hand, the control unit 3 plans an operation b54 for transferring the processed substrate W5 from the main transport robot CR1 to the indexer robot IR and storing it in the carrier C2 at time t22 after the substrate replacement operation b52.
The control unit 3 transfers the substrate W8 to the processing unit (processing unit U3 in the example of FIG. 4) after time t24 when the substrate processing in any of the processing units U2 to U4 (processing unit U3 in the example of FIG. 4) ends. Create a plan with the timing adjusted to be brought in. As a result of this timing adjustment, the control unit 3 plans to execute the operation b55 of taking out the substrate W8 from the carrier C3 by the indexer robot IR and passing it to the main transport robot CR at time t23. Furthermore, the control unit 3 schedules the main transfer robot CR to execute the substrate replacement operation b56 at time t24 after the operation b55 is completed. In the substrate exchange operation b56, the main transfer robot CR carries out the processed substrate W6 from the processing unit U3 with one of the
一方、制御ユニット3は、基板交換動作b56の後の時刻t25に主搬送ロボットCR1からインデクサロボットIRに処理済みの基板W6を渡してキャリヤC2に収納し、かつインデクサロボットIRがキャリヤC3から未処理の基板W9を取り出して主搬送ロボットCRに渡す動作b58を計画する。
制御ユニット3は、動作b58が完了した後の時刻t26に、主搬送ロボットCRが基板交換動作b59を実行するように計画する。基板交換動作b59は、主搬送ロボットCRがハンド13A,13Bのいずれか一方で処理ユニットU4からダミー基板Pを搬出し、それらのハンドの他方で処理ユニットU4に未処理の基板W9を搬入する動作である。そこで、制御ユニット3は、基板交換動作b59が完了した後の期間において処理ユニットU4により基板W9を処理する動作b60を計画する。より具体的には、制御ユニット3は、ジョブ情報によって指定されたレシピに従って処理ユニットU4を制御する動作b60を計画する。図4の例では、時刻t26〜t33の期間に、処理ユニットU4が基板W9を処理する動作b60が計画されている。
On the other hand, the control unit 3 passes the processed substrate W6 from the main transport robot CR1 to the indexer robot IR and stores it in the carrier C2 at time t25 after the substrate replacement operation b56, and the indexer robot IR is not processed from the carrier C3. The operation b58 for taking out the substrate W9 and transferring it to the main transfer robot CR is planned.
The control unit 3 schedules the main transfer robot CR to execute the substrate replacement operation b59 at time t26 after the operation b58 is completed. The substrate exchanging operation b59 is an operation in which the main transfer robot CR carries out the dummy substrate P from the processing unit U4 with one of the
一方、制御ユニット3は、基板交換動作b59の後の時刻t27に主搬送ロボットCR1から処理ユニットU1のスピンチャック15にダミー基板Pを渡す動作b61を計画する。そして、制御ユニット3は、ダミー基板搬入動作b61の後に、処理ユニットU1におけるダミー基板Pを用いたユニット洗浄動作b62を計画する。ユニット洗浄動作b62の後には、ダミー基板Pは、基板W7〜W9に対する処理で用いられない処理ユニットU1にそのまま保持される。
On the other hand, the control unit 3 plans an operation b61 for transferring the dummy substrate P from the main transport robot CR1 to the
図4では図示を省略するが、制御ユニット3は、さらに、処理後の基板W7〜W9を処理ユニットU2,U3,U4から搬出してキャリヤC4に収納する動作を順次計画する。
なお、この動作例では、基板W9を処理ユニットU4に搬入するときに、処理ユニットU4からダミー基板Pを搬出している。しかし、ダミー基板Pをより早く処理ユニットU4から搬出するためには、基板W7またはW8を処理ユニットU4に搬入してダミー基板Pと交換し、その搬入した基板W7,W8を処理ユニットU4で処理するように計画するとよい。その後、ダミー基板Pを処理ユニットU1に搬入することによって、より早く処理ユニットU1に対するユニット洗浄を行うことができる。
Although not shown in FIG. 4, the control unit 3 sequentially plans operations for carrying out the processed substrates W7 to W9 from the processing units U2, U3, U4 and storing them in the carrier C4.
In this operation example, when the substrate W9 is loaded into the processing unit U4, the dummy substrate P is unloaded from the processing unit U4. However, in order to carry the dummy substrate P out of the processing unit U4 earlier, the substrate W7 or W8 is loaded into the processing unit U4 and replaced with the dummy substrate P, and the loaded substrates W7 and W8 are processed by the processing unit U4. You should plan to do so. Thereafter, by carrying the dummy substrate P into the processing unit U1, the unit cleaning for the processing unit U1 can be performed earlier.
図5は、ダミー基板Pの搬送に関連して制御ユニット3が所定の制御周期で繰り返し実行する処理の一例を説明するためのフローチャートである。制御ユニット3は、ホスト装置200から受信するジョブ情報によって製品基板の処理開始を指示されると、そのジョブ情報がダミー基板を保持している処理ユニットのみでの処理を指定しているかどうかを判断する(ステップS1)。この判断が肯定のときには、制御ユニット3は、空いている別の処理ユニットへのダミー基板の移動を計画して実行する(ステップS2)。「空いている別の処理ユニット」とは、たとえば、ジョブ情報により使用が指定されておらず、使用が計画されておらず、かつ現に使用されていない別の処理ユニットである。空いている別の処理ユニットが存在しない場合には、空き状態の処理ユニットが生じるまで待機する。
FIG. 5 is a flowchart for explaining an example of processing that is repeatedly executed by the control unit 3 at a predetermined control period in association with the conveyance of the dummy substrate P. When the control unit 3 is instructed to start processing the product substrate by the job information received from the
こうして、ダミー基板を空いている別の処理ユニットに移動した後に、制御ユニット3は、ジョブ情報により指示された基板処理を計画して実行する(ステップS3)。ジョブ情報がダミー基板を保持している処理ユニット以外での処理を許容しているときには(ステップS1:NO)、制御ユニット3は、ダミー基板の移動に関する処理(ステップS2)を省いて、ジョブ情報が指示する基板処理を計画および実行する(ステップS3)。 Thus, after moving the dummy substrate to another vacant processing unit, the control unit 3 plans and executes the substrate processing instructed by the job information (step S3). When the job information permits processing other than the processing unit holding the dummy substrate (step S1: NO), the control unit 3 omits the processing related to the movement of the dummy substrate (step S2), and the job information Plan and execute the substrate processing instructed by (step S3).
このようにして、必要が生じたときにだけダミー基板を移動させることができるので、効率的な基板処理を維持しながら、ダミー基板を基板処理装置100内に保持することができる。
図6は、いずれかの処理ユニットでのライフアップに関連して制御ユニット3が所定の制御周期で繰り返し実行する処理の一例を説明するためのフローチャートである。制御ユニット3は、いずれかの処理ユニットでライフアップが生じたかどうかを監視する(ステップS11)。いずれの処理ユニットでもライフアップが生じなければ(ステップS11:NO)、以下の処理は省かれる。
In this way, since the dummy substrate can be moved only when necessary, the dummy substrate can be held in the
FIG. 6 is a flowchart for explaining an example of processing that is repeatedly executed by the control unit 3 at a predetermined control period in association with life enhancement in any of the processing units. The control unit 3 monitors whether or not life has occurred in any of the processing units (Step S11). If no life-up occurs in any of the processing units (step S11: NO), the following processing is omitted.
いずれかの処理ユニットでライフアップが生じると(ステップS11:YES)、制御ユニット3は、ライフアップが生じた処理ユニットにダミー基板が保持されているかどうかを判断する(ステップS12)。ダミー基板が保持されていなければ(ステップS12:NO)、制御ユニット3は、基板処理装置100内にダミー基板が導入済みかどうかを判断する(ステップS13)。基板処理装置100にダミー基板が導入済みであれば(ステップS13:YES)、制御ユニット3は、当該ライフアップが生じた処理ユニットへのダミー基板の移動を計画して実行する(ステップS14)。そして、制御ユニット3は、ダミー基板の移動の後にそのライフアップした処理ユニットのユニット洗浄を計画して実行する(ステップS15)。 When life up occurs in any of the processing units (step S11: YES), the control unit 3 determines whether a dummy substrate is held in the processing unit in which the life up has occurred (step S12). If the dummy substrate is not held (step S12: NO), the control unit 3 determines whether or not the dummy substrate has been introduced into the substrate processing apparatus 100 (step S13). If the dummy substrate has been introduced into the substrate processing apparatus 100 (step S13: YES), the control unit 3 plans and executes the movement of the dummy substrate to the processing unit in which the life-up has occurred (step S14). Then, the control unit 3 plans and executes unit cleaning of the processing unit whose life has been increased after the movement of the dummy substrate (step S15).
ライフアップした処理ユニットにダミー基板が保持されているときには(ステップS12:YES)、制御ユニット3は、ステップS13,S14の処理を省いて、そのダミー基板を当該処理ユニットにそのまま保持させたままで、当該処理ユニットのユニット洗浄を計画して実行する(ステップS15)。
基板処理装置100にダミー基板が未導入のときは(ステップS13:NO)、制御ユニット3は、ホスト装置200に対して、ダミー基板を要求済みかどうか判断し(ステップS16)、要求済みであれば、今制御周期の処理を終えて、ダミー基板の導入を待機する。ダミー基板を未だ要求していなければ(ステップS16:NO)、制御ユニット3は、ホスト装置200に対して、ダミー基板を要求する(ステップS16)。ダミー基板要求を受信したホスト装置200は、キャリヤ搬送機構300を制御して、キャリヤ置き場350から、ダミー基板を収容したキャリヤC(ダミーキャリヤ)を搬送させ、基板処理装置100のステージST1〜ST4のいずれかに搬入させる。その後、制御ユニット3は、ダミーキャリヤからダミー基板を取り出してライフアップした処理ユニットに搬送する動作を計画して実行する(ステップS14)。これにより、ダミー基板は、インデクサロボットIRおよび主搬送ロボットCRによって、ライフアップした処理ユニットに搬入される。
When the dummy substrate is held in the processing unit whose life has been increased (step S12: YES), the control unit 3 omits the processing of steps S13 and S14 and keeps the dummy substrate in the processing unit as it is. Unit cleaning of the processing unit is planned and executed (step S15).
When the dummy substrate has not been introduced into the substrate processing apparatus 100 (step S13: NO), the control unit 3 determines whether or not a dummy substrate has been requested from the host apparatus 200 (step S16). For example, the processing of the control cycle is finished and the introduction of the dummy substrate is waited. If a dummy substrate has not been requested yet (step S16: NO), the control unit 3 requests a dummy substrate from the host device 200 (step S16). Receiving the dummy substrate request, the
ダミー基板が取り出された後、制御ユニット3は、ホスト装置200に対して、ダミーキャリヤの搬出を要求する。それに応じて、ホスト装置200は、キャリヤ搬送機構300を制御し、ダミーキャリヤをステージST1〜ST4から搬出させる。
こうして、ライフアップが生じたときに、ダミー基板の必要最小限の移動を計画して実行するので、効率的な基板処理を維持しながら、ダミー基板を用いたユニット洗浄処理を行うことができる。
After the dummy substrate is taken out, the control unit 3 requests the
In this way, when the life-up occurs, the minimum necessary movement of the dummy substrate is planned and executed, so that the unit cleaning process using the dummy substrate can be performed while maintaining efficient substrate processing.
以上のように、この実施形態によれば、ダミー基板Pの不使用時には、基板処理のために使用されていない処理ユニットU1〜U4内のスピンチャック15、インデクサロボットIRもしくは主搬送ロボットCRのハンド8A,8B,13A,13B、または受け渡しユニットPASSのハンド10にダミー基板Pを保持させて待機させることができる。それにより、製品基板Wを収納するキャリヤCを保持するステージST1〜ST4を占有することなく、基板処理装置100内でダミー基板Pを待機させ、そのダミー基板Pを必要に応じて処理ユニットU1〜U4の洗浄のために用いることができる。したがって、ステージST1〜ST4には、製品基板Wを収納するためのキャリヤCをステージST1〜ST4の数だけ保持できるので、基板処理装置100の生産性を損なうことなく、ダミー基板Pを用いたユニット洗浄を行える。
As described above, according to this embodiment, when the dummy substrate P is not used, the hand of the
また、基板処理装置100内に専用のダミー基板格納場所を設けるのではなく、製品基板Wの処理や搬送のために用いられるスピンチャック15またはハンド8A,8B,10,13A,13Bをダミー基板Pの待機のために兼用している。それにより、基板処理装置100の占有面積(フットプリント)を大きくすることなくダミー基板Pを基板処理装置100内に待機させることができる。また、基板処理装置100の占有面積を維持するために処理ユニットU1〜U40等の配置が大きく制限されることもない。しかも、製品基板Wの処理または搬送のために基板を保持する構成を兼用しているので、コストの増加や構成の複雑化を招くことがない。
Further, instead of providing a dedicated dummy substrate storage place in the
また、この実施形態では、制御ユニット3は、処理ユニットU1〜U4のいずれかに対してユニット洗浄動作を実行すべきか否かを判断し、ユニット洗浄動作を実行すべきであると判断した処理ユニットに対してダミー基板Pを搬入するように主搬送ロボットCR等を制御する。これにより、ユニット洗浄が必要となった処理ユニットU1〜U4に対してダミー基板Pが搬入され、そのダミー基板Pを当該処理ユニットのスピンチャック15に保持させて当該処理ユニットが洗浄される。したがって、必要に応じてダミー基板Pを移動させながら、複数の処理ユニットU1〜U4を必要に応じて洗浄できる。
In this embodiment, the control unit 3 determines whether or not the unit cleaning operation should be performed on any of the processing units U1 to U4, and determines that the unit cleaning operation should be performed. The main transfer robot CR and the like are controlled so as to carry in the dummy substrate P. As a result, the dummy substrate P is carried into the processing units U1 to U4 that require unit cleaning, and the processing substrate is cleaned by holding the dummy substrate P on the
また、この実施形態では、制御ユニット3は、ユニット洗浄動作を実行すべきであると判断した処理ユニットのスピンチャック15にダミー基板Pが保持されているときは、そのダミー基板Pをそのまま用いて当該処理ユニットのユニット洗浄が実行される。この場合、ダミー基板Pの搬送動作を伴うことなく、処理ユニットを洗浄できる。すなわち、ダミー基板Pの搬送動作を最小限にしながら、基板処理およびユニット洗浄を行うことができる。
In this embodiment, the control unit 3 uses the dummy substrate P as it is when the dummy substrate P is held by the
また、この実施形態では、制御ユニット3は、製品基板Wを搬入すべき処理ユニットU1〜U4のスピンチャック15にダミー基板Pが保持されているときは、そのダミー基板Pを搬出して他の処理ユニットのスピンチャック15(または、インデクサロボットIR、受け渡しユニットPASSおよび主搬送ロボットCRのうちのいずれかのハンド)に当該ダミー基板Pを保持させる。すなわち、製品基板Wの搬入先の処理ユニットにダミー基板Pが保持されていれば、そのダミー基板Pを搬出したうえで、当該処理ユニットに処理対象の製品基板Wが搬入される。したがって、ダミー基板Pを処理ユニットに保持している場合でも、当該処理ユニットを基板処理のために用いることができる。
Further, in this embodiment, when the dummy substrate P is held by the
また、この実施形態では、制御ユニット3は、ホスト装置200と通信し、当該基板処理装置100内にダミー基板Pが導入されていないときに、ホスト装置200に対してダミー基板Pの搬入を要求する。これに応答して、ホスト装置200は、キャリヤ搬送機構300を制御して、ダミー基板Pを収容したダミーキャリヤを基板処理装置100の空いているステージST1〜ST4に搬入させる。こうして、基板処理装置100内にダミー基板Pを導入できる。
In this embodiment, the control unit 3 communicates with the
基板処理装置100が備える全ての処理ユニットU1〜U4を使用する必要があるとき、たとえば、ホスト装置200から与えられるジョブ情報が処理ユニットU1〜U4の並行処理を指定しているときには、制御ユニット3は、ホスト装置200に対してダミーキャリヤ搬入要求を送信してもよい。この場合、ホスト装置200は、キャリヤ搬送機構300を制御して、ダミーキャリヤをステージST1〜ST4のいずれかに搬入させる。ダミーキャリヤが搬入された後、制御ユニット3は、インデクサロボットIR、受け渡しユニットPASSおよび主搬送ロボットCRを制御して、ダミー基板Pをダミーキャリヤに搬入させる。その後、制御ユニット3は、ホスト装置200に対してダミーキャリヤ搬出要求を送出する。それに応答して、ホスト装置200は、キャリヤ搬送機構300を制御して、ダミーキャリヤを搬出させる。
When it is necessary to use all the processing units U1 to U4 included in the
ダミーキャリヤは、必要なときにだけステージST1〜ST4に搬入され、不要になると搬出される。したがって、ダミーキャリヤがステージST1〜ST4を占有し続けることがないので、製品基板Wを収容した多数のキャリヤCをステージST1〜ST4に搬入でき、それによって、生産性が高まる。
以上、この発明の一実施形態について説明してきたが、この発明は、以下に例示的に列挙するとおり、さらに他の形態で実施することもできる。
The dummy carrier is carried into the stages ST1 to ST4 only when necessary, and is carried out when unnecessary. Accordingly, since the dummy carriers do not continue to occupy the stages ST1 to ST4, a large number of carriers C that accommodate the product substrate W can be carried into the stages ST1 to ST4, thereby increasing productivity.
As mentioned above, although one Embodiment of this invention has been described, this invention can also be implemented with another form as it enumerates exemplarily below.
(1)前述の実施形態では、制御ユニット3は、ダミー基板Pを用いたユニット洗浄の必要が生じたときにホスト装置200に対してダミー基板Pの搬入を要求している。しかし、制御ユニット3は、近い将来にダミー基板Pを用いたユニット洗浄の必要が生じると予測したときに、ホスト装置200に対して、ダミー基板Pの搬入を要求してもよい。
(2)基板処理装置100へのダミー基板Pの導入は、キャリヤ搬送機構300を用いることなく行われてもよい。たとえば、基板処理装置100の使用者が、ダミー基板Pを収容したダミーキャリヤを手作業によってステージST1〜ST4に搬入してもよい。製品基板Wを収容したキャリヤについても、キャリヤ搬送機構300によることなく、使用者が手作業でステージST1〜ST4に搬入してもよい。
(1) In the above-described embodiment, the control unit 3 requests the
(2) The introduction of the dummy substrate P into the
(3)前述の実施形態では、基板処理装置100の制御ユニット3がホスト装置200と通信する構成を示したが、ホスト装置200が必ずしも備えられている必要はなく、基板処理装置100がスタンドアローンで動作してもよい。
(4)前述の実施形態では、ダミー基板Pが1枚だけ用いられる例を示したが、2枚以上のダミー基板を基板処理装置100内に保持してもよい。たとえば、制御ユニット3は、多数の処理ユニットが使用される期間にはダミー基板の枚数を減らし、少数の処理ユニットが使用される期間にはダミー基板の枚数を増やす制御を実行してもよい。
(3) In the above-described embodiment, the configuration in which the control unit 3 of the
(4) In the above-described embodiment, an example in which only one dummy substrate P is used has been described. However, two or more dummy substrates may be held in the
(5)受け渡しユニットPASSを設けずに、インデクサロボットIRのハンド8A,8Bと主搬送ロボットCRのハンド13A,13Bとの間で、基板W,Pを直接受け渡すようにしてもよい。また、1台の搬送ロボットによって、キャリヤCと処理ユニットU1〜U4との間の搬送を行う構成としてもよい。
(6)基板処理装置100は、基板の姿勢を変更(たとえば表裏反転)する基板姿勢転換ユニットを備えていてもよい。このような基板姿勢変換ユニットも処理ユニットの一例である。また、基板処理装置100は、専ら基板を回転させる処理ユニット(たとえば基板乾燥ユニット)を備えていてもよい。
(5) The substrates W and P may be directly transferred between the
(6) The
(7)処理ユニットの数は4個である必要はなく、2個以上の任意の複数個の処理ユニットが備えられる場合に、この発明を適用できる。たとえば、図1のレイアウトにおいて、処理ユニットU1〜U4のそれぞれの上方および下方に1段以上の別の処理ユニットを階層的に配置してもよい。たとえば、処理ユニットを上下方向に2層に配置(2階建て配置)して8個の処理ユニットを備えてもよいし、処理ユニットを上下方向に3層に配置(3階建て配置)して12個の処理ユニットを備えてもよい。また、基板処理装置は、複数個(たとえば12個)の処理ユニット配置スペースを備え、そのうちの一部の複数個の処理ユニット配置スペースだけに処理ユニットが配置されてもよい。 (7) The number of processing units need not be four, and the present invention can be applied to the case where two or more arbitrary plural processing units are provided. For example, in the layout of FIG. 1, one or more other processing units may be arranged hierarchically above and below each of the processing units U1 to U4. For example, processing units may be arranged in two layers in the vertical direction (two-story arrangement) to provide eight processing units, or processing units may be arranged in three layers in the vertical direction (three-story arrangement). Twelve processing units may be provided. The substrate processing apparatus may include a plurality (for example, twelve) of processing unit arrangement spaces, and the processing units may be arranged only in some of the plurality of processing unit arrangement spaces.
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。 In addition, various design changes can be made within the scope of matters described in the claims.
U1〜U4 処理ユニット
W 基板
C キャリヤ
ST1〜ST4 ステージ
IR インデクサロボット
PASS 受け渡しユニット
CR 主搬送ロボット
1 インデクサセクション
2 処理セクション
3 制御ユニット
8A,8B ハンド
10 ハンド
13A,13B ハンド
15 スピンチャック
16 処理液ノズル
17 処理室
30 ライフアップ
100 基板処理装置
150 通信回線
200 ホスト装置
300 キャリヤ搬送機構
350 キャリヤ置き場
U1-U4 processing unit W substrate C carrier ST1-ST4 stage IR indexer robot PASS delivery unit CR main transfer robot 1
Claims (10)
基板を保持するハンドを有し、前記ハンドによって前記複数の処理ユニットに対して基板を搬入および搬出する搬送ユニットと、
前記複数の処理ユニットおよび前記搬送ユニットを制御する制御ユニットとを含み、
前記制御ユニットは、処理対象の基板を前記基板ホルダに保持させて前記処理ユニットに基板処理動作を実行させる基板処理制御と、ダミー基板を前記基板ホルダに保持させて前記処理ユニットにユニット洗浄動作を実行させるユニット洗浄制御と、ダミー基板の不使用時に前記基板ホルダまたは前記ハンドにダミー基板を保持させて待機させるダミー基板待機制御とを実行する、基板処理装置。 A plurality of processing units having a substrate holder for holding the substrate and processing the substrate held by the substrate holder;
A transport unit that has a hand for holding a substrate, and carries the substrate into and out of the plurality of processing units by the hand;
A control unit for controlling the plurality of processing units and the transport unit;
The control unit holds a substrate to be processed on the substrate holder and causes the processing unit to perform a substrate processing operation, and holds a dummy substrate on the substrate holder and performs a unit cleaning operation on the processing unit. A substrate processing apparatus for executing unit cleaning control to be executed and dummy substrate standby control for holding a dummy substrate in the substrate holder or the hand and waiting when the dummy substrate is not used.
前記複数の処理ユニットのいずれかに対してユニット洗浄動作を実行すべきか否かを判断し、
ユニット洗浄動作を実行すべきであると判断した処理ユニットに対してダミー基板を搬入するように前記搬送ユニットを制御する、請求項1に記載の基板処理装置。 The control unit is
Determining whether a unit cleaning operation should be performed on any of the plurality of processing units;
The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the transfer unit is controlled so as to carry a dummy substrate into a processing unit that is determined to perform a unit cleaning operation.
処理対象の基板を搬入すべき処理ユニットの基板ホルダにダミー基板が保持されているときは、そのダミー基板を搬出して他の処理ユニットの基板ホルダまたは前記搬送ユニットのハンドに当該ダミー基板を保持させるように前記搬送ユニットを制御する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板処理装置。 The control unit is
When a dummy substrate is held on the substrate holder of the processing unit to which the substrate to be processed is to be loaded, the dummy substrate is unloaded and held on the substrate holder of another processing unit or the hand of the transfer unit. The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the transfer unit is controlled so as to cause the transfer to occur.
前記複数の処理ユニットのうちのいずれかの基板ホルダにダミー基板を保持させて、当該処理ユニットのユニット洗浄を実行するユニット洗浄ステップと、
前記ダミー基板の不使用時に、前記複数の処理ユニットのいずれかの基板ホルダ、または前記複数の処理ユニットに対して基板を搬入および搬出する搬送ユニットのハンドに前記ダミー基板を待機させるダミー基板待機ステップと
を含む、基板処理方法。 A substrate processing step of holding a substrate to be processed in any one of a plurality of processing units and processing the substrate;
A unit cleaning step of holding a dummy substrate in any one of the plurality of processing units and performing unit cleaning of the processing unit;
When not using the dummy substrate, a dummy substrate waiting step of waiting the dummy substrate in one of the substrate holders of the plurality of processing units or a hand of a transfer unit that carries the substrate in and out of the plurality of processing units. And a substrate processing method.
ユニット洗浄を実行すべきであると判断した処理ユニットに対して、前記ダミー基板を搬入するステップと
をさらに含む、請求項6に記載の基板処理方法。 Determining whether to perform unit cleaning on any of the plurality of processing units;
The substrate processing method according to claim 6, further comprising a step of carrying the dummy substrate into a processing unit that is determined to be subjected to unit cleaning.
前記ダミー基板の搬入を要求されたホスト装置が、ダミー基板を収容したキャリヤをキャリヤ搬送機構によって前記基板処理装置に搬入させるステップと
をさらに含む、請求項6〜9のいずれか一項に記載の基板処理方法。 When a dummy substrate is not introduced into the substrate processing apparatus comprising the plurality of processing units and the transfer unit, the control unit of the substrate processing apparatus requests the host device to carry in the dummy substrate;
The host device that is requested to carry in the dummy substrate further includes a step of carrying a carrier containing the dummy substrate into the substrate processing apparatus by a carrier transport mechanism. Substrate processing method.
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