JP2017003803A - Optical scanner, image display device, and object device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical scanner for image display capable of suppressing the degradation of image quality.SOLUTION: The optical scanner is the optical scanner for image display and includes an optical scanning system including a light source and two-dimensional deflection means 6 (deflector) deflecting light from the light source and a microlens array irradiated with the light from the optical scanning system. In the lens arrangement of the microlens array, a lens pitch Py in a Y direction (second direction) orthogonal to an X direction (first direction) in an XY plane (lens arrangement surface of the microlens array) is changed in the X direction.SELECTED DRAWING: Figure 24

Description

本発明は、光走査装置、画像表示装置及び物体装置に係り、更に詳しくは、画像表示に用いられる光走査装置、該光走査装置を備える画像表示装置、該画像表示装置を備える物体装置に関する。   The present invention relates to an optical scanning device, an image display device, and an object device, and more particularly to an optical scanning device used for image display, an image display device including the optical scanning device, and an object device including the image display device.

近年、画像表示用の光走査装置の開発が盛んに行われている。   In recent years, development of optical scanning devices for image display has been actively conducted.

例えば、特許文献1〜4には、スクリーン部材(例えばマイクロレンズアレイ)を光走査する画像表示用の光走査装置が開示されている(例えば特許文献1〜4参照)。   For example, Patent Literatures 1 to 4 disclose optical scanning devices for image display that optically scan a screen member (for example, a microlens array) (see, for example, Patent Literatures 1 to 4).

しかしながら、特許文献1〜4に開示されている装置では、画質の低下を抑制することに関して向上の余地があった。   However, the devices disclosed in Patent Documents 1 to 4 have room for improvement with respect to suppressing deterioration in image quality.

本発明は、画像表示用の光走査装置であって、光源及び該光源からの光を偏向する偏向器を含む光走査系と、前記光走査系からの光が照射される、アレイ状に配列された複数の凸構造を有する光学素子と、を備え、前記光学素子の凸構造配列において、凸構造配列面内の第1の方向に直交する第2の方向の前記凸構造のピッチP2は前記第1の方向に変化していることを特徴とする光走査装置である。   The present invention relates to an optical scanning device for image display, and includes an optical scanning system including a light source and a deflector for deflecting light from the light source, and an array in which light from the optical scanning system is irradiated. An optical element having a plurality of convex structures, and in the convex structure arrangement of the optical elements, the pitch P2 of the convex structures in the second direction orthogonal to the first direction in the convex structure arrangement plane is The optical scanning device is characterized by changing in a first direction.

本発明によれば、画質の低下を抑制することができる。   According to the present invention, it is possible to suppress deterioration in image quality.

図1(a)〜図1(c)は、それぞれ本発明の第1実施形態の画像表示装置を説明するための図(その1〜その3)である。FIG. 1A to FIG. 1C are views (No. 1 to No. 3) for explaining the image display apparatus according to the first embodiment of the present invention. 図2(a)及び図2(b)は、それぞれ微細凸レンズによる拡散と干渉性ノイズ発生を説明するための図(その1及びその2)である。FIGS. 2A and 2B are diagrams (No. 1 and No. 2) for explaining the diffusion by the fine convex lens and the generation of coherent noise, respectively. 図3(a)〜図3(c)は、それぞれ干渉性ノイズの除去を説明するための図(その1〜その3)である。FIGS. 3A to 3C are diagrams (No. 1 to No. 3) for explaining the removal of coherent noise, respectively. 図4(a)〜図4(c)は、微細凸レンズの配列形態例を3例示す図である。FIG. 4A to FIG. 4C are diagrams showing three examples of arrangement forms of the micro-convex lenses. 図5(a)〜図5(e)は、微細凸レンズの配列形態の他の例を5例示す図である。Fig.5 (a)-FIG.5 (e) are figures which show 5 examples of the other example of the arrangement | sequence form of a micro convex lens. 図6(a)及び図6(b)は、アナモフィックな微細凸レンズを説明するための図である。FIG. 6A and FIG. 6B are diagrams for explaining an anamorphic microconvex lens. 図7(a)及び図7(b)は、被走査面素子の例を2例説明する図である。FIGS. 7A and 7B are diagrams illustrating two examples of scanned surface elements. 微細凸レンズの配列形態の他の例を1例示す図である。It is a figure which shows one example of the other example of the arrangement | sequence form of a micro convex lens. 画像表示装置のハードウェア構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the hardware constitutions of an image display apparatus. 画像表示装置の機能ブロック図である。It is a functional block diagram of an image display apparatus. 2次元偏向手段としての光偏向器について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the optical deflector as a two-dimensional deflection | deviation means. 図12(a)及び図12(b)は、それぞれHUDのマイクロレンズアレイ(MLA)を説明するための図(その1及びその2)である。FIGS. 12A and 12B are views (No. 1 and No. 2) for explaining the HUD microlens array (MLA), respectively. MLAのレンズピッチを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the lens pitch of MLA. 図14(a)及び図14(b)は、それぞれマイクロレンズのハニカム状配列について説明するための図(その1及びその2)である。FIGS. 14A and 14B are views (No. 1 and No. 2) for explaining the honeycomb-like arrangement of the microlenses, respectively. 比較例のマイクロレンズアレイを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the microlens array of a comparative example. 2次元走査時の走査線軌跡の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the scanning line locus | trajectory at the time of two-dimensional scanning. 2次元走査時の走査線軌跡の他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of the scanning line locus | trajectory at the time of two-dimensional scanning. Py=Psの場合における画像の左半分を示す図である。It is a figure which shows the left half of the image in the case of Py = Ps. Py=Psの場合における画像に発生するモアレを示す図である。It is a figure which shows the moire which generate | occur | produces in the image in the case of Py = Ps. Py>Psの場合における画像の左半分を示す図である。It is a figure which shows the left half of the image in the case of Py> Ps. Py>Psの場合における画像の粒状度の悪化を示す図である。It is a figure which shows deterioration of the granularity of the image in the case of Py> Ps. Py>Psの場合における画像の左半分を示す図である。It is a figure which shows the left half of the image in the case of Py> Ps. Py<Psの場合における画像に発生するスペックルを示す図である。It is a figure which shows the speckle which generate | occur | produces in the image in the case of Py <Ps. 第2実施形態のマイクロレンズアレイの一例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating an example of the micro lens array of 2nd Embodiment. 第2実施形態における走査線周期(scan)とレンズピッチPy(Case.1〜4)のX方向の変化を示すグラフである。It is a graph which shows the change of the X direction of the scanning line period (scan) and lens pitch Py (Case.1-4) in 2nd Embodiment. 図26(a)及び図26(b)は、それぞれ図16の走査線の断面プロファイルを説明するための図(その1及びその2)である。FIGS. 26A and 26B are views (No. 1 and No. 2) for explaining the cross-sectional profiles of the scanning lines in FIG. 16, respectively. 第2実施形態の変形例1のマイクロレンズアレイを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the microlens array of the modification 1 of 2nd Embodiment. 第2実施形態の変形例2のマイクロレンズアレイを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the microlens array of the modification 2 of 2nd Embodiment. 第2実施形態の変形例3のマイクロレンズアレイを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the microlens array of the modification 3 of 2nd Embodiment. マイクロミラーアレイを説明するための図である。It is a figure for demonstrating a micromirror array.

《第1実施形態》
以下、第1実施形態を説明する。
<< First Embodiment >>
Hereinafter, the first embodiment will be described.

図1は、第1実施形態の画像表示装置を説明するための図である。
図1に即して説明する画像表示装置1000は、2次元のカラー画像を表示するヘッドアップディスプレイ装置であり、図1(a)に装置の全体を説明図的に示す。
FIG. 1 is a diagram for explaining the image display apparatus according to the first embodiment.
An image display apparatus 1000 described with reference to FIG. 1 is a head-up display apparatus that displays a two-dimensional color image, and FIG. 1A schematically illustrates the entire apparatus.

画像表示装置1000は、一例として、車両、航空機、船舶等の移動体に搭載され、該移動体に設けられた透過反射部材(例えばフロントガラス)を介して該移動体の操縦に必要なナビゲーション情報(例えば速度、走行距離等の情報)を視認可能にする。以下では、移動体に設定されたXYZ3次元直交座標系(移動体と共に移動する座標系)を適宜用いて説明する。なお、「透過反射部材」とは、入射された光の一部を透過させ、残部の少なくとも一部を反射させる部材を意味する。   As an example, the image display apparatus 1000 is mounted on a moving body such as a vehicle, an aircraft, and a ship, and navigation information necessary for maneuvering the moving body via a transmission / reflection member (for example, a windshield) provided on the moving body. (For example, information such as speed and travel distance) is made visible. In the following description, an XYZ three-dimensional orthogonal coordinate system (coordinate system that moves with the moving body) set for the moving body is used as appropriate. The “transmission / reflection member” means a member that transmits a part of incident light and reflects at least a part of the remaining part.

図1(a)において、符号100で示す部分は「光源部」であり、この光源部100からカラー画像表示用の画素表示用ビームLCが+Z方向に射出される。   In FIG. 1A, a portion denoted by reference numeral 100 is a “light source unit”, and a pixel display beam LC for color image display is emitted from the light source unit 100 in the + Z direction.

画素表示用ビームLCは、赤(以下「R」と表示する。)、緑(以下「G」と表示する。)、青(以下「B」と表示する。)の3色のビームを1本に合成したビームである。   The pixel display beam LC includes one beam of three colors of red (hereinafter referred to as “R”), green (hereinafter referred to as “G”), and blue (hereinafter referred to as “B”). This is a combined beam.

即ち、光源部100は、例えば、図1(b)の如き構成となっている。   That is, the light source unit 100 has a configuration as shown in FIG.

図1(b)において、符号RS、GS、BSで示す光源としての半導体レーザは、それぞれR、G、Bのレーザ光を放射する。ここでは、各半導体レーザとして、端面発光レーザとも呼ばれるレーザダイオード(LD)が用いられている。なお、半導体レーザとして、端面発光レーザに代えて、面発光レーザ(VCSEL)を用いても良い。   In FIG. 1B, semiconductor lasers as light sources denoted by reference signs RS, GS, and BS emit R, G, and B laser beams, respectively. Here, a laser diode (LD) also called an edge emitting laser is used as each semiconductor laser. Note that a surface emitting laser (VCSEL) may be used as the semiconductor laser instead of the edge emitting laser.

符号RCP、GCP、BCPで示すカップリングレンズは、半導体レーザRS、GS、BSから射出される各レーザ光の発散性を抑制する。   Coupling lenses indicated by reference characters RCP, GCP, and BCP suppress the divergence of each laser beam emitted from the semiconductor lasers RS, GS, and BS.

カップリングレンズRCP、GCP、BCPにより発散性を抑制された各色レーザ光束は、アパーチュアRAP、GAP、BAPにより整形される(光束径を規制される)。   Each color laser beam whose divergence is suppressed by the coupling lenses RCP, GCP, and BCP is shaped by the aperture RAP, GAP, and BAP (the beam diameter is regulated).

整形された各色レーザ光束はビーム合成プリズム101に入射する。
ビーム合成プリズム101は、R色光を透過させG色光を反射するダイクロイック膜D1と、R・G色光を透過させB色光を反射するダイクロイック膜D2を有する。
The shaped laser beam of each color enters the beam combining prism 101.
The beam combining prism 101 includes a dichroic film D1 that transmits R color light and reflects G light, and a dichroic film D2 that transmits R and G color light and reflects B color light.

従って、ビーム合成プリズム101からは、R、G、Bの各色レーザ光束が1本の光束に合成されて射出される。   Therefore, the R, G, and B color laser beams are combined into one beam and emitted from the beam combining prism 101.

射出される光束は、レンズ102により所定の光束径の「平行ビーム」に変換される。
この「平行ビーム」が、画素表示用ビームLCである。
The emitted light beam is converted by the lens 102 into a “parallel beam” having a predetermined light beam diameter.
This “parallel beam” is the pixel display beam LC.

画素表示用ビームLCを構成するR、G、Bの各色レーザ光束は、表示するべき「2次元のカラー画像」の画像信号により(画像情報(画像データ)に応じて)強度変調されている。強度変調は、半導体レーザを直接変調する直接変調方式であっても良いし、半導体レーザから射出されたレーザ光束を変調する外部変調方式であっても良い。   The R, G, and B color laser beams constituting the pixel display beam LC are intensity-modulated (in accordance with image information (image data)) by an image signal of a “two-dimensional color image” to be displayed. The intensity modulation may be a direct modulation system that directly modulates the semiconductor laser, or an external modulation system that modulates a laser beam emitted from the semiconductor laser.

即ち、半導体レーザRS、GS、BSは、図示されない駆動手段により、R、G、Bの各色成分の画像信号により発光強度を変調される。   That is, the emission intensity of the semiconductor lasers RS, GS, and BS is modulated by image signals of R, G, and B color components by a driving unit (not shown).

光源部100から射出された画素表示用ビームLCは、画像形成素子としての2次元偏向手段6に入射し、2次元的に偏向される。
2次元偏向手段6は、本実施形態では、微小なミラーを「互いに直交する2軸」を揺動軸として揺動するように構成されたものである。
The pixel display beam LC emitted from the light source unit 100 is incident on the two-dimensional deflection unit 6 serving as an image forming element and is two-dimensionally deflected.
In the present embodiment, the two-dimensional deflecting means 6 is configured to swing a minute mirror with “two axes orthogonal to each other” as a swing axis.

即ち、2次元偏向手段6は具体的には、半導体プロセス等で微小揺動ミラー素子として作製されたMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)である。   That is, the two-dimensional deflection means 6 is specifically a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) manufactured as a micro oscillating mirror element by a semiconductor process or the like.

2次元偏向手段は、この例に限らず、他の構成のもの、例えば、1軸の回りに揺動する微小ミラーを2個、揺動方向が互いに直交するように組み合わせたもの等でもよい。また、2次元偏向手段として、2つのMEMSミラーの組み合わせや、2つのガルバノミラーの組み合わせや、2つのポリゴンミラーの組み合わせや、MEMSミラー、ガルバノミラー、ポリゴンミラーのいずれか2つの組み合わせを採用しても良い。   The two-dimensional deflecting means is not limited to this example, but may be of another configuration, for example, a combination of two micro mirrors that swing around one axis so that the swing directions are orthogonal to each other. Also, as a two-dimensional deflection means, a combination of two MEMS mirrors, a combination of two galvanometer mirrors, a combination of two polygon mirrors, or a combination of any two of a MEMS mirror, a galvanometer mirror, and a polygon mirror is adopted. Also good.

上記の如く2次元的に偏向された画素表示用ビームLCは、凹面鏡7に入射し、被走査面素子8に向けて反射される。   The pixel display beam LC deflected two-dimensionally as described above enters the concave mirror 7 and is reflected toward the scanned surface element 8.

凹面鏡7の光学作用は、2次元的に偏向された画素表示用ビームLCによって反射面素子10上に形成される画像の歪みをとることである。
即ち、凹面鏡7により反射された画素表示用ビームLCは、2次元偏向手段6による偏向に伴い平行移動しつつ被走査面素子8に入射し、該被走査面素子8を2次元的に走査する。
The optical action of the concave mirror 7 is to take distortion of the image formed on the reflective surface element 10 by the pixel display beam LC deflected two-dimensionally.
That is, the pixel display beam LC reflected by the concave mirror 7 is incident on the scanned surface element 8 while moving in parallel with the deflection by the two-dimensional deflecting means 6, and scans the scanned surface element 8 two-dimensionally. .

この2次元的な走査により、被走査面素子8に「カラーの2次元画像」が形成される。   By this two-dimensional scanning, a “color two-dimensional image” is formed on the scanned surface element 8.

そこで、光源部100、2次元偏向手段6、凹面鏡7、被走査面素子8を含んで光走査装置が構成されている。   Therefore, an optical scanning device is configured including the light source unit 100, the two-dimensional deflecting means 6, the concave mirror 7, and the scanned surface element 8.

勿論、被走査面素子8に各瞬間に表示されるのは「画素表示用ビームLCが、その瞬間に照射している画素のみ」である。   Of course, what is displayed on the scanned surface element 8 at each moment is “only the pixel irradiated with the pixel display beam LC at that moment”.

カラーの2次元画像は、画素表示用ビームLCによる2次元的な走査により「各瞬間に表示される画素の集合」として形成される。
被走査面素子8に、上記の如く「カラーの2次元画像」が形成され、上記画像情報の画素単位の光(各画素に対応する光)である画素光が、凹面鏡9に入射して反射される。
A color two-dimensional image is formed as a “collection of pixels displayed at each moment” by two-dimensional scanning with a pixel display beam LC.
A “color two-dimensional image” is formed on the scanned surface element 8 as described above, and pixel light, which is light in pixel units (light corresponding to each pixel) of the image information, is incident on the concave mirror 9 and reflected. Is done.

図1には示されていないが、被走査面素子8は後述する「微細凸レンズ構造」を有している。凹面鏡9は「虚像結像光学系」を構成する。   Although not shown in FIG. 1, the scanned surface element 8 has a “fine convex lens structure” to be described later. The concave mirror 9 constitutes a “virtual image imaging optical system”.

「虚像結像光学系」は、前記「カラーの2次元画像」の拡大虚像12を結像させる。
拡大虚像12の結像位置の手前側には、反射面素子10が設けられ、拡大虚像12を結像する光束を、観察者11(図1(a)には観察者の目を示す。)の側へ反射する。この場合、凹面鏡9は、被走査面素子8からの画素光を反射面素子10に向けて投射する投射光学系を構成する。なお、観察者11(例えば移動体を操縦する操縦者)は、反射面素子10(透過反射部材)で反射されたレーザ光の光路上の所定の観察位置(視点)から虚像を視認する。
The “virtual image imaging optical system” forms an enlarged virtual image 12 of the “color two-dimensional image”.
A reflective surface element 10 is provided on the near side of the imaging position of the magnified virtual image 12, and the light beam that forms the magnified virtual image 12 is shown as an observer 11 (FIG. 1 (a) shows the eyes of the observer). Reflects to the side. In this case, the concave mirror 9 constitutes a projection optical system that projects the pixel light from the scanned surface element 8 toward the reflecting surface element 10. Note that an observer 11 (for example, an operator who controls a moving body) visually recognizes a virtual image from a predetermined observation position (viewpoint) on the optical path of the laser light reflected by the reflecting surface element 10 (transmission / reflection member).

この反射光により、観察者11は拡大虚像12を視認できる。   The observer 11 can visually recognize the magnified virtual image 12 by the reflected light.

図1(a)に示す如く、図の上下方向を「Y方向」、図面に直交する方向を「X方向」とする。   As shown in FIG. 1 (a), the vertical direction in the figure is the “Y direction”, and the direction orthogonal to the drawing is the “X direction”.

図1(a)に示す場合には、Y方向は通常、観察者11にとって上下方向であり、この方向を「縦方向」と呼ぶ。   In the case shown in FIG. 1A, the Y direction is usually the vertical direction for the observer 11, and this direction is referred to as the “vertical direction”.

また、X方向は通常、観察者にとって左右方向であり、この方向を「横方向」と呼ぶ。   In addition, the X direction is usually the left-right direction for the observer, and this direction is referred to as the “lateral direction”.

被走査面素子8は、上述の如く、微細凸レンズ構造を有している。
後述するように、微細凸レンズ構造は「複数の微細凸レンズが、画素ピッチに近いピッチで密接して配列された」ものである。なお、以下では、微細凸レンズ構造について説明するが、「複数の微細凹レンズが、画素ピッチに近いピッチで密接して配列された」微細凹レンズ構造でも同様な作用、効果がある。
As described above, the scanned surface element 8 has a fine convex lens structure.
As will be described later, the micro-convex lens structure is “a plurality of micro-convex lenses are closely arranged at a pitch close to the pixel pitch”. In the following description, the micro-convex lens structure will be described. However, a micro-concave lens structure in which “a plurality of micro-concave lenses are closely arranged at a pitch close to the pixel pitch” has the same operations and effects.

ここでは、複数の微細凸レンズは、凸面が入射面となるようにZ方向に直交する平面(XY平面)に沿って所定ピッチで2次元配列されている。その具体的な配列形態としては、X方向を行方向、Y方向を列方向とするマトリクス状の配列や、ハニカム状配列が挙げられる。   Here, the plurality of fine convex lenses are two-dimensionally arranged at a predetermined pitch along a plane (XY plane) orthogonal to the Z direction so that the convex surface becomes the incident surface. Specific arrangement forms include a matrix arrangement in which the X direction is the row direction and the Y direction is the column direction, and a honeycomb arrangement.

各微細凸レンズの平面形状(Z軸方向から見た形状)は、例えば円形、正N角形(Nは3以上の自然数)等である。ここでは、微細凸レンズの各々は、互いに曲率(曲率半径)が等しい。   The planar shape (the shape seen from the Z-axis direction) of each fine convex lens is, for example, a circle, a regular N-gon (N is a natural number of 3 or more), and the like. Here, each of the fine convex lenses has the same curvature (curvature radius).

そして、個々の微細凸レンズは、画素表示用ビームLCを等方的に拡散させる機能を持つ。すなわち、各微細凸レンズは、全方位に均等な拡散パワーを持つ。以下に、この「拡散機能」を簡単に説明する。   Each fine convex lens has a function of isotropically diffusing the pixel display beam LC. That is, each fine convex lens has an even diffusion power in all directions. The “diffusion function” will be briefly described below.

図1(c)において、符号L1〜L4は、被走査面素子8に入射する4本の画素表示用ビームを示している。   In FIG. 1C, reference symbols L <b> 1 to L <b> 4 indicate four pixel display beams incident on the scanned surface element 8.

これ等の4本の画素表示用ビームL1〜L4は、被走査面素子8に形成される2次元画像の4隅に入射する画素表示用ビームであるものとする。   These four pixel display beams L <b> 1 to L <b> 4 are pixel display beams incident on the four corners of the two-dimensional image formed on the scanned surface element 8.

これら4本の画素表示用ビームL1〜L4は、被走査面素子8を透過すると、ビームL11〜L14のように変換される。   These four pixel display beams L1 to L4 are converted into beams L11 to L14 after passing through the scanned surface element 8.

仮に、画素表示用ビームL1〜L4で囲まれる断面が横長の4辺形の光束を、被走査面素子8に入射させると、この光束は「ビームL11〜L14で囲まれる断面が横長の4辺形の発散性の光束」となる。   If a quadrangular light beam having a horizontally long cross section surrounded by the pixel display beams L1 to L4 is incident on the scanned surface element 8, this light beam is expressed as “the four cross sections surrounded by the beams L11 to L14 are horizontally long. A divergent luminous flux of shape.

微細凸レンズのこの機能が「拡散機能」である。   This function of the micro-convex lens is a “diffusion function”.

「ビームL11〜L14で囲まれる発散性の光束」は、このように発散性光束に変換された画素表示用ビームを時間的に集合した結果である。   The “divergent light beam surrounded by the beams L11 to L14” is a result of temporally collecting the pixel display beams thus converted into the divergent light beam.

画素表示用ビームを拡散させるのは「反射面素子10により反射された光束が、観察者11の目の近傍の広い領域を照射する」ようにするためである。   The pixel display beam is diffused so that “the light beam reflected by the reflecting surface element 10 irradiates a wide area near the eyes of the observer 11”.

上記拡散機能が無い場合には、反射面素子10により反射された光束が「観察者11の目の近傍の狭い領域」のみを照射する。   When there is no diffusion function, the light beam reflected by the reflecting surface element 10 irradiates only “a narrow area near the eyes of the observer 11”.

このため、観察者11が頭部を動かして、目の位置が上記「狭い領域」から逸れると、観察者11は拡大虚像12を視認できなくなる。   For this reason, when the observer 11 moves his / her head and the position of the eyes deviates from the “narrow area”, the observer 11 cannot visually recognize the magnified virtual image 12.

上記のように、画素表示用ビームLCを拡散させることにより、反射面素子10による反射光束は「観察者11の目の近傍の広い領域」を照射する。   As described above, the light beam reflected by the reflective surface element 10 irradiates a “wide area near the eyes of the observer 11” by diffusing the pixel display beam LC.

従って、観察者が「頭を少々動かし」ても、拡大虚像12を確実に視認できる。   Therefore, even if the observer “moves his head a little”, the magnified virtual image 12 can be reliably recognized.

上記の如く、本実施形態において、被走査面素子8に入射する画素表示用ビームLCは平行ビームであるが、被走査面素子8を透過した後は発散性のビームとなる。   As described above, in the present embodiment, the pixel display beam LC incident on the scanned surface element 8 is a parallel beam, but after passing through the scanned surface element 8, it becomes a divergent beam.

この発明における被走査面素子8は、画素表示用ビームLCを拡散させる複数の微細凸レンズが、画素ピッチに近いピッチで密接して配列された「微細凸レンズ構造」を有する。   The to-be-scanned surface element 8 in the present invention has a “fine convex lens structure” in which a plurality of fine convex lenses that diffuse the pixel display beam LC are closely arranged at a pitch close to the pixel pitch.

微細凸レンズは「画素表示用ビームLCのビーム径」より大きい。   The fine convex lens is larger than “the beam diameter of the pixel display beam LC”.

微細凸レンズを「画素表示用ビームLCのビーム径」より大きくするのは、干渉性ノイズ低減のためであり、以下これを、図2及び図3を参照して説明する。   The reason why the fine convex lens is made larger than “the beam diameter of the pixel display beam LC” is to reduce the coherent noise, and this will be described below with reference to FIGS.

図2(a)において、符号802は被走査面素子を示す。
被走査面素子802は、微細凸レンズ801を配列した微細凸レンズ構造を有する。
In FIG. 2A, reference numeral 802 denotes a scanned surface element.
The scanned surface element 802 has a fine convex lens structure in which fine convex lenses 801 are arranged.

符号803で示す「画素表示用ビーム」の光束径807は、微細凸レンズ801の大きさよりも小さい。   The beam diameter 807 of the “pixel display beam” indicated by reference numeral 803 is smaller than the size of the fine convex lens 801.

即ち、微細凸レンズ801の大きさ806は、光束径807よりも大きい。
なお、本実施形態では、画素表示用ビーム803はレーザ光束であり、光束中心のまわりにガウス分布状の光強度分布をなす。
従って、光束径807は、光強度分布における光強度が「1/e」に低下する光束半径方向距離である。
図2(a)では、光束径807は微細凸レンズ801の大きさ806に等しく描かれているが、光束径807が「微細凸レンズ801の大きさ806」に等しい必要は無い。
微細凸レンズ801の大きさ806をはみ出さなければよい。
That is, the size 806 of the fine convex lens 801 is larger than the beam diameter 807.
In this embodiment, the pixel display beam 803 is a laser beam, and forms a Gaussian light intensity distribution around the center of the beam.
Therefore, the light beam diameter 807 is a distance in the radial direction of the light beam at which the light intensity in the light intensity distribution decreases to “1 / e 2 ”.
In FIG. 2A, the light beam diameter 807 is drawn equal to the size 806 of the fine convex lens 801, but the light beam diameter 807 does not have to be equal to “the size 806 of the fine convex lens 801”.
It is sufficient that the size 806 of the fine convex lens 801 does not protrude.

図2(a)において、画素表示用ビーム803は、その全体が1個の微細凸レンズ801に入射し、発散角805をもつ拡散光束804に変換される。   In FIG. 2A, the entire pixel display beam 803 is incident on one fine convex lens 801 and converted into a diffused light beam 804 having a divergence angle 805.

なお、「発散角」は、以下において「拡散角」と呼ぶこともある。   The “divergence angle” may be referred to as “diffusion angle” below.

図2(a)の状態では、拡散光束804は1つで、干渉する光束が無いので、干渉性ノイズ(スペックルノイズ)は発生しない。   In the state of FIG. 2A, there is only one diffused light beam 804 and no interfering light beam, so no coherent noise (speckle noise) is generated.

なお、発散角805の大きさは、微細凸レンズ801の形状により適宜設定できる。   The size of the divergence angle 805 can be set as appropriate depending on the shape of the fine convex lens 801.

図2(b)では、画素表示用ビーム811は、光束径が微細凸レンズの配列ピッチ812の2倍となっており、2個の微細凸レンズ813、814に跨って入射している。   In FIG. 2B, the pixel display beam 811 has a light beam diameter that is twice the arrangement pitch 812 of the fine convex lenses and is incident across the two fine convex lenses 813 and 814.

この場合、画素表示用ビーム811は、入射する2つの微細凸レンズ813、814により2つの発散光束815、816のように拡散される。   In this case, the pixel display beam 811 is diffused as two divergent light beams 815 and 816 by the two incident micro convex lenses 813 and 814.

2つの発散光束815、816は、領域817において重なり合い、この部分で互いに干渉して干渉性ノイズを発生する。   The two divergent light beams 815 and 816 overlap in a region 817 and interfere with each other in this portion to generate coherent noise.

図3(a)は、画素表示用ビーム824が、被走査面素子821の、2つの微細凸レンズ822、823に跨って入射している状態を示す。   FIG. 3A shows a state in which the pixel display beam 824 is incident across the two fine convex lenses 822 and 823 of the scanned surface element 821.

画素表示用ビーム824の光束径は、微細凸レンズ822等の大きさに等しい。
この場合、微細凸レンズ822に入射したビーム部分は発散光束826となり、微細凸レンズ823に入射したビーム部分は発散光束827となって拡散される。
The beam diameter of the pixel display beam 824 is equal to the size of the fine convex lens 822 and the like.
In this case, the beam portion incident on the fine convex lens 822 becomes a divergent light beam 826, and the beam portion incident on the fine convex lens 823 is diffused as a divergent light beam 827.

発散光束826と827とは、互いに遠ざかる方向へ拡散されるので、これらが相互に重なり合うことはなく、従って、この状態で干渉性ノイズは発生しない。   Since divergent light beams 826 and 827 are diffused away from each other, they do not overlap each other, and therefore no coherent noise is generated in this state.

即ち、微細凸レンズにより拡散された光束による干渉性ノイズは、画素表示用ビーム824のビーム径を、微細凸レンズ822の大きさ以下に設定すれば発生しない。   That is, coherent noise due to the light beam diffused by the fine convex lens is not generated if the beam diameter of the pixel display beam 824 is set to be equal to or smaller than the size of the fine convex lens 822.

微細凸レンズの径と、被走査面素子に入射する画素表示用ビームのビーム径の具体的な数値例を例示する。   Specific numerical examples of the diameter of the fine convex lens and the beam diameter of the pixel display beam incident on the scanned surface element will be exemplified.

画素表示用ビームのビーム径を、例えば150μm程度に設定することは容易である。   It is easy to set the beam diameter of the pixel display beam to, for example, about 150 μm.

この場合には、微細凸レンズ構造を構成する微細凸レンズの大きさは、上記150μm以上の大きさ、例えば、160μm、200μm等に設定すれば良い。   In this case, the size of the fine convex lens constituting the fine convex lens structure may be set to the size of 150 μm or more, for example, 160 μm or 200 μm.

図3(a)に示す被走査面素子821では、微細凸レンズ822、823・・は隙間なく配列されている。   In the scanned surface element 821 shown in FIG. 3A, the fine convex lenses 822, 823,... Are arranged without a gap.

従って、隣接する微細凸レンズ面の「境界部の幅(以下「境界幅」とも言う。)は0」である。
このため、微細凸レンズ822、823に、図3(a)の如く入射する画素表示用ビーム824から発生する発散光束は、発散光束826、827のみである。
Therefore, the “boundary width (hereinafter also referred to as“ boundary width ”)” of the adjacent fine convex lens surfaces is 0.
Therefore, the divergent light beams generated from the pixel display beam 824 that enters the fine convex lenses 822 and 823 as shown in FIG. 3A are only the divergent light beams 826 and 827.

しかしながら、実際に形成される微細凸レンズ構造では「隣接する微細凸レンズの境界幅が0となる」ことは無い。   However, in the actually formed fine convex lens structure, “the boundary width between adjacent fine convex lenses is not zero”.

即ち、図3(b)に示す被走査面素子831のように、実際に形成される微細凸レンズ構造では、微細凸レンズ833、834の境界部835は「幅:0」とはならない。   That is, in the actually formed fine convex lens structure as in the scanned surface element 831 shown in FIG. 3B, the boundary portion 835 of the fine convex lenses 833 and 834 is not “width: 0”.

微細凸レンズ833、834の境界部835は、微視的には「曲面が滑らかに連続」しており、境界部835には曲面が形成される。   Microscopically, the boundary portion 835 of the micro convex lenses 833 and 834 is “a curved surface is smoothly continuous” microscopically, and a curved surface is formed at the boundary portion 835.

このように境界部835に形成された曲面は、この部分に画素表示用ビームが入射すると、入射光部分に対して「微小なレンズ面」として作用する。   The curved surface formed in the boundary portion 835 in this way acts as a “micro lens surface” with respect to the incident light portion when the pixel display beam is incident on this portion.

従って、微細凸レンズ833、834に跨って入射する画素表示用ビーム832は、発散光束836、837とともに発散光束838も発生させる。   Accordingly, the pixel display beam 832 incident across the fine convex lenses 833 and 834 generates a divergent light beam 838 together with the divergent light beams 836 and 837.

発散光束838は境界部835の曲面のレンズ作用により発生し、発散光束836、837と、領域839、840において重なり合って干渉し、干渉性ノイズを発生させる。   The divergent light beam 838 is generated by the lens action of the curved surface of the boundary portion 835 and overlaps and interferes with the divergent light beams 836 and 837 in the regions 839 and 840 to generate coherent noise.

図3(c)は、微細凸レンズ構造における「干渉性ノイズの軽減ないし防止」を説明するための図である。   FIG. 3C is a diagram for explaining “reduction or prevention of coherent noise” in the fine convex lens structure.

微細凸レンズ構造において、微細凸レンズ841、842のレンズ面が緩やかに繋がった境界部843の曲面形状は、それ自体が「微小なレンズ面」をなしている。   In the micro-convex lens structure, the curved surface shape of the boundary portion 843 where the lens surfaces of the micro-convex lenses 841 and 842 are gently connected itself forms a “micro lens surface”.

境界部843の曲面形状の曲率半径を図の如く「r」とする。   The curvature radius of the curved surface shape of the boundary portion 843 is “r” as shown in the figure.

ここで、説明の簡単のため、微細凸レンズ構造に入射する画素表示用ビームを「波長:λの単色レーザ光束」とする。   Here, for simplicity of explanation, the pixel display beam incident on the fine convex lens structure is referred to as a “monochromatic laser beam having a wavelength of λ”.

境界部843の曲率半径:rが、画素表示用ビームの波長:λよりも大きい場合(r>λ)、曲率半径:rの曲面は、入射する画素表示用ビームに対してレンズ作用を及ぼす。   When the curvature radius r of the boundary portion 843 is larger than the wavelength λ of the pixel display beam (r> λ), the curved surface having the curvature radius r has a lens effect on the incident pixel display beam.

従ってこの場合、境界部843を通過するビーム成分は発散され、微細凸レンズ841、842により拡散された光束と重なり合って干渉し、干渉性ノイズを発生する。   Therefore, in this case, the beam component passing through the boundary portion 843 is diverged and overlaps and interferes with the light beam diffused by the fine convex lenses 841 and 842 to generate coherent noise.

一方、境界部843の曲率半径:rが、画素表示用ビームの波長:λより小さくなると、境界部843は画素表示用ビームに対して「サブ波長構造」となる。
周知の如く、サブ波長構造は「サブ波長構造よりも大きい波長の光」に対してはレンズ作用を生じない。
従って、波長:λより小さい曲率半径:rをもった境界部843は「レンズ」として作用せず、画素表示用ビームを直進的に透過させ、発散させることがない。
On the other hand, when the radius of curvature r of the boundary portion 843 is smaller than the wavelength λ of the pixel display beam, the boundary portion 843 has a “sub-wavelength structure” with respect to the pixel display beam.
As is well known, the sub-wavelength structure does not cause a lens action for “light having a wavelength larger than that of the sub-wavelength structure”.
Therefore, the boundary portion 843 having a radius of curvature “r” smaller than the wavelength “λ” does not act as a “lens”, and does not allow the pixel display beam to pass straight through and diverge.

このため、境界部843を直進的に透過したビーム部分と、微細凸レンズ841、842により拡散された発散光束とは重なり合わず、干渉による干渉性ノイズは発生しない。   For this reason, the beam portion transmitted straight through the boundary portion 843 and the divergent light beam diffused by the fine convex lenses 841 and 842 do not overlap with each other, and no coherent noise is generated due to interference.

即ち、画素表示用ビームのビーム径:d、波長:λ、微細凸レンズの大きさ:D、境界部をなす面の曲率半径:rの大小関係は、以下のように定めるのが良い。
D>d、λ>r 。
That is, the size relationship between the beam diameter of the pixel display beam: d, the wavelength: λ, the size of the fine convex lens: D, and the radius of curvature of the surface forming the boundary portion: r is preferably determined as follows.
D> d, λ> r.

表示すべき2次元の拡大虚像がモノクロ画像である場合には、波長:λの単色のコヒーレント光により画素表示用ビームを形成する。
従って、この場合には、上記D、d、r、λが上記大小関係を満足するように設定することにより、干渉性ノイズを抑制できる。
When the two-dimensional enlarged virtual image to be displayed is a monochrome image, a pixel display beam is formed by monochromatic coherent light having a wavelength: λ.
Therefore, in this case, coherent noise can be suppressed by setting D, d, r, and λ so as to satisfy the magnitude relationship.

本実施形態のように、2次元のカラー画像(拡大虚像)を表示する場合、画素表示用ビームLCは、R、G、Bの3色のビームの合成されたものである。   When displaying a two-dimensional color image (enlarged virtual image) as in the present embodiment, the pixel display beam LC is a combination of R, G, and B beams.

これ等の3ビームの波長をλR(=640nm)、λG(=510nm)、λB(=445nm)とすると、これらの大小関係は「λR>λG>λB」である。   Assuming that the wavelengths of these three beams are λR (= 640 nm), λG (= 510 nm), and λB (= 445 nm), the magnitude relationship between them is “λR> λG> λB”.

従って、干渉性ノイズ防止の観点からすれば、上記境界部をなす面の曲率半径:rを、最短波長:λBよりも小さく、例えば、400nmとすればよい。   Therefore, from the viewpoint of preventing coherent noise, the radius of curvature r of the surface forming the boundary may be smaller than the shortest wavelength λB, for example, 400 nm.

しかし、最長波長:λRよりも小さい曲率半径:r(例えば600nm)を設定すれば、画像表示ビームのR成分による干渉性ノイズを防止できる。   However, if a radius of curvature: r (for example, 600 nm) smaller than the longest wavelength: λR is set, coherent noise due to the R component of the image display beam can be prevented.

即ち、干渉性ノイズを有効に軽減させることができる。   That is, coherent noise can be effectively reduced.

「r(例えば500nm)<λG」とすれば、画像表示ビームのR成分およびG成分の光による干渉性ノイズを防止できる。
画素表示用ビームLCが「R、G、Bの3色のビームの合成されたもの」である場合、干渉性ノイズは、これら3色の成分について独立に発生する。
そして、これら独立した3色R、G、Bのビームの干渉性ノイズの「総体」が、視認される干渉性ノイズとなる。
従って、3色の干渉性ノイズのうち、1色でも干渉性ノイズが無くなれば、視認される干渉性ノイズは大幅に改善され、観察画像の画質向上に寄与する。
従って、干渉性ノイズの防止効果は、3色のうちで「最も長波長のR成分」のみでも効果があり、次いでG成分、B成分という順で「低減効果」が向上する。
したがって、最長波長:λRよりも小さい曲率半径:r(例えば600nm)を設定すれば、干渉性ノイズの軽減上、一定の効果を達成できる。
干渉性ノイズの視認性は、波長やビーム径・マルチ/シングルモードなどでノイズ強度は変わるが、一般的にはR≒G>Bの順で高い。
即ち、波長:λBの光は人間の眼の視感度が低く、干渉性ノイズは目立ちにくい。
従って、波長:λGよりも小さい曲率半径:r(例えば500nm)を設定すれば、視認性の比較的高い波長:λRとλGの光による干渉性ノイズを軽減できる。
視感度が低い波長:λBの光による干渉性ノイズは発生しても、さほど目立たない。
勿論、波長:λBよりも小さい曲率半径:r(例えば400nm)を設定すれば、上記の如く、干渉性ノイズを更に有効に軽減できる。
If “r (for example, 500 nm) <λG”, coherent noise due to the R component and G component light of the image display beam can be prevented.
When the pixel display beam LC is “combined of three color beams of R, G, and B”, coherent noise is generated independently for these three color components.
The “total” of coherent noises of these independent three-color R, G, and B beams is visually recognized coherent noise.
Therefore, if no interference noise is detected even in one of the three colors of interference noise, the visually recognized interference noise is greatly improved, contributing to an improvement in the image quality of the observation image.
Therefore, the effect of preventing coherent noise is effective only with “the longest wavelength R component” of the three colors, and then the “reduction effect” is improved in the order of the G component and the B component.
Therefore, if a radius of curvature: r (for example, 600 nm) smaller than the longest wavelength: λR is set, a certain effect can be achieved in reducing coherent noise.
The visibility of the coherent noise is generally higher in the order of R≈G> B, although the noise intensity varies depending on the wavelength, beam diameter, multi / single mode, and the like.
That is, the light of wavelength λB has low visibility of human eyes, and coherent noise is not noticeable.
Therefore, if the radius of curvature: r (for example, 500 nm) smaller than the wavelength: λG is set, the coherent noise due to the light with relatively high visibility: λR and λG can be reduced.
Even if coherent noise is generated by light having a wavelength of low visibility: λB, it is not so noticeable.
Of course, if the curvature radius: r (for example, 400 nm) smaller than the wavelength: λB is set, the coherent noise can be further effectively reduced as described above.

微細凸レンズ構造を構成する複数の微細凸レンズそれぞれの大きさは、上記の如く、100μmオーダであり、これは通常の「マイクロレンズ」として実現できる。   The size of each of the plurality of fine convex lenses constituting the fine convex lens structure is on the order of 100 μm as described above, and this can be realized as a normal “micro lens”.

また、複数の微細凸レンズを配列した微細凸レンズ構造は「マイクロレンズアレイ」として実現できる。   Further, a fine convex lens structure in which a plurality of fine convex lenses are arranged can be realized as a “microlens array”.

従って、以下、微細凸レンズを「マイクロレンズ」とも呼び、微細凸レンズ構造を「マイクロレンズアレイ」とも呼ぶこととする。   Therefore, hereinafter, the fine convex lens is also referred to as “micro lens”, and the fine convex lens structure is also referred to as “micro lens array”.

マイクロレンズアレイは、一般に、マイクロレンズアレイのレンズ面アレイの転写面を持つ金型を作製し、この金型を用いて、樹脂材料に金型面を転写して作製される。
金型における転写面の形成は、切削やフォトリソグラフィなどを用いて形成する方法が知られている。
In general, the microlens array is manufactured by manufacturing a mold having a transfer surface of the lens surface array of the microlens array and transferring the mold surface to a resin material using the mold.
As a method for forming a transfer surface in a mold, a method of forming by using cutting or photolithography is known.

また、樹脂材料への転写面の転写は、例えば「射出成形」で行うことができる。   The transfer surface can be transferred to the resin material by, for example, “injection molding”.

隣接マイクロレンズの境界部における曲率半径を小さくすることは、境界幅を小さくすることにより実現できる。
小さい境界幅は、隣接マイクロレンズ面の形成する境界部の「尖鋭化」することにより実現できる。
Reducing the radius of curvature at the boundary between adjacent microlenses can be achieved by reducing the boundary width.
A small boundary width can be realized by “sharpening” a boundary portion formed by adjacent microlens surfaces.

マイクロレンズアレイ用の金型において、「隣接マイクロレンズ間の境界幅」の大きさを波長オーダまで小さくする工法は、種々の方法が知られている。   Various methods are known for reducing the size of the “border width between adjacent microlenses” to the order of wavelengths in a mold for a microlens array.

例えば、特許第4200223号公報は、異方性エッチングおよびイオン加工により各マイクロレンズの曲率半径を増加させ、境界部の非レンズ部分を除去する方法を開示している。   For example, Japanese Patent No. 4200283 discloses a method of increasing the radius of curvature of each microlens by anisotropic etching and ion processing to remove the non-lens portion at the boundary.

また、特許第5010445号公報は、等方性ドライエッチングを用いて、隣接マイクロレンズ間の平坦面を除去する方法を開示している。   Japanese Patent No. 5010445 discloses a method of removing a flat surface between adjacent microlenses by using isotropic dry etching.

例えば、これらの公知の方法を用いることにより、隣接マイクロレンズ間の境界部を成す面の曲率半径が、十分に小さいマイクロレンズアレイを作製可能である。
即ち、上に説明した被走査面素子は、複数のマイクロレンズが相互に近接して配列した構造を有するマイクロレンズアレイとして構成できる。
隣接するマイクロレンズの境界部をなす面の曲率半径:rを640nmよりも小さいマイクロレンズアレイとして形成することにより、R成分光の干渉性ノイズを防止できる。
また、上記曲率半径:rを510nmよりも小さいマイクロレンズアレイとして形成すれば、R成分光とG成分光による干渉性ノイズを防止できる。
隣接するマイクロレンズの境界部をなす面の曲率半径:rを445nmよりも小さいマイクロレンズアレイとして形成すれば、R、G、B成分光の干渉性ノイズを防止できる。
For example, by using these known methods, it is possible to produce a microlens array in which the radius of curvature of the surface forming the boundary between adjacent microlenses is sufficiently small.
That is, the scanned surface element described above can be configured as a microlens array having a structure in which a plurality of microlenses are arranged close to each other.
By forming the radius of curvature of the surface that forms the boundary between adjacent microlenses as a microlens array having r smaller than 640 nm, coherent noise of R component light can be prevented.
Further, if the curvature radius r is formed as a microlens array smaller than 510 nm, coherent noise due to R component light and G component light can be prevented.
If the radius of curvature of the surface forming the boundary between adjacent microlenses is formed as a microlens array having r smaller than 445 nm, coherent noise of R, G, and B component light can be prevented.

上には、図1に示す画像表示装置(ヘッドアップディスプレイ装置)について説明した。   The image display device (head-up display device) shown in FIG. 1 has been described above.

図1に示す凹面鏡7は、「2次元的に偏向された画素表示用ビームLCによって反射面素子10上に形成される画像の歪みをとる機能」を持つ。
即ち、凹面鏡7は「2次元的に偏向された画素表示用ビームの偏向範囲を調整し、被走査面素子の走査範囲を規制する偏向範囲規制手段」として機能する。
The concave mirror 7 shown in FIG. 1 has “a function of taking distortion of an image formed on the reflecting surface element 10 by a two-dimensionally deflected pixel display beam LC”.
That is, the concave mirror 7 functions as a “deflection range regulating means for regulating the scanning range of the scanned surface element by adjusting the deflection range of the two-dimensionally deflected pixel display beam”.

このような偏向範囲規制手段は、2次元偏向手段6により2次元的に偏向された画素表示用ビームの偏向角がさほど大きくない場合には、省略することもできる。   Such a deflection range restricting means can be omitted when the deflection angle of the pixel display beam deflected two-dimensionally by the two-dimensional deflecting means 6 is not so large.

微細凸レンズ構造(マイクロレンズアレイ)および微細凸レンズ(マイクロレンズ)に対する条件は上記の如くである。   The conditions for the fine convex lens structure (microlens array) and the fine convex lens (microlens) are as described above.

即ち、「画素表示用ビームのビーム径より大きい複数の微細凸レンズが、画素ピッチに近いピッチで密接して配列されて微細凸レンズ構造を構成」する。   That is, “a plurality of fine convex lenses larger than the beam diameter of the pixel display beam are closely arranged at a pitch close to the pixel pitch to form a fine convex lens structure”.

そこで、このような条件を満足するマイクロレンズアレイの具体的な形態を3例、図4に示す。
図4(a)に形態例を示すマイクロレンズアレイ87は、正方形形状のマイクロレンズ8711、8712・・等を正方行列状に配列したものである。
FIG. 4 shows three specific examples of microlens arrays that satisfy these conditions.
4A is a microlens array 87 in which square-shaped microlenses 8711, 8712,... Are arranged in a square matrix.

ヘッドアップディスプレイ装置において表示される2次元画像(拡大虚像)の画素数は、マイクロレンズアレイにおけるマイクロレンズの配列周期で決定される。   The number of pixels of the two-dimensional image (enlarged virtual image) displayed in the head-up display device is determined by the arrangement period of the microlenses in the microlens array.

図4(a)の配列の場合、X軸方向に隣接するマイクロレンズ8711、8712の中心間距離をX1とする。   In the case of the arrangement shown in FIG. 4A, the distance between the centers of the microlenses 8711 and 8712 adjacent in the X-axis direction is X1.

また、図においてY軸方向に隣接するマイクロレンズ8711、8721の中心間距離をY1とする。これら、X1、Y1を「1画素の実効サイズ」と見做すことができる。   In the drawing, the distance between the centers of the microlenses 8711 and 8721 adjacent in the Y-axis direction is Y1. These X1 and Y1 can be regarded as “effective size of one pixel”.

「1画素の実効サイズ」を以下において「1画素の実効ピッチ」あるいは「実効画素ピッチ」とも呼ぶ。   The “effective size of one pixel” is hereinafter also referred to as “effective pitch of one pixel” or “effective pixel pitch”.

図4(b)に形態例を示すマイクロレンズアレイ88は、正六角形形状のマイクロレンズ8811、8821・・を稠密に配列したものである。   4B is a microlens array 88 in which regular hexagonal microlenses 8811, 8821,... Are densely arranged.

この場合のマイクロレンズの配列では、配列されるマイクロレンズ8811等は、X軸方向に平行な辺を持たない。   In the arrangement of the microlenses in this case, the arranged microlenses 8811 and the like do not have sides parallel to the X-axis direction.

即ち、X軸方向に配列するマイクロレンズの上辺・下辺は「ジグザク状」になるので、このような配列を「ジグザグ型配列」と呼ぶ。   That is, since the upper and lower sides of the microlenses arranged in the X-axis direction are “zigzag”, such an arrangement is called “zigzag type arrangement”.

図4(c)に形態例を示すマイクロレンズアレイ89は、正六角形形状のマイクロレンズ8911、8921・・を稠密に配列したものである。   The microlens array 89 shown in FIG. 4 (c) is an example in which regular hexagonal microlenses 8911, 8921,... Are densely arranged.

この場合のマイクロレンズの配列では、配列されるマイクロレンズ8911等は、X軸方向に平行な辺を持っている。この場合の配列を「アームチェア型配列」と呼ぶ。   In the arrangement of microlenses in this case, the arranged microlenses 8911 and the like have sides parallel to the X-axis direction. This arrangement is called an “armchair arrangement”.

ジグザグ型配列とアームチェア型配列を合わせて「ハニカム型配列」と呼ぶ。   The zigzag array and the armchair array are collectively referred to as a “honeycomb array”.

図4(c)に示すアームチェア型配列は、図4(b)に示すジグザグ型配列を、90度回転させた配列である。
ジグザグ型配列では、マイクロレンズの配列では、図に示すX2を「X軸方向の実効画素ピッチ」、Y2を「Y軸方向の実効画素ピッチ」と見做すことができる。
The armchair arrangement shown in FIG. 4C is an arrangement obtained by rotating the zigzag arrangement shown in FIG. 4B by 90 degrees.
In the zigzag type array, in the microlens array, X2 shown in the figure can be regarded as “an effective pixel pitch in the X-axis direction” and Y2 can be regarded as an “effective pixel pitch in the Y-axis direction”.

アームチェア型配列では、図に示すX3を「X軸方向の実効画素ピッチ」、Y3を「Y軸方向の実効画素ピッチ」と見做すことができる。   In the armchair type arrangement, X3 shown in the figure can be regarded as “an effective pixel pitch in the X-axis direction”, and Y3 can be regarded as an “effective pixel pitch in the Y-axis direction”.

図4(b)で、実効画素ピッチ:Y2は、マイクロレンズ8821の中心と、マイクロレンズ8811の右側の辺の中点との距離である。   In FIG. 4B, the effective pixel pitch Y2 is the distance between the center of the microlens 8821 and the midpoint of the right side of the microlens 8811.

図4(c)で、実効画素ピッチ:X3は、マイクロレンズ8911の右側に接する2つのマイクロレンズの接する辺の中点とマイクロレンズ8911の中心との距離である。   In FIG. 4C, the effective pixel pitch: X3 is the distance between the midpoint of the sides of the two microlenses that are in contact with the right side of the microlens 8911 and the center of the microlens 8911.

ジグザク型配列においては、X軸方向の実効画素ピッチ:X2が小さいので、画像表示におけるX軸方向の分解能を向上させることができる。   In the zigzag type array, since the effective pixel pitch X2 in the X-axis direction is small, the resolution in the X-axis direction in image display can be improved.

また、アームチェア型配列においては、Y軸方向の分解能を向上させることができる。   In the armchair type arrangement, the resolution in the Y-axis direction can be improved.

このように、マイクロレンズをハニカム型に配列することにより、実際のレンズ径よりも小さい画素を実効的に表現でき、実効画素数を向上させることが可能である。   In this way, by arranging the microlenses in a honeycomb shape, pixels smaller than the actual lens diameter can be effectively expressed, and the number of effective pixels can be improved.

上述の如く、被走査面素子の微細凸レンズ構造(マイクロレンズアレイ)において、隣接するマイクロレンズの境界部は、曲率半径:rを有する。   As described above, in the fine convex lens structure (microlens array) of the surface element to be scanned, the boundary between adjacent microlenses has a radius of curvature: r.

曲率半径:rは、例えば、画素表示用ビームのR成分の波長:λRよりも小さい。   The radius of curvature r is smaller than the wavelength R of the R component of the pixel display beam, for example.

従って、前述の如く、「R成分のコヒーレント光の干渉による干渉性ノイズ」は防止される。   Therefore, as described above, “coherent noise due to interference of R component coherent light” is prevented.

しかし、画素表示用ビームのG成分光の波長:λGやB成分光の波長:λBよりも、前記曲率半径:rが大きければ、これ等の光は境界部で拡散され、互いに干渉する。   However, if the radius of curvature r is larger than the wavelength of the G component light: λG or the wavelength of the B component light: λB of the pixel display beam, these lights are diffused at the boundary and interfere with each other.

従って、この干渉による干渉性ノイズは発生する。   Therefore, coherent noise due to this interference is generated.

この場合、図4(a)の「正方行列状の配列」であると、境界部での発散(拡散)は、図のXa方向およびYa方向の2方向に生じ、それぞれが干渉性ノイズの原因となる。   In this case, in the case of the “square matrix-like arrangement” in FIG. 4A, divergence (diffusion) at the boundary portion occurs in two directions of the Xa direction and the Ya direction in the figure, and each causes the coherent noise. It becomes.

これに対し、図4(b)の配列だと、境界部での発散は、8A、8B、8Cの3方向に起こる。また、図4(c)の場合だと、9A、9B、9Cの3方向に拡散する。   On the other hand, in the arrangement of FIG. 4B, divergence at the boundary portion occurs in three directions 8A, 8B, and 8C. Further, in the case of FIG. 4C, diffusion is performed in three directions 9A, 9B, and 9C.

即ち、境界部での発散は、正方行列状配列では2方向に発生し、ハニカム状配列では3方向に生じる。   That is, the divergence at the boundary portion occurs in two directions in the square matrix arrangement and in three directions in the honeycomb arrangement.

従って、干渉性ノイズの発生は、正方行列状の配列では2方向的、ハニカム状の配列では3方向的に生じる。   Therefore, the generation of coherent noise occurs in two directions in a square matrix arrangement and in three directions in a honeycomb arrangement.

即ち、発生する干渉性ノイズは、正方行列状配列では「2方向に分散」されるのに対し、ハニカム状の配列では「3方向に分散」される。   That is, the generated coherent noise is “dispersed in two directions” in the square matrix arrangement, whereas “coherent noise is distributed in three directions” in the honeycomb arrangement.

干渉性ノイズを生じさせるコヒーレント光の最大強度は一定である。
従って、分散される数が大きいほど「発生する干渉性ノイズのコントラスト」は弱められて視認され難く(目立ち難く)なる。
The maximum intensity of coherent light that causes coherent noise is constant.
Therefore, the greater the number of dispersed elements, the weaker the “contrast of the generated coherent noise” becomes, and the more difficult it is to be visually recognized (not noticeable).

従って、「境界部の曲率半径:rよりも小さい波長の成分による干渉性ノイズ」の発生を許容する場合には、マイクロレンズの配列は「ハニカム状配列」とするのがよい。   Therefore, in the case where the generation of “coherent noise due to a component having a wavelength smaller than r at the radius of curvature of the boundary portion” is allowed, the arrangement of the microlenses is preferably a “honeycomb arrangement”.

なお、境界幅が前記波長:λRより大きい場合には、R成分のコヒーレント光による干渉性ノイズも発生する。   When the boundary width is larger than the wavelength: λR, coherent noise due to R component coherent light is also generated.

しかし、隣接する微細凸レンズの「レンズ面間の境界幅」は微小であり、微小な境界幅の部分に入射するコヒーレント光の光エネルギは小さい。   However, the “boundary width between lens surfaces” of adjacent micro-convex lenses is very small, and the optical energy of coherent light incident on the portion having the very small boundary width is small.

従って、干渉性ノイズを発生させる光エネルギも大きくは無い。
従って、干渉性ノイズが発生したとしても、ハニカム状配列の場合は、上記の如く、3方向に分散されることで、コントラストは弱くなる。
Therefore, light energy that generates coherent noise is not large.
Therefore, even if coherent noise occurs, in the case of the honeycomb arrangement, the contrast is weakened by being dispersed in three directions as described above.

従って、干渉性ノイズの視認性は有効に軽減させることとなる。   Accordingly, the visibility of the coherent noise is effectively reduced.

図1(a)に即して説明したように、2次元の拡大虚像12を結像する虚像結像光学系は、凹面鏡9により構成される。   As described with reference to FIG. 1A, the virtual image imaging optical system that forms the two-dimensional enlarged virtual image 12 is configured by the concave mirror 9.

即ち、拡大虚像12は、凹面鏡9により結像される画素像の集合である。
微細凸レンズであるマイクロレンズに「アナモフィックな機能」を持たせると、微小凸レンズの拡散機能を、互いに直交する方向において異ならせることができる。
That is, the magnified virtual image 12 is a set of pixel images formed by the concave mirror 9.
If the microlens that is a micro-convex lens has an “anamorphic function”, the diffusion function of the micro-convex lens can be made different in directions orthogonal to each other.

図6(a)及び図6(b)を参照すると、図6(a)及び図6(b)において符号80は、被走査面素子8に稠密に形成されたマイクロレンズ(微細凸レンズ)の個々を説明図として示している。図6(a)の例では、微細凸レンズは、縦長の楕円形であり、「マトリクス状配列」で配列されている。
図6(b)の例では、微細凸レンズ80は、X軸方向に平行な辺を持つ縦長の六角形であり、「アームチェア型配列」で配列されている。
微細凸レンズ80は、そのレンズ面の曲率半径が、X軸方向とY軸方向とで異なり、X軸方向の曲率半径:Rxは、Y軸方向の曲率半径:Ryよりも小さい。すなわち、微細凸レンズ80は、X軸方向の曲率がY軸方向の曲率よりも大きい。
6 (a) and 6 (b), reference numeral 80 in FIGS. 6 (a) and 6 (b) denotes an individual microlens (fine convex lens) densely formed on the surface element 8 to be scanned. Is shown as an explanatory diagram. In the example of FIG. 6A, the fine convex lenses are vertically long ellipses and are arranged in a “matrix arrangement”.
In the example of FIG. 6B, the fine convex lenses 80 are vertically long hexagons having sides parallel to the X-axis direction, and are arranged in an “armchair arrangement”.
The micro-convex lens 80 has different curvature radii between the X-axis direction and the Y-axis direction, and the curvature radius Rx in the X-axis direction is smaller than the curvature radius Ry in the Y-axis direction. That is, the micro convex lens 80 has a curvature in the X-axis direction that is larger than a curvature in the Y-axis direction.

従って、微細凸レンズ80のX軸方向のパワー(拡散パワー)は、Y軸方向のパワー(拡散パワー)よりも大きい。
また、レンズ面のX軸方向とY軸方向との両方に曲率を持たせたので、図6(b)に示されるように、微細凸レンズを六角形にでき、上記の如く「干渉性ノイズの視認性」を弱めることができる。
図6(a)及び図6(b)は、1個の微細凸レンズ80に、画素表示用ビームLCが入射した場合を示している。図6(a)及び図6(b)では、個々の微細凸レンズ80のY軸方向の幅がX軸方向の幅よりも長い。
Accordingly, the power (diffusion power) in the X-axis direction of the fine convex lens 80 is larger than the power (diffusion power) in the Y-axis direction.
Further, since the curvature is given to both the X-axis direction and the Y-axis direction of the lens surface, as shown in FIG. 6B, the fine convex lens can be formed into a hexagonal shape. "Visibility" can be weakened.
6A and 6B show a case where the pixel display beam LC is incident on one fine convex lens 80. FIG. In FIG. 6A and FIG. 6B, the width of each fine convex lens 80 in the Y-axis direction is longer than the width in the X-axis direction.

また、図6(a)に示されるように、画素表示用ビームLCのビーム径を「Y軸方向に長い楕円形状」とし、Y軸方向における光束径を、微細凸レンズ80のY軸方向の径より小さくする。
このようにすれば、画素表示用ビームLCを「レンズ境界を跨がずに入射」させることが可能であり、射出する発散光束の断面形状は、X軸方向に長い(横長の)楕円形状になる。
Further, as shown in FIG. 6A, the beam diameter of the pixel display beam LC is “ellipse shape long in the Y-axis direction”, and the light beam diameter in the Y-axis direction is the diameter of the fine convex lens 80 in the Y-axis direction. Make it smaller.
In this way, the pixel display beam LC can be “incident without straddling the lens boundary”, and the cross-sectional shape of the emitted divergent light beam is an elliptical shape that is long in the X-axis direction (horizontally long). Become.

微細凸レンズのY軸方向の長さおよびX軸方向の長さに拘わらず、X軸方向の曲率の方がY軸方向の曲率よりも大きければ、各微細凸レンズから射出する発散ビームの光束断面FXは、Y軸方向よりもX軸方向の方が長くなる。すなわち、横長となる。   Regardless of the length in the Y-axis direction and the length in the X-axis direction of the fine convex lens, if the curvature in the X-axis direction is larger than the curvature in the Y-axis direction, the beam cross section FX of the divergent beam emitted from each fine convex lens Is longer in the X-axis direction than in the Y-axis direction. That is, it becomes horizontally long.

上に説明したヘッドアップディスプレイ装置は、例えば、自動車等の車載用として用いることができ、X軸方向は「運転席から見て横方向」、Y軸方向は「縦方向」である。   The head-up display device described above can be used, for example, for in-vehicle use such as an automobile, and the X-axis direction is “lateral direction when viewed from the driver's seat” and the Y-axis direction is “vertical direction”.

この場合の反射面素子10は、自動車のフロントガラスである。
この場合、フロントガラス前方に拡大虚像12として、例えば「ナビゲーション画像」を表示でき、観察者11である運転者は、この画像を運転席に居ながらフロントガラス前方から視線をほとんど動かさずに観察できる。
In this case, the reflecting surface element 10 is an automobile windshield.
In this case, for example, a “navigation image” can be displayed as a magnified virtual image 12 in front of the windshield, and the driver who is the observer 11 can observe the image from the front of the windshield with little movement while staying in the driver's seat. .

このような場合、上述の如く、表示される拡大虚像は「運転者から見て横長の画像」であること、即ち、マイクロレンズに形成される画像および、拡大虚像は、X軸方向に画角の大きい画像であることが一般に好ましい。   In such a case, as described above, the displayed enlarged virtual image is a “landscape image as viewed from the driver”, that is, the image formed on the microlens and the enlarged virtual image have an angle of view in the X-axis direction. It is generally preferable that the image is large.

また、上述の如く、観測者である運転者が、左右斜め方向から表示画像を見た場合にも、表示を認識できるように、横方向には「縦方向に比して大きな視野角」が要求される。
このため、拡大虚像の長手方向(X軸方向)には短手方向(Y軸方向)に比して大きな拡散角(非等方拡散)が要求される。
In addition, as described above, when the driver who is an observer looks at the display image from the left and right oblique directions, the horizontal direction has a “large viewing angle compared to the vertical direction” so that the display can be recognized. Required.
For this reason, a larger diffusion angle (isotropic diffusion) is required in the longitudinal direction (X-axis direction) of the enlarged virtual image than in the lateral direction (Y-axis direction).

従って、被走査面素子の微細凸レンズをマイクロレンズ上に形成された画像もしくは拡大虚像の短手方向よりも長手方向の方が曲率が大きいアナモフィックなレンズとし、画素表示用ビームを拡散させる拡散角を「2次元画像の横方向を縦方向よりも広く」するのが好ましい。   Therefore, the micro convex lens of the surface element to be scanned is an anamorphic lens having a larger curvature in the longitudinal direction than the short direction of the image formed on the micro lens or the magnified virtual image, and has a diffusion angle for diffusing the pixel display beam. It is preferable that “the horizontal direction of the two-dimensional image is wider than the vertical direction”.

このようにして、ヘッドアップディスプレイ装置の要求画角を満たす必要最小限の範囲に光を発散させ、光の利用効率を向上させ、表示画像の輝度を向上させることが可能である。   In this way, it is possible to diverge light within the minimum necessary range that satisfies the required field angle of the head-up display device, improve the light use efficiency, and improve the brightness of the display image.

勿論、上記のような「非等方拡散」ではなく、縦方向と横方向で拡散角が等しい「等方拡散」とする場合も可能である。
しかし、自動車等の車載用として用いるヘッドアップディスプレイ装置の場合であれば、運転者が表示画像に対して上下方向の位置から観察を行なう場合はすくない。
従って、このような場合であれば、上記のように、画素表示用ビームを拡散させる拡散角を「2次元画像の横方向を縦方向よりも広く」するのが光利用効率の面から好ましい。
Of course, it is also possible to use “isotropic diffusion” in which the diffusion angles are equal in the vertical direction and the horizontal direction, instead of the “isotropic diffusion” as described above.
However, in the case of a head-up display device used for in-vehicle use such as an automobile, it is not easy for the driver to observe the display image from a vertical position.
Therefore, in such a case, as described above, it is preferable from the viewpoint of light utilization efficiency that the diffusion angle for diffusing the pixel display beam is “wider the horizontal direction of the two-dimensional image than the vertical direction”.

微細凸レンズ(マイクロレンズ)は、そのレンズ面を「非球面」として形成できることが従来から知られている。   It has been conventionally known that a micro-convex lens (micro lens) can be formed as an “aspherical surface”.

直上に説明したアナモフィックなレンズ面も「非球面」であるが、微細凸レンズのレンズ面をより一般的な非球面として形成でき、収差補正を行なうこともできる。   The anamorphic lens surface described immediately above is also “aspherical”, but the lens surface of the micro-convex lens can be formed as a more general aspherical surface, and aberration correction can also be performed.

収差の補正により「拡散の強度ムラ」を低減することも可能である。   It is also possible to reduce “diffuse intensity unevenness” by correcting aberrations.

図4(a)〜図4(c)に示した微細凸レンズ構造(マイクロレンズアレイ)における個々の微細凸レンズ(マイクロレンズ)は、正方形もしくは正六角形であった。   Each micro convex lens (micro lens) in the micro convex lens structure (micro lens array) shown in FIGS. 4A to 4C was a square or a regular hexagon.

微細凸レンズの形状はこのように正多角形である必要はなく、図4(a)〜図4(c)に示したマイクロレンズ形状を1方向に引き伸ばした形状でもよい。   The shape of the micro-convex lens does not have to be a regular polygon in this way, and may be a shape obtained by extending the micro lens shape shown in FIGS. 4A to 4C in one direction.

この場合、正方形形状であったものは「長方形形状」となり、正六角形状であったものは、細長い変形六角形になる。   In this case, a square shape is a “rectangular shape”, and a regular hexagonal shape is an elongated deformed hexagon.

微細凸レンズ構造の実効画素ピッチは、図4(a)〜図4(c)の配列では、X軸方向につきX1〜X3、Y軸方向につきY1〜Y3であった。
このように定められるX軸方向の実効画素ピッチを一般に「SX」、Y軸方向の実効画素ピッチを一般に「SY」とするとき、両者の比:SY/SXを「アスペクト比」と言う。
The effective pixel pitch of the fine convex lens structure was X1 to X3 in the X-axis direction and Y1 to Y3 in the Y-axis direction in the arrangements of FIGS. 4 (a) to 4 (c).
When the effective pixel pitch in the X-axis direction thus determined is generally “SX” and the effective pixel pitch in the Y-axis direction is generally “SY”, the ratio between the two: SY / SX is referred to as “aspect ratio”.

図4(a)の場合、アスペクト比は「Y1/X1」であり、X1=Y1であるから、アスペクト比は1である。   In the case of FIG. 4A, the aspect ratio is “Y1 / X1”, and X1 = Y1, so the aspect ratio is 1.

図4(b)の場合のアスペクト比は「Y2/X2」であり、Y2>X1であるから、アスペクト比は1より大きい。   In the case of FIG. 4B, the aspect ratio is “Y2 / X2”, and Y2> X1, so the aspect ratio is greater than 1.

図4(c)の場合のアスペクト比は「Y3/X3」であり、Y3<X3であるから、アスペクト比は1よりも小さい。   In the case of FIG. 4C, the aspect ratio is “Y3 / X3”, and Y3 <X3. Therefore, the aspect ratio is smaller than 1.

図5(a)〜図5(e)に示すマイクロレンズアレイ91〜95の微細凸レンズ構造では、実効画素ピッチを、図4の場合と同様にして以下の如くに定める。   In the fine convex lens structures of the microlens arrays 91 to 95 shown in FIGS. 5A to 5E, the effective pixel pitch is determined as follows in the same manner as in FIG.

即ち、X軸方向、Y軸方向の実効画素ピッチは、図5の「X11、Y11」、「X12、Y12」、「X13、Y13」である。   That is, the effective pixel pitches in the X-axis direction and the Y-axis direction are “X11, Y11”, “X12, Y12”, and “X13, Y13” in FIG.

図5(a)の微細凸レンズ構造は、長方形形状の微細凸レンズ9111、9112、・・9121・・を正方行列状に配列したものであり、アスペクト比は1よりも大きい。   The micro-convex lens structure of FIG. 5A is an array of rectangular micro-convex lenses 9111, 9112,... 9121,.

図5(b)〜図5(e)に示すマイクロレンズアレイ92〜95では、微細凸レンズ構造は、ハニカム型配列である。   In the microlens arrays 92 to 95 shown in FIGS. 5B to 5E, the fine convex lens structure is a honeycomb type array.

図5(b)、図5(d)、図5(e)に示すハニカム型配列では、アスペクト比「Y12/X12」、「Y13/X13」はいずれも1より大きい。   In the honeycomb array shown in FIGS. 5B, 5D, and 5E, the aspect ratios “Y12 / X12” and “Y13 / X13” are both greater than 1.

図5(a)〜図5(e)に示す微細凸レンズ構造の5例は何れも「微細凸レンズ」は、Y軸方向の長さがX軸方向の長さよりも大きい。   In each of the five examples of the fine convex lens structure shown in FIGS. 5A to 5E, the “fine convex lens” has a length in the Y-axis direction larger than a length in the X-axis direction.

このように「Y軸方向の長さがX軸方向の長さより大きい形状の微細凸レンズ」の場合、微細凸レンズの形状として、X軸方向の曲率をY軸方向の曲率より大きくするのが容易である。   Thus, in the case of “a fine convex lens whose length in the Y-axis direction is larger than the length in the X-axis direction”, it is easy to make the curvature in the X-axis direction larger than the curvature in the Y-axis direction as the shape of the fine convex lens. is there.

従って、前述した「X軸方向のパワーがY軸方向のパワーよりも大きくなるアナモフィックな光学機能」を実現しやすい。   Therefore, it is easy to realize the “anamorphic optical function in which the power in the X-axis direction is larger than the power in the Y-axis direction”.

例えば、図5(a)に示す例の場合、具体例として例えば、X11=150μm、Y11=200μm、アスペクト比=200/150=4/3>1を挙げることができる。   For example, in the case of the example shown in FIG. 5A, specific examples include X11 = 150 μm, Y11 = 200 μm, and aspect ratio = 200/150 = 4/3> 1.

勿論、この場合には、画素表示用ビームのビーム径はX軸方向を150μm未満、Y軸方向を200μm未満にする。   Of course, in this case, the beam diameter of the pixel display beam is less than 150 μm in the X-axis direction and less than 200 μm in the Y-axis direction.

図5(b)〜図5(d)に示す微細凸レンズの配列は、何れもハニカム型配列であり、個々の微細凸レンズは「Y軸方向に長い形状」となっている。   The arrangement of the micro-convex lenses shown in FIGS. 5B to 5D is a honeycomb type array, and each micro-convex lens has a “long shape in the Y-axis direction”.

図5(b)の配列は「ジグザグ型」であり、図5(c)〜図5(e)の配列は何れも「アームチェア型」である。   The arrangement in FIG. 5B is a “zigzag type”, and the arrangements in FIGS. 5C to 5E are all “armchair types”.

図5(b)の「ジグザグ型の縦長ハニカム型配列」と、図5(c)の「アームチェア型の縦長ハニカム配列」は何れも使用可能であることは勿論である。   It is a matter of course that both the “zigzag-type vertically elongated honeycomb array” in FIG. 5B and the “armchair-shaped vertically honeycomb array” in FIG. 5C can be used.

しかし、図5(c)の配列例は図5(b)の配列例に対して以下の如き利点を有する。   However, the arrangement example in FIG. 5C has the following advantages over the arrangement example in FIG.

即ち、図5(b)の配列に比して、図5(c)の配列では、微小凸レンズにおける「X軸方向とY軸方向のサイズの差」が小さく、縦横方向における「実効画素サイズの差」が小さくなる。   That is, in the arrangement of FIG. 5C, the “difference in size between the X-axis direction and the Y-axis direction” in the micro-convex lens is smaller than in the arrangement of FIG. The “difference” becomes smaller.

具体的な寸法を挙げる。
例えば、図5(b)において、微細凸レンズ9211、9212等のX軸方向のレンズ径:R2x=100μm、Y軸方向のレンズ径:R2y=200umとする。
List specific dimensions.
For example, in FIG. 5B, the lens diameter in the X-axis direction of the fine convex lenses 9211 and 9212: R2x = 100 μm, and the lens diameter in the Y-axis direction: R2y = 200 μm.

このとき、X軸方向の実効画素ピッチ(=X12)は50μm、Y軸方向の実効画素ピッチ(=Y12)は150μmとなる。   At this time, the effective pixel pitch (= X12) in the X-axis direction is 50 μm, and the effective pixel pitch (= Y12) in the Y-axis direction is 150 μm.

同様に、図5(c)において、微細凸レンズ9311、9312等の、X軸方向のレンズ径:R3x=100μm、Y軸方向のレンズ径:R3y=200μmとする。   Similarly, in FIG. 5C, the lens diameter in the X-axis direction: R3x = 100 μm and the lens diameter in the Y-axis direction: R3y = 200 μm for the fine convex lenses 9311 and 9312 and the like.

また、微細凸レンズ9311等の六角形形状の、上下の辺の長さは50μmとする。
このとき、X軸方向の実効画素ピッチ(=X13)は75μm、Y軸方向の実効画素ピッチ(=Y13)=100μmとなる。
In addition, the length of the upper and lower sides of the hexagonal shape such as the fine convex lens 9311 is 50 μm.
At this time, the effective pixel pitch in the X-axis direction (= X13) is 75 μm, and the effective pixel pitch in the Y-axis direction (= Y13) = 100 μm.

従って「X、Y軸方向の実効画素ピッチ」は、図5(c)の配列(75μmと100μm)の方が図5(b)の配列(50μmと100μm)の場合よりも「互いに近い値」になる。   Therefore, the “effective pixel pitch in the X and Y axis directions” is “a value closer to each other” in the arrangement (75 μm and 100 μm) in FIG. 5C than in the arrangement (50 μm and 100 μm) in FIG. become.

図5(c)、図5(d)、図5(e)においては、X軸方向の実効画素ピッチをX13、Y軸方向の実効画素ピッチをY13としている。
これは、図5(c)〜図5(e)のハニカム型配列(アームチェア型のハニカム配列)において、X軸方向の画素ピッチ、Y軸方向の画素ピッチが、同じように定義されることによる。
図5(d)においては、微細凸レンズ9411、9421等は、X軸方向に平行な上下の辺が短く、斜辺が長い。
また、図5(e)においては、微細凸レンズ9511、9521等は、X軸方向に平行な上下の辺が短く、斜辺が長い。
これらの図に示すように、微細凸レンズの六角形形状の変形により、X軸方向の画素ピッチ:X13、Y軸方向の画素ピッチ:Y13を調整できる。
In FIGS. 5C, 5D, and 5E, the effective pixel pitch in the X-axis direction is X13, and the effective pixel pitch in the Y-axis direction is Y13.
This is because the pixel pitch in the X-axis direction and the pixel pitch in the Y-axis direction are defined in the same way in the honeycomb type arrangement (armchair type honeycomb arrangement) of FIGS. 5 (c) to 5 (e). by.
In FIG. 5D, the fine convex lenses 9411 and 9421 have short upper and lower sides parallel to the X-axis direction and long oblique sides.
In FIG. 5E, the fine convex lenses 9511 and 9521 have short upper and lower sides parallel to the X-axis direction and long oblique sides.
As shown in these figures, the pixel pitch: X13 in the X-axis direction and the pixel pitch: Y13 in the Y-axis direction can be adjusted by deforming the hexagonal shape of the fine convex lens.

図5(c)の場合と同様、これら図5(d)、図5(e)に示す配列においても「微細凸レンズ構造が縦長構造」であることにより、X、Y軸方向の「実効画素ピッチの均等化」が可能である。
例えば、図8に示すマイクロレンズアレイ96のマイクロレンズ9611、9621等は、図5(d)に示すマイクロレンズアレイ95と同様の縦長の六角形形状である。
図8に示すマイクロレンズ9611等の配列は、図5(c)と同様の「アームチェア型の縦長ハニカム配列」である。
マイクロレンズ9611等の六角形形状は、X軸方向の実効画素ピッチ:X14が、Y軸方向の実効画素ピッチ:Y14と完全に等しくなるように設定されている。
このように、アームチェア型の縦長ハニカム配列では、アスペクト比を1に設定することができる。画素表示用ビームのビーム径より大きい微細凸レンズもしくは画素表示用ビームのビーム径と同じ程度の大きさの微細凸レンズの場合、実効画素ピッチのアスペクト比が1であれば、虚像として投影される画像データに対して、虚像による再現性が高まる。虚像として投影される画像データのマイクロレンズアレイ上における画素ピッチと実効画素ピッチとを一致させる、もしくは、他の実効画素ピッチと比較して、実効画素ピッチを虚像として投影される画像データのマイクロレンズアレイ上における画像データの画素ピッチに近づけることができるからである。
上には、縦方向を「上下方向」、横方向を「左右方向」として説明したが、これは説明の具体性のための便宜上のものである。
実際の空間において、どの方向が縦方向かは、マイクロレンズアレイの画像表示装置への取り付け方向、画像表示装置の車両等の移動体への取り付け方向による。
2次元偏向手段6は、1つの軸について1往復の揺動(第1軸の揺動)を行う間に、もう一方の軸について往復の揺動(第2軸の揺動)を複数回行うが、多くの場合、拡大虚像の長手方向であるX軸方向が、第2軸の揺動による画素表示用ビームLCのマイクロレンズアレイに対する走査の方向に設定される。したがって、「アームチェア型」の六角形形状のマイクロレンズのX軸方向に平行な上下の辺は、画素表示用ビームLCのマイクロレンズアレイに対する走査方向とほぼ平行となり、「アームチェア型」の六角形形状の画素表示用ビームのマイクロレンズアレイに対する走査方向に最も平行に近い2辺の間隔、言い換えれば、画素表示用ビームのマイクロレンズアレイに対する走査方向に最も平行に近い辺とその対向する辺との間隔を、これら2辺に直交する方向へ拡大するように引き伸ばした形状が「アームチェア型の縦長ハニカム構造」である。
As in the case of FIG. 5C, in the arrangements shown in FIGS. 5D and 5E, the “effective pixel pitch in the X and Y axis directions is obtained because the“ fine convex lens structure is a vertically long structure ”. Equalization ”is possible.
For example, the microlenses 9611 and 9621 of the microlens array 96 shown in FIG. 8 have a vertically long hexagonal shape similar to the microlens array 95 shown in FIG.
The arrangement of the microlenses 9611 and the like shown in FIG. 8 is an “armchair-type vertically long honeycomb arrangement” similar to FIG.
The hexagonal shape of the microlens 9611 or the like is set so that the effective pixel pitch X14 in the X-axis direction is completely equal to the effective pixel pitch Y14 in the Y-axis direction.
Thus, the aspect ratio can be set to 1 in the armchair-type vertically long honeycomb arrangement. In the case of a fine convex lens larger than the beam diameter of the pixel display beam or a fine convex lens having the same size as the beam diameter of the pixel display beam, if the aspect ratio of the effective pixel pitch is 1, image data projected as a virtual image On the other hand, reproducibility by a virtual image increases. The microlens of image data projected as a virtual image by matching the effective pixel pitch with the effective pixel pitch on the microlens array of the image data projected as a virtual image or compared with other effective pixel pitches This is because the pixel pitch of the image data on the array can be approached.
In the above description, the vertical direction is described as “vertical direction” and the horizontal direction as “horizontal direction”, but this is for convenience of description.
Which direction is the vertical direction in the actual space depends on the direction in which the microlens array is attached to the image display device and the direction in which the image display device is attached to a moving body such as a vehicle.
The two-dimensional deflection means 6 performs reciprocal oscillation (oscillation of the second axis) a plurality of times while performing reciprocal oscillation (oscillation of the first axis) about one axis. However, in many cases, the X-axis direction, which is the longitudinal direction of the enlarged virtual image, is set as the scanning direction of the pixel display beam LC with respect to the microlens array by the oscillation of the second axis. Accordingly, the upper and lower sides of the “armchair-type” hexagonal microlens parallel to the X-axis direction are substantially parallel to the scanning direction of the pixel display beam LC with respect to the microlens array, An interval between two sides that are closest to the scanning direction of the square-shaped pixel display beam with respect to the microlens array, in other words, a side that is closest to the scanning direction of the pixel display beam with respect to the microlens array and an opposite side thereof The shape in which the distance between the two is extended in a direction perpendicular to these two sides is an “armchair-type vertically long honeycomb structure”.

従って、アームチェア型の縦長ハニカム配列は、輝度及び実効画素数の向上に加え、X軸方向(横方向)、Y軸方向(縦方向)の実効画素ピッチの差を小さくすることができる。
図5(c)〜図5(e)に示す如き「微細凸レンズの形状」は、例えば、発散光束の発散角制御のため、任意に選択することが可能である。
Therefore, the armchair-type vertically elongated honeycomb arrangement can reduce the difference in effective pixel pitch between the X-axis direction (horizontal direction) and the Y-axis direction (vertical direction) in addition to the improvement in luminance and the number of effective pixels.
The “shape of the fine convex lens” as shown in FIGS. 5C to 5E can be arbitrarily selected, for example, for controlling the divergence angle of the divergent light beam.

図1(a)に示したヘッドアップディスプレイ装置においては、画素表示用ビームLCは、被走査面素子8の微細凸レンズ構造に直交入射している。   In the head-up display device shown in FIG. 1A, the pixel display beam LC is orthogonally incident on the fine convex lens structure of the scanned surface element 8.

しかし、画素表示用ビームの被走査面素子への入射形態は、このような「直交入射」に限らない。   However, the incident form of the pixel display beam to the scanned surface element is not limited to such “orthogonal incidence”.

例えば、光源部から反射面素子に到る光学素子の配列を工夫して、ヘッドアップディスプレイ装置をコンパクト化する場合には、図7(a)のような入射形態が考えられる。   For example, in order to make the head-up display device compact by devising the arrangement of the optical elements from the light source unit to the reflective surface element, an incident form as shown in FIG.

即ち、図7(a)の例では、画素表示用ビームLCが、被走査面素子8に対して傾いて入射している。   That is, in the example of FIG. 7A, the pixel display beam LC is incident on the scan surface element 8 with an inclination.

微細凸レンズのレンズ面を「非球面」とするような場合、画素表示用ビームLCは、非球面の光軸に対して傾いて入射することになり、非球面の機能を生かせない場合もある。   When the lens surface of the fine convex lens is an “aspherical surface”, the pixel display beam LC is incident with an inclination relative to the optical axis of the aspherical surface, and the aspherical function may not be utilized.

このような場合には、図7(b)の被走査面素子8aのように、微細凸レンズMLのレンズ面光軸AXを、被走査面素子8aの基準面に対して直交方向から傾けるのが良い。   In such a case, as in the scanned surface element 8a in FIG. 7B, the lens surface optical axis AX of the fine convex lens ML is inclined from the orthogonal direction with respect to the reference surface of the scanned surface element 8a. good.

このようにして、レンズ面光軸AXを画素表示用ビームLCの入射方向に平行、もしくはこれに近い方向とすることができる。   In this way, the lens surface optical axis AX can be made parallel to or close to the incident direction of the pixel display beam LC.

なお、被走査面素子8aの基準面は、微細凸レンズMLがアレイ配列された面である。   The reference surface of the scanned surface element 8a is a surface on which the micro convex lenses ML are arrayed.

このようにすることにより、光学系の小型化や、光の利用効率の向上が可能となり「微細凸レンズによる画素表示用ビームの発散の方向」を均質化することが可能である。   By doing so, the optical system can be downsized and the light utilization efficiency can be improved, and the “direction of divergence of the pixel display beam by the fine convex lens” can be made uniform.

上に説明したヘッドアップディスプレイ装置は、上述の自動車への搭載に限らず、列車、船舶、ヘリコプター、飛行機など各種の、操縦可能な移動体に搭載できる。例えば、オートバイのウインドシールド(風よけ)を透過反射部材とすることもできる。   The head-up display device described above can be mounted not only on the above-described automobile but also on various types of steerable moving bodies such as trains, ships, helicopters, and airplanes. For example, a windshield of a motorcycle can be used as a transmission reflection member.

この場合、操縦席前方のフロントガラスを反射面素子とすればよい。   In this case, the windshield in front of the cockpit may be used as a reflective surface element.

勿論、ヘッドアップディスプレイ装置を、例えば「映画観賞用の画像表示装置」として実施できることは言うまでも無い。   Of course, it goes without saying that the head-up display device can be implemented as, for example, an “image display device for watching movies”.

微細凸レンズ構造の微細凸レンズは、上記の如く画素表示用ビームを拡散させるものであるが、X、Yの2方向のうち、1方向のみの拡散を行なう場合も考えられる。   The micro-convex lens having the micro-convex lens structure diffuses the pixel display beam as described above. However, it may be considered that only one of the X and Y directions is diffused.

このような場合には、微細凸レンズのレンズ面として「微細凸シリンダ面」を用いることができる。   In such a case, a “fine convex cylinder surface” can be used as the lens surface of the fine convex lens.

なお、微細凸レンズの形状を、六角形状とすることや、その配列をハニカム型配列とすることは、従来から、マイクロレンズアレイの製造方法に関連して知られている。   It has been conventionally known that the shape of the micro-convex lens is a hexagonal shape and the arrangement thereof is a honeycomb type in relation to the method of manufacturing the microlens array.

上に説明したヘッドアップディスプレイ装置は、例えば、自動車等の車載用として用いることができ、X方向は「運転席から見て横方向」、Y方向は「縦方向」である。   The head-up display device described above can be used, for example, for in-vehicle use such as an automobile, and the X direction is “horizontal when viewed from the driver's seat” and the Y direction is “vertical”.

この場合の反射面素子10は、自動車のフロントガラスである。
この場合、フロントガラス前方に拡大虚像12として、例えば「ナビゲーション画像」を表示でき、観察者11である運転者は、この画像を運転席に居ながらフロントガラス前方から視線をほとんど動かさずに観察できる。
In this case, the reflecting surface element 10 is an automobile windshield.
In this case, for example, a “navigation image” can be displayed as a magnified virtual image 12 in front of the windshield, and the driver who is the observer 11 can observe the image from the front of the windshield with little movement while staying in the driver's seat. .

このような場合、上述の如く、表示される拡大虚像は「運転者から見て横長の画像」であること、即ち、マイクロレンズに形成される画像および、拡大虚像は、X方向に画角の大きい画像、すなわち横長の画像であることが一般に好ましい。   In such a case, as described above, the displayed enlarged virtual image is a “landscape image viewed from the driver”, that is, the image formed on the microlens and the enlarged virtual image have an angle of view in the X direction. A large image, that is, a horizontally long image is generally preferable.

微細凸レンズ(マイクロレンズ)は、そのレンズ面を「非球面」として形成できることが従来から知られている。   It has been conventionally known that a micro-convex lens (micro lens) can be formed as an “aspherical surface”.

微細凸レンズのレンズ面をより一般的な非球面として形成でき、収差補正を行なうこともできる。   The lens surface of the fine convex lens can be formed as a more general aspherical surface, and aberration correction can also be performed.

収差の補正により「拡散の強度ムラ」を低減することも可能である。   It is also possible to reduce “diffuse intensity unevenness” by correcting aberrations.

図9は、画像表示装置1000のハードウェア構成図である。画像表示装置1000は、図9に示されるように、FPGA600、CPU602、ROM604、RAM606、I/F608、バスライン610、LDドライバ6111、MEMSコントローラ615などを備えている。FPGA600は、LDドライバ6111やMEMSコントローラ615により、光源部100のLD(半導体レーザ)および後述する光偏向器15を動作させる。CPU602は、画像表示装置1000の各機能を制御する。ROM604は、CPU602が画像表示装置1000の各機能を制御するために実行する画像処理用プログラムを記憶している。RAM606はCPU602のワークエリアとして使用される。I/F608は、外部コントローラ等と通信するためのインターフェイスであり、例えば自動車のCAN(Controller Area Network)等に接続されることができる。   FIG. 9 is a hardware configuration diagram of the image display apparatus 1000. As shown in FIG. 9, the image display apparatus 1000 includes an FPGA 600, a CPU 602, a ROM 604, a RAM 606, an I / F 608, a bus line 610, an LD driver 6111, a MEMS controller 615, and the like. The FPGA 600 operates an LD (semiconductor laser) of the light source unit 100 and an optical deflector 15 to be described later by an LD driver 6111 and a MEMS controller 615. The CPU 602 controls each function of the image display apparatus 1000. The ROM 604 stores an image processing program that the CPU 602 executes to control each function of the image display apparatus 1000. The RAM 606 is used as a work area for the CPU 602. The I / F 608 is an interface for communicating with an external controller or the like, and can be connected to, for example, a vehicle CAN (Controller Area Network) or the like.

図10は、画像表示装置1000の機能ブロック図である。画像表示装置1000は、図10に示されるように、車両情報入力部900、外部情報入力部902、画像生成部904、画像表示部906を備える。車両情報入力部800には、CAN等から車両の情報(速度、走行距離等の情報)が入力される。外部情報入力部902には、外部ネットワークから車両外部の情報(GPSからのナビ情報等)が入力される。画像生成部904は、CPU602、ROM604、RAM606を含み、車両情報入力部900および外部情報入力部902から入力される情報に基づいて、表示させる画像を生成する。画像表示部906は、FPGA600、LDドライバ6111、MEMSコントローラ615、LD、光偏向器15を含み、画像生成部904で生成された画像に応じた画像光を反射面素子10に照射する。この結果、観察者11の視点から拡大虚像12が視認可能となる。   FIG. 10 is a functional block diagram of the image display apparatus 1000. As shown in FIG. 10, the image display device 1000 includes a vehicle information input unit 900, an external information input unit 902, an image generation unit 904, and an image display unit 906. Vehicle information (information such as speed and travel distance) is input to the vehicle information input unit 800 from CAN or the like. Information outside the vehicle (navigation information from GPS, etc.) is input to the external information input unit 902 from an external network. The image generation unit 904 includes a CPU 602, a ROM 604, and a RAM 606, and generates an image to be displayed based on information input from the vehicle information input unit 900 and the external information input unit 902. The image display unit 906 includes an FPGA 600, an LD driver 6111, a MEMS controller 615, an LD, and an optical deflector 15, and irradiates the reflective surface element 10 with image light corresponding to the image generated by the image generation unit 904. As a result, the magnified virtual image 12 is visible from the viewpoint of the observer 11.

図11には、2次元偏向手段6の一例としての光偏向器15が平面図にて示されている。図2に示されるように、半導体プロセスにて製造されるMEMSミラーであり、反射面を有し、第1軸周りに揺動可能に第1枠部材151に支持されたミラー150と、第1枠部材151を第1軸に直交する第2軸周りに揺動可能に支持する支持体とを有する。支持体は、複数の梁が蛇行するように連結された一対の蛇行部152と、各蛇行部を支持する第2枠部材154とを有する。各蛇行部は、一端が第1枠部材151に接続され、他端が第2枠部材154に接続されている。各蛇行部の複数の梁には、複数の圧電部材156(例えばPZT)が個別に設けられている。各蛇行部の隣り合う2つの梁152a、152bに個別に設けられた2つの圧電部材156に異なる電圧を印加することで、隣り合う2つの梁152a、152bが異なる方向に撓み、それが累積されて、ミラー150が第2軸周りに大きな角度で揺動する。このような構成により、第2軸周りの光走査(例えば副走査方向の光走査)が、低電圧で可能となる。一方、第1軸周りには、例えばミラー150に接続されたトーションバー、該トーションバーと第1枠部材151との間に接続された、カンチレバーと圧電部材(例えばPZT)を含む圧電アクチュエータなどを利用した共振による光走査(例えば主走査方向の光走査)が行われる。また、光偏向器15は、ミラー150の第1軸周り、第2軸周りの揺動位置を検出する検出器を有し、該検出器の検出情報が処理装置50に出力される。処理装置50は、この検出情報及び画像情報に基づいて各半導体レーザを駆動制御する。   FIG. 11 shows a plan view of an optical deflector 15 as an example of the two-dimensional deflection means 6. As shown in FIG. 2, the first mirror member 151 is a MEMS mirror manufactured by a semiconductor process, has a reflecting surface, and is supported by a first frame member 151 so as to be swingable around a first axis. And a support that supports the frame member 151 so as to be swingable around a second axis orthogonal to the first axis. The support body has a pair of meandering parts 152 connected so that a plurality of beams meander, and a second frame member 154 that supports each meandering part. Each meandering portion has one end connected to the first frame member 151 and the other end connected to the second frame member 154. A plurality of piezoelectric members 156 (for example, PZT) are individually provided on the plurality of beams in each meandering portion. By applying different voltages to the two piezoelectric members 156 individually provided on the two adjacent beams 152a and 152b of each meandering portion, the two adjacent beams 152a and 152b bend in different directions and accumulated. Thus, the mirror 150 swings at a large angle around the second axis. With such a configuration, optical scanning around the second axis (for example, optical scanning in the sub-scanning direction) can be performed with a low voltage. On the other hand, around the first axis, for example, a torsion bar connected to the mirror 150, a piezoelectric actuator including a cantilever and a piezoelectric member (for example, PZT) connected between the torsion bar and the first frame member 151, and the like. Optical scanning using the resonance (for example, optical scanning in the main scanning direction) is performed. In addition, the optical deflector 15 includes a detector that detects a swing position around the first axis and the second axis of the mirror 150, and detection information of the detector is output to the processing device 50. The processing device 50 drives and controls each semiconductor laser based on the detection information and the image information.

ところで、近年、運転者が少ない視線移動で警報・情報を認知できるアプリケーションとして市場の期待が高まっており、車両に搭載するHUD(ヘッドアップディスプレイ)の技術開発が進んでいる。特に、ADAS(Advanced Driving Assistance System)という言葉に代表される車載センシング技術の進展に伴い、車両はさまざまな走行環境情報および車内乗員の情報を取り込むことができるようになっており、それらの情報を運転者に伝える「ADASの出口」としてもHUDが注目されている。   By the way, in recent years, market expectations are increasing as an application that allows drivers to recognize alarms and information with little line of sight movement, and technical development of HUD (head-up display) mounted on vehicles is progressing. In particular, with the development of in-vehicle sensing technology represented by the term ADAS (Advanced Driving Assistance System), vehicles are able to capture various driving environment information and in-vehicle occupant information. The HUD is also attracting attention as an “ADAS exit” to the driver.

HUDの投射方式は、液晶及びDMDのようなイメージングデバイスで中間像を表現する「パネル方式」と、レーザダイオードから射出したレーザビームを2次元走査デバイスで走査し中間像を形成する「レーザ走査方式」がある。特に後者のレーザ走査方式は、全画面発光の部分的遮光で画像を形成するパネル方式とは違い、各画素に対して発光/非発光を割り当てることができるため、一般に高コントラストの画像を形成することができる。   The HUD projection method is a “panel method” that represents an intermediate image with an imaging device such as liquid crystal or DMD, and a “laser scanning method” that forms an intermediate image by scanning a laser beam emitted from a laser diode with a two-dimensional scanning device. There is. In particular, the latter laser scanning method is different from the panel method in which an image is formed by partial shading of full-screen light emission, and light / non-light emission can be assigned to each pixel, so that generally a high-contrast image is formed. be able to.

市場のHUDに対する要求は、大きく下記2点に集約される。
1.コンパクト性
2.視認ストレスの低さ
The market demand for HUDs can be summarized in the following two points.
1. Compactness 2. Low visual stress

「コンパクト性」に関しては、ダッシュボードに収納されているダクト・メータ・デフロスタ・車体構造などになるべく干渉しないサイズが求められている。HUD搭載のためにダクト・メータ・デフロスタ・車体構造を退避させてしまうと、エアコン性能・デフロスタ性能・車体強度性能の低下を招くためである。 With regard to “compactness”, a size that does not interfere as much as possible, such as ducts, meters, defrosters, and body structures housed in dashboards, is required. This is because if the duct, meter, defroster, or vehicle body structure is retracted to mount the HUD, air conditioner performance, defroster performance, and vehicle body strength performance will be reduced.

「視認ストレスの低さ」に関しては、HUDの映像は常に運転者の視界周辺に情報が表示されるため、運転環境・ドライバの状態によってストレスのない映像表現が求められている。上記ADAS技術の発展はHUDに投射するコンテンツ量の増加をもたらす。人間の認知処理には限界があるため、増加したセンシング情報をそのままHUDに表示すると、運転者はわずらわしさを感じてしまい、情報表示装置であるHUDが返って運転視界の阻害要因となってしまう。 With regard to “low visual stress”, HUD video always displays information around the driver's field of view, so there is a need for a stress-free video expression depending on the driving environment and driver status. The development of the ADAS technology will increase the amount of content projected on the HUD. Since human recognition processing is limited, if the increased sensing information is displayed on the HUD as it is, the driver will feel annoyance and the information display device HUD will return, which will impede driving visibility .

以上のようなHUD、すなわちヘッドアップディスプレイでは、光源及び画像形成素子を含む画像形成手段によって形成された画像光はスクリーン(例えば被走査面素子)に投影された後、例えば凹面鏡を含む投射光学系により投射され、透過反射部材(例えばフロントガラスやコンバイナ)を経て人間の目に入る(透過反射部材を介して視認可能となる)。このスクリーンは例えばマイクロレンズアレイで構成されており、光の発散角をレンズ曲率によって任意に制御する。その際、投射光学系及びフロントガラスを含む観察光学系の倍率、及びマイクロレンズアレイのX方向、Y方向の実効レンズピッチによって、表示画像(虚像)のX方向、Y方向の画素ピッチが決まる。   In the HUD as described above, that is, the head-up display, after the image light formed by the image forming means including the light source and the image forming element is projected onto the screen (for example, the scanning surface element), the projection optical system including the concave mirror, for example. And enters the human eye through a transmission / reflection member (for example, a windshield or a combiner) (becomes visible through the transmission / reflection member). This screen is composed of, for example, a microlens array, and the divergence angle of light is arbitrarily controlled by the lens curvature. At that time, the pixel pitch in the X direction and the Y direction of the display image (virtual image) is determined by the magnification of the observation optical system including the projection optical system and the windshield, and the effective lens pitch in the X direction and the Y direction of the microlens array.

そこで、発明者らは、画質の低下を抑制しつつ装置の小型化を図るべく、以下に説明する画像表示装置としてのヘッドアップディスプレイ装置(以下では「HUD」とも呼ぶ)を開発した。HUDの全体構成は、画像表示装置1000(ヘッドアップディスプレイ装置)と同様である。HUDにおいても、上述した画像表示装置1000に関する全ての構成を採用し得る。   Accordingly, the inventors have developed a head-up display device (hereinafter also referred to as “HUD”) as an image display device described below in order to reduce the size of the device while suppressing deterioration in image quality. The overall configuration of the HUD is the same as that of the image display device 1000 (head-up display device). Also in the HUD, all the configurations related to the image display apparatus 1000 described above can be adopted.

HUDは、図12(a)、図12(b)、図13に示されるようにXY平面に平行に配置されたマイクロレンズアレイ(以下では「MLA」とも呼ぶ)を備えている。   The HUD includes a microlens array (hereinafter also referred to as “MLA”) arranged parallel to the XY plane as shown in FIGS. 12 (a), 12 (b), and 13.

MLAは、複数のマイクロレンズがマトリクス状(2次元格子状)に隙間なく配列された構造を有しており、光源部100からのレーザ光を所望の発散角で発散させる。マイクロレンズは、横幅が例えば200um程度のレンズである。なお、マイクロレンズは、平面形状(Z軸方向から見た形状)が四角形のものに限らず、六角形や三角形のものを採用することもできる。   The MLA has a structure in which a plurality of microlenses are arranged in a matrix (two-dimensional lattice) without gaps, and diverges the laser light from the light source unit 100 at a desired divergence angle. The microlens is a lens having a lateral width of about 200 μm, for example. The microlens is not limited to a square shape (a shape viewed from the Z-axis direction) but may be a hexagonal shape or a triangular shape.

図12(a)及び図13における「Py」は、Y方向のレンズピッチを表す。図12(b)及び図13における「Px」は、X方向のレンズピッチを表す。なお、MLAでは、各マイクロレンズにおいて幾何学中心と光学中心が一致している。なお、「マイクロレンズの幾何学中心」は、該マイクロレンズをZ軸方向から見たときの該マイクロレンズの幾何学的な中心を意味する。「マイクロレンズの光学中心」は、「該マイクロレンズの光軸の位置」もしくは「該マイクロレンズの透過光強度分布が最大の位置」を意味する。   “Py” in FIGS. 12A and 13 represents the lens pitch in the Y direction. “Px” in FIGS. 12B and 13 represents the lens pitch in the X direction. In MLA, the geometric center and optical center of each microlens coincide. The “geometric center of the microlens” means the geometric center of the microlens when the microlens is viewed from the Z-axis direction. “The optical center of the microlens” means “the position of the optical axis of the microlens” or “the position where the transmitted light intensity distribution of the microlens is maximum”.

図12(a)、図12(b)に示されるように、MLAが入射光束201で走査されるとき、該入射光束201はマイクロレンズにより発散され、発散光202となる。MLAのX方向、Y方向のレンズピッチPx、Pyを独立に制御することで、入射光束201を所望の発散角θx、θyで発散させることが可能である。   As shown in FIGS. 12A and 12B, when the MLA is scanned with the incident light beam 201, the incident light beam 201 is diverged by the microlens and becomes divergent light 202. By independently controlling the lens pitches Px and Py in the X direction and Y direction of the MLA, it is possible to diverge the incident light beam 201 with desired divergence angles θx and θy.

ここで、HUDの中間像の画素数は、MLAのレンズ数で決定される。図13において、隣り合う2つのマイクロレンズの中心間のY方向、X方向の距離Py、Pxを縦横とする長方形の大きさを、マイクロレンズにおける1画素のサイズとみなすことができる。   Here, the number of pixels of the HUD intermediate image is determined by the number of lenses of the MLA. In FIG. 13, the size of a rectangle having vertical and horizontal distances Py and Px in the Y direction and X direction between the centers of two adjacent microlenses can be regarded as the size of one pixel in the microlens.

MLAは、上述したマトリクス状配列に限らず、例えば複数の六角形のマイクロレンズを用いたハニカム状配列とすることもできる。ハニカム状配列は、大きく分けて2通りある。   The MLA is not limited to the matrix-like arrangement described above, and may be a honeycomb-like arrangement using a plurality of hexagonal microlenses, for example. There are two types of honeycomb arrangements.

すなわち、ハニカム状配列には、図14(a)に示されるようにY方向に平行な辺を持つ「ジグザグ型配列」と、図14(b)に示されるようにX方向に平行な辺を持つ「アームチェア型配列」がある。ここでも、各マイクロレンズにおいて幾何学中心と光学中心が一致しているものとする。   That is, the honeycomb array has a “zigzag array” having sides parallel to the Y direction as shown in FIG. 14A and a side parallel to the X direction as shown in FIG. There is an “armchair type arrangement”. Again, it is assumed that the geometric center and the optical center of each microlens coincide.

図14(a)において、X方向に隣り合う2つのマイクロレンズの中心間の距離をX方向のレンズピッチPxとみなすことができ、X方向に配列された複数のマイクロレンズの中心を通る軸(中心軸)の隣接間隔をY方向のレンズピッチPyとみなすことができる。この場合、X方向の分解能が向上する。   In FIG. 14 (a), the distance between the centers of two microlenses adjacent in the X direction can be regarded as the lens pitch Px in the X direction, and the axis passing through the centers of a plurality of microlenses arranged in the X direction ( The adjacent interval of the central axis) can be regarded as the lens pitch Py in the Y direction. In this case, the resolution in the X direction is improved.

図14(b)において、Y方向に隣り合う2つのマイクロレンズの中心間の距離をY方向のレンズピッチPyとみなすことができ、Y方向に配列された複数のマイクロレンズの中心を通る軸(中心軸)の隣接間隔をX方向のレンズピッチPxとみなすことができる。この場合、Y方向の分解能が向上する。   In FIG. 14B, the distance between the centers of two microlenses adjacent in the Y direction can be regarded as the lens pitch Py in the Y direction, and an axis passing through the centers of a plurality of microlenses arranged in the Y direction ( The adjacent interval of the central axis) can be regarded as the lens pitch Px in the X direction. In this case, the resolution in the Y direction is improved.

ところで、図15には、比較例のマイクロレンズアレイのレンズ配列構造が示されている。ここでは、レンズ配列構造は、アームチェア型配列であり、X方向のレンズピッチPx、Y方向のレンズピッチPyは、いずれも一定となっている。このような構造にする理由は、特許文献2にも開示されているように、レーザ光の拡散性能を持たせつつ、レーザ光による干渉性ノイズであるスペックルを低減するためである。   Incidentally, FIG. 15 shows a lens arrangement structure of a microlens array of a comparative example. Here, the lens arrangement structure is an armchair arrangement, and the lens pitch Px in the X direction and the lens pitch Py in the Y direction are both constant. The reason for adopting such a structure is to reduce speckle, which is coherent noise due to laser light, while providing laser light diffusion performance as disclosed in Patent Document 2.

一方、レーザ走査方式の走査線軌跡としては、例えば図16のような正弦波走査と等速走査を組み合わせたもの(ラスタースキャン、特許文献3と同様)や、図17のような2方向に対して正弦波走査とするもの(リサジュ曲線、特許文献4と同様)が知られている。   On the other hand, as the scanning line trajectory of the laser scanning method, for example, a combination of sinusoidal scanning and constant speed scanning as shown in FIG. 16 (raster scanning, similar to Patent Document 3), or two directions as shown in FIG. A sine wave scan (Lissajous curve, similar to Patent Document 4) is known.

このような走査線軌跡とマイクロレンズアレイ(被走査面素子)のレンズ配列構造とを重ね合わせたときに形成される光強度分布が、観察される画像(虚像)となる。   The light intensity distribution formed when such a scanning line locus and the lens arrangement structure of the microlens array (scanned surface element) are superposed is an observed image (virtual image).

しかし、この場合に、走査線の周期(走査線間隔)とレンズ配列構造の周期(レンズピッチ)の干渉によるモアレが画質劣化の要因となる。モアレの発生は、一般的に、2種の周期構造の周期の差がわずかにあると大きくなり、この差を大きくとることにより視覚的には低減できる。   However, in this case, moire due to interference between the scanning line period (scanning line interval) and the lens arrangement structure period (lens pitch) becomes a factor in image quality degradation. The occurrence of moiré generally increases when there is a slight difference in the period between the two types of periodic structures, and can be visually reduced by taking this difference large.

図18は、図16のようなラスタースキャンによる走査線軌跡をとるときのマイクロレンズアレイを透過した光の光強度分布(画像)であって、走査端における走査線間隔Ps(図16参照)とY方向(副走査方向)のレンズピッチPyが略等しい場合(ここではPy=Ps=105)の画像の左半分を示している。なお、以下の議論は、画像の右半分についても同様に成立する。   FIG. 18 shows the light intensity distribution (image) of the light transmitted through the microlens array when taking the scanning line locus by raster scanning as shown in FIG. 16, and the scanning line interval Ps (see FIG. 16) at the scanning end. The left half of the image when the lens pitches Py in the Y direction (sub-scanning direction) are substantially equal (here Py = Ps = 105) is shown. The following discussion holds true for the right half of the image.

図19は、図18のX方向の中央部と周辺部についてY方向の光強度分布(画像)を示したものである。図19から、PsとPyが略等しいときには、光強度分布が可視レベルの周期の分布、つまりモアレとなって観測されることがわかる。モアレは、画像の中央部でも周辺部でも確認できる。   FIG. 19 shows the light intensity distribution (image) in the Y direction for the central portion and the peripheral portion in the X direction of FIG. From FIG. 19, it can be seen that when Ps and Py are substantially equal, the light intensity distribution is observed as a visible level period distribution, that is, a moire pattern. Moire can be confirmed at the center and the periphery of the image.

図20は、図16のようなラスタースキャンによる走査線軌跡をとるときのマイクロレンズアレイを透過した光の光強度分布(画像)であって、走査線間隔Ps(図16参照)とY方向(副走査方向)のレンズピッチPyの関係がPy>Psである場合(ここではPy=140、Ps=105)の画像の左半分を示している。なお、以下の議論は、画像の右半分についても同様に成立する。   FIG. 20 shows the light intensity distribution (image) of the light transmitted through the microlens array when taking the scanning line locus by the raster scan as shown in FIG. 16, and the scanning line interval Ps (see FIG. 16) and the Y direction (see FIG. 16). The left half of the image when the relationship of the lens pitch Py in the sub-scanning direction is Py> Ps (here Py = 140, Ps = 105) is shown. The following discussion holds true for the right half of the image.

図21は、図20のX方向の中央部と周辺部についてY方向の光強度分布(画像)を示したものである。図21からは、図19のような周期的な変化(モアレ)は確認できないが、走査線間隔Psに対してレンズピッチPy(Y方向のレンズ長さ)が大きすぎることによる粒状度の悪化が確認できる。   FIG. 21 shows the light intensity distribution (image) in the Y direction for the central portion and the peripheral portion in the X direction of FIG. From FIG. 21, the periodic change (moire) as shown in FIG. 19 cannot be confirmed, but the granularity deteriorates due to the lens pitch Py (lens length in the Y direction) being too large with respect to the scanning line interval Ps. I can confirm.

図22は、図16のようなラスタースキャンによる走査線軌跡をとるときのマイクロレンズアレイを透過した光の光強度分布(画像)であって、走査線間隔Ps(図16参照)とY方向(副走査方向)のレンズピッチPyの関係がPy<Psである場合(ここではPy=80、Ps=105)の画像の左半分を示している。なお、以下の議論は、画像の右半分についても同様に成立する。   FIG. 22 shows the light intensity distribution (image) of the light transmitted through the microlens array when taking the scanning line locus by the raster scan as shown in FIG. 16, and the scanning line interval Ps (see FIG. 16) and the Y direction (see FIG. 16). The left half of the image when the relationship of the lens pitch Py in the sub-scanning direction is Py <Ps (here Py = 80, Ps = 105) is shown. The following discussion holds true for the right half of the image.

図23は、図22のX方向の中央部と周辺部についてY方向の光強度分布(画像)を示したものである。図23からは、図19のような周期的な変化(モアレ)は確認できないが、走査線間隔Psに対してレンズピッチPy(Y方向のレンズ長さ)が小さすぎることによるスペックルノイズの増大が確認できる。   FIG. 23 shows the light intensity distribution (image) in the Y direction for the central portion and the peripheral portion in the X direction of FIG. Although the periodic change (moire) as shown in FIG. 19 cannot be confirmed from FIG. 23, the speckle noise increases due to the lens pitch Py (lens length in the Y direction) being too small with respect to the scanning line interval Ps. Can be confirmed.

以上説明したようなPyとPsの関係性による不具合に対する対策方法の1つとして、走査線の間隔を非常に密に(小さく)する方法が考えられる。   As one of countermeasures against the problems due to the relationship between Py and Ps as described above, a method of making the scanning line interval very close (small) can be considered.

しかし、この方法は、2次元偏向手段の動作周波数を大幅に向上させる必要があるため、例えばMEMSスキャナー等を2次元偏向手段として用いる場合には大きな問題となる。一般に、動作周波数を上げると、強度の面から動作振幅を小さくせざるを得ない。また、光を反射するミラー部の大きさを小さくする必要があるため、マイクロレンズアレイ上におけるビームスポット径を小さくするという画質向上に必要な構成にすることができなくなる。その理由を以下に説明する。   However, this method requires a significant improvement in the operating frequency of the two-dimensional deflecting unit, and thus becomes a serious problem when, for example, a MEMS scanner or the like is used as the two-dimensional deflecting unit. In general, when the operating frequency is increased, the operating amplitude must be reduced in terms of strength. Further, since it is necessary to reduce the size of the mirror part that reflects light, it becomes impossible to achieve a configuration necessary for improving the image quality by reducing the beam spot diameter on the microlens array. The reason will be described below.

一般的に収差の小さい光学系であれば、収束点へ向かう波長λの光束の収束角度θが大きいほど、収束させたときのビームウエスト径w0を小さくすることができる。θ=λ/(πw0)なので、θが大きくなるほどw0が小さくなる。   In general, in an optical system with small aberrations, the larger the convergence angle θ of the light beam having the wavelength λ toward the convergence point, the smaller the beam waist diameter w0 when converged. Since θ = λ / (πw0), w0 decreases as θ increases.

θを大きくする方法は、MEMSスキャナーと像面の距離を近づける方法と、MEMSスキャナーへの入射光束の径を大きくする方法がある。   There are two methods for increasing θ: a method of reducing the distance between the MEMS scanner and the image plane, and a method of increasing the diameter of the incident light beam to the MEMS scanner.

MEMSスキャナーと像面の距離を近づける場合には、ミラーを必要な画像サイズ分振る必要があるので、振り角限界により略距離が決まってしまう。   In order to reduce the distance between the MEMS scanner and the image plane, it is necessary to swing the mirror by a necessary image size, and therefore the approximate distance is determined by the swing angle limit.

一方、MEMSスキャナーへの入射光束の径を大きくする場合には、MEMSスキャナーのミラー径を大きくする必要がある。そのため、「光を反射するミラー部の大きさを小さくする必要がある」場合、ビームウエスト径を小さくすることに反するため、「マイクロレンズアレイ上におけるビームスポット径を小さくする」ことができなくなり、ビームスポット径を小さくできなければ、スペックルノイズを増加させるため、「画質向上に必要な構成にすることができなくなる。」   On the other hand, when increasing the diameter of the incident light beam to the MEMS scanner, it is necessary to increase the mirror diameter of the MEMS scanner. Therefore, in the case of “necessary to reduce the size of the mirror part that reflects light”, it is contrary to the reduction of the beam waist diameter, so it is impossible to “reducing the beam spot diameter on the microlens array” If the beam spot diameter cannot be reduced, speckle noise is increased, and “a configuration necessary for improving image quality cannot be achieved.”

また、走査線の間隔を疎に(大きく)しようとすると、マイクロレンズアレイ上を走査線で満たすことができないため明らかに画質劣化となる。   Further, if the scanning line interval is made sparse (larger), the microlens array cannot be filled with the scanning line, and the image quality is clearly deteriorated.

一方、マイクロレンズアレイのレンズ配列構造において、配列を密にすると単位構造のサイズ、例えばマイクロレンズ径が小さくなる。このとき、ビームスポット径の小径化には限界があるため、ビームスポットサイズが単位構造よりもかなり大きくなってしまい、スペックルノイズが許容できないほど発生してしまう。また、配列を疎にすると、1画素サイズが大きくなってしまい、粒状度の悪化という画質劣化が引き起こされる。   On the other hand, in the lens arrangement structure of the microlens array, when the arrangement is made dense, the size of the unit structure, for example, the microlens diameter becomes small. At this time, since there is a limit to reducing the beam spot diameter, the beam spot size becomes considerably larger than the unit structure, and speckle noise is unacceptably generated. Further, when the arrangement is sparse, the size of one pixel is increased, which causes image quality deterioration such as deterioration of granularity.

そこで、発明者は、モアレやスペックルノイズの発生、粒状度の悪化を抑制し、良好な2次元画像を表示するために、以下に説明する第2実施形態を発案した。   Therefore, the inventor has devised a second embodiment described below in order to suppress the generation of moire and speckle noise and the deterioration of granularity and to display a good two-dimensional image.

《第2実施形態》
第2実施形態の画像表示装置は、マイクロレンズアレイを除いて、上記第1実施形態の画像表示装置1000と同様の構成を有する。
<< Second Embodiment >>
The image display device of the second embodiment has the same configuration as that of the image display device 1000 of the first embodiment except for the microlens array.

すなわち、第2実施形態の画像表示装置も、光源部100、2次元偏向手段6、凹面鏡7及び被走査面素子としてのマイクロレンズアレイを有する光走査装置と、凹面鏡9と、を含んで構成されている。   That is, the image display apparatus according to the second embodiment is also configured to include the light source unit 100, the two-dimensional deflecting unit 6, the concave mirror 7, the optical scanning apparatus having the microlens array as the scanned surface element, and the concave mirror 9. ing.

第2実施形態のマイクロレンズアレイにおいても、上記第1実施形態と同様に、正方形や長方形のマイクロレンズを用いたマトリクス状配列、六角形のマイクロレンズを用いたハニカム状配列(ジグザグ型配列やアームチェア型配列)とすることが可能である。   Also in the microlens array of the second embodiment, similarly to the first embodiment, a matrix arrangement using square or rectangular microlenses or a honeycomb arrangement using hexagonal microlenses (zigzag arrangement or arm). Chair-type arrangement).

ここでは、図24に示されるように、アームチェア型配列を採用している。ここでも、各マイクロレンズにおいて幾何学中心と光学中心が一致しているものとする。第2実施形態では、図24から分かるように、マイクロレンズアレイのY方向のレンズピッチPyがX方向に変化している。図24において、Pya>Pybである。   Here, as shown in FIG. 24, an armchair type arrangement is adopted. Again, it is assumed that the geometric center and the optical center of each microlens coincide. In the second embodiment, as can be seen from FIG. 24, the lens pitch Py in the Y direction of the microlens array changes in the X direction. In FIG. 24, Pya> Pyb.

図25には、第2実施形態における、走査線間隔PsのX方向の分布(変化)と、マイクロレンズアレイのY方向のレンズピッチPyのX方向の分布(変化)が示されている。横軸はX方向であり、正弦波振動方向に一致させている。縦軸は凡例に示したCase.1〜4のY方向のレンズピッチPyを示している。scanとして示した曲線(以下では「scan曲線」と呼ぶ)は、画面内での走査線間隔(走査線周期)について模式的に示したものである。「画面」とは、マイクロレンズアレイのレンズ配列面(画像描画領域)を意味する。   FIG. 25 shows a distribution (change) in the X direction of the scanning line interval Ps and a distribution (change) in the X direction of the lens pitch Py in the Y direction of the microlens array in the second embodiment. The horizontal axis is the X direction, and is made coincident with the sine wave vibration direction. The vertical axis indicates the lens pitch Py in the Y direction of Cases 1 to 4 shown in the legend. A curve shown as “scan” (hereinafter referred to as “scan curve”) schematically shows the scanning line interval (scanning line cycle) in the screen. The “screen” means a lens arrangement surface (image drawing area) of the microlens array.

まず、scan曲線について説明する。主走査方向における正弦波走査と副走査方向における等速走査の組み合わせ(ラスタースキャン)によって得られる走査線軌跡は、図26(a)のようになる。この光強度分布の断面図は、図26(b)のようになり、実線で示したX方向中央(走査中央)では走査線間隔は、破線で示したX方向周辺(走査端)での走査線間隔Psの半分となることがわかる。つまり、走査線間隔は、X方向において画面中央部から画面周辺部に向かうにつれて、視覚的に徐々に大きくなるといえる。図25に示されるscan曲線は、この現象を表している。scan曲線は、画面中央部(X=0%)ではY方向の走査線間隔=Ps/2であり、画面周辺部(X≒100%)ではY方向の走査線間隔=Psであり、走査中央から走査端にかけて単調増加している。   First, the scan curve will be described. A scanning line locus obtained by a combination (raster scanning) of sine wave scanning in the main scanning direction and constant speed scanning in the sub-scanning direction is as shown in FIG. A cross-sectional view of this light intensity distribution is as shown in FIG. 26 (b), and the scanning line interval at the center in the X direction (scanning center) indicated by a solid line is the scanning in the X direction periphery (scanning end) indicated by a broken line. It can be seen that it is half the line spacing Ps. That is, it can be said that the scanning line interval visually increases gradually from the center of the screen toward the periphery of the screen in the X direction. The scan curve shown in FIG. 25 represents this phenomenon. In the scan curve, the scanning line interval in the Y direction = Ps / 2 at the center of the screen (X = 0%), and the scanning line interval in the Y direction = Ps at the peripheral part of the screen (X≈100%). It increases monotonically from the scanning end to the scanning end.

次に、Case.1について説明する。Case.1では、レンズピッチPyが、画面中央部(X=0%)から画像周辺部にかけて徐々に小さくなっている(単調減少している)。すなわち、Case.1では、画面中央部と画面周辺部(X≒100%)との間において、Y方向のレンズピッチPyは、常にPs<Pyを満たすように変化している。この場合、Case.1の曲線は、scan曲線と交わることがなく、常にscan曲線よりも大の状態にある。つまり、走査線間隔PsとレンズピッチPyの差が常に大きい。このことにより、画面のどの部分にもモアレが発生することがない。なお、上述の如く、モアレは、走査線間隔PsとレンズピッチPyの差がわずかにあると大きくなり、この差が大きいと視覚的には低減される。   Next, Case.1 will be described. In Case.1, the lens pitch Py gradually decreases (monotonically decreases) from the center of the screen (X = 0%) to the periphery of the image. That is, in Case.1, the lens pitch Py in the Y direction changes so as to always satisfy Ps <Py between the screen center and the screen periphery (X≈100%). In this case, the curve of Case.1 does not intersect with the scan curve and is always in a larger state than the scan curve. That is, the difference between the scanning line interval Ps and the lens pitch Py is always large. This prevents moiré from occurring in any part of the screen. As described above, the moire increases when there is a slight difference between the scanning line interval Ps and the lens pitch Py, and is visually reduced when the difference is large.

なお、Case.1では、モアレを確実に抑制する観点から、画面中央部と画面周辺部との間において常にPy−Ps>10umを満たすようにPyを変化させることが望ましい。   In Case.1, it is desirable to change Py so as to always satisfy Py−Ps> 10 μm between the screen center portion and the screen peripheral portion from the viewpoint of reliably suppressing moire.

また、レンズ径に対してビームスポット径が大きいと、すなわちレンズピッチに対してビームスポット径が大きいと、スペックルが発生することが既に知られている。なお、レンズピッチとレンズ径には相関があり、レンズピッチを大きくするほどレンズ径が大きくなる。   Further, it is already known that speckle occurs when the beam spot diameter is larger than the lens diameter, that is, when the beam spot diameter is larger than the lens pitch. There is a correlation between the lens pitch and the lens diameter, and the lens diameter increases as the lens pitch increases.

そこで、レンズ径に対して(レンズピッチに対して)ビームスポット径を一律に(均一に)小さくすることが考えられる。   Therefore, it is conceivable to make the beam spot diameter uniformly (uniformly) smaller than the lens diameter (relative to the lens pitch).

しかし、照射光学系の設計上、画面(画像描画領域)内でビームスポット径を一律に小さくすることは容易ではない。なお、「照射光学系」は、2次元偏向手段6、凹面鏡7を含む、光源部100とマイクロレンズアレイとの間の光路上に配置された光学系を意味する。   However, due to the design of the irradiation optical system, it is not easy to uniformly reduce the beam spot diameter within the screen (image drawing area). The “irradiation optical system” means an optical system including the two-dimensional deflection unit 6 and the concave mirror 7 and disposed on the optical path between the light source unit 100 and the microlens array.

このため、照射光学系を、画面内で部分的にビームスポット径が大きくなるように(例えば部分的にビームの結像位置が遠くなるように)、すなわちビームスポット径分布を許容するように設計しても、スペックルを抑制できることが望ましい。   For this reason, the irradiation optical system is designed so that the beam spot diameter is partially enlarged in the screen (for example, the imaging position of the beam is partially distant), that is, the beam spot diameter distribution is allowed. Even so, it is desirable that speckle can be suppressed.

そこで、Case.1では、照射光学系を画面内のビームスポット径分布を許容するように設計した場合でも、スペックルの発生を抑制できるよう、Y方向のレンズピッチPyを画面内のビームスポット径分布に適合させるように変化させている。   Therefore, in Case.1, the lens pitch Py in the Y direction is set to the beam spot diameter in the screen so that the generation of speckle can be suppressed even when the irradiation optical system is designed to allow the beam spot diameter distribution in the screen. It is changed to fit the distribution.

ここでは、ビームスポット径は、照射光学系の設計により、画面中央部(X=0%)から画面周辺部(X≒100%)にかけて徐々に小さくなるように分布(単調減少)している。   Here, the beam spot diameter is distributed (monotonically decreased) so as to gradually decrease from the screen center (X = 0%) to the screen periphery (X≈100%) due to the design of the irradiation optical system.

Case.1では、上述の如く、Y方向のレンズピッチPy(Y方向のレンズ長さ)を、画面中央部から画面周辺部にかけて徐々に小さくなるように変化(単調減少)させているため、画面内の任意の像高(X%)でビームスポット径に対してレンズピッチPyが小さくなるのを抑制でき、スペックルの発生を抑制できる。   In Case.1, as described above, the lens pitch Py in the Y direction (lens length in the Y direction) is changed (monotonically decreased) so as to gradually decrease from the center of the screen to the periphery of the screen. It is possible to suppress the lens pitch Py from becoming smaller with respect to the beam spot diameter at an arbitrary image height (X%), and to suppress the generation of speckles.

結果として、Case.1では、モアレ及びスペックルの発生を抑制できる。   As a result, in Case.1, generation of moire and speckle can be suppressed.

Case.4についてもCase.1と同様のことが言える。Case.4は、Case.1に比べて、Y方向のレンズピッチPy(Y方向のレンズ長さ)が小さく、かつビームスポット径が小さい構成である。Case.4では、ビームスポット径を小さくすることにより技術的難度(特に照射光学系の設計難度)が高くなるが、画面内でビームスポット径が分布することを許容することができるため、より良好な画像の実現がしやすくなる。   The same can be said for Case.4. Case.4 has a smaller lens pitch Py in the Y direction (lens length in the Y direction) and a smaller beam spot diameter than Case.1. Case.4 increases the technical difficulty (particularly the design difficulty of the irradiation optical system) by reducing the beam spot diameter, but it is better because it allows the beam spot diameter to be distributed within the screen. Realization of a simple image is facilitated.

詳述すると、Case.4でも、レンズピッチPyは、画面中央部(X=0%)から画面周辺部(X≒100%)にかけて徐々に小さくなっている(単調減少している)。さらに、Case.4では、画面中央部と画面周辺部との間において、Y方向のレンズピッチPyは、常にPy<Ps/2を満たすように変化している。この場合、Case.4の曲線は、scan曲線と交わることがなく、常にscan曲線よりも小の状態にある。つまり、走査線周期とレンズピッチPyの差が常に大きい。このことにより、画面のどの部分にもモアレが発生することがない。   More specifically, in Case 4 as well, the lens pitch Py gradually decreases (monotonically decreases) from the screen center (X = 0%) to the screen periphery (X≈100%). Further, in Case.4, the lens pitch Py in the Y direction changes so as to always satisfy Py <Ps / 2 between the screen center and the screen periphery. In this case, the curve of Case 4 does not intersect with the scan curve, and is always in a state smaller than the scan curve. That is, the difference between the scanning line period and the lens pitch Py is always large. This prevents moiré from occurring in any part of the screen.

なお、Case.4では、モアレを確実に抑制する観点から、画面中央部と画面周辺部との間において常にPs/2−Py>10umを満たすようにPyを変化させることが望ましい。   In Case.4, it is desirable to change Py so that Ps / 2−Py> 10 μm is always satisfied between the center of the screen and the periphery of the screen from the viewpoint of reliably suppressing moire.

Case.4でも、照射光学系を画面内のビームスポット径分布を許容するように設計した場合でも、スペックルの発生を抑制できるよう、Y方向のレンズピッチPyを画面内のビームスポット径分布に適合させるように変化させている。   In Case 4 as well, even when the irradiation optical system is designed to allow the beam spot diameter distribution in the screen, the lens pitch Py in the Y direction is changed to the beam spot diameter distribution in the screen so that speckle generation can be suppressed. It is changed to adapt.

ここでも、ビームスポット径は、照射光学系の設計により、画面中央部(X=0%)から画面周辺部(X≒100%)にかけて徐々に小さくなるように分布(単調減少)している。   Here too, the beam spot diameter is distributed (monotonically decreased) so as to gradually decrease from the screen center (X = 0%) to the screen periphery (X≈100%) due to the design of the irradiation optical system.

そこで、Case.4でも、Y方向のレンズピッチPy(Y方向のレンズ長さ)を、画面中央部から画面周辺部にかけて徐々に小さくなるように変化(単調減少)させている。   Therefore, also in Case.4, the lens pitch Py in the Y direction (lens length in the Y direction) is changed (monotonically decreased) so as to gradually decrease from the center of the screen to the periphery of the screen.

この場合、画面内の任意の像高(X%)でビームスポット径に対してレンズピッチPyが小さくなるのを抑制でき、スペックルの発生を抑制できる。   In this case, it is possible to suppress the lens pitch Py from becoming smaller with respect to the beam spot diameter at an arbitrary image height (X%) in the screen, and it is possible to suppress the generation of speckles.

結果として、Case.4では、モアレ及びスペックルを抑制でき、さらにレンズピッチPyが小さいため粒状度の悪化も抑制できる。   As a result, in Case.4, moire and speckle can be suppressed, and furthermore, since the lens pitch Py is small, deterioration of granularity can also be suppressed.

なお、Case.1、4とは、逆に、照射光学系の設計により、ビームスポット径を、画面中央部(X=0%)から画面周辺部(X≒100%)にかけて徐々に大きくなるように分布(単調増加)させても良い。この場合、Y方向のレンズピッチPyを、Py>PsもしくはPy<Ps/2の条件下で、画面中央部から画面周辺部にかけて単調増加させることが好ましい。Case.1、4とは逆の変化をさせると、画像主要部である画像中央部での粒状度の悪化を抑制できる。   In contrast to Cases 1 and 4, the beam spot diameter gradually increases from the screen center (X = 0%) to the screen periphery (X≈100%) due to the design of the irradiation optical system. May be distributed (monotonically increasing). In this case, it is preferable to monotonously increase the lens pitch Py in the Y direction from the center of the screen to the periphery of the screen under the condition of Py> Ps or Py <Ps / 2. When a change opposite to Cases 1 and 4 is performed, it is possible to suppress the deterioration of the granularity in the image central portion which is the main image portion.

特に、Case.1とは逆の変化では、上述の如く走査線周期は画面中央部から画面周辺部にかけて単調増加するため、画面内の任意の像高で走査線周期とレンズピッチPyとの差が大きくなりすぎるのを抑制でき、モアレやスペックルの発生に加えて、粒状度の悪化を抑制することもできる。なお、上述の如く、走査線周期に対してレンズピッチPy(Y方向のレンズ長さ)が大きすぎると、粒状度が悪化してしまう。   In particular, in a change opposite to Case.1, the scanning line period monotonously increases from the center of the screen to the peripheral part of the screen as described above, and therefore the difference between the scanning line period and the lens pitch Py at an arbitrary image height within the screen. Can be suppressed, and in addition to the generation of moire and speckles, the deterioration of granularity can also be suppressed. As described above, when the lens pitch Py (lens length in the Y direction) is too large with respect to the scanning line period, the granularity is deteriorated.

次に、Case.2、3について説明する。
ここでは、ビームスポット径は、照射光学系の設計により、画面中央部(X=0%)から画面周辺部(X≒100%)にかけて徐々に大きくなるように分布している。
Next, Cases 2 and 3 will be described.
Here, the beam spot diameter is distributed so as to gradually increase from the screen center (X = 0%) to the screen periphery (X≈100%) due to the design of the irradiation optical system.

そこで、Case.2、3では、ビームスポット径分布及び走査線周期分布に適合させるべく、Y方向のレンズピッチPy(Y方向のレンズ長さ)を、画面中央部から画面周辺部にかけて徐々に大きくなるように変化(単調増加)させている。   Therefore, in Cases 2 and 3, the lens pitch Py in the Y direction (lens length in the Y direction) is gradually increased from the center of the screen to the periphery of the screen in order to adapt to the beam spot diameter distribution and the scanning line period distribution. It is changed (monotonically increasing).

この場合、画面内の任意の像高(X%)でビームスポット径に対してレンズピッチPyが小さくなるのを抑制でき、ひいてはスペックルの発生を抑制できる。   In this case, it is possible to suppress the lens pitch Py from becoming smaller with respect to the beam spot diameter at an arbitrary image height (X%) in the screen, and thus to suppress the generation of speckles.

また、画面内の任意の像高(X%)で走査線周期とレンズピッチPyとの差が大きくなるのを抑制でき、ひいては粒状度の悪化を抑制することができる。また、画像の主要部分である中央部のレンズ径をより小さくすることができ、粒状度の悪化を更に抑制できる。なお、レンズ径が大きいほど粒状感が増し、画像の均一性が損なわれる。   In addition, it is possible to suppress an increase in the difference between the scanning line period and the lens pitch Py at an arbitrary image height (X%) in the screen, and thus it is possible to suppress deterioration in granularity. Further, the lens diameter at the central portion, which is the main part of the image, can be made smaller, and the deterioration of granularity can be further suppressed. Note that the larger the lens diameter, the greater the graininess, and the uniformity of the image is impaired.

Case.2では、さらに、画面中央部(X=0%)においてPy<Ps/2を満たし、かつ画面周辺部(X≒100%)においてPy<Psを満たしている。   In Case.2, Py <Ps / 2 is satisfied at the center of the screen (X = 0%), and Py <Ps is satisfied at the periphery of the screen (X≈100%).

Case.3では、さらに、画面中央部(X=0%)においてPs/2<Py<Psを満たし、画面周辺部(X≒100%)においてPy>Psを満たしている。   In Case.3, Ps / 2 <Py <Ps is satisfied at the center of the screen (X = 0%), and Py> Ps is satisfied at the periphery of the screen (X≈100%).

結果として、Case.2の曲線とscan曲線は互いに交わることがなく、Case.3とscan曲線は互いに交わることがなく、Case.2、3では、モアレが発生しない。   As a result, the curve of Case.2 and the scan curve do not cross each other, the case.3 and the scan curve do not cross each other, and Cases 2 and 3 do not generate moire.

なお、Case.2では、モアレ及びスペックルを確実に抑制する観点から、画面中央部において10um<Ps/2−Py<25umを満たし、かつ画面周辺部において10um<Ps−Py<25umを満たすことが望ましい。   In Case.2, from the viewpoint of reliably suppressing moire and speckles, 10 um <Ps / 2−Py <25 um is satisfied at the center of the screen and 10 um <Ps−Py <25 um is satisfied at the periphery of the screen. Is desirable.

また、Case.3では、モアレの発生及び粒状度の悪化を確実に抑制する観点から、画面中央部において10um<Py−Ps/2<30umを満たし、かつ画面周辺部において10um<Py−Ps<30umを満たすことが望ましい。   In Case.3, 10um <Py-Ps / 2 <30um is satisfied at the center of the screen and 10um <Py-Ps <at the periphery of the screen from the viewpoint of surely suppressing the occurrence of moire and deterioration of granularity. It is desirable to satisfy 30 um.

結果として、Case.2、3では、モアレ及びスペックルの発生、並びに粒状度の悪化を抑制できる。   As a result, in Cases 2 and 3, generation of moire and speckles and deterioration of granularity can be suppressed.

以上の説明から分かるように、Case.2、3の構成は、Case.1、4に対して、画像全体の画質の向上が期待できる。   As can be seen from the above description, the configurations of Cases 2 and 3 can be expected to improve the overall image quality of Cases 1 and 4.

なお、Case.1、4におけるレンズピッチPyのX方向の変化は、レンズピッチPyが大きくなる方向に凸の曲線であるが、レンズピッチPyが小さくなる方向に凸の曲線であっても良いし、傾斜した直線であっても良い。   The change in the X direction of the lens pitch Py in Cases 1 and 4 is a convex curve in the direction in which the lens pitch Py increases, but may be a convex curve in the direction in which the lens pitch Py decreases. An inclined straight line may be used.

また、Case.2、3におけるレンズピッチPyのX方向の変化は、レンズピッチPyが小さくなる方向に凸の曲線であるが、これに限らず、例えば、レンズピッチPyが大きく方向に凸の曲線であっても良いし、傾斜した直線であっても良い。   Further, the change in the X direction of the lens pitch Py in Cases 2 and 3 is a convex curve in the direction in which the lens pitch Py decreases, but is not limited thereto, for example, a curve in which the lens pitch Py is large and convex in the direction. Or an inclined straight line.

また、Case.1〜4におけるレンズピッチPyのX方向の変化は、単調減少又は単調増加であるが、これに限らず、例えば、走査中央から走査端までの間に極値を少なくとも1つ持っても良い。   In addition, the change in the X direction of the lens pitch Py in Cases 1 to 4 is monotonically decreasing or monotonically increasing, but is not limited thereto, and has, for example, at least one extreme value from the scanning center to the scanning end. May be.

第2実施形態の変形例1として、図27に示されるマイクロレンズアレイを説明する。   As a first modification of the second embodiment, a microlens array shown in FIG. 27 will be described.

変形例1では、Y方向のレンズピッチPyだけでなく、X方向のレンズピッチP2も画面内で変化させている。図27において、Pyc>Pyd、Pxa>Pxbである。   In the first modification, not only the lens pitch Py in the Y direction but also the lens pitch P2 in the X direction is changed in the screen. In FIG. 27, Pyc> Pyd and Pxa> Pxb.

図17のようなリサジュ曲線により2次元走査を行うなど、副走査方向の走査速度が一定でない場合に、図27のような構成をとることが有効になる。   When the scanning speed in the sub-scanning direction is not constant, such as when performing two-dimensional scanning with a Lissajous curve as shown in FIG. 17, it is effective to adopt the configuration as shown in FIG.

以上説明した第2実施形態の光走査装置は、画像表示用の光走査装置であって、光源及び該光源からの光を偏向する2次元偏向手段6(偏向器)を含む光走査系と、該光走査系からの光が照射されるマイクロレンズアレイ(アレイ状に配列された複数の凸構造を有する光学素子)とを備え、該マイクロレンズアレイのレンズ配列において、XY平面(マイクロレンズアレイのレンズ配列面)内のX方向(第1の方向)に直交するY方向(第2の方向)のレンズピッチPyは、X方向に変化している。   The optical scanning device according to the second embodiment described above is an optical scanning device for image display, and includes an optical scanning system including a light source and two-dimensional deflection means 6 (deflector) for deflecting light from the light source, A microlens array (optical elements having a plurality of convex structures arranged in an array) that is irradiated with light from the optical scanning system, and in the lens array of the microlens array, an XY plane (of the microlens array) The lens pitch Py in the Y direction (second direction) orthogonal to the X direction (first direction) in the lens arrangement surface) changes in the X direction.

この場合、例えばマイクロレンズアレイ上における走査線の態様に応じて、レンズピッチPyをX方向に変化させることにより、モアレの発生、スペックルの発生、粒状度の悪化の少なくとも1つを抑制できる。   In this case, for example, by changing the lens pitch Py in the X direction according to the mode of the scanning line on the microlens array, at least one of generation of moire, generation of speckles, and deterioration of granularity can be suppressed.

この結果、画質の低下を抑制できる。   As a result, deterioration in image quality can be suppressed.

また、Y方向のレンズ長さをX方向に変化させることにより、レンズピッチPyをX方向に変化させるため、レンズを敷き詰めることができ、ひいてはスペックルの発生を抑制できる。   Further, since the lens pitch Py is changed in the X direction by changing the lens length in the Y direction in the X direction, it is possible to spread the lenses, thereby suppressing the generation of speckles.

また、光走査系は、光源からの光によりマイクロレンズアレイをX方向に周期的に往復走査しつつ第2の方向に等速で片道走査し、すなわちラスタースキャンし、レンズピッチPyは、マイクロレンズアレイに形成される走査線の周期のX方向の変化に応じて変化している。   In addition, the optical scanning system periodically scans the microlens array in the X direction with light from the light source and performs one-way scanning in the second direction at a constant speed, that is, raster scanning, and the lens pitch Py is the microlens It changes in accordance with the change in the X direction of the period of the scanning lines formed in the array.

この場合、X方向の走査範囲の任意の位置(像高)におけるレンズピッチPyと走査線の周期との差を画質の低下を抑制可能な大きさにすることができる。具体的には、モアレ発生、スペックル発生及び粒状度悪化を抑制できる。   In this case, the difference between the lens pitch Py and the scanning line cycle at an arbitrary position (image height) in the scanning range in the X direction can be set to a size that can suppress degradation in image quality. Specifically, moiré generation, speckle generation, and deterioration of granularity can be suppressed.

この結果、画質の低下を更に抑制できる。   As a result, it is possible to further suppress deterioration in image quality.

また、マイクロレンズアレイのX方向の任意の位置においてレンズピッチPyと走査線の周期は一致しないため、画質の低下をより確実に抑制できる。   In addition, since the lens pitch Py does not coincide with the scanning line cycle at an arbitrary position in the X direction of the microlens array, it is possible to more reliably suppress deterioration in image quality.

また、走査線の周期は、X方向の走査中央から走査端にかけて単調増加し、レンズピッチPyは、X方向の走査中央から走査端にかけて単調増加する場合、X方向の走査範囲の任意の位置でレンズピッチPyと走査線の周期との差を画質の低下を抑制可能な大きさに設定することができる。   In addition, when the scanning line cycle monotonically increases from the scanning center in the X direction to the scanning end, and the lens pitch Py monotonously increases from the scanning center in the X direction to the scanning end, at any position in the scanning range in the X direction. The difference between the lens pitch Py and the scanning line cycle can be set to a size that can suppress the deterioration in image quality.

また、走査端における走査線の周期をPs(走査中央における走査線の周期をPs/2)としたときにマイクロレンズアレイのX方向の任意の位置においてPs<Py又はPs/2>Pyが成立する場合には、レンズピッチPyが走査線の周期に近づくことを抑制できるため、X方向の走査範囲の任意の位置において、モアレの発生を抑制できる。   Further, when the scanning line period at the scanning end is Ps (the scanning line period at the scanning center is Ps / 2), Ps <Py or Ps / 2> Py is established at an arbitrary position in the X direction of the microlens array. In this case, it is possible to suppress the lens pitch Py from approaching the cycle of the scanning line. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of moire at an arbitrary position in the scanning range in the X direction.

なお、Psは、X方向の周期的な往復走査の1周期におけるY方向の光の移動量と捉えることもできる。   Ps can also be regarded as the amount of movement of light in the Y direction in one cycle of periodic reciprocating scanning in the X direction.

また、走査端における走査線の周期をPs(走査中央における走査線の周期をPs/2)としたときに走査中央においてPs/2<P2<Psが成立し、かつ走査端においてP2>Psが成立する場合には、レンズピッチPyが走査線の周期に近づくことを抑制できるため、X方向の走査範囲の任意の位置において、モアレの発生を抑制できる。   Further, assuming that the scanning line period at the scanning end is Ps (the scanning line period at the scanning center is Ps / 2), Ps / 2 <P2 <Ps is established at the scanning center, and P2> Ps is satisfied at the scanning end. If it is established, it is possible to suppress the lens pitch Py from approaching the period of the scanning line, and therefore it is possible to suppress the occurrence of moire at an arbitrary position in the scanning range in the X direction.

また、走査端における走査線の周期をPs(走査中央における走査線の周期をPs/2)としたときに走査中央においてP2<Ps/2が成立し、かつ前記走査端においてPs/2<P2<Psが成立する場合には、レンズピッチPyが走査線の周期に近づくことを抑制できるため、X方向の走査範囲の任意の位置において、モアレの発生を抑制できる。   Further, assuming that the scanning line period at the scanning end is Ps (the scanning line period at the scanning center is Ps / 2), P2 <Ps / 2 is established at the scanning center, and Ps / 2 <P2 at the scanning end. When <Ps is established, it is possible to suppress the lens pitch Py from approaching the period of the scanning line, and therefore it is possible to suppress the occurrence of moire at any position in the scanning range in the X direction.

また、マイクロレンズアレイに照射される光のビームスポット径がX方向に変化し、レンズピッチPyがビームスポット径のX方向の変化に応じて変化している場合には、スペックルの発生を効果的に抑制できる。   In addition, when the beam spot diameter of the light irradiated to the microlens array changes in the X direction and the lens pitch Py changes according to the change in the X direction of the beam spot diameter, the generation of speckle is effective. Can be suppressed.

また、更にマイクロレンズアレイのX方向のレンズピッチP1がY方向に変化している場合には、2次元的にレンズピッチを変えることができ、例えばY方向(副走査方向)に等速走査しない場合でも、モアレの発生を画面全域において抑制できる。   Further, when the lens pitch P1 in the X direction of the microlens array is changed in the Y direction, the lens pitch can be changed two-dimensionally, for example, no constant speed scanning is performed in the Y direction (sub-scanning direction). Even in this case, the generation of moire can be suppressed over the entire screen.

また、マイクロレンズアレイが、ハニカム型に敷き詰められた六角形の複数のマイクロレンズを含む場合には、干渉性ノイズの発生する方向が3方向に分散されるため、干渉性ノイズ(スペックル)のコントラストが低くなり、干渉性ノイズとして視認されにくい。また、単純な形状であるため工法が容易である。   In addition, when the microlens array includes a plurality of hexagonal microlenses laid out in a honeycomb shape, the direction in which the coherent noise is generated is dispersed in three directions. Contrast becomes low and it is hard to be visually recognized as coherent noise. Moreover, since it is a simple shape, the construction method is easy.

また、マイクロレンズアレイが、敷き詰められた四角形の複数のマイクロレンズアレイを含む場合には、マイクロレンズアレイの発散プロファイルを制御しやすくなる。また、単純な形状であるため工法が容易である。   In addition, when the microlens array includes a plurality of rectangular microlens arrays spread out, the divergence profile of the microlens array can be easily controlled. Moreover, since it is a simple shape, the construction method is easy.

また、第2実施形態の画像表示装置は、第2実施形態の光走査装置と、該光走査装置のマイクロレンズアレイを介した光を透過反射部材(反射面素子10)に導く凹面鏡9(光学系)と、備えているため、視認性の良い画像を表示できる。   In addition, the image display apparatus according to the second embodiment includes an optical scanning apparatus according to the second embodiment and a concave mirror 9 (optical) that guides light that passes through the microlens array of the optical scanning apparatus to a transmission / reflection member (reflection surface element 10). System), an image with good visibility can be displayed.

また、第2実施形態の画像表示装置と、該画像表示装置が搭載される移動体と、を備える移動体装置は、移動体の操縦者に視認性の良い画像を提供できる。   In addition, a mobile device including the image display device according to the second embodiment and a mobile body on which the image display device is mounted can provide a highly visible image to a driver of the mobile body.

また、マイクロレンズの光学中心と幾何学中心が略一致している場合には、マイクロレンズアレイの設計及び製造を簡素化できる。   In addition, when the optical center and the geometric center of the microlens are substantially coincident, the design and manufacture of the microlens array can be simplified.

第2実施形態の変形例2、3として、図28、図29に示されるマイクロレンズアレイを説明する。   As modifications 2 and 3 of the second embodiment, a microlens array shown in FIGS. 28 and 29 will be described.

変形例2、3のマイクロレンズアレイのレンズ形状は、それぞれひし形、長方形である。このようなレンズ形状は、レンズの加工上、断面の曲率半径を制御する際に変化することがあり、光発散プロファイルが、後段の観察光学系にとって望ましい形状をとるように、調整することができる。   The lens shapes of the microlens arrays of Modifications 2 and 3 are a rhombus and a rectangle, respectively. Such a lens shape may change when the radius of curvature of the cross section is controlled in processing of the lens, and the light divergence profile can be adjusted so as to take a desired shape for the observation optical system in the subsequent stage. .

また、同様な観点から、マイクロレンズアレイのレンズ形状は、ひし形や長方形以外の平行四辺形、台形等であっても良い。いずれの形状を選択する場合においても、スペックル抑制の観点から、レンズを稠密に配置することが好ましい。   From the same viewpoint, the lens shape of the microlens array may be a parallelogram other than a rhombus or a rectangle, a trapezoid, or the like. Whichever shape is selected, it is preferable to arrange the lenses densely from the viewpoint of speckle suppression.

また、上記各実施形態において、被走査面素子として、マイクロレンズアレイ(微細凸レンズ構造を有する光学素子)の代わりに、マイクロミラーアレイ(微細凸ミラー構造、すなわちアレイ状に配列された複数の凸構造を有する光学素子)を採用することもできる。すなわち、上記第1及び第2の実施形態を、マイクロレンズアレイをマイクロミラーアレイに置き換えて実施することができる。   In each of the above embodiments, instead of a microlens array (an optical element having a fine convex lens structure), a micromirror array (a fine convex mirror structure, that is, a plurality of convex structures arranged in an array) is used as the surface element to be scanned. It is also possible to employ an optical element). That is, the first and second embodiments can be implemented by replacing the microlens array with a micromirror array.

図30には、微細凸ミラー構造を有する光学素子としてのマイクロミラーアレイ(以下ではMMAと略称する)が一例として示されている。MMAは、図30に示されるように、アレイ状に配列された複数の微細凸ミラー3001を有している。   FIG. 30 shows, as an example, a micro mirror array (hereinafter abbreviated as MMA) as an optical element having a fine convex mirror structure. As shown in FIG. 30, the MMA has a plurality of fine convex mirrors 3001 arranged in an array.

微細凸ミラー3001は「画素表示用ビームLCのビーム径」より大きい。微細凸ミラー3001を「画素表示用ビームLCのビーム径」より大きくするのは、干渉性ノイズ低減のためであり、以下これを、図30を参照して説明する。   The fine convex mirror 3001 is larger than the “beam diameter of the pixel display beam LC”. The reason why the fine convex mirror 3001 is made larger than “the beam diameter of the pixel display beam LC” is to reduce coherent noise, and this will be described below with reference to FIG.

画素表示用ビームLCの光束径LCaは、微細凸ミラー3001の大きさ3001aよりも小さい。   The beam diameter LCa of the pixel display beam LC is smaller than the size 3001a of the fine convex mirror 3001.

即ち、微細凸ミラー3001の大きさ3001aは、光束径LCaよりも大きい。
なお、ここでは、画素表示用ビームLCはレーザ光束であり、光束中心のまわりにガウス分布状の光強度分布をなす。
That is, the size 3001a of the fine convex mirror 3001 is larger than the light beam diameter LCa.
Here, the pixel display beam LC is a laser beam, and forms a Gaussian light intensity distribution around the center of the beam.

従って、光束径LCaは、光強度分布における光強度が「1/e」に低下する光束径方向距離である。 Therefore, the light beam diameter LCa is a light beam radial direction distance at which the light intensity in the light intensity distribution decreases to “1 / e 2 ”.

図30では、光束径LCaは微細凸ミラー3001の大きさ3001aに等しく描かれているが、光束径LCaが「微細凸ミラー3001の大きさ3001a」に等しい必要は無い。   In FIG. 30, the light beam diameter LCa is drawn equal to the size 3001a of the fine convex mirror 3001, but the light beam diameter LCa does not have to be equal to the "size 3001a of the fine convex mirror 3001".

要は、微細凸ミラー3001への入射光束が該微細凸ミラー3001からはみ出さなければ良い。   In short, it is sufficient that the incident light beam on the fine convex mirror 3001 does not protrude from the fine convex mirror 3001.

図30において、画素表示用ビームLCは、その全体が1個の微細凸ミラー3001に入射し、発散角3005をもつ拡散光束3004に変換される。なお、「発散角」は、「拡散角」と呼ぶこともある。   In FIG. 30, the entire pixel display beam LC enters one fine convex mirror 3001 and is converted into a diffused light beam 3004 having a divergence angle 3005. The “divergence angle” may also be referred to as “diffusion angle”.

図30においては、拡散光束3004は1つであり、干渉する光束が無いので、干渉性ノイズ(スペックルノイズ)は発生しない。   In FIG. 30, there is only one diffused light beam 3004, and there is no interfering light beam, so no coherent noise (speckle noise) is generated.

なお、発散角3005の大きさは、微細凸ミラー3001の形状により適宜設定できる。   The size of the divergence angle 3005 can be appropriately set depending on the shape of the fine convex mirror 3001.

なお、上記第2実施形態では、走査線周期のX方向の変化及びビームスポット径分布(ビームスポット径のX方向の変化)に応じてY方向のレンズピッチPyを変化させているが、走査線周期のX方向の変化にのみ応じて、Y方向のレンズピッチPyを変化させても良い。   In the second embodiment, the lens pitch Py in the Y direction is changed according to the change in the X direction of the scanning line period and the beam spot diameter distribution (change in the X direction of the beam spot diameter). The lens pitch Py in the Y direction may be changed only in accordance with the change in the X direction of the cycle.

この場合に、照射光学系の設計によるマイクロレンズアレイ上のビームスポット径分布を補正しても良い。ビームスポット径を調整する方法は、いくつかあるが、例えば、波長可変レーザを用いる方法、ビーム径可変光学系を用いる方法(特開1995−089131号公報に開示された光学系、径の異なる複数のピンホールを有する板状部材をビームの光路を横切る方向に移動させる光学系、ビーム結像位置を変える光学系)がある。   In this case, the beam spot diameter distribution on the microlens array based on the design of the irradiation optical system may be corrected. There are several methods for adjusting the beam spot diameter. For example, a method using a wavelength variable laser, a method using a beam diameter variable optical system (the optical system disclosed in JP-A-1995-089131, a plurality of different diameters). There are an optical system for moving a plate-shaped member having a pinhole in the direction crossing the optical path of the beam and an optical system for changing the beam imaging position).

具体的には、光偏向器15が有する、ミラー150の第1軸周り、第2軸周りの揺動位置を検出する検出器の検出情報に基づいて、処理装置50が、ビームスポット径可変手段(波長可変レーザやビーム径可変光学系)を制御し、主走査方向の位置(像高X)に応じてビームスポット径を変えることにより、マイクロレンズアレイ上におけるビームスポット径を均一にしても良い。   Specifically, based on detection information of a detector that detects the oscillation position of the optical deflector 15 around the first axis and the second axis of the mirror 150, the processing device 50 uses beam spot diameter varying means. The beam spot diameter on the microlens array may be made uniform by controlling the (wavelength variable laser or beam diameter variable optical system) and changing the beam spot diameter according to the position (image height X) in the main scanning direction. .

また、上記ビームスポット径可変手段を用いて、第2実施形態のマイクロレンズアレイの設計誤差、製造誤差、経時の形状誤差等により発生するスペックルの発生を抑制するようにしても良い。具体的には、X方向の走査範囲の任意の位置において、レンズピッチPyに対してビームスポット径が大きくなり過ぎないように該ビームスポット径を調整する。   The beam spot diameter varying means may be used to suppress the generation of speckles caused by the design error, manufacturing error, shape error with time, etc. of the microlens array of the second embodiment. Specifically, the beam spot diameter is adjusted so that the beam spot diameter does not become too large with respect to the lens pitch Py at an arbitrary position in the scanning range in the X direction.

また、上記第2実施形態では、走査線周期のX方向の変化及びビームスポット径分布に応じてY方向のレンズピッチPyを変化させているが、ビームスポット径分布の変化にのみ応じて、Y方向のレンズピッチPyを変化させても良い。   Further, in the second embodiment, the lens pitch Py in the Y direction is changed according to the change in the X direction of the scanning line period and the beam spot diameter distribution, but only according to the change in the beam spot diameter distribution, the Y The lens pitch Py in the direction may be changed.

また、上記第2実施形態では、マイクロレンズアレイの各マイクロレンズの幾何学中心と光学中心は一致しているが、Y方向のレンズピッチPyを変化させることで、モアレの発生、スペックルの発生、粒状度の悪化の少なくとも1つを抑制できれば、多少ずれていても構わない。   In the second embodiment, the geometric center and optical center of each microlens of the microlens array coincide with each other. However, by changing the lens pitch Py in the Y direction, moiré and speckle are generated. As long as at least one of the deterioration of granularity can be suppressed, it may be slightly deviated.

また、上記第2実施形態では、ビームスポット径分布を設定し、該ビームスポット径のX方向の変化に応じて、Y方向のレンズピッチPyをX方向に変化させているが、これに代えて、Y方向のレンズピッチPyのX方向の分布(変化)を設定し、該分布に応じて、ビームスポット径をX方向に変化させても良い。この場合にも、スペックルを効果的に抑制することができる。具体的には、照射光学系の設計によりX方向のビームスポット径分布を設定しても良いし、上記ビームスポット径可変手段によりX方向のビームスポット径分布を設定しても良い。   In the second embodiment, the beam spot diameter distribution is set, and the lens pitch Py in the Y direction is changed in the X direction according to the change in the X direction of the beam spot diameter. A distribution (change) in the X direction of the lens pitch Py in the Y direction may be set, and the beam spot diameter may be changed in the X direction according to the distribution. Also in this case, speckle can be effectively suppressed. Specifically, the beam spot diameter distribution in the X direction may be set by the design of the irradiation optical system, or the beam spot diameter distribution in the X direction may be set by the beam spot diameter varying means.

また、上記各実施形態のマイクロレンズアレイでは、複数のマイクロレンズが2次元配列されているが、これに代えて、3次元配列されていても良い。例えば、マイクロレンズアレイが全体として湾曲していても良い。   In the microlens array of each of the above embodiments, a plurality of microlenses are two-dimensionally arranged. However, instead of this, a three-dimensional array may be arranged. For example, the microlens array may be curved as a whole.

また、上記各実施形態では、投射光学系は、凹面鏡9から構成されているが、これに限らず、例えば、凸面鏡から構成されても良いし、曲面鏡(凹面鏡や凸面鏡)と、該曲面鏡と被走査面素子との間に配置された折り返しミラーとを含んで構成されても良い。   In each of the above embodiments, the projection optical system is configured by the concave mirror 9, but is not limited thereto, and may be configured by, for example, a convex mirror, a curved mirror (concave mirror or convex mirror), and the curved mirror. And a folding mirror disposed between the scanning surface element and the scanning surface element.

また、上記各実施形態では、光走査装置は、凹面鏡7を有しているが、有していなくても良い。この場合、凹面鏡9は、反射面素子10の影響で中間像の水平線が上または下に凸形状となる光学歪み要素を補正するように設計・配置されることが好ましい。   Moreover, in each said embodiment, although the optical scanning device has the concave mirror 7, it does not need to have it. In this case, the concave mirror 9 is preferably designed and arranged so as to correct an optical distortion element in which the horizontal line of the intermediate image is convex upward or downward due to the influence of the reflective surface element 10.

また、上記各実施形態では、光源として半導体レーザを用いているが、他のレーザ等を用いても良い。   In each of the above embodiments, a semiconductor laser is used as a light source, but other lasers or the like may be used.

また、上記各実施形態では、画像表示装置は、カラー画像に対応するように構成されているが、モノクロ画像に対応するように構成されても良い。   In each of the above embodiments, the image display device is configured to support a color image, but may be configured to support a monochrome image.

また、反射面素子10としての透過反射部材は、例えば、いわゆるコンバイナのように、移動体のウインドシールドとは別の部材で構成され、観察者から見て該ウインドシールドの手前に配置されていても良い。   Further, the transmissive reflecting member as the reflecting surface element 10 is formed of a member different from the windshield of the moving body, for example, a so-called combiner, and is disposed in front of the windshield as viewed from the observer. Also good.

また、透過反射部材は、移動体のフロントガラスに限らず、例えばサイドガラス、リアガラス等であっても良く、要は、透過反射部材は、虚像を視認する操縦者により操縦される移動体に設けられ、操縦者が移動体の外部を視認するための窓部材(ウインドシールド)であれば良い。   In addition, the transmission / reflection member is not limited to the windshield of the moving body, and may be, for example, a side glass, a rear glass, and the like. A window member (wind shield) for the operator to visually recognize the outside of the moving body may be used.

また、画像表示装置によって虚像を視認可能にされる対象者は、移動体の操縦者に限らず、例えば該移動体に搭乗するナビゲータ、乗客等の同乗者であっても良い。   The target person whose virtual image can be visually recognized by the image display device is not limited to a driver of a moving body, and may be a passenger such as a navigator or a passenger who rides on the moving body.

また、上記各実施形態では、画像表示装置(HUD)は、例えば車両、航空機、船舶等の移動体に搭載されるものを一例として説明したが、要は、物体に搭載されるものであれば良い。なお、「物体」は、移動体の他、恒常的に設置されるものや運搬可能なものを含む。   In each of the above embodiments, the image display device (HUD) has been described as an example mounted on a moving body such as a vehicle, an aircraft, or a ship. good. Note that the “object” includes, in addition to a moving object, a permanently installed object and a transportable object.

また、本発明の画像表示装置は、ヘッドアップディスプレイ装置のみならず、例えばヘッドマウントディスプレイ装置、プロンプタ装置、プロジェクタ装置への応用も可能である。   The image display device of the present invention can be applied not only to a head-up display device but also to a head-mounted display device, a prompter device, and a projector device, for example.

例えば、プロジェクタ装置に応用する場合には、該プロジェクタ装置は、上記第1又は第2の実施形態の光走査装置と、該光走査装置のマイクロレンズアレイを介した光を投影面に導くように構成される。   For example, when applied to a projector device, the projector device guides light to the projection surface through the optical scanning device of the first or second embodiment and the microlens array of the optical scanning device. Composed.

また、上記各実施形態に記載した具体的な数値、形状等は、一例であって、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更である。   In addition, the specific numerical values, shapes, and the like described in the above embodiments are examples, and can be appropriately changed without departing from the spirit of the present invention.

以下に、発明者が上記第2実施形態を発案するに至った思考プロセスを説明する。   Below, the thought process which the inventor came up with the said 2nd Embodiment is demonstrated.

従来、光走査装置は、光プリンタやデジタル複写機、光プロッタ等の画像形成装置に関連して広く知られているが、近年、二次元走査するミラーに多色の光束を入射させ、カラー二次元画像を得る走査型プロジェクタが広く提案されている。   Conventionally, optical scanning devices are widely known in connection with image forming apparatuses such as optical printers, digital copying machines, and optical plotters. Scanning projectors that obtain dimensional images have been widely proposed.

特に、半導体レーザ光源は、その放出する光束の高い指向性により、高い光利用効率を得られることから上記走査型プロジェクタに適していると言われている。   In particular, it is said that the semiconductor laser light source is suitable for the scanning projector because high light utilization efficiency can be obtained due to the high directivity of the emitted light beam.

半導体レーザによる走査型プロジェクタは、キセノンランプのような巨大な放熱器を設けることなく、機器内で強い光を発することができ、且つ指向性の高さから小型な光学系においても明るい画像を形成することができる。したがって様々な機器に組み込まれたプロジェクタユニットとして期待されている。   Scanning projectors based on semiconductor lasers can emit strong light in equipment without providing a huge heatsink such as a xenon lamp, and form bright images even in small optical systems due to their high directivity. can do. Therefore, it is expected as a projector unit incorporated in various devices.

ヘッドアップディスプレイは、乗用車に組み込まれた虚像投影器である。ここでも半導体レーザ走査型プロジェクタが有効であり、様々な発明が提案されている。   A head-up display is a virtual image projector incorporated in a passenger car. The semiconductor laser scanning projector is also effective here, and various inventions have been proposed.

レーザディスプレイ固有の課題として、スペックルノイズの発生がある。これを回避するための技術として、マイクロレンズアレイの適用が提案されている(特許文献2参照)。   A problem inherent to laser display is the generation of speckle noise. As a technique for avoiding this, application of a microlens array has been proposed (see Patent Document 2).

一方、マイクロレンズアレイは周期的な配列構造を持つため、2次元走査の走査線周期との干渉により、モアレが観察され、画質が低減するという問題がある。   On the other hand, since the microlens array has a periodic arrangement structure, there is a problem that moire is observed due to interference with the scanning line cycle of two-dimensional scanning, and image quality is reduced.

そこで、発明者は、スペックルやモアレの発生を抑制すべく、上記第2実施形態を発案した。   Therefore, the inventor has devised the second embodiment to suppress the generation of speckles and moire.

7…凹面鏡(光走査系の一部)、8…被走査面素子(マイクロレンズアレイ、光走査系の一部)、6…2次元偏向手段(偏向器、光走査系の一部)、9…凹面鏡(光学系)、10…反射面素子(透過反射部材)、100…光源部。   7 ... concave mirror (part of optical scanning system), 8 ... surface element to be scanned (microlens array, part of optical scanning system), 6 ... two-dimensional deflection means (deflector, part of optical scanning system), 9 ... concave mirror (optical system), 10 ... reflective surface element (transmission / reflection member), 100 ... light source part.

特開2015‐034877号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2015-034877 特開2014‐139657号公報JP 2014-139657 A 特許4620901号公報Japanese Patent No. 4620901 特許5091112号公報Japanese Patent No. 5091112

Claims (16)

画像表示用の光走査装置であって、
光源及び該光源からの光を偏向する偏向器を含む光走査系と、
前記光走査系からの光が照射される、アレイ状に配列された複数の凸構造を有する光学素子と、を備え、
前記光学素子の凸構造配列において、凸構造配列面内の第1の方向に直交する第2の方向の前記凸構造のピッチP2は前記第1の方向に変化していることを特徴とする光走査装置。
An optical scanning device for image display,
An optical scanning system including a light source and a deflector for deflecting light from the light source;
An optical element having a plurality of convex structures arranged in an array, irradiated with light from the optical scanning system,
In the convex structure arrangement of the optical element, the pitch P2 of the convex structure in the second direction orthogonal to the first direction in the convex structure arrangement plane is changed in the first direction. Scanning device.
前記光学素子において前記第2の方向の前記凸構造の長さが前記第1の方向に変化していることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。   2. The optical scanning device according to claim 1, wherein a length of the convex structure in the second direction in the optical element is changed in the first direction. 前記光走査系は、前記光源からの光により前記光学素子を前記第1の方向に往復走査しつつ前記第2の方向に片道走査し、
前記ピッチP2は、前記光学素子に形成される走査線の間隔の前記第1の方向の変化に応じて変化していることを特徴とする請求項1又は2に記載の光走査装置。
The optical scanning system performs one-way scanning in the second direction while reciprocatingly scanning the optical element in the first direction by light from the light source,
3. The optical scanning device according to claim 1, wherein the pitch P <b> 2 changes according to a change in the first direction of an interval between scanning lines formed in the optical element.
前記走査線の間隔は、前記第1の方向の走査中央から走査端にかけて単調増加し、
前記ピッチP2は、前記走査中央から前記走査端にかけて単調増加することを特徴とする請求項3に記載の光走査装置。
The interval between the scanning lines monotonously increases from the scanning center to the scanning end in the first direction,
The optical scanning device according to claim 3, wherein the pitch P2 monotonously increases from the scanning center to the scanning end.
前記光学素子の前記第1方向の任意の位置において前記ピッチP2と前記走査線の間隔は一致しないことを特徴とする請求項3又は4に記載の光走査装置。   5. The optical scanning device according to claim 3, wherein an interval between the pitch P <b> 2 and the scanning line does not match at an arbitrary position in the first direction of the optical element. 前記第1の方向の走査端における前記走査線の間隔をPsとすると、前記光学素子の前記第1の方向の任意の位置でPs<P2又はPs/2>P2が成立することを特徴とする請求項3〜5のいずれか一項に記載の光走査装置。   Ps <P2 or Ps / 2> P2 is established at an arbitrary position in the first direction of the optical element, where Ps is an interval between the scanning lines at the scanning end in the first direction. The optical scanning device according to any one of claims 3 to 5. 前記第1の方向の走査端における前記走査線の間隔をPsとすると、前記走査中央においてPs/2<P2<Psが成立し、かつ前記走査端においてP2>Psが成立することを特徴とする請求項3〜5のいずれか一項に記載の光走査装置。   When the interval between the scanning lines at the scanning end in the first direction is Ps, Ps / 2 <P2 <Ps is established at the scanning center, and P2> Ps is established at the scanning end. The optical scanning device according to any one of claims 3 to 5. 前記第1の方向の走査端における前記走査線の間隔をPsとすると、前記走査中央においてP2<Ps/2が成立し、かつ前記走査端においてPs/2<P2<Psが成立することを特徴とする請求項3〜5のいずれか一項に記載の光走査装置。   When the interval between the scanning lines at the scanning end in the first direction is Ps, P2 <Ps / 2 is established at the scanning center, and Ps / 2 <P2 <Ps is established at the scanning end. The optical scanning device according to any one of claims 3 to 5. 前記光学素子に照射される光のビームスポット径は、前記第1の方向に変化し、
前記ピッチP2は、前記ビームスポット径の前記第1の方向の変化に応じて変化していることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の光走査装置。
The beam spot diameter of the light applied to the optical element changes in the first direction,
9. The optical scanning device according to claim 1, wherein the pitch P <b> 2 changes according to a change in the first direction of the beam spot diameter.
前記光学素子の前記第1の方向の前記凸構造のピッチP1は、前記第2の方向に変化していることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の光走査装置。   10. The optical scanning device according to claim 1, wherein a pitch P <b> 1 of the convex structure in the first direction of the optical element changes in the second direction. 11. 前記光学素子は、ハニカム型に敷き詰められた六角形の複数のマイクロレンズ又はマイクロミラーを含むことを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の光走査装置。   The optical scanning device according to claim 1, wherein the optical element includes a plurality of hexagonal microlenses or micromirrors laid out in a honeycomb shape. 前記光学素子は、敷き詰められた四角形の複数のマイクロレンズアレイ又はマイクロミラーを含むことを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の光走査装置。   The optical scanning device according to claim 1, wherein the optical element includes a plurality of rectangular microlens arrays or micromirrors spread out. 請求項1〜12のいずれか一項に記載の光走査装置と、
前記光走査装置の前記光学素子を介した光を透過反射部材に導く光学系と、備える画像表示装置。
An optical scanning device according to any one of claims 1 to 12,
An image display device comprising: an optical system that guides light through the optical element of the optical scanning device to a transmission / reflection member.
請求項1〜12のいずれか一項に記載の光走査装置と、
前記光走査装置の前記光学素子を介した光を投影面に導く画像表示装置。
An optical scanning device according to any one of claims 1 to 12,
An image display device that guides light through the optical element of the optical scanning device to a projection surface.
請求項13に記載の画像表示装置と、
前記画像表示装置が搭載される物体と、を備える物体装置。
An image display device according to claim 13,
And an object device on which the image display device is mounted.
前記物体は、移動体であり、
前記画像表示装置は、ヘッドアップディスプレイ装置であることを特徴とする請求項15に記載の物体装置。
The object is a moving body;
The object device according to claim 15, wherein the image display device is a head-up display device.
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