JP2017003631A - パターン描画装置及びパターン描画方法 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、特許文献1においては、校正用パターンを用意し、この校正用パターンを前記AM用カメラで計測し、次に光学ヘッドからの照射光の位置を光学ヘッド観察用カメラで計測し、さらにこの光学ヘッド観察用カメラで校正用パターンを計測することにより行われる。
ゲート7の手前側には、基板1に形成されたAM8を読み取るためのAM用カメラ9が搭載されているAM用カメラテーブル10がガイドレール11に係合してY方向に移動可能な状態で取付けられている。またゲート7の向かい側には、DMD方式によりスポット形状のレーザ光を照射して基板1にパターン描画を行う光学ヘッドを複数個含む光学ヘッドユニット12が取付けられている。
先ず、図2で説明すると、後述する位置情報Aに基づき、ワークテーブル2をX方向の図の上方へ移動させるとともに、光学ヘッド観察用カメラテーブル5とAM用カメラテーブル10をY方向へ移動させ、光学ヘッド観察用カメラテーブル5上に搭載された校正用光学部4上の校正用パターン21をAM用カメラ9で読取れるよう位置合わせする。
図4におけるAM用カメラ制御部45は、AM用カメラ9の読取画像を処理し、校正パターン51の画像部分から校正パターン51の中心56のAM用カメラの視野54における座標を求める。前記座標の原点は、視野の縦と横のピクセル数のそれぞれ1/2の位置とし、予め求めておくものする。
図4における光学ヘッド観察用カメラ制御部45は、光学ヘッド観察用カメラ3の読取画像を処理し、透過部52の部分から校正パターン51の中心56の光学ヘッド観察用カメラ3の視野62における座標を求める。また、光学ヘッド観察用カメラ3の読取画像のうち、描画基準照射光61の光学ヘッド観察用カメラ3の視野62における座標を求める。前記座標の原点は、視野の縦と横のピクセル数のそれぞれ1/2の位置とし、予め求めておくものする。
ずれ(X1、Y1)、(X2、Y2)及び(X3、Y3)の相互の関係を図1に示すが、AM用カメラ9の視野の中心55と、照射光53を出力している光学ヘッドとのずれ(XR、YR)は、(X1、Y1)+(X2、Y2)+(X3、Y3)となり、ずれ検出部48はこの計算を行い、記憶しておく。
5:光学ヘッド観察用カメラテーブル 6、11:ガイドレール 7:ゲート
8:AM 9:AM用カメラ 10:AM用カメラテーブル
12:光学ヘッドユニット 21、51:校正用パターン 22:校正板
23、52:透過部 24:反射鏡 25:台座 26:スペーサ
41:全体制御部 42:ワークテーブル駆動制御部
43:光学ヘッド観察用カメラテーブル駆動制御部
44:AM用カメラテーブル駆動制御部
45:光学ヘッド観察用カメラ制御部 46:AM用カメラ制御部
47:光学ヘッド制御部 48:ずれ検出部 54:AM用カメラの視野
55:AM用カメラの視野の中心 56:校正パターンの中心
61:照射光 62:光学ヘッド観察用カメラの視野
63:光学ヘッド観察用カメラの視野の中心
Claims (2)
- ワークが載置されるテーブルと、当該テーブルの移動を制御するテーブル駆動制御部と、前記ワークに形成された描画位置の基準となるアライメントマークを読取るための第一のカメラと、前記ワークに光を照射して描画を行うための複数の光学ヘッドを有するパターン描画装置において、遮光部と当該遮光部の内側に位置する透過部から成る校正パターンが形成された校正板であって前記第一カメラにより前記校正パターンの全体画像を読取ることができるものと、前記光学ヘッドのうちの描画位置の基準となる光学ヘッドからの照射光を前記透過部を通過させて少なくとも当該透過部及び前記通過した照射光の画像を読取ることができる第二のカメラと、前記第一カメラの読取画像に基づいて当該第一カメラの視野中心と前記校正パターンの中心間の第一のずれを求めるとともに前記第二カメラの読取画像に基づいて当該第二カメラの視野中心と前記照射光間の第二のずれ及び当該第二カメラの視野中心と前記校正パターンの中心間の第三のずれを求めるずれ検出部とを有し、前記テーブル駆動制御部は前記第一から第三のずれを用いてアライメントマーク読み取り結果によって決定される移動量を補正することを特徴とするパターン描画装置。
- ワークに形成されたアライメントマークの読取り位置を基準にして前記ワークが載置されるテーブルの移動を制御するパターン描画方法において、前記アライメントマークを読取るための第一のカメラにより遮光部と当該遮光部の内側に位置する透過部から成る校正パターンが形成された校正板のうちの前記校正パターンの全体画像を読取ることにより当該第一カメラの視野中心と前記校正パターンの中心間の第一のずれを求め、描画位置の基準となる光学ヘッドからの照射光を前記透過部を通過させて少なくとも当該透過部及び前記通過した照射光の画像を読取ることができる第二のカメラの読取画像に基づいて前記第二カメラの視野中心と前記照射光間の第二のずれ及び当該第二カメラの視野中心と前記校正パターンの中心間の第三のずれを求め、前記ワークが載置されるテーブルの移動を制御する場合に前記第一から第三のずれを用いてアライメントマーク読取り結果によって決定される移動量を補正することを特徴とするパターン描画方法。
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