JP2016532096A - 位置測定エンコーダ - Google Patents
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Abstract
Description
「差」=(「28a」+「28b」)−(「30a」+「30b」)
理解されるように、差信号の取得は、一つのチャネルとしての(図1〜図8の実施形態の第1チャネル28と同等)、第1チャネル28aおよび第2チャネル28bの出力と、一つのチャネルとしての(図1〜図8の実施形態の第2チャネル30と同等)第3チャネル30aと第4チャネル30bの出力を、本質的に、合成する。和信号44は、図3aに示され、ただゼロクロスが得られることを保証するために使用され得、一方で、(ライン46によって示された)所定のしきい値レベルよりも大きい和信号44は、基準位置が決定されることをもたらす。これは、ゼロクロス信号が、基準検出器224から得られる信号のノイズおよび/またはエラーによって生成されるとき、誤ったトリガを回避するのに役立つ。
Claims (17)
- 測定方向に沿った、スケールと読取りヘッドの間の相対的な位置測定を可能にするためのエンコーダ装置であって、
上記スケールは、一連のインクリメンタルスケールマークと上記測定方向に沿った少なくとも1つの基準位置を定める少なくとも1つの基準マークとを定める、フィーチャーを含み、
上記読取りヘッドは、上記インクリメンタルスケールマークおよび少なくとも一つの基準マークを照明するための共通の光源、少なくとも1つのインクリメンタル光検出器、および、少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネルを含み、
上記少なくとも1つの基準マークは、上記少なくとも1つの基準位置において、上記少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネルに到達する上記共通の光源からの光の増加を提供するように構成され、
上記少なくとも1つの基準マークは、測定次元に平行および垂直な側部を有する概念的な矩形領域内において、上記側部の位置が、上記測定次元における、および、上記測定次元に垂直な、上記基準マークの拡がりによって画定され、少なくとも上記測定方向に垂直な次元において、上記少なくとも一つの基準マーク光検出器チャネルに向かう上記共通の光源からの光強度の不均一な伝播が存在するように、フィーチャーされ、および/または、
上記少なくとも一つの基準マーク光検出器チャネルは、測定次元に平行および垂直な側部を有する概念的な矩形領域内において、上記側部の位置が、測定次元における、および、測定次元に垂直な上記基準マーク光検出器チャネルの拡がりによって画定され、上記少なくとも一つの基準マーク光検出器チャネルは、少なくとも上記測定方向に垂直な次元において、不均一な感度であるように、フィーチャーされることを特徴とするエンコーダ装置。 - 請求項1の装置であって、上記少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネルからの出力は、少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネルの電子回路の飽和点、または、飽和点以下であるように構成されることを特徴とする装置。
- 請求項1の装置であって、上記少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネルは、上記概念的な矩形領域内において、上記測定次元に垂直な方向の光感度プロファイルが不均一であるように構成され、および/または、上記少なくとも1つの基準マークは、上記概念的な矩形領域内において、上記測定次元に垂直な方向における上記少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネルに向かう光強度伝搬プロファイルが不均一であるように構成されることを特徴とする装置。
- 請求項1の装置であって、上記少なくとも一つの基準マーク光検出器チャネルは、上記概念的な矩形領域内において、上記測定次元に平行な方向における光感度プロファイルが均一であるように構成され、および/または、上記少なくとも1つの基準マークは、上記概念的な矩形領域内において、上記測定次元に垂直な方向における上記少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネルに向かう光強度伝搬プロファイルが不均一であるように構成されることを特徴とする装置。
- 請求項1の装置であって、上記少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネルは、上記概念的な矩形領域が、相対的に低減した感度を有する少なくとも1つの分散型の光制限領域を含むように、および/または、上記少なくとも1つの基準マークが、上記少なくとも1つの基準マーク検出器に向けた相対的に低減した光強度伝搬特性を有する、少なくとも1つの分散型の光制限領域を含むように構成されることを特徴とする装置。
- 請求項5の装置であって、上記少なくとも一つの基準マーク光検出器チャネルは、上記概念的な矩形領域が、少なくとも1つの相対的に低減した感度のバンドを含むように、および/または、上記少なくとも1つの基準マークは、少なくとも1つの光制限バンドを含むように構成されることを特徴とする装置。
- 請求項6に記載の装置であって、上記少なくとも一つのバンドは、上記測定方向に平行に延びることを特徴とする装置。
- 請求項5の装置であって、上記少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネルの上記少なくとも1つの分散型の領域は、光に実質的に感度を有しないことを、および/または、上記少なくとも1つの基準マークの上記少なくとも1つの分散型の光制限領域は、光が、上記少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネルに到達するのを実質的に防止することを特徴とする装置。
- 請求項1から8のいずれかの装置であって、前記読取りヘッドは、上記測定方向にオフセットした、少なくとも2つの基準マーク検出器チャネルを含み、および、必要に応じて、上記少なくとも2つの基準マーク検出器チャネルの全感度が同じであることを特徴とする装置。
- 請求項5および9のいずれかの装置であって、上記少なくとも1つの分散型領域の総面積は、上記少なくとも二つの基準マーク検出器チャネルについて実質的に同じであることを特徴とする装置。
- 請求項10の装置であって、上記少なくとも二つの基準マーク検出器チャネルは、上記少なくとも1つの低減した感度の分散型領域の同じ配置を有することを特徴とする装置。
- 請求項9の装置であって、上記基準位置を決定するために、少なくとも2つの検出器チャネルの差分信号を取得するように構成されることを特徴とする装置。
- 請求項1から12のいずれかの装置であって、上記読取りヘッドは、回折格子を含み、上記光源からの光は、上記インクリメンタルスケールマークと上記少なくとも1つの回折格子と相互作用し、上記少なくとも1つの光検出器において、上記スケールと読取りヘッドの相対移動で変化する、結果のフィールドを生成するように結合する、回折次数を生成することを特徴とする装置。
- 測定方向に沿ってスケールを読取るための読取りヘッドであって、該読取りヘッドは、スケールを照明するための光源、上記スケール上のインクリメンタルスケールマークを読み取るためのインクリメンタル光検出器、および、上記スケール上の少なくとも1つの明るい基準マークを検出するための、少なくとも1つの基準マーク検出器チャネルを含み、上記少なくとも1つの基準マーク検出器チャネルは、上記読取りヘッドの測定次元に沿って延びる、少なくとも1つの低減した感度の細長いバンドを含むことを特徴とする読取りヘッド。
- 測定方向に沿った、スケールと読取りヘッド間の相対的な位置測定を可能にするためのエンコーダ装置であって、該エンコーダ装置は、
インクリメンタルスケールマークと少なくとも1つの明るい基準マークを含むスケール、
上記インクリメンタルおよび基準マークを照明するための光源、上記インクリメンタルスケールマークを読み取るためのインクリメンタル光検出器、および、上記少なくとも1つの基準マークを検出するための、少なくとも1つの基準マーク検出器チャネル、を含む読取りヘッド、を含み、
上記少なくとも1つの基準マーク検出器チャネルは、測定次元に沿って延びる低減した感度の少なくとも1つの細長いバンドを含むことを特徴とするエンコーダ装置。 - 少なくとも1つの明るい基準マークを有するスケールと、少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネルを含む、上記スケールを読み取るための読取りヘッドとを含む、エンコーダ装置であって、上記基準マーク、および/または、上記少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネル検出器は、上記少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネルによって検出される光の強度を低減するように構成された、少なくとも一つの光制限フィーチャーを含み、上記少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネルからの出力は、上記少なくとも1つの基準マーク光検出器チャネル電子回路の飽和点または飽和点または飽和点以下であることを特徴とするエンコーダ装置。
- 測定方向に沿ってスケールを読み取るための読取りヘッドであって、該読取りヘッドは、スケールを照明するための光源、上記スケール上の少なくとも1つの基準マークを検出するための少なくとも1つの基準マーク検出器チャネルを含み、上記少なくとも1つの基準マーク検出器チャネルは、光が、上記少なくとも1つの基準マーク検出器チャネルの感光部に到達するのを少なくとも部分的に遮断するように、金属コーティング層が適用された、少なくとも1つの領域を含むことを特徴とする読取りヘッド。
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