JP2016524334A - 自由形態の保護領域を使用するウエハ検査 - Google Patents
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- ウエハ上の欠陥を検出するためのコンピュータ実装方法であって、
ウエハパターンに基づいてウエハに対する保護領域の特性を判定することであって、前記特性を判定することが、前記保護領域を判定すること、前記保護領域の各々に対する前記ウエハパターン内の少なくとも1つの関心対象となるパターンを識別すること、前記保護領域のうちのいずれかが自由形態の形状を有するのを可能にすること、前記保護領域のうちの少なくとも1つに対する2つ以上の関心対象となるパターンを選択すること、及び前記保護領域のうちのいずれかが、任意のフレーム画像よりも大きくなるのを可能にすることを含む、判定することと、
検査システムを用いて、前記ウエハに対して生成された画像内の関心対象となるパターンを検索することと、
前記画像内の前記保護領域の位置を判定し、かつ前記画像内の前記保護領域の前記位置に基づいて、1つ以上の欠陥検出方法を前記画像に適用することによって、前記ウエハ上の欠陥を検出することと、を含み、前記判定すること、前記検索すること、及び前記検出することが、1つ以上のコンピュータシステムを用いて実施される方法。 - 前記保護領域のうちの1つの前記自由形態の形状が、前記保護領域のうちの前記1つに含まれる前記ウエハパターンの形状と実質的に同じである、請求項1に記載の方法。
- 前記自由形態の形状が長方形の形状ではない、請求項1に記載の方法。
- 前記ウエハパターンに基づいて前記ウエハに対する前記保護領域の前記特性を判定することが、前記検査システムを用いて、前記ウエハまたは別のウエハを撮像することによって取得される前記ウエハパターンの画像に基づいて、前記保護領域の前記特性を判定することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記特性を判定することが、前記少なくとも1つの関心対象となるパターンの各々の1つ以上の画像を記憶することをさらに含み、前記ウエハに対する前記画像内の前記保護領域の前記位置を判定することが、前記ウエハに対する前記画像内の前記少なくとも1つの関心対象となるパターンの各々の位置を判定することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記特性を前記判定することが、前記少なくとも1つの関心対象となるパターンの各々の位置を、その対応する保護領域に対して識別することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの関心対象となるパターンの各々が、前記保護領域のうちの1つのみと関連付けられる、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの関心対象となるパターンを識別することが、前記画像のそれぞれの保護領域に対応する前記画像の一部内で固有である、1つ以上の関心対象となるパターンを識別することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの関心対象となるパターンを識別することが、互いに固有である1つ以上の関心対象となるパターンを識別することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの関心対象となるパターンを識別することが、非対称である1つ以上の関心対象となるパターンを識別することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの関心対象となるパターンを前記識別することが、前記2つ以上の関心対象となるパターンの各々が互いに独立して使用されて、前記画像内の前記保護領域のうちの前記少なくとも1つの前記位置を判定することができるように、前記保護領域のうちの前記少なくとも1つに対する前記2つ以上の関心対象となるパターンを選択することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記保護領域のうちの前記少なくとも1つに対して選択される前記2つ以上の関心対象となるパターンが、前記保護領域のうちの前記少なくとも1つが前記ウエハに対する前記画像のうちの2つ以上にまたがるとき、前記2つ以上の関心対象となるパターンのうちの少なくとも1つが前記2つ以上の画像の各々内に存在するように選択される、請求項1に記載の方法。
- 前記保護領域のうちの前記少なくとも1つが前記2つ以上の画像にまたがるとき、前記保護領域の前記位置を判定することが、前記2つ以上の画像のうちの第1の画像内に位置する、前記2つ以上の関心対象となるパターンのうちのいずれかに基づいて、前記2つ以上の画像のうちの前記第1の画像内の前記保護領域のうちの前記少なくとも1つの第1の部分の位置を判定することと、前記2つ以上の画像のうちの第2の画像内に位置する、前記2つ以上の関心対象となるパターンのうちのいずれかに基づいて、前記2つ以上の画像のうちの前記第2の画像内の前記保護領域のうちの前記少なくとも1つの第2の部分の位置を判定することと、を含む、請求項12に記載の方法。
- 前記保護領域のうちの前記少なくとも1つが前記2つ以上の画像にまたがるとき、前記保護領域のうちの前記少なくとも1つが、前記2つ以上の画像にわたって、前記ウエハ上のx方向、前記ウエハ上のy方向、または前記ウエハ上のx及びy方向に分割される、請求項12に記載の方法。
- 前記保護領域の前記位置を判定することが、前記ウエハに対する前記画像内の前記少なくとも1つの関心対象となるパターンの位置を識別することと、前記ウエハに対する前記画像内の前記少なくとも1つの関心対象となるパターンの前記位置に基づいて、前記ウエハに対する前記画像内の前記保護領域の前記位置を判定することと、を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記保護領域の前記位置を判定することが、前記少なくとも1つの関心対象となるパターンの画像を、前記ウエハに対する画像、及び前記保護領域のうちの前記少なくとも1つの画像と整合させることと、前記2つ以上の関心対象となるパターンのうちのどれが前記整合に対して最善の結果を有するかを識別することと、最善の結果を有する前記関心対象となる前記パターンを伴う前記保護領域のうちの前記少なくとも1つの前記位置を判定することと、含む、請求項1に記載の方法。
- ウエハ上の欠陥を検出するためのコンピュータ実装方法を実施するためのコンピュータシステム上で実行可能なプログラム命令を記憶する非一時的コンピュータ可読媒体であって、前記コンピュータ実装方法が、
ウエハパターンに基づいてウエハに対する保護領域の特性を判定することであって、前記特性を判定することが、前記保護領域を判定すること、前記保護領域の各々に対する前記ウエハパターン内の少なくとも1つの関心対象となるパターンを識別すること、前記保護領域のうちのいずれかが自由形態の形状を有するのを可能にすること、前記保護領域のうちの少なくとも1つに対する2つ以上の関心対象となるパターンを選択すること、及び前記保護領域のうちのいずれかが、任意のフレーム画像よりも大きくなるのを可能にすることを含む、判定することと、
検査システムを用いて、前記ウエハに対して生成された画像内の関心対象となるパターンを検索することと、
前記画像内の前記保護領域の位置を判定し、かつ前記画像内の前記保護領域の前記位置に基づいて、1つ以上の欠陥検出方法を前記画像に適用することによって、前記ウエハ上の欠陥を検出することと、を含む、非一時的コンピュータ可読媒体。 - ウエハ上の欠陥を検出するように構成されるシステムであって、
ウエハに対する画像を生成するように構成される検査サブシステムと、
コンピュータシステムであって、
ウエハパターンに基づいて前記ウエハの保護領域の特性を判定することであって、前記特性を判定することが、前記保護領域を判定すること、前記保護領域の各々に対する前記ウエハパターン内の少なくとも1つの関心対象となるパターンを識別すること、前記保護領域のうちのいずれかが自由形態の形状を有するのを可能にすること、前記保護領域のうちの少なくとも1つに対する2つ以上の関心対象となるパターンを選択すること、及び前記保護領域のうちのいずれかが、任意のフレーム画像よりも大きくなるのを可能にすることを含む、判定すること、
前記ウエハに対して生成された前記画像内の関心対象となるパターンを検索すること、ならびに
前記画像内の前記保護領域の位置を判定し、かつ前記画像内の前記保護領域の前記位置に基づいて、1つ以上の欠陥検出方法を前記画像に適用することによって、前記ウエハ上の欠陥を検出すること、を行うために構成されるコンピュータシステムと、を備えるシステム。
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