JP2016508048A - イメージング装置用のトランスデューサアセンブリ - Google Patents

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Abstract

トランスデューサアセンブリが提供される。トランスデューサアセンブリはフレックス回路を含む。トランスデューサアセンブリは、圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)を含む第1基板をも含む。トランスデューサアセンブリは、集積回路(IC)装置を含む第2基板を更に含む。第1基板及び第2基板の少なくとも一方がワイヤボンディング又はフリップチップを介してフレックス回路に結合される。

Description

本発明は、一般に超音波イメージングに関し、詳しくは、圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)アセンブリに関する。
血管内超音波(IVUS)イメージングは介入性心臓学(interventional cardiology)では、人体内の動脈等の血管を評価し、処置が必要かを判定し、介入を案内し、及び又は、その有効性を評価する診断ツールとして広く使用される。血管内超音波(IVUS)イメージングシステムは超音波エコーを使用して関心血管の断面イメージを形成する。一般に、IVUSイメージングでは、IVUSカテーテル上の、超音波信号(波)を放射し且つ超音波反射信号を受信するトランスデューサを使用する。放射された超音波信号(超音波パルスとして参照されることがある)は大抵の組織や血液を容易に通過するが、組織構造(血管壁の色々の層等の)、赤血球及びその他の関心特徴部に生じるインピーダンス変化によりその一部が反射される。患者のインターフェースモジュールでIVUSカテーテルに連結したIVUSイメージングシステムは、受信した超音波信号(超音波エコーとして参照されることがある)を処理して、IVUSカテーテルを位置付けた場所の血管の断面イメージを生成する。
IVUSカテーテルは、一般に1つ又は1つ以上のトランスデューサを使用して超音波信号を送信し且つ反射された超音波信号を受信する。しかしながら、トランスデューサアセンブリを提供する従来方法及び装置は限られ、しかも融通性に欠けたものであり得る。従って、トランスデューサアセンブリを提供する従来方法及び装置はその意図目的に対しては一般に適切なものではあるが、全ての様相において完全に満足できるものではなかった。
米国特許第5,243,988号 米国特許第5,546,948号 米国仮特許出願第61/745,091号 米国仮特許出願第61/745,212号 米国仮特許出願第61/646,080号 米国仮特許出願第61/646,074号 米国仮特許出願第61/646,062号
従来問題を解消するイメージング装置用のトランスデューサアセンブリを提供することである。
超音波トランスデューサは、人体内における健康状態の評価を支援する血管内超音波(IVUS)イメージングで使用される。超音波トランスデューサは、集積回路(IC)装置をも含み得るトランスデューサアセンブリの一部として実装される。本発明は、従来のトランスデューサアセンブリでは不足しがちな融通性及び多用途性を改善する、種々形式のトランスデューサアセンブリを志向するものである。種々の例において、本発明のトランスデューサアセンブリのIC装置である超音波トランスデューサは別個の基板上に実装され、フレックス回路、ワイヤボンド、フリップチップボンディング、あるいはハンダ付け又は溶接を介して電気的に相互連結される。
本発明の1様相によれば、トランスデューサアセンブリであって、フレックス回路と、圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)を含む第1基板と、集積回路(IC)装置を含む第2基板とを含み、前記第1及び第2基板の少なくとも一方がワイヤボンディングを介して前記フレックス回路に結合されるトランスデューサアセンブリが提供される。
本発明の他の様相によれば、トランスデューサアセンブリであって、フレックス回路と、圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)を含む第1基板と、集積回路(IC)装置を含む第2基板とを含み、前記第1及び第2基板の少なくとも一方がフリップチップを介して前記フレックス回路に結合されるトランスデューサアセンブリが提供される。
本発明の他の様相によれば、トランスデューサアセンブリであって、支持基板と、圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)を含む第1基板と、集積回路(IC)装置を含む第2基板とを含み、前記第1及び第2基板が各々前記支持基板に結合され、前記第1及び第2の基板がワイヤボンディングを介して電気的に相互連結されるトランスデューサアセンブリが提供される。
上述した一般的記載及び以下の詳細な説明は本来例示及び説明上のものであり、本発明の範囲を限定することなく、本発明の理解を提供しようとするものである。この点に関し、本明細書における追加的様相、特徴及び利益は以下の詳細な説明から当業者には明らかであろう。
従来問題を解消するイメージング装置用のトランスデューサアセンブリが提供される。
図1は、本発明の種々の様相に従う血管内超音波(IVUS)イメージングシステムの略図である。 図2は、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの異なる実施態様の平面及び断面の種々の略図である。 図3は、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの異なる実施態様の平面及び断面の種々の略図である。 図4は、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの異なる実施態様の平面及び断面の種々の略図である。 図5は、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの異なる実施態様の平面及び断面の種々の略図である。 図6は、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの異なる実施態様の平面及び断面の種々の略図である。 図7は、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの異なる実施態様の平面及び断面の種々の略図である。 図8Aは、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの異なる実施態様の平面及び断面の種々の略図である。 図8Bは、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの異なる実施態様の平面及び断面の種々の略図である。 図8Cは、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの異なる実施態様の平面及び断面の種々の略図である。 図8Dは、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの異なる実施態様の平面及び断面の種々の略図である。 図9Aは、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの異なる実施態様の平面及び断面の種々の略図である。 図9Bは、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの異なる実施態様の平面及び断面の種々の略図である。 図9Cは、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの異なる実施態様の平面及び断面の種々の略図である。 図9Dは、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの異なる実施態様の平面及び断面の種々の略図である。 図10Aは、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの1実施態様における斜視図である。 図10Bは、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの1実施態様における斜視図である。 図10Cは、本発明の種々の様相に従うトランスデューサアセンブリの1実施態様における斜視図である。 図11は、トランスデューサアセンブリの更に他の実施態様における断面図である。
本発明の原理の理解を促進させる目的上、図示された実施態様を参照して且つ特定用語を使用して以下に説明するが、本発明をこれに限定しようとするものではない。ここに記載される装置、システム、方法の変更及び更なる改変、及びここに開示される原理の更なる応用は、本発明が関連する当業者が通常思いつくように十分に企図され且つ本発明に含まれるものとする。例えば、本発明によれば血管内イメージングに関して説明される超音波イメージングシステムが提供されるが、そのような記載はその用途に限定しようとするものではなく、そうしたイメージングシステムは人体全体を通してのイメージング用に利用され得るものであることを理解されたい。ある実施態様では、例示された超音波イメージングシステムは側視式血管内イメージングシステムであるが、本発明に従い形成されたトランスデューサを前方視式を含むその他方向に取り付け得るものである。イメージングシステムは小キャビティ内でのイメージングが要求される任意用途に対して等しく好適なものである。詳しくは、1つの実施態様に関して説明された特徴、コンポーネント及び又はステップを本発明の他の実施態様に関して説明された特徴、コンポーネント及び又はステップと組み合わせ得ることは十分に企図されたものである。しかしながら、簡潔化のためこれら多数の組み合わせは別個に反復記載されない。
今日、主に2つのタイプのカテーテル、即ち、ソリッドステート式及び回転式のカテーテルが一般に使用されている。ソリッドステート式カテーテルの一例では、カテーテルの円周方向周囲に配分し且つ電子マルチプレクサ回路に接続したトランスデューサ列(代表的には64)を使用する。電子マルチプレクサ回路は、超音波信号を送信し且つ反射超音波信号を受けるトランスデューサをトランスデューサ列から選択する。ソリッドステート式カテーテルは、送受信用のトランスデューサ対のシーケンスを介するステッピングにより、移動パーツ無しで、機械的にスキャンされたトランスデューサ要素の効果を合成できる。回転機械的要素が無いことから、トランスデューサ列を血管の外傷の恐れを最小化させる状態下に血液及び血管組織と直接接触状態に配置可能であり、ソリッドステート式スキャナを簡単な電気ケーブル及び標準的な着脱式電気コネクタでイメージングシステムに直接ワイヤ接続できる。
回転式カテーテルの一例は、関心血管に挿通したシース内で旋回する可撓性の駆動シャフトの先端に位置付けた単一のトランスデューサを含む。このトランスデューサは、代表的には、超音波信号がカテーテルの軸に対して全体に直角を成して拡散するように配向される。代表的な回転式カテーテルでは、流体充填(例えば、塩水充填)されたシースが、旋回するトランスデューサ及び駆動シャフトから血管組織を保護しつつ、その間の、超音波信号のトランスデューサから組織内への自由拡散及びその戻りを許容する。駆動シャフトが回転する(例えば、毎秒30回転)に際してトランスデューサは高電圧パルスで定期的に励起されて超音波のショートバーストを放出する。トランスデューサから超音波信号が放出され、駆動シャフトの回転軸に対して全体に直角を成す方向で、流体充填したシース及びシース壁を貫く。その後、種々の組織構造から反射して戻る超音波信号をこのトランスデューサが受けると、イメージングシステムが、トランスデューサが1回転する間に生じる数百のこれら超音波パルス/エコー捕捉シーケンスの1つのシーケンスから血管断面の二次元イメージを集成する。
図1は本発明の種々の様相に従う超音波イメージングシステム100の略図である。ある実施態様では超音波イメージングシステム100は血管内超音波イメージングシステム(IVUS)を含む。IVUSイメージングシステム100は、患者インターフェースモジュール(PIM)104によりIVUS制御システム106に連結したIVUSカテーテル102を含む。IVUS制御システム106は、IVUSイメージ(IVUSシステム100により生成されたイメージ)を表示するモニター108に連結される。
ある実施態様ではIVUSカテーテル102は、Volcano社より入手可能なRevolution(登録商標)Rotational IVUS Imaging Catheter、及び又は、何れもここでの引用によりその全体を本明細書の一部とする米国特許第5,243,988号及び米国特許第5,546,948号に記載されるrotational IVUS cathetersに類似のものであり得る。IVUSカテーテル102は、血管(図示せず)のルーメンに挿入する形状及び構成を有する、細長の、可撓性のカテーテルシース110(近位端部分114及び遠位端部分116を有する)を含む。IVUSカテーテル102の長手方向軸LAは近位端部分114と、遠位端部分116との間を伸延する。IVUSカテーテル102は、使用中に血管の曲線に適合し得るような可撓性を有し得る。この点、図1に例示する湾曲形態は例示目的上のものであってその他実施態様におけるIVUSカテーテル102の湾曲態様を限定しようとするものではない。一般に、IVUSカテーテル102はその使用時に所望の直線又は弓状輪郭を取る構成を有し得る。
回転するイメージングコア112がシース110内を伸延する。イメージングコア112はシース110の近位端部分114内に配置した近位端部分118と、シース110の遠位端部分116内に配置した遠位端部分120とを有する。シース110の遠位端部分116と、イメージングコア112の遠位端部分120とはIVUSイメージングシステム100の作動中は関心血管内に挿通される。IVUSカテーテル102の有効長(例えば、患者の、特には関心血管中に挿通し得る部分の)は、任意の好適な長さであって良く、且つ、用途に応じて変更され得る。シース110の近位端部分114と、イメージングコア112の近位端部分118とはインターフェースモジュール104に連結される。近位端部分114、118には、インターフェースモジュール104に取り外し自在に連結したカテーテルハブ124が嵌装される。カテーテルハブ124は、IVUSカテーテル102とインターフェースモジュール104との間を電気的及び機械的に連結する回転インターフェースを支援し且つ支持する。
イメージングコア112の遠位端部分120はトランスデューサアセンブリ122を含む。トランスデューサアセンブリ122は、血管のイメージを入手するために回転(モーターあるいはその他の回転デバイスを使用して)するように構成される。トランスデューサアセンブリ122は、血管、特には血管の狭窄を可視化する任意の好適なタイプのものとすることができる。例示実施態様ではトランスデューサアセンブリ122は圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(“PMUT”トランスデューサ)と、特定用途向け集積回路(ASIC)等の関連回路とを含む。IVUSカテーテルで使用するPMUTの一例は、ここでの参照によりその全体を本明細書の一部とする、米国特許第6,641,540号に記載されるそれの如き高分子圧電膜を含み得る。PMUTトランスデューサは、半径方向での最適分解能のために100%以上の帯域幅と、アジマス及びスライス方向の最適分解能のための、球状集束された孔とを提供し得る。
トランスデューサアセンブリ122は、PMUTトランスデューサ及びその内部に配置した関連する回路を有するハウジングをも含み、このハウジングは、PMUTトランスデューサにより生成された超音波信号がそこを通して送られる開口部を有する。更に他の実施態様ではトランスデューサアセンブリ122は、超音波トランスデューサ列(例えば、ある実施態様では16、32、64又は128の要素を持つ列が使用される)を含む。
シース110内におけるイメージングコア112の回転は、ユーザーが操作可能なユーザーインターフェースコントロールを提供するインターフェースモジュール104により制御される。インターフェースモジュール104は、イメージングコア112を介して受信した情報を受け、分析し、及び又は表示できる。任意の好適な機能、制御、情報処理及び分析、そして表示をインターフェースモジュール104に組み込み可能である。1例では、インターフェースモジュール104は、イメージングコア112が検出した超音波信号(エコー)に相当するデータを受け、それを制御システム106に転送する。1例ではインターフェースモジュール104は、制御システム106に転送前のエコーデータの前処理を実行する。インターフェースモジュール104は、エコーデータの増幅、フィルタリング、及び又は、集計を実行し得る。インターフェースモジュール104は、トランスデューサアセンブリ122内の回路を含むカテーテル102の作動を支持する高低の各直流(DC)電圧をも供給できる。
ある実施態様では、IVUSイメージングシステム100に関連するワイヤが制御システム106からインターフェースモジュール104に伸延され、かくして制御システム106からの信号がインターフェースモジュール104に、及び又はその逆に通信され得る。ある実施態様では、制御システム106はインターフェースモジュール104と無線通信する。同様に、ある実施態様ではIVUSイメージングシステム100に関連するワイヤが制御システム106からモニター108に伸延され、かくして制御システム106からの信号がモニター108に、及び又はその逆に通信され得る。ある実施態様では制御システム106はモニター108と無線通信する。
上述したように、トランスデューサアセンブリ122はミニチュア超音波トランスデューサ及び関連する電子化回路を含む。前記トランスデューサ及び回路は別個に形成され、その後、トランスデューサアセンブリ122の一部として電気的に相互連結され得る。本発明の種々の様相に従う、トランスデューサアセンブリ122の幾つかの異なる実施態様の詳細を以下に説明する。
図2には本発明のトランスデューサアセンブリ122Aの1実施態様の簡略化された平面図が示される。トランスデューサアセンブリ122Aはマイクロコンポーネント200及びマイクロコンポーネント201を含む。例示実施態様ではマイクロコンポーネント200及び201はマイクロ基板を含み、今後そのようなものとして参照され得る。これらのマイクロ基板はミニチュアディメンションの厚さ、例えば、約75μ(μm)〜約600μmの範囲の厚さを有し得る。他の実施態様では前記マイクロコンポーネント200、201はマイクロ電子装置の成長又は配置用に好適なダイあるいはその他のミニチュア装置を含み得る。
マイクロ基板200上に超音波トランスデューサ210が形成される。超音波トランスデューサ210は小サイズであり且つ高い分解能を実現するため、血管内イメージング用に好適である。ある実施態様では超音波トランスデューサ210は数十又は数百ミクロンのオーダーのサイズを有し、約1メガヘルツ(MHz)〜約135MHzの間の周波数範囲で作動し得、少なくとも10ミリ(mm)の深さの侵入を提供しつつ、50サブミクロンの分解能を提供できる。更には超音波トランスデューサ210は、開発者が目標集束エリアをトランスデューサ孔の偏向(deflection)深さに基づいて画定し、それにより、血管形態学を定義する上で有益な、表面特徴を越えるイメージを生成させ得るような様式下においても形状付けされる。図示実施態様では超音波トランスデューサ210は圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)である。他の実施態様では超音波トランスデューサ210は別形式のトランスデューサを含み得る。超音波トランスデューサ210の追加的詳細は、何れもDylan Van Hovenにより12月21日付で提出され、ここでの参照によりその内容全体を本明細書の一部とする、“Preparation and Application of a Piezoelectric Film for an Ultrasound Transducer”と題する、アトーニードケット番号44755.1060の米国仮特許出願第61/745,091号及び、“Method and Apparatus for Focusing Miniature Ultrasound Transducer”と題する、アトーニードケット番号44755.1061の米国仮特許出願第61/745,212号に記載される。トランスデューサ210はマイクロ電気機械システム(MEMS)装置であることから、基板200もMEMS基板と称し得る。
マイクロ基板201は、トランスデューサ210を制御し且つトランスデューサ210と相互作用するためのマイクロ電子回路を含む。例示実施態様ではそうしたマイクロ電子回路は、特定用途向け集積回路(ASIC)220にして、マイクロ基板201がこのASIC220用の基板として作用する特定用途向け集積回路として実装される。ASIC220は、導伝性パッド230を介してマイクロ基板201に電気的に連結され得る。他の実施態様ではマイクロ基板201それ自体が集積回路(IC)チップであり得る。
図2の実施態様では、トランスデューサ210を含む基板200はASIC220を含む基板201にワイヤボンディングを介して電気的及び機械的に連結される。詳しくは、ワイヤボンド(又はボンドワイヤ)225の対向する遠位端は、基板200上のボンディングパッド230及び基板201上のボンディングパッド231に装着される。ある実施態様ではボンディングパッド230、231は約60μm×60μmより小さい。ワイヤボンド225は導電性を有し、トランスデューサ210及びASIC220との間に電気的連通を確立させ得る。換言すれば、ASIC220は、トランスデューサ210を制御し且つトランスデューサ210と相互作用するべく、トランスデューサ210に電気信号を送信し得、及び又はトランスデューサ210から電気信号を受信し得る。ワイヤボンド225は多少の可撓性を有し、基板200及び201を相対的にある程度、移動、回転、あるいはシフトさせ得る。ある実施態様ではボンディングループは高さが約300μmより小さい。ある実施態様ではワイヤボンディングは、トランスデューサ210又はASIC220を過熱させないよう70℃未満の温度で実施される。
図3A〜図3Bは本発明の他の実施態様におけるトランスデューサアセンブリ122Bの平面及び断面の簡略化した各図である。図3A〜図3Bに示す実施態様でのトランスデューサアセンブリ122Bは図2に示す実施態様でのトランスデューサアセンブリ122Aと類似のものである。従って、一貫性及び明瞭性のため、これら2つの実施態様における類似のコンポーネントには同じ番号が付記される。
詳しくは、トランスデューサアセンブリ122Bもまた、ワイヤボンド225を介して基板201(ASIC220を有する)に固定した基板200(トランスデューサ210を有する)を含む。しかしながら、支持基板240(支持用裏当てコンポーネントとも称する)は基板200及び201に装着される。図3Bに示すように、支持基板240は基板200、201の底側部を支持する。言い換えると、基板201、200は支持基板240を覆って又はその上に配置される。支持基板240は、その上に配置される基板200及び201に対する機械的強度及び支持を提供する。
ある実施態様では、支持基板240にはトランスデューサ210を露出させる開口部あるいは孔が形成され得る。例えば、図4Bにはトランスデューサアセンブリ122Bの底面図が例示され、開口部260(又は孔)が、支持基板240の後方側でトランスデューサ210の背後に形成されている。図4Bに並べて図4Aも示され、図4Aには、トランスデューサ210に関する開口部260の位置的は位置を例示する、トランスデューサアセンブリ122Bの簡略化された平面図が示される。ある実施態様では支持基板240は開口部又は孔を形成しない連続片である。
図5は本発明のトランスデューサアセンブリ122Cの別態様における簡略化された断面図である。図5のトランスデューサアセンブリ122Cと、図2に示すトランスデューサアセンブリ122Aとの類似性から、これら2つの実施態様における類似のコンポーネントには同じ番号が付記される。
詳しくは、トランスデューサアセンブリ122Cは、フリップチップボンディングを介して基板201(簡略化上図5には示されないASIC220を有する)に結合した基板200(簡略化上図5には示されないトランスデューサ210を有する)をも含む。基板200の導伝性のボンディングパッド270は、基板201の導伝性ボンディングパッド271に結合される。ボンディングパッド270、271を介して、基板200上のトランスデューサと、基板201上のASICとの間に電気的連通が確立され得る。結合されたボンディングパッド270、271は基板200、201を機械的にも相互に保持する。
図6には、本発明のトランスデューサアセンブリ122Dの別態様における簡略化された断面図が示される。図6のトランスデューサアセンブリ122Dと、図2に示すトランスデューサアセンブリ122Aとの類似性から、これら2つの実施態様における類似のコンポーネントには同じ番号が付記される。
詳しくは、トランスデューサアセンブリ122Dは、基板200(簡略化上図6には示されないトランスデューサ210を有する)のみならず、基板201(簡略化上図6には示されないASIC220を有する)を含む。基板200は導伝性のボンディングパッド280を含み、基板201は導伝性のボンディングパッド281、282を含む。これらのボンディングパッド280〜282を介して、基板200、201はフリップチップボンディングを介してフレックス回路300に結合される。詳しくは、フレックス回路300は、ボンディングパッド280〜282を夫々そこに結合する導伝性のボンディングパッド310〜312を含む。フレックス回路300は、可撓性を有し且つ所望形状に一致するように曲げあるいは“撓ませ”得る。フレックス回路300はそれ自体、マイクロ電子コンポーネント及び、関連するバイアス及びメタルライン(簡略化のために図示されない)等の電気的ルーチングを含み得る。フレックス回路300を介して、基板200上のトランスデューサと、基板201上のASICとの間に電気的連通が確立され得る。
図7には、本発明のトランスデューサアセンブリ122Eの別態様における簡略化された断面図が示される。図7のトランスデューサアセンブリ122Eと、図2に示すトランスデューサアセンブリ122Aとの類似性から、これら2つの実施態様における類似のコンポーネントには同じ番号が付記される。
詳しくは、トランスデューサアセンブリ122Eは、基板200(簡略化上図7には示されないトランスデューサ210を有する)のみならず、基板201(簡略化上図7には示されないASIC220を有する)を含む。基板200は導伝性のボンディングパッド320を含み、基板201は導伝性のボンディングパッド321、322を含む。これらのボンディングパッド320〜322を介して、基板200、201はフレックス回路300に結合される。詳しくは、フレックス回路300は、ボンディングパッド320〜322を夫々そこに結合する導伝性のボンディングパッド330〜332を含む。図示実施態様では基板200はワイヤボンド340(又はボンドワイヤ)を介してフレックス回路300のボンディングパッド330に結合され、基板201はフリップチップテクノロジーを介してフレックス回路300のボンディングパッド331〜332に結合される。ある別態様では基板200はフリップチップを介してフレックス回路300に結合され得、基板201はワイヤボンディングを介してフレックス回路300に結合され得る。更に他の実施態様では基板200及び基板201は共にワイヤボンディングを介してフレックス回路300に結合され得る。
ここでもフレックス回路300は可撓性を有し且つ、所望形状に一致させるよう曲げあるいは“撓ませ”得る。フレックス回路300はそれ自体、マイクロ電子コンポーネント及び、関連するバイアス及びメタルライン(簡略化のために図示されない)等の電気的ルーチングを含み得る。フレックス回路300を介して、基板200上のトランスデューサと、基板201上のASICとの間に電気的連通が確立され得る。
図8A〜図8D及び図9A〜図9Dには、その幾つかが図1〜図7を参照して先に説明したそれらと類似のものであり得るトランスデューサアセンブリの種々の実施態様の簡略化された断面図が例示される。図8A〜図8D及び図9A〜図9Dに例示されるトランスデューサアセンブリと、図1〜7に示すトランスデューサアセンブリとの類似性から、一貫性及び明瞭化のために類似のコンポーネントには同じ番号が付記される。
図8Aに示す実施態様では基板200及び201はワイヤボンディングを介して相互に連結される。図8Bに示す実施態様では基板200及び201はワイヤボンディングを介して相互に連結され、基板201はフリップチップを介してフレックス回路300にも連結される。図8Cに示す実施態様では基板200はワイヤボンディングを介してフレックス回路300に連結され、基板201はフリップチップを介してフレックス回路に連結される。フレックス回路300は本実施態様では基板200への支持を提供しない。図8Dに示す実施態様では基板200はワイヤボンディングを介してフレックス回路300に連結され、基板201はフリップチップを介してフレックス回路に連結される。フレックス回路300は本実施態様では基板200への支持を提供する。
図9Aに示す実施態様では基板200及び201はフリップチップを介して相互に連結される。図9Bに示す実施態様では基板200及び201はフリップチップを介して何れもフレックス回路300に連結される。図9Cに示す実施態様では基板200及び201はワイヤボンディングを介して相互に連結され、両基板は支持基板240により支持される。本実施態様では支持基板240は貫通孔を有さない。図9Dに示す実施態様では基板200及び201はワイヤボンディングを介して相互に連結され、両基板は支持基板240により支持される。本実施例では支持基板240は貫通孔を有する。
図10A、図10B、図10Cには、本発明の種々の様相に従う別態様におけるトランスデューサアセンブリ122Fの異なる角度から見た斜視図が例示される。図10A〜図10Cに示すトランスデューサアセンブリ122Fと、図2に示すトランスデューサアセンブリ122Aとの類似性から、類似のコンポーネントには同じ番号が付記される。
詳しくは、トランスデューサアセンブリ122Fは、基板210のみならず基板201(簡略化上図7には示されないASIC220を有する)を含む。基板200、201はワイヤボンディング、即ちワイヤボンド225を介して電気的に相互連結される。図10B及び図10Cに示されるように、バック側にトランスデューサ210を露出させる孔又は開口部350も形成される。前記孔又は開口部350はウェルとも称し得る。
図11には、トランスデューサアセンブリの他の実施態様にして、トランスデューサを有する基板が、ASICを有する基板に関してある角度で位置決めされ得る実施態様を示す、イメージングコア400の実施態様の簡略化された断面図が例示される。トランスデューサを有する基板は今後MEMS438として参照され、ASICを有する基板は今後ASICとして参照される。
図11に示されるように、イメージングコア400は、その上部に形成されたトランスデューサ442を有するMEMS438と、MEMS438に電気的に連結されたASIC444とを含む。しかしながら、図11の例示的構成において、ASIC444及びMEMS438の各コンポーネントは相互にワイヤボンド結合され、トランスデューサハウジング416に取り付けられ、エポキシ448あるいはその他ボンディング材により然るべく固定されてASIC/MEMSハイブリッドアセンブリ446を形成する。本実施態様ではケーブル434のリードがASIC444にハンダ付けされあるいはそうでなければ直接的に電気的連結される。
ワイヤボンディング法における1つの利益は、トランスデューサを担持するMEMSコンポーネントをハウジング416及びイメージングコア400の長手方向軸に関して斜角取り付けし得、かくして、超音波ビーム430がイメージングコアの中心長手方向軸の垂線に関して斜角下に拡散することである。この傾斜角度は、トランスデューサとカテーテルシース412との間の空間内で反響し得るシースエコーの減少に役立ち、且つ、ここに参照することによりその全体を本明細書の一部とする、何れも2012年5月11日付で提出された、“DEVICE AND SYSTEM FOR IMAGING AND BLOOD FLOW VELOCITY MEASUREMENT”(アトーニードケット第44755.817/01−0145−US)と題する米国仮特許出願番号第61/646,080号及び、“ULTRASOUND CATHETER FOR IMAGING AND BLOOD FLOW MEASUREMENT”(アトーニードケット第44755.961)と題する米国仮特許出願番号第61/646,074号、“Circuit Architecturs and Electrical Interfaces for Rotational Intravascular Ultrasound (IVUS)Devices”(アトーニードケット第44755.838)と題する米国仮特許出願番号第61/646,062号に記載される如き、ドップラーカラーフローイメージングをも容易化する。
本発明の1様相によれば、トランスデューサアセンブリであって、圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)を含む第1基板と、集積回路(IC)装置を含む第2基板とを含み、前記第1基板及び第2基板がワイヤボンディングを介して相互に結合されたトランスデューサアセンブリが提供される。
ある実施態様ではワイヤボンディングは70℃以下の温度で実施される。ある実施態様ではボンディングパッドは60μm×60μmより小さい。
ある実施態様ではボンディングループの高さは300μmあるいはそれより小さい。
本発明の1様相によれば、トランスデューサアセンブリであって、フレックス回路と、圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)を含む第1基板と、集積回路(IC)装置を含む第2基板と、を含み、前記第1基板及び第2基板の少なくとも一方がワイヤボンディングを介して前記フレックス回路に結合されるトランスデューサアセンブリが提供される。
ある実施態様ではワイヤボンディングは70℃以下の温度で実施される。
ある実施態様ではボンディングパッドは60μm×60μmより小さい。
ある実施態様ではボンディングループの高さは300μmあるいはそれより小さい。
本発明の1様相によれば、トランスデューサアセンブリであって、支持基板と、圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)を含む第1基板と、集積回路(IC)装置を含む第2基板と、を含み、前記第1基板及び第2基板が各々前記支持基板に結合され、前記第1基板及び第2基板がワイヤボンディングを介して電気的に相互連結されるトランスデューサアセンブリが提供される。
ある実施態様ではワイヤボンディングは70℃以下の温度で実施される。
ある実施態様ではボンディングパッドは60μm×60μmより小さい。
ある実施態様ではボンディングループの高さは300μmあるいはそれより小さい。
本発明の1様相によれば、トランスデューサアセンブリであって、圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)を含む第1基板と、集積回路(IC)装置を含む第2基板と、を含み、前記第1基板及び第2基板が半田付け又は溶接を介して相互連結されるトランスデューサアセンブリが提供される。
ある実施態様ではボンディングパッドは60μm×60μmより小さい。
本発明の1様相によれば、トランスデューサアセンブリであって、支持基板と、圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)を含む第1基板と、集積回路(IC)装置を含む第2基板と、を含み、前記第1基板及び第2基板が各々前記支持基板に結合され、前記第1基板及び第2基板が溶接又は半田付けを介して電気的に相互連結されるトランスデューサアセンブリが提供される。
ある実施態様ではボンディングパッドは60μm×60μmより小さい。
以上、本発明を実施例を参照して説明したが、本発明の内で種々の変更をなし得ることを理解されたい。
100 超音波イメージングシステム/IVUSシステム/IVUSイメージングシステム
102 IVUSカテーテル/イメージングコア/カテーテル
104 インターフェースモジュール
106 IVUS制御システム/制御システム
108 モニター
110 カテーテルシース
112 イメージングコア
114 近位端部分
116 遠位端部分
118 近位端部分
120 遠位端部分
122 トランスデューサアセンブリ
122A トランスデューサアセンブリ
122B トランスデューサアセンブリ
122C トランスデューサアセンブリ
122D トランスデューサアセンブリ
122E トランスデューサアセンブリ
122F トランスデューサアセンブリ
124 カテーテルハブ
200 マイクロコンポーネント/超音波トランスデューサ
201 マイクロコンポーネント/マイクロ基板/基板
210 超音波トランスデューサ/基板
225 ワイヤボンド
230 導伝性パッド/ボンディングパッド
240 支持基板
260 開口部
270 ボンディングパッド
271 導伝性ボンディングパッド
280〜282 ボンディングパッド
300 フレックス回路
310〜312 ボンディングパッド
320〜322 ボンディングパッド
330〜332 ボンディングパッド
340 ワイヤボンド
350 開口部
400 イメージングコア
412 カテーテルシース
416 ハウジング
430 超音波ビーム
434 ケーブル
442 トランスデューサ
446 ASIC/MEMSハイブリッドアセンブリ
448 エポキシ

Claims (12)

  1. トランスデューサアセンブリであって、圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)を含む第1基板と、
    集積回路(IC)装置を含む第2基板と、
    を含み、
    前記第1基板及び第2基板がワイヤボンディングを介して相互に結合されるトランスデューサアセンブリ。
  2. 前記ワイヤボンディングが70℃以下の温度で実施される請求項1に記載のトランスデューサアセンブリ。
  3. ボンディングパッドは60μm×60μmより小さい請求項1に記載のトランスデューサアセンブリ。
  4. ボンディングループの高さは300μmあるいはそれより小さい請求項1に記載のトランスデューサアセンブリ。
  5. トランスデューサアセンブリであって、
    フレックス回路と、
    圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)を含む第1基板と、
    集積回路(IC)装置を含む第2基板と、
    を含み、
    前記第1基板及び第2基板の少なくとも一方がワイヤボンディングを介して前記フレックス回路に結合されるトランスデューサアセンブリ。
  6. 前記ワイヤボンディングが70℃以下の温度で実施される請求項5に記載のトランスデューサアセンブリ。
  7. ボンディングパッドは60μm×60μmより小さい請求項5に記載のトランスデューサアセンブリ。
  8. ボンディングループの高さは300μmあるいはそれより小さい請求項5に記載のトランスデューサアセンブリ。
  9. トランスデューサアセンブリであって、
    支持基板と、
    圧電型マイクロマシン超音波トランスデューサ(PMUT)を含む第1基板と、
    集積回路(IC)装置を含む第2基板と、
    を含み、
    前記第1基板及び第2基板の各々が前記支持基板に結合され、前記第1基板及び第2基板がワイヤボンディングを介して相互に電気的に連結されるトランスデューサアセンブリ。
  10. 前記ワイヤボンディングが70℃以下の温度で実施される請求項9に記載のトランスデューサアセンブリ。
  11. ボンディングパッドは60μm×60μmより小さい請求項9に記載のトランスデューサアセンブリ。
  12. ボンディングループの高さは300μmあるいはそれより小さい請求項9に記載のトランスデューサアセンブリ。
JP2015550442A 2012-12-28 2013-12-12 イメージング装置用のトランスデューサアセンブリ Withdrawn JP2016508048A (ja)

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