JP2016211933A - 面形状計測装置、面形状計測方法、及び加工装置、並びにそれによって加工された光学素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】不要光を効率的に除去し、被検面の形状を高精度に計測することができる面形状計測装置を提供する。
【解決手段】受光センサ8と、光源1からの光を被検物10、11に導き、該被検物からの反射光を受光センサに導く光偏向部材4を含む光学系と、光偏向部材と被検物の間の光路に対して、挿入および退避が可能な遮光部材12と、遮光部材を退避した状態において受光センサから出力される計測情報、および遮光部材を挿入した状態において受光センサから出力される不要光情報に基づいて、被検物の面形状を演算する演算手段9と、を有する。
【選択図】図1
【解決手段】受光センサ8と、光源1からの光を被検物10、11に導き、該被検物からの反射光を受光センサに導く光偏向部材4を含む光学系と、光偏向部材と被検物の間の光路に対して、挿入および退避が可能な遮光部材12と、遮光部材を退避した状態において受光センサから出力される計測情報、および遮光部材を挿入した状態において受光センサから出力される不要光情報に基づいて、被検物の面形状を演算する演算手段9と、を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、光学素子の面形状計測技術に関する。
レンズの面形状を非接触で高速に計測する方法として、光学系を介して被検面に球面波の光を照射し、被検面における反射光を受光部のシャック・ハルトマンセンサを用いて計測する方法が非特許文献1にて提案されている。
この方法は特許文献1に開示されたようなヌルレンズを用いた干渉計と比較して、多様な設計値の被検面形状が計測可能である。また、特許文献2に開示されたような計測時にサンプルを駆動するスティッチング干渉計や特許文献3に開示されたような走査干渉計で用いられる、高精度に駆動するステージや距離計測装置や複雑な解析プログラムが不要となる。
Jahannes Pfund et al."NonNull testing of rotationally symmetric aspheres:a systematic error assessment,"App.Opt.40(2001)p.439
シャック・ハルトマンセンサにより面形状を計測する場合、被検面からの反射光だけでなく他の光学部品からの余計な反射光もセンサに導かれるため、良好なスポット画像が得られないことがある。特に、光路を分割するためのビームスプリッターやレンズの中心部分の反射によって明るいゴースト像(不要光)がセンサに導かれると、その影響でスポット位置が誤検出され、正確な計測ができない。
また、温度条件の違い、経時変化などで生じる光学系の誤差を校正するために計測光学系を変化させれば、そのたびに不要光であるゴースト像が変化する。
本発明は、不要光を効率的に除去し、被検面の形状を高精度に計測する面形状計測装置、面形状計測方法、及び加工装置、並びにそれによって加工された光学素子を提供する。
本発明の一側面としての面形状計測装置は、受光センサと、光源からの光を被検物に導き、被検物からの反射光を受光センサに導く光偏向部材を含む光学系と、光偏向部材と被検物の間の光路に対して、挿入および退避が可能な遮光部材と、遮光部材を退避した状態において受光センサから出力される計測情報、および遮光部材を挿入した状態において受光センサから出力される不要光情報に基づいて、被検物の面形状を演算する演算手段と、を有することを特徴とする。
本発明の別側面としての面形状計測方法は、光偏向部材と被検物との間の光路に対して、遮光部材の挿入および退避を行う駆動ステップと、遮光部材を退避した状態および遮光部材を挿入した状態で、光偏向部材から導かれる光を受光センサによって検出する検出ステップと、遮光部材を退避した状態における検出ステップの結果、および遮光部材を挿入した状態における検出ステップの結果に基づいて、被検物の面形状を演算するステップと、を有することを特徴とする。
本発明によれば、不要光を効率的に除去(削減)し、被検面の形状を高精度に計測することができる。
以下、本発明の実施例ついて図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の実施例1である非球面形状計測装置100(以下、単に計測装置という)の構成を示す。この計測装置100は、基準レンズ10の情報を用いて、被検レンズ11の形状を計測する。以下の説明では、図1中に示したxyz直交座標系を用いる。
図1において、1は光源、2は集光レンズ、3はピンホール、4はビームスプリッター(光偏向部材)、5は投光レンズ、6はステージの駆動装置、7は結像レンズ、8は受光センサ、9は制御部、10は基準レンズ、11は被検レンズである。基準レンズ10の一方の面は既知の形状を有する基準非球面10a(以下、単に基準面という)である。被検レンズ11の一方の面は被検非球面11a(以下、単に被検面という)である。本実施例では、基準面10aおよび被検面11aは凸面形状である。
12は遮光板(遮光部材)であり、13は遮光板12を駆動する遮光板駆動機構である。また、14は結像レンズ7の駆動装置であり、15は受光センサ8の駆動装置である。
光源1からの光は、集光レンズ2とピンホール3を透過し、ビームスプリッター4で反射され、投光レンズ5を透過することで収束光となり、基準面10aあるいは被検面11aを照射される。基準面10aあるいは被検面11aで反射した光は、投光レンズ5、ビームスプリッター4、結像レンズ7を透過し、受光センサ8で検出される。基準レンズ10と被検レンズ11は、例えば、駆動装置6によってX,Y,Z,θx,θy,θzを制御できるステージ(不図示)上に配置される。ビームスプリッター4は、ハーフミラーでもよい。
光源1には、例えば一定のバンド幅を持ったレーザーダイオードや発光ダイオードなどが用いられる。投光レンズ5は、基準面10a又は被検面11aに収束光を照射する。基準面10a及び被検面11aは、それぞれの近軸付近の曲率中心と収束光の球面波の曲率中心がほぼ等しくなるように構成すると好ましい。
結像レンズ7は、基準面10a及び被検面11aからの反射光を受光センサ8の受光面8aに導く。この投光レンズ5と結像レンズ7の設計条件は、計測したい被検レンズ11(被検物)の情報、たとえば有効径や曲率半径、非球面量などと、受光センサ8の情報、たとえばセンササイズ、センサの構成、入射許容角度などから決定する。
計測装置100は、駆動装置14および駆動装置15によって、結像レンズ7および受光センサ8を光軸方向に移動させることで計測範囲を調節する。投光レンズ5を移動することで計測範囲を調整してもよい。被検面を移動することで計測範囲を調整してもよい。あるいは、それら複数を組み合わせて移動することで計測範囲を調整してもよい。
なお、1組のレンズで計測できる形状の範囲は限られている。そのため、投光レンズ5と結像レンズ7の少なくとも一つを交換したり、あるいは投光レンズ、結像レンズの一部分のみを交換、追加したり、その組み合わせによって、計測できる非球面形状の範囲を広げてもよい。
本実施例では、受光センサ8にシャック・ハルトマンセンサを用いる。シャック・ハルトマンセンサは、多数の微小集光レンズを格子状に配列したマイクロレンズアレイと受光面で構成され、各マイクロレンズが受光面に入射光の集光スポットを形成するものである。この構成により、受光面8aにおける光線の角度分布φを求める。具体的には、あらかじめ平面波を入射した際に集光スポット位置(スポット像)を計測しておき、集光スポット位置の基準を求めておく。次に被検面を配置し、被検面からの反射光の波面に対応した集光スポット位置(波面計測情報)を計測することで、平面波での基準集光スポット位置からの変化量Δpが得られる。受光面8aでの光線角度分布φは、このΔpとマイクロレンズアレイの焦点距離fから次の数式1で求めることができる。
受光センサ8には、シャック・ハルトマンセンサ以外であっても波面や角度分布を計測できるものであればよい。例えば、回折格子とCCDセンサを組み合わせ、シアリング干渉計や、Talbot干渉計を構成してもよい。他にもハルトマンプレートとCCDセンサを用いたハルトマン法を用いてもよい。
また、被検面からの反射光の波面が受光面8aより大きい場合は、反射波面の一部分だけを計測し、受光センサ8を移動させて複数回計測を繰り返し、つなぎ合わせることで全体の波面や角度分布を計測してもよい。
制御部9は計測装置100を制御するものであり、受光センサ8での計測結果に基づいて、被検面11aの形状を求める演算処理や、駆動装置6,14,15等への指示を行う。
図2は、本実施例で行われる計測シーケンスを示すフローチャートである。計測シーケンスは、前処理フローA、倍率分布校正フローB、形状計測フローC、解析フローDの4つからなり、最終的に被検面の形状を求める。以下、上記4つのフローについて、図3から図6のフローチャートを用いて詳細に説明する。
図3は、被検面の形状を求めるための前処理フローAを示すフローチャートである。基準レンズ10と被検レンズ11は同じ設計値をもとに作成されたレンズであり、その差は数ミクロン程度しかなく、ほぼ類似した形状をしている。
ステップA−1では、計測装置100とは別の高精度な計測装置、例えば触針式計測装置で基準面10aの形状を予め計測する。
ステップA−2では、制御部9が、計測装置100の光学系の情報と、ステップA−1の計測によって得られた基準面10aの計測結果あるいは基準面10aの設計データをもとに、受光面8a上の波面W0を、例えば光線追跡ソフトウエアなどを使って演算する。予め光学系の収差情報や、光学系の組み立て誤差、光学系の詳細誤差などが分かっているのであれば、これらを考慮して光線トレースを演算することで、受光面8aでの波面をより高精度に見積もることができる。波面は、たとえば直交関数であるZernike係数を用いて表現する。
ステップA−3では、制御部9は、基準面10aを微小量だけ光軸を中心に傾けた際に受光面8a上の波面W1を、例えば光線追跡ソフトウエアなどを使って演算する。ここでも、ステップA−2と同様に、計測装置の光学系の情報と、ステップA−1の計測によって得られた基準面10aの計測結果あるいは基準面10aの設計データを用いる。そして、ステップA−2において得られた基準面10aの波面W0(以下、演算波面W0という)の情報と、基準面10aを駆動した後の波面W1の情報から、駆動前後の波面差を算出する。
被検レンズ11に照射される光は、被検面11aに対して垂直に入射しないため、被検レンズ11に対する入射角と異なる角度で反射される。この反射光は、受光面8aで略平行光にならず、被検面11aからの反射光の波面は平面波面から大きくずれた波面として検出される。また、その反射光の波面の平面波面からのずれ量は、計測した非球面形状によって変化する。そのため、受光面8aで被検面11aからの反射光の波面を計測しても、そのまま被検面11aの形状を得ることはできない。被検面11aからの反射波面から被検面11aの形状を算出するためには、被検面11aでの反射の位置と角度の2つの情報が必要になる。
図7は、ある光束の、受光面8aと受光面8aの共役面における光線の関係を示している。基準面10a、被検面11aは、計測時に受光面8aの共役面(以下、センサ共役面とする)に近くなるよう配置される。
位置の情報は、受光面8aとセンサ共役面との横座標の関係を意味する。図7は、光軸からrの位置で受光した光束が、センサ共役面で光軸からRの位置で反射することを示している。位置倍率分布αは、受光面8aとセンサ共役面(被検面11a)の横座標の比とし、数式2のように表すことができる。この位置倍率は、一定ではなく、例えば光軸からの距離に対応した分布を持つ。
角度の情報は、受光面8aとセンサ共役面との光線角度の関係を意味する。図7は、基準面10aを微小角度だけ傾けたときのセンサ共役面における光線角度変化がΔVであり、受光面8aにおける光線角度変化はΔvであることを示している。角度倍率分布βは、この光線角度変化の比とし、数式3のように表すことができる。この角度倍率は、一定ではなく、例えば光軸からの距離に対応した分布を持つ。
制御部9は、位置倍率分布αと角度倍率分布βを、光学系の設計データと基準面10aの設計データをもとに光線追跡ソフトウエアなどを使って演算する。予め光学系の収差情報や、光学系の組み立て誤差、光学系の面形状や透過波面などが分かっているのであれば、これらを考慮して光線トレースを演算することで、より高精度に位置倍率分布αと角度倍率分布βを演算できる。
ステップA−4では、位置変化による波面敏感度を算出する。具体的には、制御部9の指示により、駆動装置6,14,15が基準レンズ10、結像レンズ7、受光面8aの位置を光軸(z)方向にそれぞれ変化させ、ステップA−2と同様に受光面8a上での波面を演算する。次に、制御部9は、位置を変化させる前後の波面の差から、基準レンズ10、結像レンズ7、受光センサ8のそれぞれ光軸方向の位置が変化したときの敏感度を演算し、不図示のメモリに格納する。このとき、波面の評価領域の中心位置および半径は一定とする。
図4は、被検面の形状を算出するために必要な倍率分布を計測装置100によって校正する倍率分布校正フローBのフローチャートである。
計測装置100の光学系のパラメータが設計通りであれば、ステップA−4で求めた位置倍率分布αと角度倍率分布βで被検面11aの形状を精度よく求めることができる。しかし、実際には、色々な誤差要因があるため設計通りにはならない。誤差要因には、例えば、レンズ加工誤差(曲率半径の誤差、研磨残渣、ホモジニティ、厚み誤差など)やレンズ組み立て誤差(光軸方向の配置誤差、収差など)やレンズと被検面・受光面のアライメント誤差、温度変化などの環境要因、経時変化などがある。できるだけ設計値の状態に近づけるため、倍率分布校正フローBによって光学系を校正する。
ここで、不要光が含まれた状態で受光面8aへの入射光を計測すると、計測したスポット強度分布(集光スポット位置)には不要光によるものも含まれているため、計測光のスポット強度分布を正確に求めることができず、計測光の波面を正確に算出できない。ここで、不要光とは、被検物以外の光学部品からの余計な反射光である。
本実施例では、遮光板12を用いて、不要光のみの情報を取得する工程を設ける。
ステップB−1では、制御部9からの指示により、遮光板駆動機構13が遮光板12を光路に挿入する。
ステップB−2では、遮光板12を光路に挿入した状態で、制御部9が受光センサ8を用いて不要光のスポット像の位置(不要光情報)を計測する。遮光板12を用いることで被検物(基準面10aや被検面11a)からの反射光を除くことができ、結果としてゴースト像などの不要光情報だけを計測することができる。不要光情報とは、各レンズの中心部からの反射光や、光路を分割するビームスプリッターの表裏面における反射光などの、計測には不要な光で形成された像のことである。
不要光計測が終了した後、ステップB−3において、制御部9からの指示により遮光板駆動機構13が遮光板12を光路から退避させる。
ステップB−4では、基準レンズ10を計測装置のステージ6に設置する。
ステップB−5では、制御部9が、受光センサ8を用いて基準面10aで反射した光束によって形成されるスポット像を計測し、その強度分布から不要光情報を除去(削減)することで、波面(以下、計測波面Wという)を計測する。
不要光計測とその除去に関して、図12を用いて更に詳細に説明する。
図12における画像30は、ステップB−5の計測で得られるスポット像を示している。このように、ステップB−5の計測時に受光センサ8から得られる像は、計測すべき被検物(基準面10a,被検面11a)からの反射光によって形成される像と、不要光によって形成されるゴースト像(不要光情報)とが重なった像になる。
図12における画像31は、ステップB−1の遮光板12を挿入した計測で得られるゴースト像(不要光情報)である。遮光板12によって計測すべき被検物(基準面10a,被検面11a)からの反射光を除去するため、ステップB−5と同様の不要光情報だけが計測できる。
そして、画像30(被検物反射光+不要光)から画像31(不要光)を強度分布として単純に減算することで得られた画像32(両画像の差分)を用いて、波面を求める。ここで単純な強度分布の減算により計測画像を補正できるのは、コヒーレンス長の短い光源(例えば1mm以下のコヒーレンス光)を使用したシステムだからである。このように、本実施例によれば、不要光を強度分布の減算で簡易に除去することができ、高精度な計測を行うことが可能になる。
本実施例では、基準レンズ10または被検レンズ11と投光レンズ5の間に遮光板12を挿入するが、遮光板12の挿入位置はこの位置に限られない。ビームスプリッターやビームスプリッター4付近で発生する不要光の影響が最も懸念されるため、遮光板12はビームスプリッターあるいはBS4から被検物の間に配置することが好ましい。特に、不要光をできるだけ多く除去するためには、遮光板12は被検物(基準レンズ10,被検レンズ11)の直前に挿入し、被検物からの反射光のみを除去することがより好ましい。
また、基準面10aと被検面11aの計測に加えて不要光計測時も、受光センサ8の計測条件を等しくするとよい。例えば、自動で露光時間が変化するようなモードで撮影するのではなく、基準面10a、被検面11a、不要光情報をすべて等しい露光時間で計測する、又はシャッターなどを用いて受光センサ8における受光時間を等しくする。
ステップB−6では、制御部9は、ステップB−5における計測波面Wと、ステップA−2における演算波面W0との差を計算し、その差分が十分に小さいかを判定する。このとき駆動装置6は、制御部9からの指示により、基準面10aの光軸に垂直な面(xy面)内の位置及び傾きを、計測波面Wと演算波面W0とのチルト成分及びコマ成分の差が十分小さくなるように調整する。基準面10aの光軸(z)方向の位置に関しては、駆動装置6は、制御部9からの指示により、計測波面Wと演算波面W0の球面成分、Zernike関数ではZ4、Z9、Z16、Z25・・・の差が小さくなるように調整する。このとき、ビームスプリッター4、投光レンズ5、結像レンズ7などの光学系に誤差があると、基準面10aの光軸方向の位置調整だけでは波面の球面成分の差は十分小さくならない。計測波面Wが演算波面W0と一致すると、基準面10aはセンサ共役面位置に配置されたこととなり、装置の位置倍率分布αおよび角度倍率分布βもステップA−3で演算した倍率分布と一致する。
なお、倍率分布校正フローBは、装置の組立初期にアライメントを行う場合、環境変動(空気圧、湿度、温度などの変化)に起因する光学系の誤差により設計からのずれが大きくなった場合、又は計測対象(被検面の設計形状)を変更した場合に行うと効果的である。
制御部9は、ステップB−5の計測波面Wと演算波面W0との差が十分に小さければ校正を終了してステップB−9に進み、差が大きければステップB−7に進む。
ステップB−7では、制御部9は、ステップA−4で演算した基準レンズ10、結像レンズ7、受光センサ8の光軸(z)方向の敏感度から、ステップB−5の計測波面Wと演算波面W0との差のうち球面成分の差が最小になるように、それぞれの駆動量を演算する。ここでは基準レンズ10、結像レンズ7、受光センサ8の3つを駆動する場合について言及したが、このような構成に限らず、駆動する軸が2つ以上あればよい。
ステップB−8では、ステップB−7で求められた各軸の駆動量をもとに、駆動装置6,14,15が、基準レンズ10、結像レンズ7、受光センサ8をそれぞれ光軸方向に駆動する。駆動した後、制御部9は、処理をステップB−5に戻して受光センサ8により波面を計測し、計測波面Wと演算波面W0との差が十分小さくなるまでステップB−5からステップB−8を繰り返し行う。
倍率校正が終了した後、ステップB−9ではステップB−1と同様に、制御部9からの指示により遮光板駆動機構13が遮光板12を光路に挿入する。
ステップB−10では、ステップB−2と同様に遮光板12を光路に挿入した状態で、制御部9が受光センサ8を用いて不要光情報を計測する。
不要光計測が終了した後、ステップB−11ではステップB−3と同様に、制御部9からの指示により遮光板駆動機構13が遮光板12を光路から退避させる。
図4に示す校正では光学系を光軸方向に駆動するため、校正を行うたびに光学系の光軸方向の配置が変化する。また異なる被検面が設置されると、校正位置もそれに対応して変化する。校正によって光学系の配置が変われば、不要光の発生状態も変わる。従って、校正により光学系の少なくとも一部を駆動するごとにステップB−10の不要光計測を行い不要項情報を計測情報から除去することで、校正状態に合せて最適な不要光情報を除去して高精度な波面計測を実現することができる。
これ以降のすべての波面の計測において、計測毎に、制御部9が受光センサ8を用いて計測したスポット像の強度分布からステップB−10で取得した不要光情報を減算することで、不要光情報を除去したデータを用いて波面を計測する。ただし、校正によって光学系の少なくとも一部が駆動しても不要光情報の変化が小さい場合は、(B−9)〜(B−11)のステップを省略してもよい。その場合は、計測毎に、ステップB−2で取得した不要光情報を除去することで、波面を計測する。装置が安定している場合には校正前後での不要光変化も小さいため、光学系を校正することが必要となった場合にのみ不要光情報を計測することとしてもよい。除去に用いられる不要光情報は、計測した際に不図示のメモリに格納し、必要に応じて該メモリから読み出しを行うようにしてもよい。
次に、形状計測フローCを図5を用いて説明する。
ステップC−1では、基準レンズ10をステージ6に設置する。
ステップC−2では、ステップB−6と同様に制御部9からの指示に応じて、駆動装置6が、計測波面Wと演算波面W0との差が閾値以下になるようにステージのチルトとシフトの調整することで基準面10aのアライメントを行う。
ステップC−3では、制御部9は、基準面10aのアライメントが終了したら受光センサ8を用いて基準レンズ10からの反射光の波面(波面計測情報)を計測する。具体的には、本実施例では受光センサ8にシャック・ハルトマンセンサを用いるため、この受光センサ8によってスポット像を検出し、検出されたスポット像から不要光情報を除去する。そして、除去した後のデータから光線角度分布を前述の数式1によって求め、この光線角度分布を積分処理することによって波面を計測する。計測された基準面10aの波面は、不図示のメモリに格納しておく。
ステップC−4では、基準レンズ10をステージから取り外し、ステージに被検レンズ11を配置する。基準面10aと被検面11aとの位置は、できるだけ一致させる必要がある。そのため、基準レンズ10をステージから退避させる前に基準面10aの光軸方向の位置を予め計測しておき、被検面11aを同じ位置に配置する。本実施例においては、光軸方向の位置は、測長機や変位センサなど別のセンサを用いて測る。
ステップC−5では、ステップC−2と同様に制御部9からの指示に応じて、駆動装置6が、被検面11aのチルトとシフトのアライメントを行う。
アライメント終了後に、ステップC−6において、制御部9が受光センサ8によって被検面11aの波面(波面計測情報)を計測する。計測された被検面11aの波面も、ステップC−3と同様に不図示のメモリに格納する。
次に、解析フローDに関して、図6を用いて説明する。
ステップD−1では、制御部9は、形状計測フローCにより計測された基準面10aと被検面11aの波面から反射光の受光面8aにおける光線角度分布(面傾斜データ)V10・V11を算出する。
ステップD−2では、制御部9は、ステップD−1により基準面10aと被検面11aに関して算出された光線角度分布V10・V11に対し、数式4を用いてセンサ共役面上の光線角度分布v10・v11を算出する。数式4での角度倍率分布βには、倍率校正フローBにより校正された倍率分布を用いる。また、数式4での主光線の角度分布ηとは、基準面10aでの反射光のうち検出面で光軸と平行になる光束が基準面10aに入射する際の光線角度を意味する。この主光線の角度分布ηは、前処理フローAと同じように、計測装置の光学系の情報や基準面10aの設計データから光線追跡ソフトウエアなどを使って計算で求める。
次に、受光面8aの光線座標分布Rに対し、センサ共役面での光線座標分布rを数式5および数式6によって求める。受光面8aの光線座標分布Rとは、センサとしてシャック・ハルトマンセンサを用いる場合に、マイクロレンズアレイの個々の中心位置をCCDの座標(x、y)を用いて表したものである。
センサ共役面は、光学系の構成で決まる。しかし、計測装置100は1つの光学系で複数の基準面10aを計測するシステムであるため、センサ共役面と基準面10aは完全には一致しない。そこでステップD−3では、制御部9は、ステップD−2によって求められたセンサ共役面上の光線角度分布v10・v11と光線座標分布rに対して、基準面10aにおける対応点を光線追跡演算によって求める。すなわち、制御部9は、数式7によって、基準面10aの光線角度分布v10と被検面11aの光線角度分布v11との面傾斜(スロープ)の差分Δsを算出する。
面傾斜の差分Δsは、基準面10aと被検面11aとの面形状の差の微分値になっている。そのため、面形状差を求めるためには、Δsを積分する必要がある。積分手法には、基底関数の微分関数を用いたフィッティングや面傾斜の差分を随時加算していく手法など種々の方法がある。
ステップD−4では、制御部9は、Δsを積分して基準面10aと被検面11aとの面形状の差を求め、この値にステップA−1で予め計測しておいた基準面10aの情報を加算することで、最終的に被検面11aの形状を求める。
以上のように、光学系の校正を行った後に、遮光板12を光路に挿入した状態で不要光を計測し、基準面10aおよび被検面11aの情報から計測された不要光を除去することによって、簡単に不要光を除去することができ、高精度に形状を算出することができる。不要光計測は、上記フローに限定されず、必要に応じて種々のタイミングで行ってもよい。
校正が終了して光学系が変化しない状態であるなら、ステップC−5における不要光の計測は基準面10aを計測する前でも、被検面11aを計測した後でも良い。また、光学系が安定していて毎回校正が必要ない場合は、不要光も変化しないため、波面を計測するたびに不要光の計測を行う必要はない。さらに光学系が安定しており、校正だけでなく、基準面の計測も必要ない場合には、不要光、基準面の計測を行わずに、被検面のみの計測でもよい。または不要光と被検面のみの計測でもよい。
上述のフローを用いて計測した被検面11aの形状と設計形状との差分を計算し、修正加工量とその位置関係(横座標)を求め、実施例4で述べる加工機により修正加工を行うことで、設計値に近い所望の形状のレンズを作成することができる。1回の加工で所望の形状が得られなかった場合には、計測と修正加工を複数回繰り返すこととしてもよい。
なお、本実施例では、被検物を被検レンズ11として説明をしてきたが、レンズ以外でもよく、レンズと同等の形状のミラーなどの光学素子や、金型などでもよい。
また、本実施例では、受光センサ8における基準面10aや被検面11aの計測情報から不要光情報を減算により除去(削減)することとしたが、計測した不要光情報を用いた、その他の方法により計測情報を補正するものであってもよい。
不要光情報を除去としているが、完全に除去できなくても問題ない。この場合、除去できなかった不要光は誤差として計測情報に残るが、必要な計測誤差の範囲になるよう、処理前より低減することを目的としている。計測時間や計測精度など、必要な計測条件が実現できるよう、その目標に合せて不要光計測の頻度を決めればよい。
また、本実施例では、A−3において、α:位置倍率分布およびβ:角度倍率分布を算出し、この倍率分布を用いて計測した光線座標分布と光線角度分布から、基準面や被検面における検出面の共役面上の光線座標分布と光線角度分布を算出した。しかし、算出方法はこれに限らない。例えば、光学トレースソフトなどを用いて光線追跡を行うことで、同様の処理が実現できる。本発明は、計測情報を得るための不要光を軽減するための手法を提案したもので、この光線座標分布と光線角度分布の算出方法は、その他の方法を用いても可能である。
また、本実施例では、計測装置100が凸面の非球面である被検面11aを有する被検レンズ11を計測することしたが、図8に示すような凹面の非球面である被検面11’aを有する被検レンズ11’を計測するもので当ててもよい。この場合も、同様のフローを適用することができる。また、この場合、凸面の基準面10aを有する基準レンズ10の代わりに、既知の凹面の非球面である基準面10’aを有する基準レンズ10’を用いる。
また、本発明を適用できる面形状計測技術は、本実施例で説明したものに限らず、光学系を介して被検面に光を導き、該光学系を介して被検面からの反射光を受光センサによって検出するものであればよい。
また、制御部9における演算は、本実施例で説明したように計測装置100の内部で行ってもよいし、計測データを外部のコンピュータに出力して該外部コンピュータで演算を行うこととしてもよい。外部コンピュータでの演算は、本実施例に示した演算の一部だけであってもよい。
実施例1では、光学系を校正した後に、遮光板12を挿入して不要光を計測する場合を示した。
実施例2では、光学系を校正した後、基準面10aを計測するステップと被検面11aを計測するステップとの間に、サンプル位置の計測と不要光の計測を同時に行う場合を示す。環境変動などによってドリフトがある場合には、基準面10aと被検面11aの間で不要光を除去することで高精度計測が見込まれる。実施例1と重複する構成については、説明を省略する。
図9は、本実施例における計測装置101の構成を示している。計測装置101は、遮光板12にレンズ位置計測センサ16(以下、距離センサという)を設置しており、それ以外の構成は実施例1の計測装置100と同じである。
本実施例では、実施例1における倍率校正後の不要情報取得のためのステップB−9,ステップB−10,ステップB−11を行わずに、以下のステップを計測フローCにて行う。
計測装置100と同様に、本実施例の計測装置101もまた基準面10aと被検面11aを計測し、両者の差分情報から形状を算出する。基準面10aと被検面11aの位置ずれは、計測誤差に大きな影響を及ぼすため、基準面10aと被検面11aは同じ位置に配置する必要がある。そのため、高精度計測を行うには、基準面10aまでの距離を実際に計測しておき、被検面11aに交換した後に被検面11aまでの距離を計測しながら被検面11aの位置が基準面10aと等しくなるようにステージを駆動する必要がある。
このような構成において、環境変動などに起因したドリフトがある場合には、基準面10aと被検面11aの間で不要光を計測するステップを追加し、基準面10aと被検面11aの計測情報から、不要光情報を除去することで、より高精度な計測を実現できる。
以下に、本実施例における形状計測フローCについて図10を用いて説明する。図10に示した本実施例の形状計測フローCは、C2−4、C2−5、C2−7が実施例1のものと異なり、その他のステップは実施例1と同じである。
ステップC2−4では、制御部9の指示により、遮光板駆動機構13が遮光板12と遮光板12の被検物側に設けた距離センサ16を光路に挿入する。
ステップC2−5では、制御部9が、受光センサ8を用いてゴースト像の計測(不要光計測)を行い、その不要光情報の計測中に又はその前後において距離センサ16を用いて基準面10aまでの距離の計測や光軸(z軸)方向の位置調整を行う。
ステップC2−6では、基準面10aをステージから取り外し、ステージに被検面11aを配置する。ステップC2−5での距離センサ16による計測結果を用いて、被検面11aの位置がステップC−3において計測を行った際の基準面10aの位置と同じになるように、駆動装置6がステージを駆動する。
不要光計測と被検面の設置が終了した後に、ステップC2−7において、制御部9の指示により、遮光板駆動機構13が遮光板12と距離センサ16を光路から退避させる。
本実施例では、遮光板駆動機構13により、一体化された遮光板12と距離センサ16を駆動することとしたが、遮光板12と距離センサ16をそれぞれ別の駆動手段によって同時期に駆動させることとしてもよい。
実施例2によれば、基準面10aおよび被検面11aの計測と、不要光情報の計測との時間差が小さくなり、実施例1の場合よりも環境変動が生じても高精度の計測を実現できる。さらには、遮光板12と距離センサ16を併用することで、不要光情報の計測と、計測面までの距離計測を平行してい行うことができ、より簡単な計測フローを実現できる。
本実施例では、受光センサ8における基準面10aや被検面11aの計測情報から不要光情報を減算により除去することとしたが、計測した不要光情報を用いた、その他の方法により計測情報を補正するものであってもよい。
また、制御部9における演算は、本実施例で説明したように計測装置101の内部で行ってもよいし、計測データを外部のコンピュータに出力して該外部コンピュータで演算を行うこととしてもよい。外部コンピュータでの演算は、本実施例に示した演算の一部だけであってもよい。
図11には、本発明の実施例3として、実施例1にて説明した計測装置100を用いた光学素子加工装置200の構成を示している。実施例1にて説明した計測装置100に代えて、実施例2で説明した計測装置101を用いてもよい。
20は被検レンズ11の加工前の材料であり、201は該材料20に対して切削、研磨等の加工を行って光学素子としての被検レンズ11を製造する加工部である。
加工部201で加工された被検レンズ11の被検面11aの面形状は、計測部としての計測装置100において、実施例1にて説明した計測方法を用いて計測される。そして、実施例1でも説明したように、計測装置100は、被検面11aを目標の面形状に仕上げるために、被検面11aの面形状の計測データと目標データとの差に基づいて被検面11aに対する修正加工量を計算し、これを加工部201に出力する。これにより、加工部201による被検面11aに対する修正加工が行われ、目標の面形状に至った被検面11aを有する被検レンズ11が完成する。
また、既に修正加工された被検面11aの形状を計測装置100により計測し、得られた修正加工量に基づいて再び加工部201が修正加工するという動作を繰り返し行うようにしてもよい。
以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。
被検面の形状を高速かつ高精度に計測することが可能な計測方法および計測装置を提供することができる。
1 光源
4 ビームスプリッター
8 センサ
9 制御部
10 基準レンズ
10a 基準面
11 被検レンズ
11a 被検面
12 遮光板
13 遮光板駆動機構
4 ビームスプリッター
8 センサ
9 制御部
10 基準レンズ
10a 基準面
11 被検レンズ
11a 被検面
12 遮光板
13 遮光板駆動機構
Claims (13)
- 光源からの光を被検物に照射し、該被検物からの反射光を検出することで前記被検物の面形状を計測する面形状計測装置であって、
受光センサと、
前記光源からの光を前記被検物に導き、前記被検物からの反射光を前記受光センサに導く光偏向部材を含む光学系と、
前記光偏向部材と前記被検物の間の光路に対して、挿入および退避が可能な遮光部材と、
前記遮光部材を退避した状態において前記受光センサから出力される計測情報、および前記遮光部材を挿入した状態において前記受光センサから出力される不要光情報に基づいて、前記被検物の面形状を演算する演算手段と、
を有することを特徴とする面形状計測装置。 - 前記光偏向部材は、前記遮光部材を退避した状態において、前記被検物として既知の形状を有する基準面からの反射光と、前記被検物として非球面形状を有する被検面からの反射光を前記受光センサに導き、
前記演算手段は、前記基準面および前記被検面の各々の前記計測情報、ならびに前記不要光情報に基づいて、前記被検面の形状を演算することを特徴とする請求項1に記載の面形状計測装置。 - 前記演算手段は、前記計測情報から前記不要光情報を減算することによって、前記計測情報を補正し、補正された前記計測情報に基づいて前記被検物の面形状を演算することを特徴とする請求項1又は2に記載の面形状計測装置。
- 前記演算手段は、前記不要光情報によって補正された前記計測情報を用いて、前記被検物からの反射光の前記受光センサの受光面における波面を演算することを特徴とする請求項3に記載の面形状計測装置。
- 前記演算手段は、前記受光センサの受光面に対する共役面上の光線座標分布および光線角度分布を演算し、
演算された前記光線座標分布および前記光線角度分布と、前記不要光情報と、前記計測情報と、を用いて前記被検物の面形状を算出することを特徴とする請求項1から4のうちいずれか1項に記載の面形状計測装置。 - 前記被検物、前記受光センサ、前記光学系の光学素子のうち少なくとも2つ、および前記遮光部材を駆動する駆動機構と、
前記駆動機構によって、前記光学系の校正を行い、該校正が終了した後に前記遮光部材を前記光路に挿入させる制御手段と、
を有することを特徴とする請求項1から5のうちいずれか1項に記載の面形状計測装置。 - 前記遮光部材は、前記被検物の位置を計測する距離センサを備えることを特徴とする請求項1から6のうちいずれか1項に記載の面形状計測装置。
- コヒーレンス長が1mm以下のコヒーレンス光の光源を更に有し、
前記光源からの光を、前記光偏向部材と前記光学系を介して前記被検物に照射することを特徴とする請求項1から7のうちいずれか1項に記載の面形状計測装置。 - 前記受光センサは、該受光センサの受光面に入射光を集光する複数のマイクロレンズを有し、
前記計測情報および前記不要光情報は、前記複数のマイクロレンズによる集光スポット位置であることを特徴とする請求項1から8のうちいずれか1項に記載の面形状計測装置。 - 前記不要光情報は、前記被検物からの反射光を除いた、前記光学系からの反射光に関する情報であることを特徴とする請求項1から9のうちいずれか1項に記載の面形状計測装置。
- 請求項1から10のうちいずれか1項に記載の面形状計測装置と、
前記面形状計測装置によって計測した前記被検物の面形状に基づいて、該面形状の加工を行う加工部と、を有することを特徴とする加工装置。 - 請求項11に記載の加工装置によって、加工された被検面を有することを特徴とする光学素子。
- 光源からの光を光偏向部材を介して被検物に照射し、該被検物からの反射光を前記光偏向部材を介して受光センサに導き、該受光センサの出力を用いて前記被検物の面形状を計測する面形状計測方法であって、
前記光偏向部材と前記被検物との間の光路に対して、遮光部材の挿入および退避を行う駆動ステップと、
前記遮光部材を退避した状態および前記遮光部材を挿入した状態で、前記光偏向部材から導かれる光を前記受光センサによって検出する検出ステップと、
前記遮光部材を退避した状態における前記検出ステップの結果、および前記遮光部材を挿入した状態における前記検出ステップの結果に基づいて、前記被検物の面形状を演算するステップと、
を有することを特徴とする面形状計測方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015094874A JP2016211933A (ja) | 2015-05-07 | 2015-05-07 | 面形状計測装置、面形状計測方法、及び加工装置、並びにそれによって加工された光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2015094874A Pending JP2016211933A (ja) | 2015-05-07 | 2015-05-07 | 面形状計測装置、面形状計測方法、及び加工装置、並びにそれによって加工された光学素子 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017090327A (ja) * | 2015-11-13 | 2017-05-25 | 三菱電機株式会社 | 波面センサ及び波面処理方法 |
JP2020186964A (ja) * | 2019-05-13 | 2020-11-19 | 応用電機株式会社 | 瞳レンズ測定装置及び測定方法 |
CN115106900A (zh) * | 2021-03-18 | 2022-09-27 | 旭精机工业株式会社 | 磨削装置 |
-
2015
- 2015-05-07 JP JP2015094874A patent/JP2016211933A/ja active Pending
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