JP2016209973A - 移送装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】ワークを所定の方向に移送する過程において、ワークの平面方向の位置および姿勢を簡単かつ確実に調整することができる移送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本装置1は、ワークWが載置される載置部10と、所定の方向に延びる案内部20と、案内部20に移動可能な状態で設けられた複数の可動部30と、載置部10に一端部が回動可能な状態で接続され、かつ前記各可動部30のいずれかに他端部が回動可能な状態で接続された複数のリンク部40とを備える。各可動部30が案内部20上を所定の方向および速度で移動することにより、前記載置部10がリンク部40を介して同一の所定の方向および速度で移動するとともに、平面方向に移動および/または回転する。
【選択図】図1

Description

本発明は、各種ワークを所定の方向に移送する移送装置に関するものである。
近年、自動車用電池、住宅用電池、電子機器用電池あるいは太陽電池などの各種電池において、積層型電池が使用されるようになっている。この積層型電池は、正極の極板、セパレータおよび負極の極板の電池用材料に係るワークが交互に積層状態に積載されて構成される。
このような積層型電池の製造に際しては、正極の極板、セパレータおよび負極の極板の電池用材料に係るワークをコンベア等の移送装置により移送したあと、アライメント装置によりワークの平面方向の位置や姿勢を調整し、積載装置により順次積載していく(例えば、特許文献1、2参照)
特開2012−174388号公報 特開2012−174389号公報
しかしながら、従来の積層型電池の製造では、移送装置と積載装置の間に設けられているアライメント装置においてワークの平面方向の位置や姿勢を調整するため、その間、ワークの流れを止めなければならなかった。このため、製造ライン全体として間欠的な処理となって、1つの積層状態の製品を製造する時間(タクト)が長くなり、製品の製造スピードが低下するという問題があった。
もとより、製品の製造スピードを上げるためには、ワークの流れを止めることなく、ワークの平面方向の位置や姿勢を連続的に調整すればよいのだが、ワークを移送する動作と、ワークの平面方向の位置や姿勢を調整する動作との2つの動作を同時に行うことは機構的にも製造コスト的にも困難なものであった。
このような問題は、積層型電池の製造に限られるものではなく、何らかのワークを搬送する動作と、ワークの平面方向の位置や姿勢を調整する動作の2つの動作が必要な製品の製造にも同様に生じるものであった。
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、ワークを所定の方向に移送する過程において、ワークの平面方向の位置および/または姿勢を簡単かつ確実に調整することができる移送装置を提供することを課題とする。
本発明は、上記目的を達成するために、ワークを所定の方向に移送する過程において、ワークの平面方向の位置および姿勢を調整する移送装置であって、ワークが載置される載置部と、所定の方向に延びる案内部と、該案内部に移動可能な状態で設けられた複数の可動部と、前記載置部に一端部が回動可能な状態で接続され、かつ前記各可動部のいずれかに他端部が回動可能な状態で接続された複数のリンク部とを備え、前記各可動部が前記案内部上を所定の方向および速度で移動することにより、前記載置部が前記リンク部を介して同一の所定の方向および速度で移動するとともに、平面方向に移動および/または回転することを特徴とする。
これによれば、前記各可動部が前記案内部材上を同一の所定の方向に移動すると、前記載置部が前記リンク部を介して所定の方向に移動するため、載置部に載置されたワークを所定の方向に移送することができる。また、前記各可動部が互いに移動方向および/または移動速度を変化させながら前記案内部上を移動すると、前記載置部が前記リンク部材を介して平面方向に移動および/または回転するため、載置部に載置されたワークを平面方向の位置および/または姿勢を調整することができる。このため、ワークを所定の方向に移送する過程において、ワークの平面方向の位置および/または姿勢を簡単かつ確実に調整することができる。
また、前記各可動部が前記案内部上を同一の所定の方向および速度で移動することにより、前記載置部が前記リンク部を介して同一の所定の方向および速度で移動しているときに、前記各可動部の少なくとも一つが移動速度を変化させることにより、前記載置部が平面方向に移動および/または回転するのが好ましい。これによれば、ワークを同一の所定の方向に移送する過程において、ワークの移送を止めることなく、ワークの平面方向の位置および/または姿勢を簡単かつ確実に調整することができる。
また、前記リンク部および前記可動部は、移送方向の一方に配置された第1のリンク部および可動部と、移送方向の中間に配置された第2のリンク部および可動部と、移送方向の他方に配置された第3のリンク部および可動部とを備えるのが好ましい。
また、前記第1のリンク部および第2のリンク部は、載置部における移送方向の一方側部に一方端部が接続されるとともに、前記第3のリンク部は、載置部における移送方向の他方側部に一方端部が接続されているのが好ましい。
また、前記第1のリンク部および第2のリンク部は、載置部における移送方向の一方側部の同一箇所で一方端部が接続されているのが好ましい。
また、前記第1のリンク部と第1の可動部の接続部分は、前記第1のリンク部と前記載置部の接続部分よりも移送方向の一方に位置し、前記第2のリンク部と第2の可動部の接続部分は、前記第2のリンク部と前記載置部の接続部分よりも移送方向の他方に位置し、前記第3のリンク部と第3の可動部の接続部分は、前記第3のリンク部と前記載置部の接続部分よりも移送方向の他方に位置するのが好ましい。
また、前記案内部は、所定の方向に沿って互いに平行に延びる3本の案内部を備え、各案内部にそれぞれ1個の可動部が移動可能な状態で設けられているのが好ましい。
また、前記各可動部とリンク部との接続部分は、互いに所定の方向に沿って同一直線上に並んでいるのが好ましい。
また、前記案内部および可動部は、ネジ軸およびナットからなるボールネジであって、ネジ軸としての案内部が所定の回転方向および回転速度で軸回転することにより、ナットとしての可動部が案内部上を所定の方向および速度で移動するのが好ましい。
また、前記案内部は、所定方向に延びる1本の案内部を備え、該案内部に複数の可動部が移動可能な状態で設けられているものであってもよい。
本発明によれば、前記各可動部が前記案内部材上を同一の所定の方向に移動すると、前記載置部が前記リンク部を介して所定の方向に移動するため、載置部に載置されたワークを所定の方向に移送することができる。また、前記各可動部が互いに移動方向および/または移動速度を変化させながら前記案内部上を移動すると、前記載置部が前記リンク部材を介して平面方向に移動および/または回転するため、載置部に載置されたワークを平面方向の位置および/または姿勢を調整することができる。このため、ワークを所定の方向に移送する過程において、ワークの平面方向の位置および/または姿勢を簡単かつ確実に調整することができる。よって、製品を製造する時間(タクト)を短縮でき、製品の製造スピードを向上させることが可能となる。
本発明の一実施形態に係る移送装置の構成概略図である。 図1の移送装置の第1の動作例を示す平面図である。 図1の移送装置の第2の動作例を示す平面図である。 図1の移送装置の第3の動作例を示す平面図である。 本発明のその他の実施形態に係る移送装置の構成概略図である。
次に、本発明に係る移送装置(以下、本装置1という)の一実施形態について図1〜図4を参照しつつ説明する。なお、本実施形態では、図1の右方向を移送方向とする。
本装置1は、正極の極板、セパレータおよび負極の極板の電池用材料に係るワークWを所定の方向(本実施形態では、図1の右方向)に移送する過程において、ワークWの平面方向の位置および姿勢を調整するものである。
なお、本装置1の移送の始点側(図1の左側)には、本装置1にワークWを載置するための図示略の載置装置が設けられ、該載置装置により本装置1にワークWが載置される。また、本装置1の移送の終点側(図1の右側)には、本装置1に載置されているワークWを別途積載するための図示略の積載装置が設けられ、該積載装置により本装置1により移送されてきたワークWが順次保持されて別途積載されていく。さらに、本装置1にはワークWの状態を監視するカメラやセンサなどの監視装置が設けられており、該監視装置による監視結果に基づいてワークWの平面方向の位置および/または姿勢を調整するようになっている。
本装置1は、図1に示すように、ワークWが載置される載置部10と、所定の方向に延びる3本の案内部20と、各案内部20に移動可能な状態で設けられた3個の可動部30と、載置部10と可動部を連結する3本のリンク部40とを備え、各部材が略同一平面方向に設けられるとともに、案内部20の基端側には駆動装置2が設けられている。
前記載置部10は、図1に示すように、上面にワークWが載置されるアライメントプレート11と、該アライメントプレート11の裏面に固定されたアライメント基部12とを備え、所定の方向(図1の右方向および左方向)に移動可能な状態で、かつ平面方向に移動可能および回転可能な状態で設けられている。このアライメントプレート11は、平面視矩形状に形成された金属製または合成樹脂製等の平板であって、載置されるワークWよりも各辺が長くなるように形成されている。一方、アライメント基部12は、直方体状に形成された金属製または合成樹脂製等の躯体であって、アライメントプレート11の裏面中央部において案内部20と同一の方向に延びる態様で固定されている。
前記案内部20は、所定の方向に沿って互いに平行に延びており、載置部10から最も遠い端側に配置されている第1案内部21と、中間に配置されている第2案内部22と、載置部10に最も近い端側に配置されている第3案内部23とから構成され、第1、第2および第3案内部21、22、23の順に長さが短くなるものとなされている。これら第1、第2および第3案内部21、22、23は、いずれもボールネジのネジ軸として機能するために周面にネジが形成されており、基端側に設けられた駆動装置2によりそれぞれ所定の回転方向および回転速度で軸回転するようになっている。なお、この駆動装置2は、上述のカメラやセンサ等の監視装置の監視結果に基づいて案内部20の回転方向および回転速度を制御するようになっている。
前記可動部30は、第1案内部21に設けられた平面視長方形状の第1可動部31と、第2案内部22に設けられた平面視略正方形状の第2可動部32と、第3案内部23に設けられた平面視長方形状の第3可動部33とから構成されている。これら第1、第2および第3可動部31、32、33は、いずれもボールネジのナットとして機能するために第1、第2および第3案内部21、22、23に螺着されており、第1、第2および第3案内部21、22、23が所定の回転方向および回転速度で軸回転するのに伴って、所定の方向および速度で移動するようになっている。
前記リンク部40は、載置部10と第1可動部31を連結する第1リンク部41と、載置部10と第2可動部32を連結する第2リンク部42と、載置部10と第3可動部33を連結する第3リンク部43とから構成されている。
具体的に説明すると、第1リンク部41は、載置部10における移送方向の前側部に一方端部が回動可能な状態で接続されるとともに、第1可動部31に他方端部が回動可能な状態で接続されている。また、第2リンク部42は、載置部10における移送方向の前側部に一方端部が回動可能な状態で接続されるとともに、第2可動部32に他方端部が回動可能な状態で接続されている。さらに、第3リンク部43は、載置部10における移送方向の後側部に一方端部が回動可能な状態で接続されるとともに、第3可動部33に他方端部が回動可能な状態で接続されている。本実施形態では、特に第1リンク部41と第2リンク部42は、載置部10における移送方向の前側部の同一箇所で一端部が接続されている。
また、第1リンク部41と第1可動部31の接続部分は、第1リンク部41と前記載置部10の接続部分よりも移送方向の前方に位置するとともに、第2リンク部42と第2可動部32の接続部分は、第2リンク部42と載置部10の接続部分よりも移送方向の後方に位置し、第1リンク部41と第2リンク部42が二等辺三角形の2辺を構成している。また、第3リンク部43と第3可動部33の接続部分は、前記第3リンク部43と前記載置部10の接続部分よりも移送方向の後方に位置している。
さらに、第1リンク部41と第1可動部31の接続部分と、第2リンク部42と第2可動部32の接続部分と、第3リンク部43と第3可動部33の接続部分とは、それぞれ移送方向に沿って同一直線上に並んだ状態となっている。すなわち、第1可動部31は、第1案内部21から第2案内部22まで延びて第2案内部22の上方で第1リンク部41と接続され、第2可動部32は、第2案内部22の上方でそのまま第2リンク部42と接続され、第3可動部33は、第3案内部23から第2案内部22まで延びて第3案内部23の上方で第3リンク部43と接続されている。
而して、第1、第2および第3可動部31、32、33が第1、第2および第3案内部21、22、23上を同一の所定の方向および速度で移動すると、第1、第2および第3可動部31、32、33と第1、第2および第3リンク部41、42、43との接続部分が同一直線上で同一の所定の方向および速度で移動する。このため、第1、第2および第3リンク部41、42、43が平面方向の傾斜姿勢を維持した状態で同一の所定の方向および速度で移動し、それに伴って第1、第2および第3リンク部41、42、43の一方端部が接続された載置部10が同一の所定の方向および速度で移動するため、載置部10にされたワークWを同一の所定の方向および速度で移送することができる。
また、ワークWを所定の方向および速度で移送する過程において、第1、第2および第3可動部31、32、33が互いに移動方向および/または移動速度を変化させると、第1、第2および第3可動部31、32、33と第1、第2および第3リンク部41、42、43との接続部分が同一直線上で異なる移動方向や移動速度で移動する。このため、第1、第2および第3リンク部41、42、43が平面方向の傾斜姿勢を変化させ、それに伴って第1、第2および第3リンク部41、42、43の一方端部が接続された載置部10が所定の平面方向に移動および/または回転するため、ワークWの平面方向の位置および/または姿勢を調整することができる。
次に本装置1の具体的な動作について図2〜図4を参照しつつ説明する。なお、説明の便宜上、図面において載置部10のアライメントプレート11およびワークWを省略して図示している。
図2は、図1の移送装置の第1の動作例を示す平面図である。
本動作例では、ワークWの位置および姿勢を維持した状態でワークWを所定の方向に移送する場合について説明する。
図2(a)の基本状態において、駆動装置2により第1、第2および第3案内部21、22、23が同一の所定の回転方向(例えば右回り)および回転速度で軸回転すると、図2(b)に示すように、第1、第2および第3可動部31、32、33が同一の所定の方向(例えば、図2の右方向)および速度V0で移動する。このため、第1、第2および第3リンク部41、42、43が平面方向の傾斜姿勢を維持した状態で同一の方向(例えば、図2の右方向)および速度V0で移動し、それに伴って第1、第2および第3リンク部41、42、43の一方端部が接続された載置部10が同一の方向(例えば、図2の右方向)および速度V0で移動するため、載置部10にされたワークWをそのまま所定の方向(例えば、図2の右方向)および速度V0で移送することができる。
一方、図2(a)の基本状態において、駆動装置2により第1、第2および第3案内部21、22、23が同一の所定の回転方向(例えば左回り)および回転速度で軸回転すると、図2(b)に示すように、第1、第2および第3可動部31、32、33が同一の所定の方向(例えば、図2の左方向)および速度V0で移動する。このため、第1、第2および第3リンク部41、42、43が平面方向の傾斜姿勢を維持した状態で同一の方向(例えば、図2の左方向)および速度V0で移動し、それに伴って第1、第2および第3リンク部41、42、43の一方端部が接続された載置部10が同一の方向(例えば、図2の左方向)および速度V0で移動するため、載置部10が本装置1の始点側に戻ることができる。
図3は、図1の移送装置の第2の動作例を示す平面図である。
本動作例では、ワークWを同一の所定の方向および速度で移送しているときに、ワークWの平面方向の姿勢を調整する場合について説明する。
図3(a)は、載置部10が同一の所定の方向(例えば、図3の右方向)および速度V0で移動している状態を示す。
図3(a)の所定の速度V0の状態において、駆動装置2により第1、第2および第3案内部21、22、23がそれぞれ回転速度を変化させて軸回転すると、第1可動部31が所定の速度V0−V1に変化して移動し、第2可動部32が所定の速度V0+V2に変化して移動し、第3可動部33が所定の速度V0−V3に変化して移動する。
このとき、載置部10から見た場合、図3(b)に示すように、第1可動部31の相対速度が−V1、第2可動部32の相対速度が+V2、第3可動部33の相対速度が−V3となるため(図3の右方向を+、左方向を−としている)、第1リンク部41と第2リンク部42が互いに近接する方向に移動しながら平面方向の傾斜姿勢を起こす状態となり、それに伴って第1リンク部41と第2リンク部42が接続された載置部10の前側部が案内部20から離間する方向に移動する。一方、第3リンク部43は、第2リンク部42から離間する方向に移動しながら平面方向の傾斜姿勢を寝かす状態となり、それに伴って第3リンク部43が接続された載置部10の後側部が案内部20に近接する方向に移動する。
このように載置部10の前側部が案内部20から離間する方向に移動する一方、載置部10の後側部が案内部20に近接する方向に移動することにより、載置部10は平面視左回りに回転するため、載置部10に載置されたワークWも平面視左回りに回転して平面方向の姿勢が調整される。
一方、図3(a)の所定の速度V0の状態において、駆動装置2により第1、第2および第3案内部21、22、23がそれぞれ回転速度を変化させて軸回転すると、第1可動部31が所定の速度V0+V1に変化して移動し、第2可動部32が所定の速度V0−V2に変化して移動し、第3可動部33が所定の速度V0+V3に変化して移動する。
このとき、載置部10から見た場合、図3(c)に示すように、第1可動部31の相対速度が+V1、第2可動部32の相対速度が−V2、第3可動部33の相対速度が+V3となるため(図3の右方向を+、左方向を−としている)、第1リンク部41と第2リンク部42が互いに離間する方向に移動しながら平面方向の傾斜姿勢を寝かす状態となり、それに伴って第1リンク部41と第2リンク部42が接続された載置部10の前側部が案内部20から近接する方向に移動する。一方、第3リンク部43は、第2リンク部42に近接する方向に移動しながら平面方向の傾斜姿勢を起こす状態となり、それに伴って第3リンク部43が接続された載置部10の後側部が案内部20から離間する方向に移動する。
このように載置部10の前側部が案内部20に近接する方向に移動する一方、載置部10の後側部が案内部20から離間する方向に移動することにより、載置部10は平面視右回りに回転するため、載置部10に載置されたワークWも平面視右回りに回転して平面方向の姿勢が調整される。
なお、ワークWを平面方向の所定の姿勢に調整したあとは、速やかに第1、第2および第3可動部31、32、33が速度V0に戻ることにより、ワークWを所定の方向(例えば、図3の右方向)および速度V0で移送する。
図4は、図1の移送装置の第3の動作例を示す平面図である。
本動作例では、ワークWを同一の所定の方向および速度で移送しているときに、ワークWの平面方向の位置を調整する場合について説明する。
図4(a)は、載置部10が同一の所定の方向(例えば、図4の右方向)および速度V0で移動している状態を示す。
図4(a)の所定の速度V0の状態において、駆動装置2により第1、第2および第3案内部21、22、23がそれぞれ回転速度を変化させて軸回転すると、第1可動部31が所定の速度V0−V1に変化して移動し、第2可動部32が所定の速度V0+V2に変化して移動し、第3可動部33が所定の速度V0+V3に変化して移動する。
このとき、載置部10から見た場合、図4(b)に示すように、第1可動部31の相対速度が−V1、第2可動部32の相対速度が+V2、第3可動部33の相対速度が+V3となるため(図4の右方向を+、左方向を−としている)、第1リンク部41と第2リンク部42が互いに近接する方向に移動しながら平面方向の傾斜姿勢を起こす状態となり、それに伴って第1リンク部41と第2リンク部42が接続された載置部10の前側部が案内部20から離間する方向に移動する。一方、第3リンク部43も第2リンク部42に近接する方向に移動しながら平面方向の傾斜姿勢を起こす状態となり、それに伴って第3リンク部43が接続された載置部10の後側部も案内部20から離間する方向に移動する。
このように載置部10の前側部が案内部20から離間する方向に移動するとともに、載置部10の後側部が案内部20から離間する方向に移動することにより、載置部10は案内部20から離間する方向に移動するため、載置部10に載置されたワークWも案内部20から離間する方向に移動して平面方向の位置が調整される。
一方、 図4(a)の所定の速度V0の状態において、駆動装置2により第1、第2および第3案内部21、22、23がそれぞれ回転速度を変化させて軸回転すると、第1可動部31が所定の速度V0+V1に変化して移動し、第2可動部32が所定の速度V0−V2に変化して移動し、第3可動部33が所定の速度V0−V3に変化して移動する。
このとき、載置部10から見た場合、図4(c)に示すように、第1可動部31の相対速度が+V1、第2可動部32の相対速度が−V2、第3可動部33の相対速度が−V3となるため(図4の右方向を+、左方向を−としている)、第1リンク部41と第2リンク部42が互いに離間する方向に移動しながら平面方向の傾斜姿勢を寝かす状態となり、それに伴って第1リンク部41と第2リンク部42が接続された載置部10の前側部が案内部20に近接する方向に移動する。一方、第3リンク部43も第2リンク部42から離間する方向に移動しながら平面方向の傾斜姿勢を寝かす状態となり、それに伴って第3リンク部43が接続された載置部10の後側部も案内部20に近接する方向に移動する。
このように載置部10の前側部が案内部20に近接する方向に移動するとともに、載置部10の後側部が案内部20に近接する方向に移動することにより、載置部10は案内部20に近接する方向に移動するため、載置部10に載置されたワークWも案内部20に近接する方向に移動して平面方向の位置が調整される。
なお、ワークWを平面方向の所定の位置に調整したあとは、速やかに第1、第2および第3可動部31、32、33が速度V0に戻ることにより、ワークWを所定の方向(例えば、図4の右方向)および速度V0で移送する。
このように図2〜図4に示す動作を種々組み合わせることにより、ワークWを所定の方向に移送する過程において、ワークWの平面方向の位置および/または姿勢を簡単かつ確実に調整することができる。よって、製品を製造する時間(タクト)を短縮でき、製品の製造スピードを向上させることが可能となる。
なお、本実施形態では、ワークWを同一の所定の方向に移送する過程において、ワークWの移送を止めることなく、ワークWの平面方向の位置および/または姿勢を連続的に調整するものとしたが、ワークWの移送を瞬間的または短い時間止めて、ワークWの平面方向の位置および/または姿勢を調整するものとしてもよい。この場合でも、アライメント装置を別途設ける場合よりもワークWの平面方向の位置および/または姿勢を速やかに調整することができ有利である。
また、リンク部40および可動部30は3組設けるものとしたが、2組または4組以上設けるものとしてもよい。
また、リンク部40と可動部30の接続部分の箇所は上述のものに限定されるものではなく、その他の箇所であってもよい。
また、リンク部40および可動部30の接続部分と、リンク部40と載置部10の接続部分の位置関係は上述のものに限定されるものではなく、その他の位置関係であってもよい。
また、各可動部30とリンク部40の接続部分は同一直線上に並ぶものとしたが、同一直線上に並ばないものとしてもよい。
また、案内部20および可動部30はボールネジで構成するものとしたが、可動部30が案内部20上を移動可能なものであれば、その他の構成であってもよい。
また、載置部10、リンク部40、可動部30および案内部20の各部材は同一平面上に設けるものとしたが、同一平面上に設けなくてもよい。
また、案内部20は3本設けるものとしたが、その他の本数設けるものとしてもよい。例えば、図5に示すように、案内部20を1本設けるものとして、第1、第2および第3可動部31、32、33が1本の案内部20上を移動する移送装置1’が挙げられる。この場合には案内部20および第1、第2および第3可動部31、32、33はボールネジで構成するのではなく、第1、第2および第3可動部31、32,33が案内部20上を単独で移送する構成とする。
以上、図面を参照して本発明の実施形態を説明したが、本発明は、図示した実施形態のものに限定されない。図示された実施形態に対して、本発明と同一の範囲内において、あるいは均等の範囲内において、種々の修正や変形を加えることが可能である。
1・・・移送装置(本装置)
2・・・駆動装置
10・・・載置部
11・・・アライメントプレート
12・・・アライメント基部
20・・・案内部
21・・・第1案内部
22・・・第2案内部
23・・・第3案内部
30・・・可動部
31・・・第1可動部
32・・・第2可動部
33・・・第3可動部
40・・・リンク部
41・・・第1リンク部
42・・・第2リンク部
43・・・第3リンク部

Claims (10)

  1. ワークを所定の方向に移送する過程において、ワークの平面方向の位置および姿勢を調整する移送装置であって、
    ワークが載置される載置部と、
    所定の方向に延びる案内部と、
    該案内部に移動可能な状態で設けられた複数の可動部と、
    前記載置部に一端部が回動可能な状態で接続され、かつ前記各可動部のいずれかに他端部が回動可能な状態で接続された複数のリンク部とを備え、
    前記各可動部が前記案内部上を所定の方向および速度で移動することにより、前記載置部が前記リンク部を介して同一の所定の方向および速度で移動するとともに、平面方向に移動および/または回転することを特徴とする移送装置。
  2. 前記各可動部が前記案内部上を同一の所定の方向および速度で移動することにより、前記載置部が前記リンク部を介して同一の所定の方向および速度で移動しているときに、前記各可動部の少なくとも一つが移動速度を変化させることにより、前記載置部が平面方向に移動および/または回転する請求項1に記載の移送装置。
  3. 前記リンク部および前記可動部は、移送方向の一方に配置された第1のリンク部および可動部と、移送方向の中間に配置された第2のリンク部および可動部と、移送方向の他方に配置された第3のリンク部および可動部とを備える請求項1または請求項2に記載の移送装置。
  4. 前記第1のリンク部および第2のリンク部は、載置部における移送方向の一方側部に一方端部が接続されるとともに、前記第3のリンク部は、載置部における移送方向の他方側部に一方端部が接続されている請求項3に記載の移送装置。
  5. 前記第1のリンク部および第2のリンク部は、載置部における移送方向の一方側部の同一箇所で一方端部が接続されている請求項4に記載の移送装置。
  6. 前記第1のリンク部と第1の可動部の接続部分は、前記第1のリンク部と前記載置部の接続部分よりも移送方向の一方に位置し、
    前記第2のリンク部と第2の可動部の接続部分は、前記第2のリンク部と前記載置部の接続部分よりも移送方向の他方に位置し、
    前記第3のリンク部と第3の可動部の接続部分は、前記第3のリンク部と前記載置部の接続部分よりも移送方向の他方に位置する請求項3から請求項5のいずれかに記載の移送装置。
  7. 前記案内部は、所定の方向に沿って互いに平行に延びる3本の案内部を備え、各案内部にそれぞれ1個の可動部が移動可能な状態で設けられている請求項1から請求項6のいずれかに記載の移送装置。
  8. 前記各可動部とリンク部との接続部分は、互いに所定の方向に沿って同一直線上に並んでいる請求項1から請求項7のいずれかに記載の移送装置。
  9. 前記案内部および可動部は、ネジ軸およびナットからなるボールネジであって、ネジ軸としての案内部が所定の回転方向および回転速度で軸回転することにより、ナットとしての可動部が案内部上を所定の方向および速度で移動する請求項1から請求項8のいずれかに記載の移送装置。
  10. 前記案内部は、所定方向に延びる1本の案内部を備え、該案内部に複数の可動部が移動可能な状態で設けられている請求項1から請求項7のいずれかに記載の移送装置。

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