JP2016206021A - 磁気センサおよび磁気センサの製造方法 - Google Patents
磁気センサおよび磁気センサの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】第1磁気センサ素子と、前記第1磁気センサ素子とは種類が異なる第2磁気センサ素子と、を有し、前記第1磁気センサ素子および前記第2磁気センサ素子の測定対象空間領域が同じであり、第1特性における前記第1磁気センサ素子の性能が、前記第2磁気センサ素子より高く、前記第1特性とは異なる第2特性における前記第2磁気センサ素子の性能が、前記第1磁気センサ素子より高い磁気センサを提供する。
【選択図】図2
Description
Claims (10)
- 第1磁気センサ素子と、前記第1磁気センサ素子とは種類が異なる第2磁気センサ素子と、を有し、
前記第1磁気センサ素子および前記第2磁気センサ素子の測定対象空間領域が同じであり、
第1特性における前記第1磁気センサ素子の性能が、前記第2磁気センサ素子より高く、
前記第1特性とは異なる第2特性における前記第2磁気センサ素子の性能が、前記第1磁気センサ素子より高い
磁気センサ。 - 前記第1特性が、感度(出力)、位相精度、波形歪(直線性)、耐熱性、磁場中耐熱性、静電破壊耐性、外乱磁場耐性、外乱ノイズ耐性、製造容易性および製造コストからなる特性群から選択された何れかの特性であり、
前記第2特性が、前記特性群から選択された前記第1特性以外の特性である
請求項1に記載の磁気センサ。 - 前記第1磁気センサ素子が、巨大磁気抵抗効果素子、異方性磁気抵抗効果素子、トンネル磁気抵抗効果素子、ホール素子、磁気インピーダンス素子および渦電流式磁気測定素子からなる素子群から選択された何れかの素子を用いた磁気センサであり、
前記第2磁気センサ素子が、前記素子群から選択された前記第1磁気センサ素子で用いる素子以外の素子を用いた磁気センサである
請求項1または請求項2に記載の磁気センサ。 - 前記第1磁気センサ素子で用いる素子が、巨大磁気抵抗効果素子またはトンネル磁気抵抗効果素子であり、
前記第2磁気センサ素子で用いる素子が、異方性磁気抵抗効果素子またはホール素子である
請求項3に記載の磁気センサ。 - 前記第1磁気センサ素子および前記第2磁気センサ素子が単一基板上に形成されている
請求項1から請求項4の何れか一項に記載の磁気センサ。 - 前記第1磁気センサ素子を構成する層の全部または一部が、前記第2磁気センサ素子を構成する層の全部または一部の形成工程と同様の工程で形成されたものである
請求項5に記載の磁気センサ。 - 前記第1磁気センサ素子が巨大磁気抵抗効果素子であり、前記第2磁気センサ素子が異方性磁気抵抗効果素子であり、
前記巨大磁気抵抗効果素子のフリー層に含まれる強磁性層が、前記異方性磁気抵抗効果素子の強磁性層を形成した工程と同様の工程で形成されたものである
請求項6に記載の磁気センサ。 - 請求項1から請求項7の何れか一項に記載の磁気センサの製造方法であって、
前記第1磁気センサ素子に含まれる強磁性層を形成する第1工程と、
前記第2磁気センサ素子に含まれる強磁性層を形成する、前記第1工程と同様の第2工程と、を有する磁気センサの製造方法。 - 前記第1磁気センサ素子が巨大磁気抵抗効果素子であり、前記第2磁気センサ素子が異方性磁気抵抗効果素子であり、
固定磁性層、非磁性中間層およびフリー磁性層を含む巨大磁気抵抗効果素子形成用の第1積層膜を形成し、前記第1積層膜をパターニングして前記巨大磁気抵抗効果素子を形成する工程と、
前記巨大磁気抵抗効果素子を形成する工程を、印加する磁場の方向を変えて繰り返す工程と、
強磁性層を含む異方性磁気抵抗効果素子形成用の第2積層膜を形成し、前記第2積層膜をパターニングして前記異方性磁気抵抗効果素子を形成する工程と、を有し、
前記第1積層膜に含まれる前記フリー磁性層の成膜工程と、前記第2積層膜に含まれる前記強磁性層の成膜工程が、成膜時間を除き同一の工程である
請求項8に記載の磁気センサの製造方法。 - 前記繰り返す工程で形成された少なくとも4つの前記巨大磁気抵抗素子によってブリッジ回路が構成され、
前記ブリッジ回路において同一ブリッジに属する巨大磁気抵抗素子は、前記繰り返す工程において連続して形成される
請求項9に記載の磁気センサの製造方法。
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