JP2016197012A - 加速度センサ取付け装置 - Google Patents
加速度センサ取付け装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016197012A JP2016197012A JP2015075655A JP2015075655A JP2016197012A JP 2016197012 A JP2016197012 A JP 2016197012A JP 2015075655 A JP2015075655 A JP 2015075655A JP 2015075655 A JP2015075655 A JP 2015075655A JP 2016197012 A JP2016197012 A JP 2016197012A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acceleration sensor
- sensor
- measured
- dut
- mounting device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
【課題】取り付け面が滑らかでなく、または被測定物の取り付け面に複数の穴が開いているような被測定物に加速度センサを取り付けることができるようにする。【解決手段】被測定物1の振動を測定するための加速度センサ10を被測定物1に取り付けるものであって、位置決め機構によって移動可能なセンサホルダ60を備え、センサホルダ60は支持プレート40、弾性部30、センサ台座20により構成され、支持プレート40の一端には弾性部30を介してセンサ台座20が取付けられ、センサ台座20は支持プレート40に対して弾性部30によって揺動自在に保持され、センサ台座20の被測定物1と接触する側は複数の突部21a、21bを備えており、センサ台座20の被測定物1と接触する側と反対側の面には加速度センサ10が配置されている。【選択図】図1
Description
この発明は、振動測定に用いられる加速度センサを被測定物に取付けるための加速度センサ取付け装置に関するものである。
振動測定に用いる加速度センサは、ねじ、接着剤、磁石等により被測定物に取り付けられていた。また特許文献1に記載されているように被測定物の取り付け面を傷つけないために、取り付け治具と被測定物間の隙間を真空吸引する装置もあった。
上記特許文献1に記載されているように、取り付け治具と被測定物間の隙間を真空吸引する取り付け装置においては、被測定物の取り付け面が滑らかでなければいけないという問題点がある。またねじによって取付ける場合では被測定物にねじ穴を加工する必要がある。また接着剤を使用した場合では、接着剤の痕が被測定物の表面に残ってしまう問題がある。また磁石を用いた場合では磁石が被測定物に直接接触することで被測定物に傷をつけてしまう恐れがある。また手によって押し当てる場合には、一定の力を保つことが困難である。
この発明は上記のような問題点を解決するためになされたものであり、取り付け面が滑らかでなく、または被測定物の取り付け面に複数の穴が開いているような被測定物に加速度センサを取り付けることができるようにするものである。更には加速度センサを被測定物に取り付けても、被測定物に傷や接着剤の痕を付けないようにするものである。
この発明に係る加速度センサ取付け装置は、被測定物の振動を測定するための加速度センサを被測定物に取り付けるためのものであって、位置決め機構によって移動可能なセンサホルダを備え、センサホルダは位置決め機構に取り付けられた支持プレートと、支持プレートに対して弾性部を介して取り付けられたセンサ台座を備え、センサ台座における被測定物と接触する側の面には複数の突部が形成されるとともに、被測定物と接触する側の面とは反対側の面には加速度センサを取り付けたものである。
上記のように構成された加速度センサ取付け装置によれば、被測定物の取り付け面が滑らかでなく、あるいは取り付け面が円弧状、球体状の被測定物に対しても安定して接触させることにより加速度センサを取付けることができる。また、被測定物の取付け面に対して加速度センサが直角方向を向くように取り付けられるので、加速度センサの性能を損なうことなく精度よく測定を行うことが可能である。更に被測定物を加工する必要が無いので、取付け面に傷を付けたり汚したりすることなく加速度センサの取付けが可能である。
実施の形態1.
図1(A)は実施の形態1による加速度センサ取付け装置を示す正面図、図1(B)は図1(A)のX方向から見た底面図である。図において、加速度センサ取付け装置9はセンサホルダ60を備え、センサホルダ60は支持プレート40と、弾性部30と、センサ台座20により構成されている。センサホルダ60においては、位置決め機構であるシリンダ50に備えられたシリンダロッド51が支持プレート40に対して着脱可能にされており、ボルト等で固定され、シリンダロッド51を動作させることにより、位置決め動作可能になるよう構成されている。
図1(A)は実施の形態1による加速度センサ取付け装置を示す正面図、図1(B)は図1(A)のX方向から見た底面図である。図において、加速度センサ取付け装置9はセンサホルダ60を備え、センサホルダ60は支持プレート40と、弾性部30と、センサ台座20により構成されている。センサホルダ60においては、位置決め機構であるシリンダ50に備えられたシリンダロッド51が支持プレート40に対して着脱可能にされており、ボルト等で固定され、シリンダロッド51を動作させることにより、位置決め動作可能になるよう構成されている。
シリンダ50はコントローラ(図示せず)から指令を受け、動作側と戻り側の2つの位置に制御できるようになっている。測定開始前にはシリンダ50を戻り側に制御することで、センサホルダ60を退避させ、測定時にはシリンダ50を動作側に移動させることでセンサホルダ60を被測定物1に接触させる。シリンダ50が動作を完全に停止した後に測定が実施される。
支持プレート40のシリンダロッド51が取り付けられている端面とは反対側の端面には弾性部30を介してセンサ台座20が取り付けられている。図1においてはセンサ台座20の角部の4隅に4つの弾性部材が取り付けられている。弾性部材はウレタンゴムやシリコンゴム等の弾性を有する樹脂製の材料が用いられている。弾性部30においては、4本の弾性部材が外側に湾曲して形成され、センサ台座20を保持している。このように複数本の棒状の弾性部材のそれぞれは放射状方向(加速度センサ10に対して外側)に湾曲して形成されているので、センサホルダ60を被測定物1に押し当てた際に弾性部材が座屈せずに安定して収縮し、センサホルダ60と被測定物1の傾きを吸収することができる。
センサ台座20は被測定物1を傷つけないように被測定物よりも軟質の素材を使用することが好ましく、POM(ポリアセタール)やABS樹脂などの樹脂製の材料が用いられている。センサ台座20の下面には2本の突部21aと1本の突部21bが形成されており2本の突部21aと1本の突部21bの先端は半球形状に形成されている。このように複数の突部21a、21bは3本の突起で構成されているので、必ず3本の突起の先端が被測定物1に接触することとなり、安定して加速度センサを被測定物1に取り付けることができる。更に突部21aと1本の突部21bの先端は半球形状に形成されているので、センサホルダ60を被測定物1に取り付けた際、取付け面とセンサ台座20の上面が平行になりやすい。図2は他の形態による加速度センサ取付け装置を示す底面図である。
センサ台座20の上面には加速度センサ10が着脱可能に固定されている。図3は一般的な加速度センサを示す正面図、図4は同じく平面図である。加速度センサ10はケーブル11により信号処理装置(図示せず)に接続され、加速度センサ10で検出された振動信号は信号処理装置で処理並びに分析される。又加速度センサ10の下面にはねじ穴12が形成されており、センサ台座20を貫通してねじにより固定可能な構成となっている。このように構成したので、加速度センサ10はねじにより容易に着脱可能となっており、センサ台座20の上面に納まる範囲内において所望の加速度センサに交換することができる。
加速度センサ10の中心線上にある1点と、2本の突部21aと1本の突部21bの先端をそれぞれ線で結んだ場合、三角錐が形成されるようになっている。又2本の突部21aと1本の突部21bの先端をそれぞれ結んだ場合、正三角形(図1(B))または二等辺三角形(図2)が形成される。そしてこのような三角形を形成する平面と加速度センサ10が取り付けられるセンサ台座20の上面は平行になるように形成されている。尚上記三角形は正三角形及び二等辺三角形以外の三角形であってもよい。本実施形態においては、突部21aと突部21bの先端は半球形状に形成されているので、センサホルダ60を被測定物1に取り付けた際、取付け面とセンサ台座20の上面が平行になりやすい。
次に加速度センサ10により被測定物1の振動を測定するため、加速度センサ取付け装置9により加速度センサ10を被測定物1に取り付ける際の動作について図5に基づき説明する。被測定物1は圧縮機、モータ、ポンプのような製品を想定しており、これらを試運転して振動を測定し異常の有無を判断する。尚被測定物1としては、圧縮機、モータ、ポンプのような製品を想定しているので、弾性を有する樹脂にて複数本の細い弾性部材を湾曲させて弾性部30を構成すれば、被測定物1の振動を大きく阻害することにはならず、シリンダ50の推力は被測定物1には伝わらない。
図5においては、被測定物1は円柱状であり、その側面を測定する場合について説明する。また被測定物1と加速度センサ取付け装置9の中心線はずれているものとする(図5(A))。被測定物1は例えばコンベアにより搬送されて所定の測定位置に位置決めされるが、被測定物1の個体差や位置決め誤差により被測定物1が加速度センサ10の正面に位置決めされるとは限らない。まず図5(A)は突部21a、突部21bが被測定物1に接触していないときの状態を示す。
センサホルダ60の2本の突部21aは被測定物1の中心線と略平行になるように保持されている。このときにはシリンダ50のシリンダロッド51が戻り側の位置にあり、即ちセンサホルダ60は後方へ下がっており、加速度センサ10を搭載したセンサ台座20は揺動自在に保持されている。次にシリンダ50を駆動してシリンダロッド51を動作側に移動させ、センサホルダ60及び加速度センサ10を被測定物1に向けて移動させると、図5(B)に示すように、2本の突部21aが被測定物1に接触する。
さらにシリンダロッド51が伸びるに従い、図5(C)に示すように、センサホルダ60が徐々に傾き、突部21bが被測定物1に接触する。さらにシリンダロッド51が伸びて動作側端部まで到達すると、2本の突部21aと1本の突部21bのそれぞれが被測定物1に接触した状態で、弾性部30のそれぞれが収縮し、センサ台座20に所望の圧力が付与される。ここで動作側端部とは、シリンダロッド51の移動端であり、それ以上前には出ない部位である。シリンダ50は位置決め機構として用いられており、シリンダロッド51がシリンダ50の移動端にある状態で弾性部30は所定量収縮され、その状態で振動測定を実施する。弾性部30を構成する4本の弾性部材のそれぞれは外側に湾曲して形成されているので、弾性部30の収縮の際に4本の弾性部材の内、先に被測定物1に接触した突部21a側の2本の弾性部材は外側に大きく膨らみながら上下方向(シリンダロッド51の動作方向)に収縮し、もう一方の2本の弾性部材は他方の弾性部材よりも、外側に小さく膨らみながら上下方向に収縮することができる。これに対して直線状の弾性部材で弾性部が構成されていると、その収縮動作は上下方向に収縮しつつ内側(加速度センサ10の方向)に膨らむので弾性部材が加速度センサ10と干渉する可能性がある。弾性部材が干渉しつつ収縮するとあらかじめ設計された通りの圧力を得られない。また、弾性部材が直線状で太い棒状であったとすると、弾性部としての収縮動作は弾性部材の圧縮のみにより行われるので十分な収縮量が得られず、突部21a、21bのいずれかが被測定物1に接触できないことがある。本実施形態においては、弾性部材は外側に湾曲して形成されているのでこのような不具合が生じにくい。
加速度センサ10はセンサ台座20の上に固定されているので、加速度センサ10には直接圧力が加えられることなく、加速度センサ10が被測定物1の振動を測定可能な状態となる。この状態で被測定物1の振動測定を実施する。このとき2本の突部21aと1本の突部21bの3点で被測定物1に接触しているので加速度センサ10は被測定物1の測定面の法線と平行な状態になっている。このため加速度センサの性能を損なうことなく精度よく測定を行うことが可能である。即ち加速度センサ10を測定面の法線に対して傾けて取付けると、実際の振動の余弦分が検出されてしまう。例えば法線と25度ずれて取り付けるとCOS25°≒0.9であるので、実際の振動の0.9倍で検出される。
弾性部30においては、測定時のシリンダ50の動作完了による収縮時には、被測定物1の振動により2本の突部21aと1本の突部21bのそれぞれが被測定物1から離れないだけの押圧力であり、尚かつ被測定物1の振動を阻害することのない適度な押圧力をセンサ台座20に付与できるように設計されている。上記のようにして振動測定が終了した後、シリンダ50のシリンダロッド51を戻り側に移動して、センサホルダ60及び加速度センサ10を被測定物1から退避させる。
このようにシリンダ50の駆動によりセンサホルダ60を被測定物1に接触させることにより、振動測定可能な状態に加速度センサ10を取り付けることができる。更にシリンダ50を戻り動作させて、センサホルダ60及び加速度センサ10を被測定物1から取り外すことができるので、効率的に振動測定を実施することができる。このように自動で取り付け及び取り外しができるので、製造ライン等で被測定物が次々に搬送されてくる場合においても、同じ条件で再現性よく振動測定が可能である。
図6は球形の被測定物にセンサホルダ60を取り付ける場合を示している。尚図6は図5とはセンサホルダ60を見る方向が相違しており、2本の突部21a及び1本の突部21bの全てが見える方向から図示している。図6(A)は突部21a、突部21bが被測定物2に接触していないときの状態を示す。図5に示された円柱状の被測定物1に取り付ける場合と同様にセンサ台座20は弾性部30によって揺動自在に保持されている。ついでシリンダ50を駆動してシリンダロッド51を動作側に移動させ、センサホルダ60及び加速度センサ10を被測定物1に向けて移動させると、図6(B)に示すように突部21a、21bの内、被測定物2に近いものから順に接触する。
さらにシリンダロッド51が伸びるに従い、図6(C)に示すように、センサホルダ60が徐々に傾き、2本の突部21aと1本の突部21bのそれぞれが被測定物2に接触する。さらにシリンダロッド51が伸びて動作側端部まで到達すると、2本の突部21aと1本の突部21bのそれぞれが被測定物2に接触した状態で、弾性部30のそれぞれの弾性部材が収縮し、センサ台座20に所望の圧力が付与される。このように球形の被測定物2に対しても円柱状の被測定物1の場合と同様に加速度センサ10が被測定物2の振動を測定可能な状態を実現することができる。
図7は取り付け面が平面の被測定物3にセンサホルダ60を取り付けた状態を示している。被測定物3の取り付け面は傾いている。この場合は被測定物3の取り付け面の法線と平行な方向に加速度センサ10が向くので、やはり加速度センサ10の性能を損なうことなく精度よく測定を行うことが可能である。
また弾性部30はウレタンゴムやシリコンゴム等の弾性を有する樹脂製の材料を用いられているとしたが、上記のような特徴を満たす弾性を備えていれば良く、例えば金属製であってもよい。また上記においては弾性部30において、センサ台座20と支持プレート40のそれぞれの角部で4本の棒状の弾性部材で繋ぐ構成について示しているが、例えば図8(A)、(B)に示す様にセンサ台座20と支持プレート40の四角形の各辺の中央部分においてさらに各1本ずつの弾性部材を追加して繋ぐようにしても良い。またセンサ台座20はPOMやABS樹脂等の樹脂製の材料が用いられているとしたが、被測定物を傷つけないような被測定物よりも軟質の素材であれば良く、例えばアルミを用いても良い。また、位置決め機構としてシリンダを用いた場合を示したが、サーボモータとボールねじにより構成しても良い。
本実施形態によれば、被測定物の取り付け面が滑らかでなく、または取り付け面が円弧状、球体状の被測定物に対しても安定して自動で加速度センサを取付けることができる。また被測定物の取付け面に対して加速度センサは直角方向を向くように取り付けることができるので、加速度センサの性能を損なうことなく精度よく測定を行うことが可能である。また、被測定物を加工する必要が無く、取付け面に傷を付けたり汚したりしないで加速度センサを取付けることができる。
更に弾性部は複数本の棒状の弾性部材で構成されているので、センサホルダ60を被測定物に対して直角に押し当てなくても、弾性部材が傾きを吸収し、正常に取り付けることができる。
更に弾性部は複数本の棒状の弾性部材で構成されているので、センサホルダ60を被測定物に対して直角に押し当てなくても、弾性部材が傾きを吸収し、正常に取り付けることができる。
実施の形態2.
図9は実施の形態2による加速度センサ取付け装置におけるセンサホルダ部を示す正面図(A)、側面図(B)及び底面図(C)である。図においてセンサ台座120の下面はV字型を形成しており、正面図(A)の奥行き方向に延在する2つの突部121を有している点が実施の形態1と異なる。本実施形態では円柱状の被測定物1の振動測定の際に好適である。このセンサ台座120を備えた加速度センサ取付け装置109により加速度センサ10を被測定物1に取り付ける際の動作について図10(A)〜(C)に基づき説明する。被測定物1は円柱状であり、その側面を測定する場合について説明する。また被測定物1と加速度センサ取付け装置109の中心線はずれており、更に被測定物1に対して加速度センサ10は僅かに回転しており正面を向いていないものとする。
図9は実施の形態2による加速度センサ取付け装置におけるセンサホルダ部を示す正面図(A)、側面図(B)及び底面図(C)である。図においてセンサ台座120の下面はV字型を形成しており、正面図(A)の奥行き方向に延在する2つの突部121を有している点が実施の形態1と異なる。本実施形態では円柱状の被測定物1の振動測定の際に好適である。このセンサ台座120を備えた加速度センサ取付け装置109により加速度センサ10を被測定物1に取り付ける際の動作について図10(A)〜(C)に基づき説明する。被測定物1は円柱状であり、その側面を測定する場合について説明する。また被測定物1と加速度センサ取付け装置109の中心線はずれており、更に被測定物1に対して加速度センサ10は僅かに回転しており正面を向いていないものとする。
まず図10(A)は突部121が被測定物1に接触していないときの状態を示す。このときにはシリンダ50のシリンダロッド51が戻り側の位置にあり、センサホルダ160は後方へ下がっており、加速度センサ10を搭載したセンサ台座120は揺動自在に保持されている。次にシリンダ50を駆動してシリンダロッド51を動作側に移動させ、センサホルダ160及び加速度センサ10を被測定物1に向けて移動させると、図10(B)に示すように、片側の突部121の先端または内側面が被測定物1に接触する。さらにシリンダロッド51が伸びるに従い、図10(C)に示すようにセンサホルダ160が徐々に傾き、右側突部121の内側面が被測定物1に接触する。
センサホルダ160は弾性部30により揺動自在に保持されているので、中心線を軸としてセンサホルダ160全体が多少ずれていても、押し付けが進むに従い円柱形状に倣うように動作してセンサホルダ160は正面を向く。さらにシリンダロッド51が伸びて動作側端部まで到達すると、2つの突部121の内側面のそれぞれが被測定物1に接触した状態で、弾性部30のそれぞれが収縮し、センサ台座120に所望の圧力が付与される。加速度センサ10はセンサ台座120の上に固定されているので、加速度センサ10には直接圧力が加えられることなく、加速度センサ10が被測定物1の振動を測定可能な状態となる。この状態で被測定物1の振動測定を実施する。
このように、センサ台座120の下面をV字型にした場合、突部121の内側面が円柱状の被測定物1と線接触して、センサ台座120が被測定物1に安定して押圧される。従って加速度センサ10は被測定物1の測定面の法線と平行な状態になっている。このため加速度センサの性能を損なうことなく精度よく測定を行うことが可能である。
本実施形態によれば、センサ台座120の下面は2つの突部121を頂点としたV字形状に形成されているので、被測定物に対して線接触で接触することができ、安定して加速度センサ10を被測定物に取り付けることができる。尚突部121以外の構成は上記実施の形態1と同様である。
本実施形態によれば、センサ台座120の下面は2つの突部121を頂点としたV字形状に形成されているので、被測定物に対して線接触で接触することができ、安定して加速度センサ10を被測定物に取り付けることができる。尚突部121以外の構成は上記実施の形態1と同様である。
実施の形態3.
図11は実施の形態3による加速度センサ取付け装置におけるセンサホルダ部を示す正面図(A)及び側面図(B)である。図において、弾性部230は加速度センサ10に対して外側に湾曲した板状に形成されており、左右1枚ずつの2部品で構成されている。この場合部品点数が少なくなるという利点がある。弾性部230を2枚の板状部材で構成し、支持プレート40とセンサ台座20を繋ぐことにより、センサ台座20を支持プレート40に対して揺動自在に保持している。従って上記実施の形態1、2で示したのと同様に、位置決め機構によって被測定物に押し付けた際には、測定面の傾きや丸み等の状態に倣うように弾性部230が収縮しながらセンサ台座20に押圧力を付与することが可能である。
図11は実施の形態3による加速度センサ取付け装置におけるセンサホルダ部を示す正面図(A)及び側面図(B)である。図において、弾性部230は加速度センサ10に対して外側に湾曲した板状に形成されており、左右1枚ずつの2部品で構成されている。この場合部品点数が少なくなるという利点がある。弾性部230を2枚の板状部材で構成し、支持プレート40とセンサ台座20を繋ぐことにより、センサ台座20を支持プレート40に対して揺動自在に保持している。従って上記実施の形態1、2で示したのと同様に、位置決め機構によって被測定物に押し付けた際には、測定面の傾きや丸み等の状態に倣うように弾性部230が収縮しながらセンサ台座20に押圧力を付与することが可能である。
本実施形態によれば、弾性部230は2枚の板状で構成されているので、弾性部230の耐久性を高くすることができるとともに、部品点数を少なくすることができる。尚弾性部230以外の構成は上記実施の形態1と同じである。又本実施形態の弾性部230を上記実施の形態2に適用することもできる。
更に本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略したりすることが可能である。
更に本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略したりすることが可能である。
1,2,3 被測定物、9,109,209 加速度センサ取付け装置、
10 加速度センサ、20,120 センサ台座、30,230 弾性部、
40 支持プレート、21a,21b 突部、60,160,260 センサホルダ。
10 加速度センサ、20,120 センサ台座、30,230 弾性部、
40 支持プレート、21a,21b 突部、60,160,260 センサホルダ。
Claims (7)
- 被測定物の振動を測定するための加速度センサを上記被測定物に取り付けるための加速度センサ取付け装置であって、
位置決め機構によって移動可能なセンサホルダを備え、
上記センサホルダは上記位置決め機構に取り付けられた支持プレートと、上記支持プレートに対して弾性部を介して取り付けられたセンサ台座を備え、
上記センサ台座における上記被測定物と接触する側の面には複数の突部が形成されるとともに、上記被測定物と接触する側の面とは反対側の面には上記加速度センサを取り付けたことを特徴とする加速度センサ取付け装置。 - 前記弾性部は複数本の棒状の弾性部材で構成されていることを特徴とする請求項1記載の加速度センサ取付け装置。
- 上記弾性部材は上記加速度センサに対して外側に湾曲して形成されていることを特徴とする請求項2記載の加速度センサ取付け装置。
- 上記弾性部は上記加速度センサに対して外側に湾曲した2枚の板状部材で構成されていることを特徴とする請求項1記載の加速度センサ取付け装置。
- 上記突部は3個存在していることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の加速度センサ取付け装置。
- 上記突部の先端は半球形状に形成されていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の加速度センサ取付け装置。
- 上記センサ台座における上記被測定物と接触する側の面をV字形状に形成することにより、上記突部は奥行き方向に延在する2つの突部より構成されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の加速度センサ取付け装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015075655A JP2016197012A (ja) | 2015-04-02 | 2015-04-02 | 加速度センサ取付け装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015075655A JP2016197012A (ja) | 2015-04-02 | 2015-04-02 | 加速度センサ取付け装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016197012A true JP2016197012A (ja) | 2016-11-24 |
Family
ID=57358351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015075655A Pending JP2016197012A (ja) | 2015-04-02 | 2015-04-02 | 加速度センサ取付け装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016197012A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018151403A3 (ko) * | 2017-02-16 | 2018-10-11 | 한국승강기안전공단 | 엘리베이터 및 에스컬레이터의 소음진동 및 주행속도 측정시스템 |
JP2019060633A (ja) * | 2017-09-25 | 2019-04-18 | Tead株式会社 | 振動測定装置及び振動測定評価システム |
CN111505339A (zh) * | 2020-04-21 | 2020-08-07 | 广西中星电子科技有限公司 | 一种三轴加速度传感器的承载装置 |
JP2021071335A (ja) * | 2019-10-30 | 2021-05-06 | 株式会社小野測器 | センサホルダ |
-
2015
- 2015-04-02 JP JP2015075655A patent/JP2016197012A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018151403A3 (ko) * | 2017-02-16 | 2018-10-11 | 한국승강기안전공단 | 엘리베이터 및 에스컬레이터의 소음진동 및 주행속도 측정시스템 |
JP2019060633A (ja) * | 2017-09-25 | 2019-04-18 | Tead株式会社 | 振動測定装置及び振動測定評価システム |
JP2021071335A (ja) * | 2019-10-30 | 2021-05-06 | 株式会社小野測器 | センサホルダ |
JP7198738B2 (ja) | 2019-10-30 | 2023-01-04 | 株式会社小野測器 | センサホルダ |
CN111505339A (zh) * | 2020-04-21 | 2020-08-07 | 广西中星电子科技有限公司 | 一种三轴加速度传感器的承载装置 |
CN111505339B (zh) * | 2020-04-21 | 2022-06-14 | 广西中星电子科技有限公司 | 一种三轴加速度传感器的承载装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2016197012A (ja) | 加速度センサ取付け装置 | |
JP5236962B2 (ja) | 被測定物の表裏面測定方法 | |
US4942671A (en) | Probe head mount for a deflectable probe or the like | |
JPS62501234A (ja) | 接触−感知プロ−ブ | |
JP6358327B2 (ja) | 光学素子の測定用ジグ、偏芯測定装置及び偏芯測定方法 | |
ES2765744T3 (es) | Dispositivo de medición de huecos y método de medición de huecos | |
CN110954016A (zh) | 一种高精度光学元件干涉检测中的装夹装置 | |
JP4570437B2 (ja) | 表面粗さ/輪郭形状測定装置 | |
JP2019045312A (ja) | スタイラス及び表面形状測定装置 | |
CN107250722A (zh) | 用于检查工件的尺寸和/或几何特征的***及其相关的制造工艺 | |
JP7310430B2 (ja) | 探傷装置 | |
JP4835149B2 (ja) | 光学素子測定用治具、並びに、光学素子形状測定装置及び方法 | |
US7464484B2 (en) | Probe head | |
KR20180123467A (ko) | 연마 장치 | |
CN112469957B (zh) | 表面光洁度触针 | |
JP5808949B2 (ja) | 表面形状測定プローブおよびその校正方法 | |
JP4839798B2 (ja) | 光学素子形状測定方法 | |
JP6361729B2 (ja) | 非球面の偏心量測定方法及び形状解析方法 | |
JP6428149B2 (ja) | 測定装置 | |
CN86105617A (zh) | 接触式传感测头 | |
JP7323516B2 (ja) | 固定装置 | |
JP7278692B2 (ja) | 測定装置 | |
KR100872092B1 (ko) | 3차원 계측을 위한 모서리 측정용 지그 | |
US11040443B2 (en) | Rotational angle limiting mechanism | |
KR102610294B1 (ko) | 유연조인트로 구성된 순응장치 |