JP2016191800A - 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の光スキャナーは、光を反射する光反射部を備える可動部および前記可動部を第1の軸まわりに揺動可能に支持する第1の軸部を備える搖動部と、
前記第1の軸部を支持する支持部と、
前記支持部が支持される固定部と、
前記揺動部と前記支持部との間に位置し、前記揺動部の変位を規制する規制部と、を有し、
前記規制部は、前記固定部の前記支持部が支持される支持面に設けられ、
前記光反射部の平面視にて、前記規制部の輪郭は、前記支持面内に位置することを特徴とする。
これにより、規制部によって揺動部の過度な変位を規制することができるため、揺動部の破損を抑制することのできる光スキャナーとなる。また、揺動部周囲のスペースのバラつきが抑えられる。すなわち、揺動部と支持部との間に過度に細かい部位を形成する必要が無いので、ドライエッチング等によって所定の形状を得やすい光スキャナーとなる。
これにより、揺動部と支持部との間に過度に細かい部位を形成する必要が無いので、ドライエッチング等によって所定の形状を得やすい光スキャナーとなる。
これにより、光反射部の平面視にて揺動部と突出部とを離間させることができるので、規制部を容易に形成することができる。
これにより、規制部を支持部により支えることができるため、例えば、規制部の離脱等をより効果的に抑制することができる。
これにより、例えば、規制部の離間方向へ撓むことができるので、規制部をより変形させ易くすることができる。そのため、規制部の衝撃吸収性を高めることができる。
これにより、規制部の衝撃吸収性を高めることができる。
これにより、柔らかい規制部を簡単に得ることができる。
これにより、揺動部の過度な変位を規制でき、光スキャナーの破損を低減することができる。
これにより、揺動部の過度な変位を規制でき、光スキャナーの破損を低減することができる。
第1の可動部と、
前記第1の可動部を囲むように設けられている枠状の第2の可動部と、
前記第1の可動部と前記第2の可動部とを接続し、前記第1の可動部を前記第2の可動部に対して前記第1の軸に交差する第2の軸まわりに揺動可能に支持する第2の軸部と、
を有することが好ましい。
これにより、第1、第2の軸の2軸まわりに可動部を揺動させることができる。
前記支持部が設けられる固定層と、
前記揺動部と前記支持部との間に位置し、前記揺動部の変位を規制する規制部と、を有し、
前記固定層は、前記可動層の平面視にて、前記支持部より前記揺動部側に位置する突出部を有し、
前記突出部に前記規制部が配置され、
前記可動層の平面視にて、前記規制部の前記揺動部の端は、前記突出部の先端と重なっているか、または、前記突出部の先端よりも支持部側に位置することを特徴とする。
これにより、規制部によって揺動部の過度な変位を規制することができるため、揺動部の破損を抑制することのできる光スキャナーとなる。また、揺動部周囲のスペースのバラつきが抑えられる。すなわち、揺動部と支持部との間に過度に細かい部位を形成する必要が無いので、ドライエッチング等によって所定の形状を得やすい光スキャナーとなる。
これにより、高い信頼性の画像表示装置が得られる。
前記光スキャナーを搭載し、観察者の頭部に装着されるフレームと、を有することを特徴とする。
これにより、高い信頼性のヘッドマウントディスプレイが得られる。
図1は、本発明の第1実施形態にかかる画像表示装置を示す構成図である。図2は、図1に示す画像表示装置が備える光スキャナーの上面図である。図3は、図2中のA−A線断面図である。図4は、図2中のB−B線断面図である。図5は、図2に示す光スキャナーが備える駆動手段を示す断面図である。図6は、図2に示す光スキャナーが備える規制部の機能を説明する平面図である。図7は、図2に示す光スキャナーが備える規制部の変形例を示す断面図である。図8および図9は、それぞれ、規制部の製造方法を説明するための断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、+Z軸側を「上」とも言い、−Z軸側を「下」とも言う。
図1に示すように、描画用光源ユニット2は、赤色、緑色、青色、各色のレーザー光源(光源部)21R、21G、21Bと、レーザー光源21R、21G、21Bに対応して設けられたコリメーターレンズ22R、22G、22Bおよびダイクロイックミラー23R、23G、23Bと、を備えている。
図2ないし図5に示す光スキャナー3は、構造体300と、駆動手段34と、規制部35と、を有している。また、構造体300は、光反射部Mを有する可動部31および可動部31を第1の軸J1まわりに揺動可能に支持する1対の軸部(第1の軸部)321、322を備える揺動部30と、軸部321、322を支持する支持部33と、を有する可動層38と、支持部33に固定された固定層(固定部)39と、を有している。
規制部35は、図3(b)および図4(b)に示すように、突出部391の上面に設けられ、その先端(揺動部30側の端)35aが揺動部30の側面に対向している。これにより、揺動部30がXY面内方向へ変位した際に、より確実に、揺動部30を規制部35に接触させることができる。なお、規制部35と揺動部30の側面との離間距離(可動部31と可動部用規制部351との離間距離D1、軸部321、322と軸部用規制部352との離間距離D2)としては、特に限定されず、光スキャナー3のサイズによっても異なるが、5μm以上、30μm以下程度であることが好ましく、5μm以上、10μm以下程度であることがより好ましい。これにより、揺動部30のXY平面内方向への変位をより効果的に抑制することができる。
以上、光スキャナー3の構成について詳細に説明した。
規制部35の製造方法は、SOI基板300Aを用意する第1工程と、SOI基板300Aの第1のSi層301およびSiO2層302をパターニングして可動層38を得る第2工程と、可動層38の空隙Sに樹脂350を配置する第3工程と、SOI基板300Aの第2のSi層303をパターニングして固定層39を得る第4工程と、空隙S内の樹脂350の一部を除去して規制部35を得る第5工程と、を有している。以下、これら各工程について詳細に説明する。
まず、図8(a)に示すように、第1のSi層301、SiO2層302および第2のSi層303を積層してなるSOI基板300Aを用意する。
次に、フォトリソグラフィー技法およびウエットエッチング技法もしくはドライエッチング技法を用いてSOI基板300Aの第1のSi層301およびSiO2層302をパターニングし、図8(b)に示すように、揺動部30および支持部33を有する可動層38を形成する。
次に、図8(c)に示すように、可動層38上に樹脂350を配置する。なお、本実施形態では、樹脂350として、露光された部分が除去される「ポジティブ型」の感光性樹脂を用いている。次に、第1のSi層301側から樹脂350を露光する。この際、可動層38上の樹脂350に露光光を照射し、空隙S内にある樹脂350には露光光が到達しないように、露光光の強度や照射時間を制御する。そして、樹脂350の露光した部分を除去することで、図9(a)に示すように、空隙S内に樹脂350が残存した状態となる。
次に、フォトリソグラフィー技法およびウエットエッチング技法もしくはドライエッチング技法を用いてSOI基板300Aの第2のSi層303をパターニングし、図9(b)に示すように、固定層39を形成する。
次に、SOI基板300Aの平面視で、樹脂350の固定層39からはみ出している部分を除去することで、図9(c)に示すように、樹脂350からなる規制部35を形成する。具体的には、まず、第2のSi層303側から樹脂350に露光光を照射し、固定層39からはみ出している部分のみを露光する(固定層39と重なっている部分は、固定層39がマスクとなって露光されない)。そして、露光した部分を除去すると、固定層39と重なっている部分のみが残存し、この部分が規制部35となる。
以上により、規制部35が得られる。
図10および図11は、本発明の第2実施形態に係る規制部の製造方法を説明するための断面図である。
まず、図10(a)に示すように、第1のSi層301、SiO2層302および第2のSi層303を積層してなるSOI基板300Aを用意する。
次に、フォトリソグラフィー技法、および、ウエットエッチング技法もしくはドライエッチング技法を用いてSOI基板300Aの第1のSi層301およびSiO2層302をパターニングし、図10(b)に示すように、揺動部30および支持部33を有する可動層38を形成する。なお、本工程でマスクとして用いたレジストマスクRMは、除去せずに残しておく。
次に、フォトリソグラフィー技法、および、ウエットエッチング技法もしくはドライエッチング技法を用いてSOI基板300Aの第2のSi層303をパターニングし、図10(c)に示すように、固定層39を形成する。なお、この工程は、第2工程に先立って行ってもいし、第2工程と同時に行ってもよい。
次に、図11(a)に示すように、例えば、スパッタリング法を用いて、可動層38側から可動層38および突出部391上に金属膜350Aを成膜する。これにより、金属膜350Aからなる規制部35が形成される。次に、可動層38上の金属膜350AをレジストマスクRMごと除去(リフトオフ)することで、図11(b)に示すように、金属膜350Aの規制部35となる部分のみが残存した状態となる。
以上により、規制部35が得られる。
図12は、本発明の第3実施形態に係る画像表示装置が有する光スキャナーの断面図である。
図13は、本発明の第4実施形態にかかる画像表示装置を示す構成図である。図14は、図13に示す画像表示装置が有する光スキャナーの上面図である。図15は、図14中のC−C線断面図である。
描画用光源ユニット2は、前述した第1実施形態と同様の構成であるため、その説明を省略する。
光スキャナー3は、描画用光源ユニット2から出射された描画用レーザー光LLを二次元走査する機能を有している。
図16は、本発明の第5実施形態にかかる画像表示装置が備える光スキャナーの上面図である。図17は、図16中のD−D線断面図である。
次に、本発明の光スキャナーを適用したヘッドアップディスプレイの一例について説明する。
次に、本発明の光スキャナーを適用したヘッドマウントディスプレイの一例について説明する。
10……対象物
11……ミラー
2……描画用光源ユニット
21B、21G、21R……レーザー光源
22B、22G、22R……コリメーターレンズ
23B、23G、23R……ダイクロイックミラー
3……光スキャナー
3’……水平走査用光スキャナー
3”……垂直走査用光スキャナー
30……揺動部
300……構造体
300A……SOI基板
301……第1のSi層
302……SiO2層
303……第2のSi層
31……可動部
311……第1の可動部
3111……基部
3112……保持部
312……第2の可動部
312a……リブ
313、314……軸部
321、322……軸部
33……支持部
34……駆動手段
341……永久磁石
342……コイル
35……規制部
35a……先端
350……樹脂
350A……金属膜
351……可動部用規制部
352……軸部用規制部
38……可動層
39……固定層
391……突出部
391a……先端
1000……ヘッドアップディスプレイシステム
1100……ヘッドアップディスプレイ
1200……フロントガラス
2000……ヘッドマウントディスプレイ
2100……フレーム
2200……表示部
BB、GG、RR……レーザー光
D1、D2……離間距離
G……ギャップ
J1……第1の軸
J2……第2の軸
LL……描画用レーザー光
M……光反射部
RM……レジストマスク
S、S1……空隙
Claims (13)
- 光を反射する光反射部を備える可動部および前記可動部を第1の軸まわりに揺動可能に支持する第1の軸部を備える搖動部と、
前記第1の軸部を支持する支持部と、
前記支持部が支持される固定部と、
前記揺動部と前記支持部との間に位置し、前記揺動部の変位を規制する規制部と、を有し、
前記規制部は、前記固定部の前記支持部が支持される支持面に設けられ、
前記光反射部の平面視にて、前記規制部の輪郭は、前記支持面内に位置することを特徴とする光スキャナー。 - 前記支持面の前記規制部が設けられる領域は、前記光反射部の平面視にて、前記固定部の前記支持部より前記揺動部側に位置する突出部に設けられる請求項1に記載の光スキャナー。
- 前記突出部は、前記光反射部の平面視にて、前記振動部と離間している請求項1または2に記載の光スキャナー。
- 前記規制部は、前記支持部と接している請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 前記規制部は、前記支持部から離間している請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 前記規制部は、弾性を有している請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 前記規制部は、樹脂で構成されている請求項6に記載の光スキャナー。
- 前記規制部は、前記光スキャナーに衝撃が加わった際に、前記可動部と接触することで前記可動部の変位を規制する請求項1ないし7のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 前記規制部は、前記光スキャナーに衝撃が加わった際に、前記第1の軸部と接触することで前記第1の軸部の変位を規制する請求項1ないし8のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 可動部は、
第1の可動部と、
前記第1の可動部を囲むように設けられている枠状の第2の可動部と、
前記第1の可動部と前記第2の可動部とを接続し、前記第1の可動部を前記第2の可動部に対して前記第1の軸に交差する第2の軸まわりに揺動可能に支持する第2の軸部と、
を有する請求項1ないし9のいずれか1項に記載の光スキャナー。 - 光を反射する光反射部を備える可動部および前記可動部を第1の軸まわりに揺動可能に支持する第1の軸部を備える搖動部、前記第1の軸部を支持する支持部、を有する可動層と、
前記支持部が設けられる固定層と、
前記揺動部と前記支持部との間に位置し、前記揺動部の変位を規制する規制部と、を有し、
前記固定層は、前記可動層の平面視にて、前記支持部より前記揺動部側に位置する突出部を有し、
前記突出部に前記規制部が配置され、
前記可動層の平面視にて、前記規制部の前記揺動部の端は、前記突出部の先端と重なっているか、または、前記突出部の先端よりも支持部側に位置することを特徴とする光スキャナー。 - 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の光スキャナーを有することを特徴とする画像表示装置。
- 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の光スキャナーと、
前記光スキャナーを搭載し、観察者の頭部に装着されるフレームと、を有することを特徴とするヘッドマウントディスプレイ。
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Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09146035A (ja) * | 1995-11-24 | 1997-06-06 | Toshiba Corp | ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置 |
JP2004294828A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Anritsu Corp | 光スキャナ |
JP2005266074A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Anritsu Corp | 光スキャナ |
US20050254149A1 (en) * | 2004-05-11 | 2005-11-17 | Orcutt John W | Bracket for supporting a torsional hinge mirror with reduced hinge stress |
US20070014512A1 (en) * | 2005-07-05 | 2007-01-18 | Texas Instruments Incorporated | Torsional hinged MEMS device |
JP2007152497A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Canon Inc | 揺動体装置 |
JP2008164873A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 |
US20080197748A1 (en) * | 2003-07-28 | 2008-08-21 | Technion Research And Development Foundation Ltd. | Vertical Comb Drive and Uses Thereof |
JP2009058577A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Canon Inc | 揺動体装置及びその製造方法、光偏向器、画像形成装置 |
JP2010026147A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー |
JP2010197662A (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Panasonic Corp | 光学反射素子 |
WO2012043041A1 (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-05 | コニカミノルタオプト株式会社 | マイクロスキャナおよびそれを備えた光学機器 |
JP2013109359A (ja) * | 2012-12-26 | 2013-06-06 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
JP2015001543A (ja) * | 2013-06-13 | 2015-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
JP2015184596A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
-
2015
- 2015-03-31 JP JP2015071189A patent/JP6515638B2/ja active Active
Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09146035A (ja) * | 1995-11-24 | 1997-06-06 | Toshiba Corp | ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置 |
JP2004294828A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Anritsu Corp | 光スキャナ |
US20080197748A1 (en) * | 2003-07-28 | 2008-08-21 | Technion Research And Development Foundation Ltd. | Vertical Comb Drive and Uses Thereof |
JP2005266074A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Anritsu Corp | 光スキャナ |
US20050254149A1 (en) * | 2004-05-11 | 2005-11-17 | Orcutt John W | Bracket for supporting a torsional hinge mirror with reduced hinge stress |
US20070014512A1 (en) * | 2005-07-05 | 2007-01-18 | Texas Instruments Incorporated | Torsional hinged MEMS device |
JP2007152497A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Canon Inc | 揺動体装置 |
JP2008164873A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 |
JP2009058577A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Canon Inc | 揺動体装置及びその製造方法、光偏向器、画像形成装置 |
JP2010026147A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー |
JP2010197662A (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Panasonic Corp | 光学反射素子 |
WO2012043041A1 (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-05 | コニカミノルタオプト株式会社 | マイクロスキャナおよびそれを備えた光学機器 |
JP2013109359A (ja) * | 2012-12-26 | 2013-06-06 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
JP2015001543A (ja) * | 2013-06-13 | 2015-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
JP2015184596A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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