JP2016185605A - インクジェットヘッド、及び、インクジェットプリンター - Google Patents
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Abstract
【課題】圧電素子に接続される配線の抵抗を抑えることができるインクジェットヘッド、及び、インクジェットプリンターを提供する。【解決手段】圧力室30が複数形成された圧力室形成基板29と、圧力室30の一側の面を区画して、当該区画領域35の変形が許容される振動板31と、圧力室30に対応する領域において、振動板31の圧力室30側とは反対側の面から順に下電極層37、圧電体層38及び上電極層39が積層されてなる圧電素子32と、振動板31との間に複数のバンプ電極42を介在させた状態で振動板31に対して間隔を開けて配置され、圧電素子32を駆動する信号を出力する封止板33と、を備え、下電極層37は、圧電素子32毎に独立して形成され、上電極層39は、複数の圧電素子32に亘って連続して形成され、複数のバンプ電極42は、区画領域35から外れた領域において、下電極層37及び上電極層39と電気的に接続されている。【選択図】図3
Description
本発明は、電圧の印加により変形する圧電素子を備えたインクジェットヘッド、及び、これを備えたインクジェットプリンターに関するものである。
インクジェットプリンターはパーマネントヘッドを備え、このパーマネントヘッドから各種の液体を噴射(吐出)する装置である。インクジェットプリンター(ink jet printer)とは、非衝撃式印字装置であって、文字が用紙上にインクの粒子又は小滴の噴射によって形成されるものである(JIS X0012−1990)。複数の点で表現される文字や画像を印字するプリンターであるドットプリンターの一形態であり、インクの粒子又は小滴の噴射によって形成される複数の点で表現される文字や画像を印字する。また、パーマネントヘッド(permanent head)とは、インクの液滴を連続的又は断続的に生成する、プリンター本体の機械部又は電気部である(以下、「インクジェットヘッド」(Inkjet‐head)という)(JIS Z8123−1:2013)。このインクジェットプリンターは、画像記録装置として使用されるほか、ごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を活かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置,有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイやFED(面発光ディスプレイ)等の電極を形成する電極形成装置,バイオチップ(生物化学素子)を製造するチップ製造装置に応用されている。
上記のインクジェットヘッドは、圧電素子の駆動により圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ、この圧力変動を利用してノズルから液体を噴射するように構成されている。この圧電素子としては、例えば、圧力室に近い側から順に、複数の圧力室に共通な共通電極として機能する下電極層と、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の圧電体層と、圧力室毎に設けられた個別電極として機能する上電極層とが、成膜技術によりそれぞれ積層形成されて構成される(例えば、特許文献1)。これらの下電極層及び上電極層は、基板上において、リード配線として圧電体層よりも外側に引き回されて、フレキシブルケーブルや駆動回路(ドライバー回路ともいう。)等に接続されている。そして、これらフレキシブルケーブル等を介して下電極層及び上電極層に電圧が印加されると、両電極層に挟まれた圧電体層が変形する。すなわち、両電極層及びこれらに挟まれた部分が、圧力室に圧力変動を生じさせる圧電素子として機能する。
しかしながら、上記のような構成では、圧電素子からフレキシブルケーブル等に接続される端子までの距離が長くなり、これらの間の電気抵抗(以下、単に抵抗という。)が高くなる虞があった。特に、共通電極(すなわち、下電極層)に電気的に接続されるリード配線は、基板上において複数並んだ圧電素子の並設方向に沿って封止板の外側まで引き回されるため、配線が長くなり、抵抗が高くなり易い。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電素子に接続される配線の抵抗を抑えることができるインクジェットヘッド、及び、インクジェットプリンターを提供することにある。
本発明のインクジェットヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズルに連通した圧力室が複数形成された圧力室形成基板と、
前記圧力室の一側の面を区画して、当該区画領域の変形が許容される振動板と、
前記圧力室に対応する領域において、前記振動板の圧力室側とは反対側の面から順に第1の電極層、圧電体層及び第2の電極層が積層されてなる圧電素子と、
前記振動板との間に複数のバンプ電極を介在させた状態で前記振動板に対して間隔を開けて配置され、前記圧電素子を駆動する信号を出力する回路基板と、を備え、
前記第1の電極層は、圧電素子毎に独立して形成され、
前記第2の電極層は、複数の圧電素子に亘って連続して形成され、
前記複数のバンプ電極のうち少なくとも一部は、前記区画領域から外れた領域において、前記第1電極層及び前記第2電極層と電気的に接続されたことを特徴とする。
前記圧力室の一側の面を区画して、当該区画領域の変形が許容される振動板と、
前記圧力室に対応する領域において、前記振動板の圧力室側とは反対側の面から順に第1の電極層、圧電体層及び第2の電極層が積層されてなる圧電素子と、
前記振動板との間に複数のバンプ電極を介在させた状態で前記振動板に対して間隔を開けて配置され、前記圧電素子を駆動する信号を出力する回路基板と、を備え、
前記第1の電極層は、圧電素子毎に独立して形成され、
前記第2の電極層は、複数の圧電素子に亘って連続して形成され、
前記複数のバンプ電極のうち少なくとも一部は、前記区画領域から外れた領域において、前記第1電極層及び前記第2電極層と電気的に接続されたことを特徴とする。
この構成によれば、回路基板が振動板に対して間隔を開けて配置されたため、第1電極層及び第2電極層をリード配線等で引き回すこと無く、回路基板と圧電素子とをバンプ電極を介して接続することができる。これにより、回路基板と圧電素子との間の抵抗を抑えることができる。特に、複数の圧電素子に亘って連続して形成された共通電極となる第2の電極層が第1の電極層及び圧電体層よりも上方に配置されたので、これらの層と干渉すること無く、バンプ電極と第2の電極層との接続箇所を複数設けることができる。その結果、第2の電極層に供給される電力が低下することを抑制できる。さらに、第1電極層及び第2電極層をリード配線等で引き回す必要が無いため、構造を簡単にできる。
また、上記構成において、前記バンプ電極は、弾性を有する樹脂と、当該樹脂の表面を覆った導電膜とを備えることが望ましい。
この構成によれば、圧力室形成基板と回路基板とを接合する際において、バンプ電極と各電極層とを確実に導通させるために圧力室形成基板と回路基板との間に加える圧力を抑制できる。その結果、圧力室形成基板或いは回路基板が破損することを抑制できる。
また、上記各構成において、前記バンプ電極は、前記圧電体層上において、前記第1電極層及び前記第2電極層と電気的に接続されることが望ましい。
この構成によれば、圧電素子と回路基板との間隔をより確実に確保することができる。これにより、圧電素子の変形が阻害されることを抑制できる。
さらに、上記各構成において、前記圧力室形成基板と前記回路基板とは、感光性を有する接着剤により接合されることが望ましい。
この構成によれば、接着剤を塗布した後に露光及び現像することで、所定の位置に正確に接着剤を配置できる。その結果、接着剤のはみ出しを抑制でき、ひいてはインクジェットヘッドを小型化できる。
そして、本発明のインクジェットプリンターは、上記構成のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする。
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明のインクジェットプリンターとして、インクジェットヘッドの一種である記録ヘッド3を搭載したプリンター1を例に挙げて説明する。
プリンター1の構成について、図1を参照して説明する。プリンター1は、記録紙等の記録媒体2(着弾対象の一種)の表面に対してインク(液体の一種)を噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター1は、記録ヘッド3、この記録ヘッド3が取り付けられるキャリッジ4、キャリッジ4を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構5、記録媒体2を副走査方向に移送する搬送機構6等を備えている。ここで、上記のインクは、液体供給源としてのインクカートリッジ7に貯留されている。このインクカートリッジ7は、記録ヘッド3に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジがプリンターの本体側に配置され、当該インクカートリッジからインク供給チューブを通じて記録ヘッドに供給される構成を採用することもできる。
上記のキャリッジ移動機構5はタイミングベルト8を備えている。そして、このタイミングベルト8はDCモーター等のパルスモーター9により駆動される。したがってパルスモーター9が作動すると、キャリッジ4は、プリンター1に架設されたガイドロッド10に案内されて、主走査方向(記録媒体2の幅方向)に往復移動する。キャリッジ4の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー(図示せず)によって検出される。リニアエンコーダーは、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス(位置情報の一種)をプリンター1の制御部に送信する。
また、キャリッジ4の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ4の走査の基点となるホームポジションが設定されている。このホームポジションには、端部側から順に、記録ヘッド3のノズル面(ノズルプレート21)に形成されたノズル22を封止するキャップ11、及び、ノズル面を払拭するためのワイピングユニット12が配置されている。
次に記録ヘッド3について説明する。図2は、記録ヘッド3の構成を説明する断面図である。図3は、記録ヘッド3の要部を拡大した断面図、すなわちアクチュエーターユニット14の断面図である。図4は、アクチュエーターユニット14の要部(図3における左側の端部)を拡大した平面図である。本実施形態における記録ヘッド3は、図2に示すように、アクチュエーターユニット14および流路ユニット15が積層された状態でヘッドケース16に取り付けられている。なお、図4では、圧電素子32、圧力室30及び接着剤48等の位置関係を分かり易くするため、その他の構成を省略して表わしている。また、便宜上、アクチュエーターユニット14を構成する各部材の積層方向を上下方向として説明する。
ヘッドケース16は、合成樹脂製の箱体状部材であり、その内部には各圧力室30にインクを供給するリザーバー18が形成されている。このリザーバー18は、複数形成された圧力室30に共通なインクが貯留される空間であり、2列に並設(列設)された圧力室30の列に対応して2つ形成されている。なお、ヘッドケース16の上方には、インクカートリッジ7側からのインクをリザーバー18に導入するインク導入路(図示せず)が形成されている。また、ヘッドケース16の下面側には、当該下面からヘッドケース16の高さ方向の途中まで直方体状に窪んだ収容空間17が形成されている。後述する流路ユニット15がヘッドケース16の下面に位置決めされた状態で接合されると、連通基板24上に積層されたアクチュエーターユニット14(圧力室形成基板29、封止板33等)が収容空間17内に収容されるように構成されている。
ヘッドケース16の下面に接合される流路ユニット15は、連通基板24及びノズルプレート21を有している。連通基板24は、シリコン製の板材であり、本実施形態では、表面(上面および下面)を(110)面としたシリコン単結晶基板から作製されている。この連通基板24には、図2に示すように、リザーバー18と連通し、各圧力室30に共通なインクが貯留される共通液室25と、この共通液室25を介してリザーバー18からのインクを各圧力室30に個別に供給する個別連通路26とが、エッチングにより形成されている。共通液室25は、圧力室30の並設方向(第1の方向x、図4参照)に沿った長尺な空部であり、2つのリザーバー18に対応して2列形成されている。この共通液室25は、連通基板24の板厚方向を貫通した第1液室25aと、連通基板24の下面側から上面側に向けて当該連通基板24の板厚方向の途中まで窪ませ、上面側に薄板部を残した状態で形成された第2液室25bと、から構成される。個別連通路26は、第2液室25bの薄板部において、圧力室30に対応して当該圧力室30の並設方向に沿って複数形成されている。この個別連通路26は、連通基板24と圧力室形成基板29とが位置決めされて接合された状態で、対応する圧力室30の長手方向における一側の端部と連通する。
また、連通基板24の各ノズル22に対応する位置には、連通基板24の板厚方向を貫通したノズル連通路27が形成されている。すなわち、ノズル連通路27は、ノズル列に対応して当該ノズル列方向に沿って複数形成されている。このノズル連通路27によって、圧力室30とノズル22とが連通する。本実施形態のノズル連通路27は、連通基板24と圧力室形成基板29とが位置決めされて接合された状態で、対応する圧力室30の長手方向(第1の方向xに直交する第2の方向y、図4参照)における他側(個別連通路26とは反対側)の端部と連通する。
ノズルプレート21は、連通基板24の下面(圧力室形成基板29とは反対側の面)に接合されたシリコン製の基板(例えば、シリコン単結晶基板)である。本実施形態では、このノズルプレート21により、共通液室25となる空間の下面側の開口が封止されている。また、ノズルプレート21には、複数のノズル22が直線状(列状)に開設されている。本実施形態では、2列に形成された圧力室30の列に対応して、ノズル列が2列形成されている。この並設された複数のノズル22(ノズル列)は、一端側のノズル22から他端側のノズル22までドット形成密度に対応したピッチ(例えば600dpi)で、主走査方向に直交する副走査方向に沿って等間隔に設けられている。なお、ノズルプレートを連通基板における共通液室から内側に外れた領域に接合し、共通液室となる空間の下面側の開口を例えば可撓性を有するコンプライアンスシート等の部材で封止することもできる。このようにすれば、ノズルプレートを可及的に小さくできる。
アクチュエーターユニット14は、図2及び図3に示すように、圧力室形成基板29、振動板31、圧電素子32および封止板33が積層されてユニット化されている。このアクチュエーターユニット14は、収容空間17内に収容可能なように、収容空間17よりも小さく形成されている。
圧力室形成基板29は、シリコン製の硬質な板材であり、本実施形態では、表面(上面および下面)を(110)面としたシリコン単結晶基板から作製されている。この圧力室形成基板29には、エッチングにより一部が板厚方向に完全に除去されて、圧力室30となるべき空間が第1の方向xに沿って複数形成されている。この空間は、下側が連通基板24により区画され、上側が振動板31により区画されて、圧力室30を構成する。また、この空間、すなわち圧力室30は、2列に形成されたノズル列に対応して2列に形成されている。各圧力室30は、第1の方向x(すなわち、ノズル列方向)に直交する第2の方向yに長尺な空部であり、当該第2の方向y(すなわち、圧力室30の長手方向)の一側の端部に個別連通路26が連通し、他側の端部にノズル連通路27が連通する。なお、本実施形態の圧力室30の第2の方向yの両側壁は、シリコン単結晶基板の結晶性に起因して、圧力室形成基板29の上面或いは下面に対して傾斜している。
振動板31は、弾性を有する薄膜状の部材であり、圧力室形成基板29の上面(連通基板24とは反対側の面)に積層されている。この振動板31によって、圧力室30となるべき空間の上部開口が封止されている。換言すると、振動板31によって、圧力室30の上面が区画されている。この振動板31における圧力室30の上面を区画する区画領域35は、圧電素子32の撓み変形に伴ってノズル22から遠ざかる方向あるいは近接する方向に変形(変位)する変位部として機能する。すなわち、振動板31における区画領域35は、撓み変形が許容される領域であり、振動板31における区画領域35から外れた領域は撓み変形が阻害される領域である。なお、振動板31は、例えば、圧力室形成基板29の上面に形成された二酸化シリコン(SiO2)からなる弾性膜と、この弾性膜上に形成された酸化ジルコニウム(ZrO2)からなる絶縁体膜と、から成る。そして、この絶縁膜上(振動板31の圧力室30側とは反対側の面)における区画領域35に対応する位置に圧電素子32がそれぞれ積層されている。
本実施形態の圧電素子32は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子32は、2列に並設された圧力室30の列に対応して2列に並設されている。各圧電素子32は、図3に示すように、振動板31上に、下電極層37(本発明における第1の電極層に相当)、圧電体層38、上電極層39(本発明における第2の電極層に相当)、及び金属層40が順次積層されてなる。本実施形態では、下電極層37が圧電素子32毎に独立して形成される個別電極となっており、上電極層39が複数の圧電素子32に亘って連続して形成される共通電極となっている。すなわち、図4に示すように、下電極層37及び圧電体層38は、圧力室30毎に形成されている。一方、上電極層39は、複数の圧力室30に亘って形成されている。
具体的に説明すると、本実施形態における圧電体層38は、図4に示すように、区画領域35(圧力室30)の幅(第1の方向xにおける寸法)よりも狭い幅で第2の方向yに沿って延設されている。各圧電体層38は、2列に並設された圧力室30の列に対応して2列に並設されている。この圧電体層38の第2の方向yにおける両端は、図3に示すように、圧力室30と重なる位置から、当該位置から外れた位置まで延設されている。すなわち、圧電体層38の第2の方向yにおける一側(アクチュエーターユニット14における外側)の端は、同側における区画領域35の端よりも外側まで延設されている。また、圧電体層38の第2の方向yにおける他側(アクチュエーターユニット14における内側)の端は、同側における区画領域35の端よりも外側まで延設されている。
また、本実施形態における下電極層37は、圧電体層38と同様に、区画領域35の幅よりも狭い幅で第2の方向yに沿って延設されている。各下電極層37は、2列に並設された圧力室30の列に対応して2列に並設されている。この下電極層37の第2の方向yにおける一側(アクチュエーターユニット14における外側)の端は、図3及び図4に示すように、同側における圧電体層38の端よりも外側まで延設され、後述する個別金属層40cが積層されている。また、下電極層37の第2の方向yにおける他側(アクチュエーターユニット14における内側)の端は、図3に示すように、圧電体層38と重なる領域であって、同側における区画領域35の端よりも外側まで延設されている。すなわち、下電極層37の第2の方向yにおける他側の端は、区画領域35の端と圧電体層38の端との間の領域まで延設されている。
さらに、本実施形態における上電極層39は、第1の方向xにおいて、その両端が並設された一群の圧力室30と重なる領域の外側まで延在されている。すなわち、上電極層39は、第1の方向xにおいて、並設された複数の圧電体層38に亘って形成されている。また、上電極層39は、図3に示すように、第2の方向yにおいて、両側の圧電体層38に亘って形成されている。具体的には、上電極層39の第2の方向yにおける一側(図3における左側)の端は、2列に並設された圧電体層38のうち一方(図3における左側)の圧電体層38と重なる領域であって、一方の区画領域35と重なる領域よりも外側まで延設されている。すなわち、上電極層39の第2の方向yにおける一側の端は、一方の区画領域35の外側の端と一方の圧電体層38の外側の端との間の領域まで延設されている。また、上電極層39の第2の方向yにおける他側(図3における右側)の端は、2列に並設された圧電体層38のうち他方(図3における右側)の圧電体層38と重なる領域であって、他方の区画領域35と重なる領域よりも外側まで延設されている。すなわち、上電極層39の第2の方向yにおける他側の端は、他方の区画領域35の外側の端と他方の圧電体層38の外側の端との間の領域まで延設されている。
そして、下電極層37、圧電体層38及び上電極層39の全てが積層された領域、換言すると下電極層37と上電極層39との間に圧電体層38が挟まれた領域が、圧電素子32として機能することになる。すなわち、下電極層37と上電極層39との間に両電極の電位差に応じた電界が付与されると、圧電体層38がノズル22から遠ざかる方向あるいは近接する方向に撓み変形し、区画領域35の振動板31を変形させる。上記したように、区画領域35と重なる位置から第2の方向yの一側(アクチュエーターユニット14における外側)に外れた領域において、圧電体層38が上電極層39の外側まで延設され、下電極層37がこの圧電体層38のさらに外側まで延設されているため、上電極層39の端の位置が圧電素子32の一側の素子端34aの位置となる。一方、区画領域35と重なる位置から第2の方向yの他側(アクチュエーターユニット14における内側)に外れた領域において、圧電体層38が下電極層37の外側まで延設され、上電極層39がこの圧電体層38のさらに外側まで延設されているため、下電極層37の他側の端の位置が圧電素子32の他側の素子端34bの位置となる。すなわち、本実施形態における圧電素子32の両側の素子端34は、第2の方向yにおいて、区画領域35よりも外側に形成されている。なお、圧電素子32のうち区画領域35の外側まで延在された部分は、圧力室形成基板29により変形(変位)が阻害される。
また、本実施形態における圧電素子32は、長手方向(第2の方向y)における両端部に金属層40が設けられている。圧電素子32の他側の端部に形成された金属層40は、上電極層39上に積層されて共通電極となる第1の共通金属層40aである。この第1の共通金属層40aは、第2の方向yにおいて、区画領域35の他側の端部と重なる領域から圧電体層38と重なる領域の外側まで延設されている。また、第1の共通金属層40aの第1の方向xにおける両端は、上電極層39と同様に、並設された一群の圧力室30と重なる領域の外側まで延設されている。この第1の共通金属層40aにより、圧電素子32の他側の素子端34bの変形が抑制される。これにより、圧電素子32の変形に伴って発生する応力を抑えることができ、圧電体層38にひび割れ(クラック)等が発生することを抑制できる。なお、一方の圧電素子32に対応する第1の共通金属層40a上には、後述する共通バンプ電極42aが接続される。
圧電素子32の一側の端部に形成された金属層40は、上電極層39上に積層され、第1の共通金属層40aと同様に、共通電極となる第2の共通金属層40bである。この第2の共通金属層40bは、第2の方向yにおいて、区画領域35の一側の端部と重なる領域から上電極層39の同側の端(すなわち、素子端34a)まで延設されている。また、第2の共通金属層40bの第1の方向xにおける両端は、第1の共通金属層40aと同様に、並設された一群の圧力室30と重なる領域の外側まで延設されている。この第2の共通金属層40bにより、圧電素子32の一側の素子端34a及び区画領域35の一側の端の変形が抑制される。
さらに、圧電素子32の第2の方向yにおける一側の端よりも外側には、一部が下電極層37上に積層されて個別電極となる個別金属層40cが形成されている。この個別金属層40cは、図4に示すように、下電極層37と同様に、区画領域35の幅よりも狭いに形成され、第1の方向xに沿って複数形成されている。本実施形態における個別金属層40cは、第2の方向yにおいて、上電極層39の一側の端から外れた領域であって圧電体層38の一側の端部と重なる領域から当該領域を越えて下電極層37の一側の端部と重なる領域まで延設されている。なお、個別金属層40c上には、後述する個別バンプ電極42bが接続される。
なお、上記した下電極層37及び上電極層39としては、イリジウム(Ir)、白金(Pt)、チタン(Ti)、タングステン(W)、ニッケル(Ni)、パラジウム(Pd)、金(Au)等の各種金属、及び、これらの合金やLaNiO3等の合金等が用いられる。また、圧電体層38としては、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の強誘電性圧電性材料や、これにニオブ(Nb)、ニッケル(Ni)、マグネシウム(Mg)、ビスマス(Bi)又はイットリウム(Y)等の金属を添加したリラクサ強誘電体等が用いられる。その他、チタン酸バリウムなどの非鉛材料も用いることができる。さらに、金属層40としては、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)、タングステン(W)、及び、これらの合金等からなる密着層上に金(Au)、銅(Cu)等が積層されたものが用いられる。
封止板33(本発明における回路基板に相当)は、振動板31(或いは、圧電素子32)に対して間隔を開けて配置された平板状の部材である。なお、この間隔は、圧電素子32の変形が阻害されない程度の間隔に設定されている。本実施形態の封止板33は、表面(上面および下面)が(110)面のシリコン単結晶基板から成り、平面視において圧力室形成基板29の外径と略同じに揃えられている。図3に示すように、この封止板33の圧電素子32と対向する領域には、各圧電素子32を個々に駆動する信号(駆動信号)を出力する駆動回路46(ドライバー回路)が形成されている。駆動回路46は、封止板33となるシリコン単結晶基板(シリコンウェハ)の表面に、半導体プロセス(即ち、成膜工程、フォトリソグラフィー工程及びエッチング工程など)を用いて作成される。
また、封止板33における区画領域35から外れた領域であって、圧電体層38上に形成された第1の共通金属層40aおよび個別金属層40cに対向する領域には、圧力室形成基板29側に突出した、弾性を有するバンプ電極42が形成されている。このバンプ電極42は、弾性を有する内部樹脂43と、駆動回路46内の対応する配線と電気的に接続され、内部樹脂43の表面を覆う導電膜44と、からなる。本実施形態では、2列に形成された圧電素子32のそれぞれの個別金属層40cに接続される個別バンプ電極42bが2列に形成されている。また、2列に形成された圧電素子32に共通な第1の共通金属層40aに接続される共通バンプ電極42aが、2列に形成された個別バンプ電極42bの間に1列形成されている。なお、内部樹脂43としては、例えば、ポリイミド樹脂等の樹脂が用いられる。また、導電膜44としては、金(Au)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、タングステン(W) 等の金属が用いられる。
より詳しく説明すると、個別バンプ電極42bの内部樹脂43は、封止板33の表面における個別金属層40cに対向する領域に、第1の方向xに沿って突条に形成されている。個別バンプ電極42bの導電膜44は、第1の方向xに沿って並設された圧電素子32に対応して、当該第1の方向xに沿って複数形成されている。すなわち、個別バンプ電極42bは、第1の方向xに沿って複数形成されている。そして、各個別バンプ電極42bは、圧電体層38上において対応する個別金属層40cに接続されている。これにより、各個別バンプ電極42bは、個別金属層40cを介して下電極層37と電気的に接続される。
また、共通バンプ電極42aの内部樹脂43は、封止板33の表面における第1の共通金属層40aに対向する領域に、第1の方向xに沿って突条に形成されている。本実施形態における共通バンプ電極42aの内部樹脂43は、2列に形成された圧電素子32のうち一方(図3における左側)の圧電素子32に対応する位置に1列形成されている。共通バンプ電極42aの導電膜44は、第1の方向xに沿って並設された圧電素子32に対応して、当該第1の方向xに沿って複数形成されている。すなわち、共通バンプ電極42aは、第1の方向xに沿って複数形成されている。そして、各共通バンプ電極42aは、圧電体層38上の第1の方向xに沿った複数箇所で第1の共通金属層40a接続されている。これにより、各共通バンプ電極42aは、第1の共通金属層40aを介して上電極層39と電気的に接続される。
封止板33と、振動板31及び圧電素子32が積層された圧力室形成基板29とは、各バンプ電極42を介在させた状態で接着剤48により接合されている。この接着剤48は、各バンプ電極42の両側及びバンプ電極42が接続されない他側の第1の共通金属層40aを覆う位置に第1の方向xに沿って帯状に配置されている。具体的には、個別バンプ電極42bよりも外側(共通バンプ電極42a側とは反対側)に配置された接着剤48aは、第2の方向yにおいて、個別金属層40c上から当該個別金属層40cの端を越えて振動板31上まで延設されている。個別バンプ電極42bよりも内側(共通バンプ電極42a側)に配置された接着剤48bは、第2の方向yにおいて、第2の共通金属層40b(圧電素子32)よりも外側から区画領域35の一側の端と重なる位置まで延設されている。換言すると、この接着剤48bは、圧電素子32の第2の方向yにおける一側の素子端34aを覆う位置から区画領域35の当該素子端34a側の端と重なる位置に亘って形成されている。すなわち、この接着剤48bにより、圧電素子32の第2の方向yにおける一側の素子端34aが覆われる。これにより、素子端34aにおける圧電素子32の変形が抑制される。また、この接着剤48bにより、区画領域35の一側の端も覆われる。このため、区画領域35の一側の端における圧電素子32の変形も抑制される。
また、共通バンプ電極42aよりも外側(一方の個別金属層40c側)に配置された接着剤48cは、第2の方向yにおいて、区画領域35の他側の端と重なる位置から第1の共通金属層40aの端部まで延設されている。この接着剤48cにより、一方の圧電素子32に対応する区画領域35の他側の端も覆われるため、この端における圧電素子32の変形が抑制される。さらに、共通バンプ電極42aよりも内側(他方の個別金属層40c側)に配置された接着剤48dは、第2の方向yにおいて、第1の共通金属層40a上から当該第1の共通金属層40aの端を越えて振動板31上まで延設されている。また、共通バンプ電極42aが当接しない他方の圧電素子32側における他側(内側)の素子端34bには、接着剤48eが配置されている。この接着剤48eは、第2の方向yにおいて、他方の圧電素子32に対応する区画領域35の他側の端部と重なる位置から第1の共通金属層40aを越えて振動板31上まで延設されている。この接着剤48eにより、他方の圧電素子32に対応する区画領域35の他側の端も覆われる。これにより、この区画領域35の他側の端における圧電素子32の変形が抑制される。
なお、接着剤48としては、感光性かつ熱硬化性を有する樹脂等が好適に用いられる。例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、スチレン樹脂等を主成分に含む樹脂が望ましい。
そして、上記のように形成された記録ヘッド3は、インクカートリッジ7からのインクをインク導入路、リザーバー18、共通液室25および個別連通路26を介して圧力室30に導入する。この状態で、駆動回路46からの信号が各バンプ電極42を介して圧電素子32に供給されると、圧電素子32が駆動し、圧力室30内に圧力変動が生じる。記録ヘッド3は、この圧力変動を利用することで、ノズル連通路27を介してノズル22からインク滴を噴射する。
このように、本実施形態における記録ヘッド3では、封止板33が振動板31に対して間隔を開けて配置されたため、下電極層37及び上電極層39をリード配線等で引き回すこと無く、封止板33と圧電素子32とをバンプ電極42を介して接続することができる。これにより、封止板33と圧電素子32との間の抵抗を抑えることができ、駆動回路46からの信号を圧電素子32へより正確に供給することができる。特に、複数の圧電素子32に亘って連続して形成された共通電極となる上電極層39が下電極層37及び圧電体層38よりも上方に配置されたので、これらの層37、38と干渉すること無く、バンプ電極42と上電極層39との接続箇所を複数設けることができる。その結果、上電極層39に供給される電力が低下することを抑制でき、駆動回路46からの信号を圧電素子32へ一層正確に供給することができる。さらに、上電極層39及び上電極層39をリード配線等で引き回す必要が無いため、構造を簡単にできる。
また、バンプ電極42が、弾性を有する内部樹脂43と、当該内部樹脂43の表面を覆った導電膜44とを備えたので、圧力室形成基板29と封止板33とを接合する際において、バンプ電極42と各電極層とを確実に導通させるために圧力室形成基板29と封止板33との間に加える圧力を抑制できる。その結果、圧力室形成基板29或いは封止板33が破損することを抑制できる。さらに、各バンプ電極42は、圧電体層38上において、下電極層37及び上電極層39と電気的に接続されたので、圧電素子32と封止板33との間隔をより確実に確保することができる。すなわち、振動板31の表面からの寸法(高さ)が比較的大きい(高い)位置にバンプ電極42が配置されるため、圧電素子32と封止板33との間隔をより確実に確保することができる。特に、本実施形態では、バンプ電極42が金属層40上に配置されたので、圧電素子32と封止板33との間隔を一層確実に確保することができる。これにより、圧電素子32の変形が封止板33により阻害されることを抑制できる。そして、接着剤48として感光性を有するものが用いられたため、接着剤48を塗布した後に露光及び現像することで、所定の位置に正確に接着剤48を配置できる。これにより、接着剤48のはみ出しを抑制でき、ひいては記録ヘッド3を小型化できる。すなわち、接着剤48が予定された位置からはみ出すことによりアクチュエーターユニット14を構成する他の部分と干渉することを抑制ができ、接着剤48を当該部分に可及的に近づけることができる。その結果、アクチュエーターユニット14を小型化でき、ひいては記録ヘッド3を小型化できる。
次に、上記した記録ヘッド3、特にアクチュエーターユニット14の製造方法について説明する。本実施形態のアクチュエーターユニット14は、封止板33となる領域が複数形成されたシリコン単結晶基板(シリコンウェハ)と、振動板31及び圧電素子32が積層されて圧力室形成基板29となる領域が複数形成されたシリコン単結晶基板(シリコンウェハ)とを接着剤48により貼りあわせた状態で、切断して個片化することで得られる。
詳しく説明すると、封止板33側のシリコン単結晶基板では、まず、半導体プロセスにより、下面(圧力室形成基板29と対向する側の表面)に駆動回路46等を形成する。次に、シリコン単結晶基板の下面に樹脂膜を製膜し、フォトリソグラフィー工程及びエッチング工程により、内部樹脂43を形成した後、加熱により当該内部樹脂43を溶融してその角を丸める。その後、蒸着やスパッタリング等により表面に金属膜を成膜し、フォトリソグラフィー工程及びエッチング工程により、導電膜44を形成する。これにより、シリコン単結晶基板に、個々の記録ヘッド3に対応した封止板33となる領域が複数形成される。
一方、圧力室形成基板29側のシリコン単結晶基板では、まず、上面(封止板33と対向する側の表面)に振動板31を積層する。次に、半導体プロセスにより、下電極層37、圧電体層38及び上電極層39等を順次パターニングし、圧電素子32等を形成する。これにより、シリコン単結晶基板に、個々の記録ヘッド3に対応した圧力室形成基板29となる領域が複数形成される。その後、表面に接着剤層を製膜し、フォトリソグラフィー工程により、所定の位置に接着剤48を形成する。具体的には、感光性および熱硬化性を有する液体状の接着剤を、スピンコーター等を用いて振動板31上に塗布し、加熱することで弾性を有する接着剤層を形成する。そして、露光及び現像することで、所定の位置に接着剤48の形状をパターニングする。本実施形態では、接着剤48が感光性を有するため、フォトリソグラフィー工程により、接着剤48を精度よくパターニングすることができる。
接着剤48が形成されたならば、両シリコン単結晶基板を接合する。具体的には、何れか一方のシリコン単結晶基板を他方のシリコン単結晶基板側に向けて相対的に移動させて、接着剤48を両シリコン単結晶基板の間に挟んで張り合わせる。この状態で、バンプ電極42の弾性復元力に抗して、両シリコン単結晶基板を上下から加圧する。これにより、バンプ電極42が押し潰され、確実に導通をとることができる。そして、加圧しながら、接着剤48の硬化温度まで加熱する。その結果、バンプ電極42が押し潰された状態で、接着剤48が硬化し、両シリコン単結晶基板が接合される。
両シリコン単結晶基板が接合されたならば、圧力室形成基板29側のシリコン単結晶基板を下面側(封止板33側のシリコン単結晶基板側とは反対側)から研磨し、当該圧力室形成基板29側のシリコン単結晶基板を薄くする。その後、フォトリソグラフィー工程及びエッチング工程により、薄くなった圧力室形成基板29側のシリコン単結晶基板に圧力室30を形成する。最後に、所定のスクライブラインに沿ってスクライブし、個々のアクチュエーターユニット14に切断する。
そして、上記の過程により製造されたアクチュエーターユニット14は、接着剤等を用いて流路ユニット15(連通基板24)に位置決めされて固定される。そして、アクチュエーターユニット14をヘッドケース16の収容空間17に収容した状態で、ヘッドケース16と流路ユニット15とを接合することで、上記の記録ヘッド3が製造される。
ところで、上記した第1実施形態では、共通バンプ電極42aが2列に形成された第1の共通金属層40aのうち一方の第1の共通金属層40aに接続されたがこれには限られない。例えば、図5に示す第2実施形態におけるアクチュエーターユニット14′では、2列に形成された第2の共通金属層40bにそれぞれ共通バンプ電極42a′が接続されている。
具体的には、共通バンプ電極42a′の内部樹脂43′は、封止板33の表面における第2の共通金属層40bに対向する領域に、ノズル列方向(第1の方向x)に沿って突条に形成されている。共通バンプ電極42a′の導電膜44′は、第1の方向xに沿って並設された圧電素子32に対応して、当該第1の方向xに沿って複数形成されている。すなわち、共通バンプ電極42a′は、第1の方向xに沿って複数形成されている。そして、各共通バンプ電極42a′は、圧電体層38上において2列に形成された第2の共通金属層40bに対して第1の方向xに沿った複数箇所でそれぞれ接続されている。これにより、各共通バンプ電極42a′は、第2の共通金属層40bを介して対上電極層39と電気的に接続される。
また、本実施形態における接着剤48′は、各バンプ電極42a′、42bの両側及び第1の共通金属層40aを覆う位置に配置されている。具体的には、個別バンプ電極42bよりも外側(共通バンプ電極42a′側とは反対側)に配置された接着剤48a′は、第2の方向yにおいて、個別金属層40c上から当該個別金属層40cの端を越えて振動板31上まで延設されている。個別バンプ電極42bと共通バンプ電極42a′との間に配置された接着剤48b′は、第2の方向yにおいて、第2の共通金属層40b(圧電素子32)よりも外側の圧電体層38上から圧電素子32の一側の素子端34aを越えて第2の共通金属層40b上まで延設されている。この接着剤48b′により、圧電素子32の第2の方向yにおける一側の素子端34aが覆われる。このため、この素子端34aにおける圧電素子32の変形が抑制される。また、共通バンプ電極42a′よりも内側(個別バンプ電極42b側とは反対側)に配置された接着剤48c′は、第2の方向yにおいて、第2の共通金属層40b上から当該第2の共通金属層40bの端を越えて区画領域35の一側の端部と重なる位置まで延設されている。この接着剤48c′により、区画領域35の一側の端が覆われる。このため、この区画領域35の一側の端における圧電素子32の変形が抑制される。さらに、第1の共通金属層40aを覆う接着剤48d′は、第2の方向yにおいて、区画領域35の他側の端部と重なる位置から第1の共通金属層40aを越えて振動板31上まで延設されている。この接着剤48d′により、区画領域35の他側の端が覆われる。このため、この区画領域35の他側の端における圧電素子32の変形が抑制される。なお、その他の構成は上記した第1実施形態と同じであるため、説明を省略する。
また、上記した各実施形態では、圧電体層38が2列に形成された圧力室30の列に対応して2列に形成されたが、すなわち、圧電体層38が各圧力室30の列毎に別個に形成されたが、これには限られない。例えば、図6〜図9に示す第3実施形態〜第6実施形態におけるアクチュエーターユニット14″では、2列に形成された圧力室30の列に対して共通となる圧電体層38″が、1列に形成されている。特に、図6、図7に示す第3実施形態及び第4実施形態におけるアクチュエーターユニット14″では、圧電体層38″及び第1の共通金属層40a″が1列に形成されている。
具体的には、図6に示す第3実施形態では、第2の方向yにおいて、圧電体層38″が両側の圧電素子32に亘って形成されている。すなわち、圧電体層38″の第2の方向yにおける一側(図6における左側)の端は、2列に並設された個別金属層40cのうち一方(図6における左側)の個別金属層40cと重なる領域まで延設されている。また、圧電体層38″の第2の方向yにおける他側(図6における右側)の端は、2列に並設された個別金属層40cのうち他方(図6における右側)の個別金属層40cと重なる領域まで延設されている。さらに、第1の共通金属層40a″は、第2の方向yにおいて、一方(図6における左側)の区画領域35(圧力室30)の他側(アクチュエーターユニット14″における内側)の端部と重なる領域から、他方(図6における右側)の区画領域35(圧力室30)の他側(アクチュエーターユニット14″における内側)の端部と重なる領域に亘って形成されている。そして、共通バンプ電極42a″は、2列に形成された圧力室30の列の間の領域に形成され、第1の共通金属層40a″に接続されている。
また、本実施形態における接着剤48″は、各バンプ電極42a″、42bの両側に配置されている。個別バンプ電極42bの外側(共通バンプ電極42a″側とは反対側)に配置された接着剤48a″は、第1実施形態の接着剤48aと同様に、個別金属層40c上から振動板31上に亘って配置されている。個別バンプ電極42bの内側(共通バンプ電極42a″側)に配置された接着剤48b″は、第1実施形態の接着剤48bと同様に、第2の共通金属層40bよりも外側から区画領域35の一側の端と重なる位置まで延設されている。共通バンプ電極42a″の両側に配置された接着剤48c″は、第2の方向yにおいて、区画領域35の他側の端と重なる位置から下電極層37と重なる位置を越えて、第1の共通金属層40a″上まで延設されている。なお、その他の構成は上記した第1実施形態と同じであるため、説明を省略する。
また、図7に示す第4実施形態では、各接着剤48″が、圧力室30と重なる領域を避けて配置されている。換言すると、各接着剤48″は、区画領域35と重ならない位置に配置されている。具体的には、個別バンプ電極42bの内側(共通バンプ電極42a″側)に配置された接着剤48b″は、第2の方向yにおいて、個別金属層40cと第2の共通金属層40bとの間の領域から、区画領域35から外れた領域における第2の共通金属層40b上まで延設されている。また、共通バンプ電極42a″の両側に配置された接着剤48c″は、区画領域35から外れた領域における第1の共通金属層40a″上であって、圧電素子32の他側の素子端34bを跨ぐ領域に形成されている。なお、その他の構成は上記した第3実施形態と同じであるため、説明を省略する。
このように、接着剤48″を区画領域35から外れた領域に形成することで、区画領域35における振動板31の変形が阻害され難くなる。これにより、圧電素子32の駆動による圧力変動を、圧力室30内のインクに効率よく伝えることができる。また、接着剤48″に圧電素子32の振動が伝わることによる接着能力の低下を抑制できる。その結果、記録ヘッド3の信頼性を向上させることができる。さらに、接着剤48″と区画領域35とが重ならないため、接着剤48″の位置がばらつくことによる振動板31の変形量がばらつくことを抑制できる。これにより、接着剤48″として感光性を有さない接着剤、すなわち接着位置がばらつきやすい接着剤を用いたとしても、インクの噴射特性がばらつくことを抑制できる。
さらに、図8に示す第5実施形態では、2列に形成された第1の共通金属層40a″にそれぞれ接続される共通バンプ電極42a″が2列に形成されている。具体的には、第1の共通金属層40a″は、第1実施形態と同様に、第2の方向yにおいて、区画領域35の他側の端部と重なる領域から下電極層37と重なる領域の外側まで延設されている。また、共通バンプ電極42a″の列は、第1の方向xに沿って形成されている。そして、各共通バンプ電極42a″は、圧電体層38″上の第1の共通金属層40a″に対して、第1の方向xに沿った複数箇所で接続されている。なお、圧電体層38″は、上記した第3実施形態と同様に、第2の方向yにおいて、両側の圧電素子32に亘って形成されている。すなわち、圧電体層38″の第2の方向yにおける一側(図8における左側)の端は、2列に並設された個別金属層40cのうち一方(図8における左側)の個別金属層40cと重なる領域まで延設されている。また、圧電体層38″の第2の方向yにおける他側(図8における右側)の端は、2列に並設された個別金属層40cのうち他方(図8における右側)の個別金属層40cと重なる領域まで延設されている。
また、本実施形態における上電極層39″は、2列に形成された圧力室30の列に対応して2列に形成されている。すなわち、上電極層39″は、各圧力室30の列毎に別個に形成されている。具体的には、第1の方向xに並設された複数の圧電体層38に亘って形成された上電極層39″が2列に形成されている。上電極層39″の第2の方向yにおける一側(アクチュエーターユニット14″における外側)の端は、区画領域35の一側の端部と重なる領域よりも外側であって、区画領域35と個別金属層40cとの間の領域まで延設されている。また、上電極層39の第2の方向yにおける他側(アクチュエーターユニット14″における内側)の端は、区画領域35の他側の端部と重なる領域よりも外側であって、下電極層37の他側の端と共通金属層40a″の他側の端との間の領域まで延設されている。
さらに、本実施形態における接着剤48″は、各バンプ電極42a″、42bの両側に配置されている。具体的には、個別バンプ電極42bの外側(共通バンプ電極42a″側とは反対側)に配置された接着剤48a″は、第1実施形態の接着剤48aと同様に、個別金属層40c上から振動板31上に亘って配置されている。個別バンプ電極42bの内側(共通バンプ電極42a″側)に配置された接着剤48b″は、第1実施形態の接着剤48bと同様に、第2の共通金属層40bよりも外側から区画領域35の一側の端と重なる位置まで延設されている。共通バンプ電極42a″の外側(個別バンプ電極42b側)に配置された接着剤48c″は、第2の方向yにおいて、区画領域35の他側の端と重なる位置から第1の共通金属層40a″の端部まで延設されている。共通バンプ電極42a″の内側に配置された接着剤48d″は、第2の方向yにおいて、第1の共通金属層40a″上から当該第1の共通金属層40a″の端を越えて上電極39上まで延設されている。なお、その他の構成は上記した第1実施形態と同じであるため、説明を省略する。
また、図9に示す第6実施形態では、上記の第5実施形態と同様に、2列に形成された第1の共通金属層40a″にそれぞれ接続される共通バンプ電極42a″が2列に形成されているが、各接着剤48″が、圧力室30(区画領域35)と重なる領域を避けて配置されている点で異なっている。具体的には、個別バンプ電極42bの内側(共通バンプ電極42a″側)に配置された接着剤48b″は、第2の方向yにおいて、個別金属層40cと第2の共通金属層40bとの間の領域から、区画領域35から外れた領域における第2の共通金属層40b上まで延設されている。また、共通バンプ電極42a″の外側(個別バンプ電極42b側)に配置された接着剤48c″は、区画領域35から外れた領域における第1の共通金属層40a″上に形成されている。なお、その他の構成は上記した第6実施形態と同じであるため、説明を省略する。
このように、本実施形態でも、接着剤48″が区画領域35から外れた領域に形成されているため、区画領域35における振動板31の変形が阻害され難くなる。これにより、圧電素子32の駆動による圧力変動を、圧力室30内のインクに効率よく伝えることができる。また、接着剤48″に圧電素子32の振動が伝わることによる接着能力の低下を抑制できる。その結果、記録ヘッド3の信頼性を向上させることができる。さらに、接着剤48″と区画領域35とが重ならないため、接着剤48″の位置がばらつくことによる振動板31の変形量がばらつくことを抑制できる。これにより、接着剤48″として感光性を有さない接着剤、すなわち接着位置がばらつきやすい接着剤を用いたとしても、インクの噴射特性がばらつくことを抑制できる。
ところで、上記した各実施形態では、本発明の回路基板として駆動回路46を備えた封止板33を例示したが、これには限られない。例えば、駆動回路を封止板とは異なる他の部材(駆動IC等)に設け、この駆動回路からの信号を中継する配線のみを封止板33に形成することもできる。すなわち、本発明における回路基板には、駆動回路を備えた封止板に限られず、単に配線のみが形成された封止板も含まれる。
また、上記した各実施形態では、下電極層37及び上電極層39とこれらに対応する各バンプ電極42が、それぞれ圧電体層38上で接続されたが、これには限られない。圧電体層上において、バンプ電極が少なくとも下電極層又は上電極層の何れか一方と電気的に接続されていればよい。さらに、上記した各実施形態では、バンプ電極42を封止板33側に設けたが、これには限られない。例えば、バンプ電極を圧力室基板側に設けることもできる。また、上記した製造方法では、圧力室形成基板29側のシリコン単結晶基板に接着剤48を塗布したが、これには限られない。例えば、接着剤を封止板側のシリコン単結晶基板に塗布することもできる。
そして、以上で述べた実施形態では、インクジェットヘッドとして、インクジェットプリンターに搭載されるインクジェット式記録ヘッドを例示したが、インク以外の液体を噴射するものにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイ、FED(面発光ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ(生物化学素子)の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明のインクジェットヘッドを用いることができる。
1…プリンター,3…記録ヘッド,14…アクチュエーターユニット,15…流路ユニット,16…ヘッドケース,17…収容空間,18…リザーバー,21…ノズルプレート,22…ノズル,24…連通基板,25…共通液室,26…個別連通路,29…圧力室形成基板,30…圧力室,31…振動板,32…圧電素子,33…封止板,35…区画領域,37…下電極層,38…圧電体層,39…上電極層,40…金属層,42…バンプ電極,43…内部樹脂,44…導電膜,46…駆動回路,48…接着剤
Claims (5)
- ノズルに連通した圧力室が複数形成された圧力室形成基板と、
前記圧力室の一側の面を区画して、当該区画領域の変形が許容される振動板と、
前記圧力室に対応する領域において、前記振動板の圧力室側とは反対側の面から順に第1の電極層、圧電体層及び第2の電極層が積層されてなる圧電素子と、
前記振動板との間に複数のバンプ電極を介在させた状態で前記振動板に対して間隔を開けて配置され、前記圧電素子を駆動する信号を出力する回路基板と、を備え、
前記第1の電極層は、圧電素子毎に独立して形成され、
前記第2の電極層は、複数の圧電素子に亘って連続して形成され、
前記複数のバンプ電極のうち少なくとも一部は、前記区画領域から外れた領域において、前記第1電極層及び前記第2電極層と電気的に接続されたことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記バンプ電極は、弾性を有する樹脂と、当該樹脂の表面を覆った導電膜とを備えたことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
- 前記バンプ電極は、前記圧電体層上において、前記第1電極層及び前記第2電極層と電気的に接続されたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のインクジェットヘッド。
- 前記圧力室形成基板と前記回路基板とは、感光性を有する接着剤により接合されたことを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
- 請求項1から請求項4の何れか一項に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェットプリンター。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015065842A JP2016185605A (ja) | 2015-03-27 | 2015-03-27 | インクジェットヘッド、及び、インクジェットプリンター |
TW105107802A TW201641299A (zh) | 2015-03-27 | 2016-03-14 | 墨水噴頭、及噴墨印表機 |
CN201680014432.5A CN107405920B (zh) | 2015-03-27 | 2016-03-16 | 喷墨头和喷墨打印机 |
EP16715116.6A EP3253579B1 (en) | 2015-03-27 | 2016-03-16 | Inkjet head and inkjet printer |
PCT/JP2016/001526 WO2016157788A1 (en) | 2015-03-27 | 2016-03-16 | Inkjet head and inkjet printer |
SG11201706725UA SG11201706725UA (en) | 2015-03-27 | 2016-03-16 | Inkjet head and inkjet printer |
KR1020177030844A KR102017975B1 (ko) | 2015-03-27 | 2016-03-16 | 잉크젯 헤드 및 잉크젯 프린터 |
US15/541,246 US10059102B2 (en) | 2015-03-27 | 2016-03-16 | Inkjet head and inkjet printer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015065842A JP2016185605A (ja) | 2015-03-27 | 2015-03-27 | インクジェットヘッド、及び、インクジェットプリンター |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016185605A true JP2016185605A (ja) | 2016-10-27 |
Family
ID=55697406
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015065842A Pending JP2016185605A (ja) | 2015-03-27 | 2015-03-27 | インクジェットヘッド、及び、インクジェットプリンター |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10059102B2 (ja) |
EP (1) | EP3253579B1 (ja) |
JP (1) | JP2016185605A (ja) |
KR (1) | KR102017975B1 (ja) |
CN (1) | CN107405920B (ja) |
SG (1) | SG11201706725UA (ja) |
TW (1) | TW201641299A (ja) |
WO (1) | WO2016157788A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113253477A (zh) * | 2021-05-11 | 2021-08-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 光学模组、显示装置及其工作方法 |
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Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002292871A (ja) | 2001-04-02 | 2002-10-09 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP3886338B2 (ja) | 2001-04-02 | 2007-02-28 | 象印マホービン株式会社 | クラッド材及びその製造方法 |
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EP2716461B1 (en) * | 2011-05-31 | 2018-05-23 | Konica Minolta, Inc. | Ink-jet head and ink-jet drawing device including same |
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-
2015
- 2015-03-27 JP JP2015065842A patent/JP2016185605A/ja active Pending
-
2016
- 2016-03-14 TW TW105107802A patent/TW201641299A/zh unknown
- 2016-03-16 SG SG11201706725UA patent/SG11201706725UA/en unknown
- 2016-03-16 CN CN201680014432.5A patent/CN107405920B/zh active Active
- 2016-03-16 KR KR1020177030844A patent/KR102017975B1/ko active IP Right Grant
- 2016-03-16 WO PCT/JP2016/001526 patent/WO2016157788A1/en active Application Filing
- 2016-03-16 US US15/541,246 patent/US10059102B2/en active Active
- 2016-03-16 EP EP16715116.6A patent/EP3253579B1/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201641299A (zh) | 2016-12-01 |
EP3253579B1 (en) | 2020-09-02 |
KR102017975B1 (ko) | 2019-09-03 |
WO2016157788A1 (en) | 2016-10-06 |
SG11201706725UA (en) | 2017-09-28 |
EP3253579A1 (en) | 2017-12-13 |
US10059102B2 (en) | 2018-08-28 |
CN107405920B (zh) | 2019-02-19 |
US20170368824A1 (en) | 2017-12-28 |
CN107405920A (zh) | 2017-11-28 |
KR20170130585A (ko) | 2017-11-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180305 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190318 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190402 |