JP2016174328A5

JP2016174328A5 -

Info

Publication number: JP2016174328A5
Application number: JP2015054404A
Authority: JP
Filing date: 2015-03-18
Publication date: 2018-04-12

Claims

薄肉部と、前記薄肉部の外縁の一部を除いて前記外縁に一体化され、前記薄肉部よりも厚さが厚い厚肉部と、を含む複数の振動素子が、フレームに連結されているウェーハの製造方法であって、
ウェーハをエッチングして、前記薄肉部に対応する領域を形成すると共に、前記振動素子の外形に対応する領域を前記薄肉部の深さ分だけ同時にハーフエッチングする第１エッチング工程と、
前記ハーフエッチングされた外形に対応する領域をエッチングして個片の前記振動素子の外形を形成する第２エッチング工程と、
を含むことを特徴とするウェーハの製造方法。
厚み滑り振動する振動領域を含む第１領域と、
前記第１領域の外縁に一体化され、前記第１領域よりも厚さが厚い第２領域と、
を含み、
前記第１領域の前記外縁は、
前記厚み滑り振動の振動方向と直交する方向に沿った一方の第１外縁及び他方の第１外縁と、
前記振動方向に沿った一方の第２外縁及び他方の第２外縁と、
を含み、
前記第２領域は、
前記一方の第１外縁に沿って配置された第１厚肉部と、
前記一方の第２外縁に沿って配置された第２厚肉部と、
前記第１厚肉部の前記直交する方向における前記一方の第２外縁側の端部と、前記第２厚肉部の前記振動方向における前記一方の第１外縁側の端部とに連結している第３厚肉部と、
を含む第１の振動素子および第２の振動素子が、前記直交する方向に沿って並んでいるウェーハの製造方法であって、
ウェーハを準備する準備工程と、
前記ウェーハの表面に保護膜を塗布する保護膜塗布工程と、
前記振動方向に沿った長さが前記振動素子の前記振動方向に沿った長さ以上である第１の開口と、前記第１領域に対応する第２の開口と、を含む開口部が、前記直交する方向に沿って複数並んでいるマスクを用いて前記保護膜を露光する露光工程と、
を含み、
前記第１の振動素子の前記第２の振動素子側の外縁と、前記第２の振動素子の前記第１の振動素子側の外縁との間の前記直交する方向に沿った長さをＷとし、
前記ウェーハの厚さをｔとしたとき、
０．０２９＜（Ｗ／ｔ²）＜０．０３３
の関係を満たすことを特徴とするウェーハの製造方法。
請求項２に記載のウェーハの製造方法において、
前記ウェーハは、
水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸と、機械軸としてのＹ軸と、光学軸としてのＺ軸と、からなる直交座標系の前記Ｘ軸を回転軸として、前記Ｚ軸を前記Ｙ軸の−Ｙ方向へ＋Ｚ側が回転するように傾けた軸をＺ’軸とし、前記Ｙ軸を前記Ｚ軸の＋Ｚ方向へ＋Ｙ側が回転するように傾けた軸をＹ’軸とし、前記Ｘ軸及び前記Ｚ’軸を含む面を主面とし、前記Ｙ’軸に沿った方向を厚さとする水晶基板であることを特徴とするウェーハの製造方法。
厚み滑り振動する振動領域を含む第１領域と、
前記第１領域の外縁に一体化され、前記第１領域よりも厚さが厚い第２領域と、
を含み、
前記第１領域の前記外縁は、
前記厚み滑り振動の振動方向と直交する方向に沿った一方の第１外縁及び他方の第１外縁と、
前記振動方向に沿った一方の第２外縁及び他方の第２外縁と、
を含み、
前記第２領域は、
前記一方の第１外縁に沿って配置された第１厚肉部と、
前記一方の第２外縁に沿って配置された第２厚肉部と、
前記第１厚肉部の前記直交する方向における前記一方の第２外縁側の端部と、前記第２厚肉部の前記振動方向における前記一方の第１外縁側の端部とに連結している第３厚肉部と、
を含む第１の振動素子および第２の振動素子が、前記直交する方向に沿って並んでいるウェーハであって、
前記第１の振動素子の前記第２の振動素子側の外縁と、前記第２の振動素子の前記第１の振動素子側の外縁との間の前記直交する方向に沿った長さをＷ、
前記ウェーハの厚さをｔ、
としたとき、
０．０２９＜（Ｗ／ｔ²）＜０．０３３
の関係を満たすことを特徴とするウェーハ。
請求項４に記載のウェーハにおいて、
前記ウェーハは、
水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸と、機械軸としてのＹ軸と、光学軸としてのＺ軸と、からなる直交座標系の前記Ｘ軸を回転軸として、前記Ｚ軸を前記Ｙ軸の−Ｙ方向へ＋Ｚ側が回転するように傾けた軸をＺ’軸とし、前記Ｙ軸を前記Ｚ軸の＋Ｚ方向へ＋Ｙ側が回転するように傾けた軸をＹ’軸とし、前記Ｘ軸及び前記Ｚ’軸を含む面を主面とし、前記Ｙ’軸に沿った方向を厚さとする水晶基板であることを特徴とするウェーハ。