JP2016174328A5 - - Google Patents
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Claims (5)
- 薄肉部と、前記薄肉部の外縁の一部を除いて前記外縁に一体化され、前記薄肉部よりも厚さが厚い厚肉部と、を含む複数の振動素子が、フレームに連結されているウェーハの製造方法であって、
ウェーハをエッチングして、前記薄肉部に対応する領域を形成すると共に、前記振動素子の外形に対応する領域を前記薄肉部の深さ分だけ同時にハーフエッチングする第1エッチング工程と、
前記ハーフエッチングされた外形に対応する領域をエッチングして個片の前記振動素子の外形を形成する第2エッチング工程と、
を含むことを特徴とするウェーハの製造方法。 - 厚み滑り振動する振動領域を含む第1領域と、
前記第1領域の外縁に一体化され、前記第1領域よりも厚さが厚い第2領域と、
を含み、
前記第1領域の前記外縁は、
前記厚み滑り振動の振動方向と直交する方向に沿った一方の第1外縁及び他方の第1外縁と、
前記振動方向に沿った一方の第2外縁及び他方の第2外縁と、
を含み、
前記第2領域は、
前記一方の第1外縁に沿って配置された第1厚肉部と、
前記一方の第2外縁に沿って配置された第2厚肉部と、
前記第1厚肉部の前記直交する方向における前記一方の第2外縁側の端部と、前記第2厚肉部の前記振動方向における前記一方の第1外縁側の端部とに連結している第3厚肉部と、
を含む第1の振動素子および第2の振動素子が、前記直交する方向に沿って並んでいるウェーハの製造方法であって、
ウェーハを準備する準備工程と、
前記ウェーハの表面に保護膜を塗布する保護膜塗布工程と、
前記振動方向に沿った長さが前記振動素子の前記振動方向に沿った長さ以上である第1の開口と、前記第1領域に対応する第2の開口と、を含む開口部が、前記直交する方向に沿って複数並んでいるマスクを用いて前記保護膜を露光する露光工程と、
を含み、
前記第1の振動素子の前記第2の振動素子側の外縁と、前記第2の振動素子の前記第1の振動素子側の外縁との間の前記直交する方向に沿った長さをWとし、
前記ウェーハの厚さをtとしたとき、
0.029<(W/t2)<0.033
の関係を満たすことを特徴とするウェーハの製造方法。 - 請求項2に記載のウェーハの製造方法において、
前記ウェーハは、
水晶の結晶軸である、電気軸としてのX軸と、機械軸としてのY軸と、光学軸としてのZ軸と、からなる直交座標系の前記X軸を回転軸として、前記Z軸を前記Y軸の−Y方向へ+Z側が回転するように傾けた軸をZ’軸とし、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ+Y側が回転するように傾けた軸をY’軸とし、前記X軸及び前記Z’軸を含む面を主面とし、前記Y’軸に沿った方向を厚さとする水晶基板であることを特徴とするウェーハの製造方法。 - 厚み滑り振動する振動領域を含む第1領域と、
前記第1領域の外縁に一体化され、前記第1領域よりも厚さが厚い第2領域と、
を含み、
前記第1領域の前記外縁は、
前記厚み滑り振動の振動方向と直交する方向に沿った一方の第1外縁及び他方の第1外縁と、
前記振動方向に沿った一方の第2外縁及び他方の第2外縁と、
を含み、
前記第2領域は、
前記一方の第1外縁に沿って配置された第1厚肉部と、
前記一方の第2外縁に沿って配置された第2厚肉部と、
前記第1厚肉部の前記直交する方向における前記一方の第2外縁側の端部と、前記第2厚肉部の前記振動方向における前記一方の第1外縁側の端部とに連結している第3厚肉部と、
を含む第1の振動素子および第2の振動素子が、前記直交する方向に沿って並んでいるウェーハであって、
前記第1の振動素子の前記第2の振動素子側の外縁と、前記第2の振動素子の前記第1の振動素子側の外縁との間の前記直交する方向に沿った長さをW、
前記ウェーハの厚さをt、
としたとき、
0.029<(W/t2)<0.033
の関係を満たすことを特徴とするウェーハ。 - 請求項4に記載のウェーハにおいて、
前記ウェーハは、
水晶の結晶軸である、電気軸としてのX軸と、機械軸としてのY軸と、光学軸としてのZ軸と、からなる直交座標系の前記X軸を回転軸として、前記Z軸を前記Y軸の−Y方向へ+Z側が回転するように傾けた軸をZ’軸とし、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ+Y側が回転するように傾けた軸をY’軸とし、前記X軸及び前記Z’軸を含む面を主面とし、前記Y’軸に沿った方向を厚さとする水晶基板であることを特徴とするウェーハ。
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JP2015054404A JP2016174328A (ja) | 2015-03-18 | 2015-03-18 | ウェーハの製造方法及びウェーハ |
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JP2015054404A JP2016174328A (ja) | 2015-03-18 | 2015-03-18 | ウェーハの製造方法及びウェーハ |
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