JP2016169173A - オキシムスルホネート化合物、光酸発生剤、レジスト組成物、カチオン重合開始剤、およびカチオン重合性組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下記一般式(I)、
で表されるオキシムスルホネート化合物であり、上記式(I)中、R1は、炭素原子数4以上の直鎖、環状または分岐アルキル基であり、R2は、炭素原子数1〜18の脂肪族炭化水素基、炭素原子数6〜20のアリール基等で表される基を表す。
【選択図】図1
Description
(式(I)中、R1は、炭素原子数4以上の直鎖、環状または分岐アルキル基であり、R2は、炭素原子数1〜18の脂肪族炭化水素基、炭素原子数6〜20のアリール基、炭素原子数7〜20のアリールアルキル基、アシル基で置換された炭素原子数7〜20のアリール基、炭素原子数3〜12の脂環式炭化水素基、10−カンファーイル基または下記一般式(II)、
(一般式(II)中、Y1は、単結合または炭素原子数1〜4のアルカンジイル基を表し、R3およびR4はそれぞれ独立に、炭素原子数2〜6のアルカンジイル基、炭素原子数2〜6のハロゲン化アルカンジイル基、炭素原子数6〜20のアリーレン基または炭素原子数6〜20のハロゲン化アリーレン基を表し、R5は、炭素原子数1〜18の直鎖または分岐鎖アルキル基、炭素原子数1〜18のハロゲン化直鎖または分岐鎖アルキル基、炭素原子数3〜12の脂環式炭化水素基、炭素原子数6〜20のアリール基、炭素原子数6〜20のハロゲン化アリール基、炭素原子数7〜20のアリールアルキル基または炭素原子数7〜20のハロゲン化アリールアルキル基を表し、a、bは、0または1を表し、a、bのどちらか一方は1である。)で表される基を表し、R2の脂肪族炭化水素基、アリール基、アリールアルキル基、脂環式炭化水素基は、置換基を有しないか、ハロゲン原子、炭素原子数1〜4のハロゲン化アルキル基、炭素原子数1〜18のアルコキシ基および炭素原子数1〜18のアルキルチオ基から選ばれる基で置換される。)で表されることを特徴とするものである。
本発明のオキスムスルホネート化合物は、下記一般式(I)、
で表されるか構造を有する。ここで、式(I)中、R1は、炭素原子数4以上の直鎖、環状または分岐アルキル基であり、R2は、炭素原子数1〜18の脂肪族炭化水素基、炭素原子数6〜20のアリール基、炭素原子数7〜20のアリールアルキル基、アシル基で置換された炭素原子数7〜20のアリール基、炭素原子数3〜12の脂環式炭化水素基、10−カンファーイル基または下記一般式(II)、
で表される基を表し、R2の脂肪族炭化水素基、アリール基、アリールアルキル基、脂環式炭化水素基は、置換基を有しないか、ハロゲン原子、炭素原子数1〜4のハロゲン化アルキル基、炭素原子数1〜18のアルコキシ基および炭素原子数1〜18のアルキルチオ基から選ばれる基で置換される。
化合物No.6、No.10.No.12、No.13およびNo.14の製造
<ステップ1>アルキル化体の製造
4−ヒドロキシフェニルアセトニトリル0.19molのジメチルアセトアミド200mL溶液に、室温で炭酸カリウム0.38mol、ハロゲン化アルキル0.22molを加え、70℃で5時間撹拌した。反応液をろ過し、不溶物を除去した後にトルエン/水で洗浄後、有機層から減圧下で溶媒留去し、アルキル化体を得た。
水酸化ナトリウム0.37molおよびメタノール82gの懸濁液に、氷冷下で、ステップ1で得られたアルキル化体と亜硝酸イソブチル0.22molを30分かけて滴下し、氷冷下で2時間撹拌した。さらに亜硝酸イソブチル0.14molを滴下し、室温まで昇温後、40℃で0.5時間撹拌した。反応液を氷冷下まで冷却した後、35%塩酸を用いて酸性化し、トルエンを用いて抽出した。有機層を3回水洗し、中和してから飽和食塩水で洗浄した。減圧下で溶媒を留去し、オキシム体を得た。
ステップ2で得られたオキシム体のトルエン120mL溶液に、氷冷下でトリエチルアミン0.28molを加え、各種スルホン酸クロリド0.19molを加えて室温まで昇温後、1時間撹拌した、反応液に水を加え、有機層を分離した後、水洗を行い、減圧下で溶媒を留去した。アセトニトリル/イソプロパノールより再結晶を2回行い、減圧下40℃で乾燥し、目的物を得た。各種分析を行い、目的物であることを確認した。分析の結果を表1〜表3に示す。
ポジ型レジスト組成物の調製およびパターニング評価
下記表4の配合に従い、酸発生剤としての化合物濃度が3%、5%、10%となるように、固形分20%のレジスト液をそれぞれ調製した。0.1μmのミクロフィルターでろ過し、これをガラス基板上にスピンコーターで塗布し、90℃で90秒間乾燥した後、20μmのパターン開口部を有するマスクを介して露光量0〜100mJ/cm2の光を照射した。120℃で90秒間ベークし、2.38%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に30秒間浸漬することにより現像し、イオン交換水で洗浄し、各露光量に対する残膜率を測定した。結果を表5に示す。
尚、残膜率は、下記式により求めた。
(膜厚(μm))/(初期膜厚(μm))×100=(残膜率)
日本化薬製EPPN−201の20gおよび架橋剤(テトラメトキシメチルグリコウリル)0.4gをメチルエチルケトン(MEK)100gに溶解させ樹脂溶液を調製し、化合物No.6の0.05gをこの樹脂溶液8.00gに溶解させレジスト液を調製した。これをガラス基板上にスピンコーターで塗布し、90℃で90秒間乾燥した後、波長365nmの光を照射して露光した。110℃で90秒間ベークし、2.38%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に30秒間浸漬することにより現像し、純水で洗浄した。24時間室温に放置後、メチルエチルケトンを付けた綿棒で塗膜を擦った結果200往復しても塗膜は侵されず、硬化が十分に進行していることが確認された。
3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキシルカルボキシレート80gおよび1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル20gを混合したものに、化合物No.6を4mmol添加し、よく撹拌し均一にした。これをアルミコート紙上に#3のバーコーターで塗布した。これに、ベルトコンベア付き光照射装置を使用して80W/cmの高圧水銀灯の光を照射した。ランプからベルトコンベアまでの距離は10cm、ベルトコンベアのラインスピードは8m/分とした。硬化後24時間室温に放置後、メチルエチルケトンを付けた綿棒で塗膜を擦った結果200往復しても塗膜は侵されず、硬化が十分に進行していることが確認された。
化合物No.6、No.10、No.12、No.13およびNo.14をアセトニトリルに溶解し、日光光度計U−3010で吸収スペクトルを測定し、300nm〜400nmの範囲の吸収における付近のλmaxとε(モル吸光係数)及び365nmにおけるεの値を示した。結果を表6に示す。
25℃におけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、シクロペンタノンおよびガンマブチロラクトンに対する溶解性の評価を行った。溶解性は1%質量結果刻みで濃度を上昇させ、溶け残りの発生しなかった濃度で表した。結果を表7に示す。
化合物No.6、No.10、No.12、No.13およびNo.14並びに比較化合物No.1〜No.4について1.5×10−4mol/Lのアセトニトリル/水の混合溶液(アセトニトリル/水=9/1:容積比)を調製し、内径50mmのシャーレに5.0mLを正確に入れ、HOYA CANDEO OPTRONICS社製UVランプにて、365nm付近の波長のみを透過するカットフィルターを用いて100mW/cm2のUVを照射した。照射時間はそれぞれについて1秒、3秒、5秒の3点とした。露光後、HPLCを用いて光分解率(%)を計算し、酸発生率とした。結果を表8に示す。尚、化合物No.6、No.10、No.12、No.13およびNo.14並びに比較化合物No.1〜No.4の光学純度は100%である。
化合物No.10および化合物No.14の(E+Z)体およびZ体について、実施例例3と同様にして酸発生率を測定した。結果を表9に示す。尚、幾何異性体比率は1H−NMRにより確認した。また、化合物No.6がZ体であることを、X線結晶構造解析により確認した。結果を下記図に示す。
Claims (10)
- 下記一般式(I)、
(式(I)中、R1は、炭素原子数4以上の直鎖、環状または分岐アルキル基であり、R2は、炭素原子数1〜18の脂肪族炭化水素基、炭素原子数6〜20のアリール基、炭素原子数7〜20のアリールアルキル基、アシル基で置換された炭素原子数7〜20のアリール基、炭素原子数3〜12の脂環式炭化水素基、10−カンファーイル基または下記一般式(II)、
(一般式(II)中、Y1は、単結合または炭素原子数1〜4のアルカンジイル基を表し、R3およびR4はそれぞれ独立に、炭素原子数2〜6のアルカンジイル基、炭素原子数2〜6のハロゲン化アルカンジイル基、炭素原子数6〜20のアリーレン基または炭素原子数6〜20のハロゲン化アリーレン基を表し、R5は、炭素原子数1〜18の直鎖または分岐鎖アルキル基、炭素原子数1〜18のハロゲン化直鎖または分岐鎖アルキル基、炭素原子数3〜12の脂環式炭化水素基、炭素原子数6〜20のアリール基、炭素原子数6〜20のハロゲン化アリール基、炭素原子数7〜20のアリールアルキル基または炭素原子数7〜20のハロゲン化アリールアルキル基を表し、a、bは、0または1を表し、a、bのどちらか一方は1である。)で表される基を表し、R2の脂肪族炭化水素基、アリール基、アリールアルキル基、脂環式炭化水素基は、置換基を有しないか、ハロゲン原子、炭素原子数1〜4のハロゲン化アルキル基、炭素原子数1〜18のアルコキシ基および炭素原子数1〜18のアルキルチオ基から選ばれる基で置換される。)で表されることを特徴とするオキシムスルホネート化合物。 - R1が炭素原子数4〜8の直鎖、環状または分岐アルキル基である請求項1記載のオキシムスルホネート化合物。
- R2が置換または無置換の炭素原子数6〜20のアリール基、置換または無置換の炭素原子数1〜8のアルキル基、または、10−カンファーイル基である請求項1または2記載のオキシムスルホネート化合物。
- 前記一般式(I)において、オキシム部位の幾何異性体比率がE:Z=10:90以上である請求項1〜3のうちいずれか一項記載のオキシムスルホネート化合物。
- 請求項1〜4のうちいずれか一項記載のオキシムスルホネート化合物からなることを特徴とする光酸発生剤。
- 請求項5記載の光酸発生剤を含有してなることを特徴とするレジスト組成物。
- i線用化学増幅型ポジ型またはネガ型レジスト組成物である請求項6記載のレジスト組成物。
- 膜厚10〜200μmのレジスト層を形成する請求項7記載のレジスト組成物。
- 請求項1〜4のうちいずれか一項記載のオキシムスルホネート化合物からなることを特徴とするカチオン重合開始剤。
- 請求項9記載のカチオン重合開始剤を含有してなることを特徴とするカチオン重合性組成物。
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