JP2016155059A - Cylindrical chemical filter case - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は窒素ガス,圧縮エアー,ドライエアーなどの供給ガスの供給路中に設置する筒形ケミカルフィルターケースであって、供給ガスの入口と出口を直列に有す筒形ケース内にケミカル物質を高度に浄化するフィルター材を充填して、該供給ガスを筒形ケース内を通すことでケミカル物質を除去して、ケミカル物質を含まないきれいな供給ガスを必要とする部署に供給するようにした供給ガスの筒形ケミカルフィルターケースに関するものである。 The present invention is a cylindrical chemical filter case installed in a supply path of supply gas such as nitrogen gas, compressed air, dry air, etc., and a chemical substance is placed in a cylindrical case having a supply gas inlet and outlet in series. Supply that is filled with filter material to be highly purified, removes chemical substances by passing the supply gas through the cylindrical case, and supplies clean supply gas that does not contain chemical substances to departments that need it The present invention relates to a gas cylindrical chemical filter case.
半導体集積回路、液晶パネル等の製造装置などは塵埃などを除去し浄化したクリーンガスを供給されるクリーンルーム内に設置されているが、通常のエアフィルターでは除去することができないケミカル物質を含むときは、露光装置,検査装置等のレンズ,ミラーにくもり現象が現れるため、ケミカル物質を除去する特殊なフィルター材を内装したケミカルフィルターケースを供給路中に設置してケミカル物質を除去している。そしてケミカルフィルターケースは溶接個所より溶接滓などの四散を完全に解消することが求められている。 When manufacturing equipment such as semiconductor integrated circuits and liquid crystal panels is installed in a clean room where dust is removed and purified gas is supplied, but it contains chemical substances that cannot be removed by ordinary air filters Since a clouding phenomenon appears in lenses and mirrors of exposure apparatuses and inspection apparatuses, a chemical filter case with a special filter material for removing chemical substances is installed in the supply path to remove the chemical substances. The chemical filter case is required to completely eliminate the spread of welding rods and the like from the welding point.
このケミカルフィルターケースとして、例えば特許文献1に記載されているように筒形ケースの入口側の前盤と出口側の後盤を開閉クランプを被せてネジ止めする構造のもの、このクランプネジ止めよりも構造を簡易に接続するものとして筒形ケースと後盤を凹凸の噛み合わせと噛み合わせ部を外側から溶接により接続し、入口側の前盤をネジ嵌付けするようにしたものがある。
As this chemical filter case, for example, as described in
しかしながら、筒形ケースと後盤を凹凸の噛み合わせにて溶接する接続は図7に示すように噛み合わせを容易にするために雄側の凸部に先細のテーパーをつけることで筒形ケースとテーパー面との間で隙間Sが生じ、この隙間Sに溶接滓,擦り滓,塵埃等が溜まり、これが四散するという課題がある。また溶接個所に溶接痕が残るときも同様に溶接滓が四散して供給ガスを汚損するという課題があった。 However, the connection for welding the cylindrical case and the rear panel by engaging the concave and convex portions is as follows. As shown in FIG. There is a problem that a gap S is formed between the taper surface, and welding flaws, rubbing flaws, dust, and the like accumulate in the gap S and are scattered all over. In addition, when welding marks remain at the welding location, there is a problem that the welding rods are scattered in a similar manner and the supply gas is fouled.
また、筒形ケースは入口より広がって流れる供給ガスを出口に寄せて流出させるために脚付の誘導部材を嵌付けているが、嵌付けを容易にするために該部材を筒形ケースより小径に形成していることから、筒形ケース内でずれ動き,搖動,震動などが生じて耳ざわりな騒音を発生しているという課題があった。 In addition, the cylindrical case is fitted with a legged guide member to allow the supply gas flowing from the inlet to flow toward the outlet and flow out, but the member has a smaller diameter than the cylindrical case to facilitate fitting. Therefore, there is a problem that the noise is audible due to slippage movement, peristalsis, vibration, etc. in the cylindrical case.
本発明は、筒形ケースと後盤を平面突合わせ形とし、この突合せ部に外広のV形カット部を設けて、これを埋める溶接とおよび内外面の溶接痕を除去する仕上げ研磨にて接続するようにして、筒形ケース内に凹凸の嵌合によって生じていた隙間の発生と溶接痕を解消し,また出口側に嵌付ける供給ガスの脚付の誘導部材を筒形ケース内に動かないように強固に固定して、該部材のずれ動き,震動等による騒音の発生を解消するようにして課題を解決する。 In the present invention, the cylindrical case and the rear panel are flat-butted, and a wide V-shaped cut portion is provided at the butted portion, and welding is performed to fill the surface and finish polishing to remove the weld traces on the inner and outer surfaces. As a result of the connection, the gaps and weld marks caused by the uneven fitting in the cylindrical case are eliminated, and the guide member with the supply gas legs fitted on the outlet side is moved into the cylindrical case. The problem is solved by fixing firmly so as to eliminate the occurrence of noise due to the displacement movement, vibration, etc. of the member.
本発明のケミカルフィルターケースは、筒形ケースの出口側と後盤を平面突合わせ形にしてV形カット部の埋め溶接と仕上げ研磨にて接続するようにしたので、大小径いずれの筒形ケースも後盤との間の接続部分に隙間が生ずることと溶接痕が一切なくなり、隙間と溶接痕の存在によって生じていた溶接滓,擦り傷,塵埃等の四散を完全になくすことができるという効果を生ずる。 In the chemical filter case of the present invention, since the outlet side of the cylindrical case and the rear panel are flat-butted and connected by filling welding and finish polishing of the V-shaped cut portion, the cylindrical case of either large or small diameter There is also an effect that a gap is generated in the connection part between the rear panel and the weld trace is completely eliminated, and the four spots such as welding flaws, scratches and dust caused by the presence of the gap and the weld trace can be completely eliminated. Arise.
脚付の誘導部材を筒形ケース内に動かないように強固に固定するので、誘導部材のずれ動き,震動などによって生じていた耳ざわりな騒音を解消するという効果を生ずる。 Since the guide member with legs is firmly fixed so as not to move in the cylindrical case, there is an effect of eliminating the unpleasant noise generated by the displacement movement, vibration, etc. of the guide member.
1は筒形ケース
2は後盤
2aは円盤
2bは供給ガスの出口孔
2cは筒部
2dは短環
3は前盤
3aは円盤
3bは供給ガスの入口孔
3cは筒部
3dは供給ガスの拡散部材
4はV形カット部
5aはボルト
5bはナット
6は脚付の誘導部材
6aは主板
6bは脚
6cは誘導孔
7はクリーンルーム
8は供給ガスを供給する装置
Sは隙間
Wは溶接部
W1,W2は平滑面
Fはフィルター材
Yは誘導空間
Kは供給ガス
1 is a
本発明は、筒形ケースの出口側端と後盤間を隙間が生じない平面突合わせ形にしてそこに形成する外広のV形カット部の埋め溶接と溶接痕を取除く仕上げ研磨とにて接続して、筒形ケースの内面に従来生じていた隙間Sと溶接痕を解消し、溶接滓等の隙間溜まりと溶接痕への付着四散を完全に生じないようにする。
また、脚付の誘導部材は筒形ケースに当て嵌まる大きさの平面視四角形にして且つ縦横いずれかの一辺を僅かに長くするとともに四周等に設ける嵌付け脚の1本に外開き傾斜を附して形成して、該外開き傾斜脚側を前傾して筒形ケース内に嵌付け、終盤の押し均しにより誘導部材を筒形ケースの内壁に強く押し当て付けして固定して動かないようにしてずれ動き,震動等による騒音を一切生じないようにする。
In the present invention, the outer side V-shaped cut portion formed in a flat-butt-butted shape in which no gap is generated between the outlet side end of the cylindrical case and the rear panel, and finish polishing to remove the welding traces are formed. The gap S and the welding traces that have conventionally occurred on the inner surface of the cylindrical case are eliminated, and the gap accumulation such as the welding rod and the adhesion spread to the welding traces are not generated completely.
In addition, the guide member with the leg is a quadrangle in plan view that is large enough to fit the cylindrical case, and one of the vertical and horizontal sides is slightly elongated, and one of the fitting legs provided on the four circumferences is provided with an outward opening inclination. The outer opening slanted leg is tilted forward and fitted into the cylindrical case, and the guide member is firmly pressed against the inner wall of the cylindrical case by pushing the end plate and fixed to move. Make sure there is no noise caused by misalignment or vibration.
図1に示すように、ステンレス鋼にて入口と出口を直列の両端に有す筒形ケース1と出口側に接続する後盤2と入口側に接続する前盤3を個別に形成する。
後盤2は筒形ケース1の径より大きい円盤2aの中心に供給ガスの出口孔2bを設けた小筒部2cを外側に向けて設け、円盤2aの内側に筒形ケース1に平面突合せする同径の短環2dを設けている。筒形ケース1と短環2dは同径によって突合わされ、図2に示すように外周に大きく深いV形カット部4を設けて、V形カット部4を埋める溶接Wをして両者を接続し、内外面の溶接痕を仕上げ研磨にて削り落として平滑面W1、W2にする。
As shown in FIG. 1, a
The
前盤3は図1から明らかなように円盤3aの中心に供給ガスKの入口孔3bを設けた筒部3cを外側に突出し、円盤3aと筒形ケース1端のフランジ1aとの間で取外し自在においてボルト5a・ナット5b止め取付けする。3dは供給ガスKを筒体ケース1内に拡散させるカップ形をした多孔の拡散部材であって、円盤3aの内面中心に溶接する。
As apparent from FIG. 1, the
図3は同質製の脚付の誘導部材6を示し、筒形ケース1に当て嵌まる大きさの角取り四角形をして且つ縦横いずれかの一辺を1mm以下にて僅かに長くした主板6aと、その四周に4本の嵌付け脚6bを設け、僅かに長くした側の嵌付け脚の1本を外側に開き傾斜させて対面する脚を内側に閉じ傾斜させて形成している。なお主板6aは誘導孔6cを多数設けている。
FIG. 3 shows a homogeneous guiding
脚付の誘導部材6は図4(a)乃至(d)に示すように、前盤3をボルト5a止めする前、即ち筒形ケース1の入口を開放した状態下において外側に開き傾斜した嵌付け脚6b側を前傾させて且つ他側の嵌付け脚6bを内側に弾性曲げして筒形ケース1内に入口側から嵌め入れるのである。傾斜させることによって嵌入することができる嵌入れの最終段階で図4(c)に示すように先行の嵌付け脚6bが後盤2に当接した時点で主板6aの後端側を押棒などにて押して図4(d)に示すように主板6aを斜め状態から平らに押し均しする。その過程で主板6aの長尺側は筒形ケース1の内壁に強よく押し当たり固定することとなる。主板6aの強よい押し当たりにて脚付の誘導部材6は筒形ケース1を倒すなどして動かしても一切動かないものとなる。弾性曲げしていた後側の嵌付け脚6bは元形に復帰する。
As shown in FIGS. 4 (a) to 4 (d), the
次いで筒形ケース1内に入口側から図5に示す特殊な繊維からなる高精度のケミカルフィルター材Fを誘導部材6に接面するまで充填する。出口前には供給ガスKの誘導空間Yが形成される。充填後に前盤3をボルト5a・ナット5b止めして筒形ケース1を閉じ、図6に示すように入口側の短筒3cを例えばクリーンルーム7内の窒素ガス,圧縮エアーなどの供給路に接続し、出口側の筒部2cをクリーンガスを必要とする露光装置,検査装置8などに供給する供給路に接続するのである。
Next, the
筒形ケース1内に入る供給ガスKは拡散部材3dによって筒形ケース1内に広く広がって流れ、誘導部材6によって誘導空間Y内に寄せられて出口より流出することとなる。
このようにして供給される供給ガスKはフィルター材Fによって窒素ガスまたは圧縮エアー,ドライエアーなどの供給ガスKに混在する塩化水素,硫化水素,SOx,NOx,フッ素等の酸性物質,アンモニア,アミン等のアルカリ物質,ボロン,リン等のドーパント物質,DPOなどのシロキサンフタレート類,BHT,HMDS,TMS等の有機物質などのケミカル汚染物質を吸着し、分子汚染物を精度高く除去するので、露光装置・検査装置などのレンズ・ミラーのくもりの防止、露光装置内の循環部内の汚染防止,基盤表面の薄膜密着不良等を防止して、製造歩留り・製品の品質の向上,光学部品・フォトマスク等の汚染防止に効果を奏すこととなる。
The supply gas K entering the
The supply gas K supplied in this way is an acidic substance such as hydrogen chloride, hydrogen sulfide, SOx, NOx, fluorine, ammonia, amine, etc. mixed in the supply gas K such as nitrogen gas or compressed air or dry air by the filter material F It adsorbs chemical contaminants such as alkaline substances such as boron, dopant substances such as boron, siloxane phthalates such as DPO, and organic substances such as BHT, HMDS, and TMS, and removes molecular contaminants with high accuracy.・ Prevents fogging of lenses and mirrors in inspection equipment, etc., prevents contamination in the circulation part of the exposure equipment, and prevents thin film adhesion on the substrate surface to improve manufacturing yield, product quality, optical parts, photomasks, etc. It will be effective in preventing pollution.
本発明の筒形ケミカルフィルターケースは後盤との間の接続部分の内側に生じていた隙間をなくしたので溶接滓等の溜まりがなく、さらに仕上げ研磨にて溶接痕も削り取って平滑にするので溶接痕より溶接滓等の四散も防止されることになる。特にケミカルフィルター材によってケミカル物質を含まない高精度に清浄された供給ガスにして各種装置に供給することができることとなる。また脚付の誘導部材は筒形ケース内に強く押し当たり固定することで、ずれ動き,搖動,震動などが全く生じないので耳ざわりな騒音の発生を解消することとなる。 Since the cylindrical chemical filter case of the present invention eliminates the gap generated inside the connection part between the rear panel, there is no accumulation of welding rods, etc. It is possible to prevent the welding rods from being scattered from the welding marks. In particular, the supply gas can be supplied to various apparatuses by using a chemical filter material as a supply gas which is purified with high accuracy and does not contain a chemical substance. In addition, the guiding member with legs is strongly pressed against and fixed in the cylindrical case, so that no shifting movement, peristalsis, vibration, etc. occur at all, so that generation of an unpleasant noise is eliminated.
本発明の筒形ケミカルフィルターケースは、ケミカル物質を高精度に除去した供給ガスを必要とする各種の製造装置等に設備負担なく供給し得ることで広く利用されるものである。 The cylindrical chemical filter case of the present invention is widely used because it can be supplied to various manufacturing apparatuses and the like that require a supply gas from which a chemical substance has been removed with high precision without any equipment burden.
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55107220U (en) * | 1979-01-19 | 1980-07-26 | ||
JPS5910829U (en) * | 1982-07-14 | 1984-01-23 | 株式会社土屋製作所 | carbon canister |
JP2002011575A (en) * | 2000-06-30 | 2002-01-15 | Kawasaki Steel Corp | Welding method for steel pipe |
JP2003521365A (en) * | 1999-06-10 | 2003-07-15 | サエス ピュア ガス インク | Integrated heating getter purifier system |
JP2007503992A (en) * | 2003-09-02 | 2007-03-01 | インテグリス・インコーポレーテッド | Reaction gas filter |
US20070157658A1 (en) * | 2006-01-12 | 2007-07-12 | Kiblawi Daniel F | Desiccant cartridge |
JP2014034062A (en) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Alstom Technology Ltd | Conduit welding method, and conduit welding system |
-
2015
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55107220U (en) * | 1979-01-19 | 1980-07-26 | ||
JPS5910829U (en) * | 1982-07-14 | 1984-01-23 | 株式会社土屋製作所 | carbon canister |
JP2003521365A (en) * | 1999-06-10 | 2003-07-15 | サエス ピュア ガス インク | Integrated heating getter purifier system |
JP2002011575A (en) * | 2000-06-30 | 2002-01-15 | Kawasaki Steel Corp | Welding method for steel pipe |
JP2007503992A (en) * | 2003-09-02 | 2007-03-01 | インテグリス・インコーポレーテッド | Reaction gas filter |
US20070157658A1 (en) * | 2006-01-12 | 2007-07-12 | Kiblawi Daniel F | Desiccant cartridge |
JP2014034062A (en) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Alstom Technology Ltd | Conduit welding method, and conduit welding system |
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