JP2016143674A - 試料保持具 - Google Patents
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Abstract
Description
下面に沿って屈曲している。つまり、第1支持部材5の上面のうち外周側の領域は、中心側の領域よりも下側に位置している。第1支持部材5は、例えば、ステンレスまたはニッケル合金等の金属材料から成る。
により、第1支持部材5を撓ませやすくすることができるので、支持ピン2を安定して押さえることができる。
1:基体
11:試料保持面
2:支持ピン
21:凸部
22:第1部分
23:第2部分
3:発熱抵抗体
12:凹部
31:給電部
32:導通端子
4:筺体
5:第1支持部材
6:第2支持部材
Claims (7)
- セラミックスから成り上面に複数の凹部が設けられた試料保持面を有する基体と、前記凹部の底面に配置されており上面の中央に凸部を有する支持ピンと、該支持ピンの上面のうち前記凸部の周りの領域に下面を接して前記凸部を囲むように設けられた第1支持部材と、前記凹部の壁面に保持されて前記第1支持部材を押さえる第2支持部材とを備えたことを特徴とする試料保持具。
- 前記第1支持部材が前記凸部の全周を囲んでいることを特徴とする請求項1に記載の試料保持具。
- 前記支持ピンが、下面の周辺部で前記凹部の底面に接していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の試料保持具。
- 前記第1支持部材は、下面が前記支持ピン側よりも周辺部で低くなる段差を有しており、該段差の側面が前記支持ピンの側面に接していることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の試料保持具。
- 前記第1支持部材は、上面が前記支持ピン側よりも周辺部で低くなっていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の試料保持具。
- 前記第1支持部材は、前記支持ピンよりもヤング率が小さい材料から成ることを特徴とする請求項1乃至請求項5に記載の試料保持具。
- 前記第1支持部材と前記第2支持部材とが同じ材料から成ることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の試料保持具。
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JP2015015739A JP6396818B2 (ja) | 2015-01-29 | 2015-01-29 | 試料保持具 |
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH082464Y2 (ja) * | 1989-04-18 | 1996-01-29 | 臼井国際産業株式会社 | フユーエルデリバリパイプ |
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JP2013171979A (ja) * | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Kelk Ltd | 加熱装置 |
-
2015
- 2015-01-29 JP JP2015015739A patent/JP6396818B2/ja active Active
Patent Citations (6)
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JP6396818B2 (ja) | 2018-09-26 |
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