JP2016143482A

JP2016143482A - Ionizer, mass spectroscope having the same and image creation system

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Publication number: JP2016143482A
Application number: JP2015016662A
Authority: JP
Inventors: 正文教學; Masabumi Kyogaku; 大塚　洋一; Yoichi Otsuka; 洋一大塚
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2015-01-30
Filing date: 2015-01-30
Publication date: 2016-08-08

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ionizer capable of separating the components in different micro regions on a solid sample surface without turbidity, in the atmosphere, and to provide a mass spectroscope and an image formation system using the ionizer.SOLUTION: An ionizer has a holding base for holding a sample, a probe for determining a part to be ionized of the sample held on the holding base, an extraction electrode for extracting the ionized sample, liquid supply means for supplying liquid to a partial region of the sample, means for applying a first voltage between the probe and the extraction electrode, and means for applying a second voltage between the probe and the holding base, and performs pulse modulation of the second voltage.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、固体試料のイオン化装置、並びにそれを有する質量分析装置及び画像システムに関する。 The present invention relates to an ionization apparatus for a solid sample, and a mass spectrometer and an image system having the ionization apparatus.

固体試料の表面の成分分析のために固体を大気圧環境下でイオン化させる技術がある。 There is a technique for ionizing a solid under an atmospheric pressure environment for component analysis of the surface of the solid sample.

非特許文献１では、固体試料表面の微小領域に微量体積の溶媒を提供し、試料の成分を溶媒に溶解させた後で、エレクトロスプレーイオン化法により成分をイオン化する方法が提案されている。発生したイオンを質量分析装置に導入し、イオンの質量電荷比を計測し、成分の分析を行うことができる。固体試料表面の微小領域に溶媒を付与するために、プローブが用いられている。プローブには連続的に溶媒が導入され、プローブが固体試料表面と近接した状態で、両者の間に液架橋が形成され、液架橋に固体試料表面の成分が溶解する。成分が溶解した溶液は印可された電圧によってイオン化される。プローブが固体試料表面と近接し続けている状態でイオン化を行う方法をＣｏｎｔａｃｔ−ｍｏｄｅＳｃａｎｎｉｎｇＰｒｏｂｅＥｌｅｃｔｒｏｓｐｒａｙＩｏｎｉｚａｔｉｏｎ（Ｃｏｎｔａｃｔ−ｍｏｄｅＳＰＥＳＩ）、プローブが振動し、固体試料表面に間欠的に溶媒が付与される状態でイオン化を行う方法をＴａｐｐｉｎｇ−ｍｏｄｅＳｃａｎｎｉｎｇＰｒｏｂｅＥｌｅｃｔｒｏｓｐｒａｙＩｏｎｉｚａｔｉｏｎ（Ｔａｐｐｉｎｇ−ｍｏｄｅＳＰＥＳＩ）と名付けている。 Non-Patent Document 1 proposes a method of ionizing components by electrospray ionization after providing a small volume of solvent in a minute region on the surface of a solid sample, dissolving the components of the sample in the solvent. The generated ions can be introduced into a mass spectrometer, the mass-to-charge ratio of ions can be measured, and components can be analyzed. A probe is used to apply a solvent to a minute region on the surface of a solid sample. A solvent is continuously introduced into the probe, and in the state where the probe is close to the surface of the solid sample, a liquid bridge is formed between them, and the components on the surface of the solid sample are dissolved in the liquid bridge. The solution in which the components are dissolved is ionized by the applied voltage. Contact-mode scanning probe ionization (Contact-mode SPESI) is a method of performing ionization while the probe is kept close to the surface of the solid sample, and the solvent is intermittently applied to the surface of the solid sample. The method of performing ionization in the process is named Tapping-mode Scanning Probe Electrospray Ionization (Tapping-mode SPESI).

ＹｏｉｃｈｉＯｔｓｕｋａｅｔａｌ．， “Ｓｃａｎｎｉｎｇｐｒｏｂｅｅｌｅｃｔｒｏｓｐｒａｙｉｏｎｉｚａｔｉｏｎｆｏｒａｍｂｉｅｎｔｍａｓｓｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ”ＲａｐｉｄＣｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓｉｎｍａｓｓｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ，２６，２７２５（２０１２）Yoichi Otsuka et al. , “Scanning probe electrospray ionization for ambient mass spectrometry”, Rapid Communications in mass spectrometry, 26, 2725 (2012)

非特許文献１では、プローブが振動することによって、プローブと試料表面が間欠的に接触し、間欠的に液架橋が形成される。従って、液架橋の形成時間とイオン化の時間は、プローブの振動数等の振動条件によって規定されるので、自由に設定することができない。そのため、プローブの振動や溶液の流量等の条件によっては、試料表面上を走査して成分を連続的に計測する場合に、試料表面上のある測定点で液架橋に溶解した試料成分が、次の測定点で形成された液架橋中にも残留し、両測定点での溶解成分を正しく分離して分析できなくなる場合がある、という問題があった。 In Non-Patent Document 1, when the probe vibrates, the probe and the sample surface are intermittently contacted, and liquid bridges are intermittently formed. Therefore, the liquid bridge formation time and the ionization time are determined by vibration conditions such as the frequency of the probe and cannot be freely set. Therefore, depending on conditions such as probe vibration and solution flow rate, when components are continuously measured by scanning the sample surface, the sample components dissolved in the liquid bridge at a certain measurement point on the sample surface may be There is a problem in that it remains in the liquid bridge formed at the measurement points, and the dissolved components at both measurement points cannot be correctly separated and analyzed.

本発明は上記問題を解決するためになされたものであり、本発明のイオン化装置は、
試料を保持する保持台、
前記保持台に保持されている前記試料のイオン化する部分を決めるためのプローブ、
前記試料のイオン化したイオンを引き出す引出電極、
前記試料の一部領域に液体を供給する液供給手段、
前記プローブの前記液架橋部に接している部分と前記引出電極との間に第一の電圧を印加する手段、及び、
前記プローブと前記保持台との間に第二の電圧を印加する手段、
を有し、
前記第二の電圧をパルス変調することを特徴とする。 The present invention has been made to solve the above problems, and the ionization apparatus of the present invention provides:
A holding table for holding the sample,
A probe for determining an ionized portion of the sample held on the holding table;
An extraction electrode for extracting ionized ions of the sample;
A liquid supply means for supplying a liquid to a partial region of the sample;
Means for applying a first voltage between a portion of the probe in contact with the liquid bridging portion and the extraction electrode; and
Means for applying a second voltage between the probe and the holder;
Have
The second voltage is pulse-modulated.

本発明により、大気中で、固体試料面上の異なった微小領域の成分を混濁することなく分離してイオン化する装置、そのイオン化する装置を使用した、質量を分析する装置、及び、成分分布を画像化する装置を提供することができる。 According to the present invention, a device for separating and ionizing components in different micro-regions on a solid sample surface in the atmosphere without turbidity, a device for analyzing mass using the ionizing device, and a component distribution An apparatus for imaging can be provided.

第一及び第二の実施形態に係るイオン化装置を有する画像作成システムを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the image creation system which has the ionization apparatus which concerns on 1st and 2nd embodiment. 第一の実施形態に係る電圧印加タイミングを示す図である。It is a figure which shows the voltage application timing which concerns on 1st embodiment. 第三の実施形態に係るイオン化装置を有する画像作成システムを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the image creation system which has an ionization apparatus which concerns on 3rd embodiment. 第四の実施形態に係るイオン化装置を有する画像作成システムを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the image creation system which has an ionization apparatus which concerns on 4th embodiment. 第四の実施形態に係る電圧印加とトリガー発生のタイミングを示す図である。It is a figure which shows the timing of the voltage application and trigger generation which concern on 4th embodiment. 第五の実施形態に係るイオン化装置を有する画像作成システムを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the image creation system which has an ionization apparatus which concerns on 5th embodiment.

（第一の実施形態）
本発明の第一の実施形態に係るイオン化装置は、試料に溶媒を供給する液供給手段と、液架橋を試料との間で形成するプローブと、イオンを引き出す引出電極と、プローブと引出電極との間に電圧を印加する手段と、が配置されている装置である。 (First embodiment)
An ionization apparatus according to a first embodiment of the present invention includes a liquid supply unit that supplies a solvent to a sample, a probe that forms a liquid bridge between the sample, an extraction electrode that extracts ions, a probe and an extraction electrode, Between which the means for applying a voltage is arranged.

図１は本発明の第一の実施形態及び後述する第二の実施形態に係るイオン化装置を有する画像作成システムを示す模式図である。 FIG. 1 is a schematic diagram showing an image creation system having an ionization apparatus according to a first embodiment of the present invention and a second embodiment to be described later.

試料２は保持台１に載置され保持される。試料２は本実施形態では生体組織の切片（細胞群）等である。保持台１は、導電性の材質で構成される。試料２は更に平坦な基板上に配置されても良い。このとき、基板は、試料２の導電性に応じて、適宜、導電性或いは絶縁性の材質から選ばれる。試料２が導電性である場合には絶縁性の基板を選択することが好ましいが、必ずしも絶縁性で無くても良い。 The sample 2 is placed and held on the holding table 1. In this embodiment, the sample 2 is a section (cell group) of biological tissue. The holding table 1 is made of a conductive material. The sample 2 may be further arranged on a flat substrate. At this time, the substrate is appropriately selected from conductive or insulating materials according to the conductivity of the sample 2. When the sample 2 is conductive, it is preferable to select an insulating substrate, but it is not always necessary to be insulating.

プローブ３は針状でその端部が試料２に接触あるいは図示するように極めて近い位置に配置されている。プローブ３はその配置によって試料２のイオン化する部分を決める。プローブ３はその内側に流路を有し、例えば筒状である。プローブ３の端部には開口がある。プローブ３は、開口から溶媒が連続的に流れ出すことにより、試料２の表面上に溶媒を供給する。溶媒は液供給手段４から接続用配管５、及び導電性配管６を介してプローブ３へ連続して供給される。 The probe 3 has a needle shape and its end is in contact with the sample 2 or arranged at a very close position as shown. The probe 3 determines the ionized portion of the sample 2 according to its arrangement. The probe 3 has a flow path inside thereof, and has a cylindrical shape, for example. There is an opening at the end of the probe 3. The probe 3 supplies the solvent onto the surface of the sample 2 by continuously flowing out the solvent from the opening. The solvent is continuously supplied from the liquid supply means 4 to the probe 3 through the connection pipe 5 and the conductive pipe 6.

溶媒は試料２に含まれる物質を溶質として溶解できる液体であり、溶質が溶解した溶媒を以下「溶液」と呼ぶ。溶媒は、水と有機溶媒の混合物であるとよく、酸および塩基の少なくともいずれかが更に混合されているとよいが、水あるいは有機溶媒のみでも良い。溶媒であるこの混合物が試料２に触れることで、試料２に含まれる溶媒に溶解しやすい物質（脂質と糖類と平均分子量が２０以上１億未満の分子の少なくともいずれか）が容易に溶解し、溶媒である液体が溶液へ変化する。 The solvent is a liquid that can dissolve the substance contained in the sample 2 as a solute, and the solvent in which the solute is dissolved is hereinafter referred to as a “solution”. The solvent may be a mixture of water and an organic solvent, and may be further mixed with at least one of an acid and a base, but may be water or an organic solvent alone. When this mixture, which is a solvent, touches sample 2, a substance that is easily dissolved in the solvent contained in sample 2 (at least one of lipids, sugars, and molecules having an average molecular weight of 20 to less than 100 million) is easily dissolved. The liquid that is the solvent changes into a solution.

ここで溶解とは、溶媒中に分子、原子、微小な粒子が分散している状態のことを指す。溶解しやすい物質の例として、細胞膜を構成する脂質分子や、細胞内に含まれる糖や浮遊するタンパク質があげられる。 Here, dissolution refers to a state in which molecules, atoms, and fine particles are dispersed in a solvent. Examples of substances that are easily dissolved include lipid molecules constituting cell membranes, sugars contained in cells, and floating proteins.

プローブ３から供給される溶媒は、プローブ３の端部と試料２との間で液架橋７を形成する。液架橋７とは、大気圧環境下で形成される、プローブ３と試料２とを架橋する状態の液体のことであり、表面張力等によって架橋した状態を保っている。液架橋７が形成されると、液体内に試料２の表面の物質が溶解される。液架橋７の、試料２の接触面積はおよそ１×１０^−８ｍ^２程度である。すなわち液架橋７は試料２の面内の極めて狭い一部領域に配置される。 The solvent supplied from the probe 3 forms a liquid bridge 7 between the end of the probe 3 and the sample 2. The liquid bridge 7 is a liquid in a state where the probe 3 and the sample 2 are cross-linked formed under an atmospheric pressure environment, and is kept in a cross-linked state by surface tension or the like. When the liquid bridge 7 is formed, the substance on the surface of the sample 2 is dissolved in the liquid. The contact area of the liquid bridge 7 with the sample 2 is about 1 × 10 ⁻⁸ m ² . That is, the liquid bridge 7 is disposed in a very narrow partial area in the plane of the sample 2.

プローブ３のサイズ、材質、流路サイズ、溶媒の流量は、例えば、以下のように選択する。
プローブの長さ：１０マイクロメートル〜１００ミリメートル
プローブの径：外径１マイクロメートル〜５ミリメートル
材質：ガラス、ステンレス、シリコン、ＰＭＭＡ
流路サイズ：流路断面積１平方マイクロメートル〜１平方ミリメートル
溶媒の流量：毎分１ナノリットル〜毎分１００マイクロリットル The size, material, flow path size, and solvent flow rate of the probe 3 are selected as follows, for example.
Probe length: 10 micrometers to 100 millimeters Probe diameter: Outer diameter of 1 micrometers to 5 millimeters Material: Glass, stainless steel, silicon, PMMA
Channel size: Channel cross-sectional area 1 square micrometer to 1 square millimeter Solvent flow rate: 1 nanoliter per minute to 100 microliter per minute

プローブ３、或いは、導電性配管６と、引出電極１０には、第一の電圧印加手段１０１が接続されており、第一の電圧が印加される。プローブ３の先端と引出電極１０との距離は、１０ｍｍ以下である。 A first voltage application unit 101 is connected to the probe 3 or the conductive pipe 6 and the extraction electrode 10, and a first voltage is applied. The distance between the tip of the probe 3 and the extraction electrode 10 is 10 mm or less.

更に、プローブ３、或いはプローブ３に導入される溶媒と保持台１との間に電圧を印加するために、第二の電圧印加手段１０２が接続されている。 Further, a second voltage applying means 102 is connected to apply a voltage between the probe 3 or a solvent introduced into the probe 3 and the holding table 1.

プローブ３は導体、或いは絶縁性の材質で形成されるが、プローブが導体の場合、第一の電圧印加手段１０１、或いは第二の電圧印加手段１０２はプローブ３に直接接続することができる。一方、溶媒に導電性があれば、絶縁性のプローブを用いてもよいが、液供給手段４からプローブ３までの間の流路のいずれかの箇所に導体の部材を設けて、これに電圧を印加する必要がある。ここでは、導電性配管６を設け、第一の電圧印加手段１０１は導電性配管６に接続される。第一の電圧印加手段１０１から供給された電圧は、導電性の溶媒を通して、プローブ３、及びプローブ先端から流れ出す溶媒にも印加される。この場合でも、以下ではプローブに電圧を印加すると表現することがある。 The probe 3 is formed of a conductor or an insulating material. However, when the probe is a conductor, the first voltage applying unit 101 or the second voltage applying unit 102 can be directly connected to the probe 3. On the other hand, if the solvent is conductive, an insulating probe may be used. However, a conductor member is provided in any part of the flow path from the liquid supply means 4 to the probe 3 to provide a voltage. Must be applied. Here, the conductive pipe 6 is provided, and the first voltage application unit 101 is connected to the conductive pipe 6. The voltage supplied from the first voltage application unit 101 is also applied to the probe 3 and the solvent flowing out from the probe tip through the conductive solvent. Even in this case, in the following, it may be expressed that a voltage is applied to the probe.

また、試料２の導電性が低く、保持台１として良導体が選択されている場合は、保持台１をプローブ３、或いは導電性配管６に電気的に接続して、同電位となるようにしても良い。 Further, when the conductivity of the sample 2 is low and a good conductor is selected as the holding table 1, the holding table 1 is electrically connected to the probe 3 or the conductive pipe 6 so as to have the same potential. Also good.

引出電極１０は導電部材を有する構造体であり、例えば平板状、あるいは筒状である。第一の電圧印加手段１０１によって、第一の電圧が印加されると、プローブ３の高いアスペクト比を持つ構造ゆえにプローブ３の先端部には電界集中による高電界が形成されて、液体の一部はテイラーコーン８を形成する。引出電極１０は、テイラーコーン８先端部から放出される帯電液滴９、或いはイオンを引き出すためのものである。 The extraction electrode 10 is a structure having a conductive member, and has, for example, a flat plate shape or a cylindrical shape. When the first voltage is applied by the first voltage application means 101, a high electric field due to electric field concentration is formed at the tip of the probe 3 due to the structure of the probe 3 having a high aspect ratio, and a part of the liquid Forms the Taylor cone 8. The extraction electrode 10 is for extracting charged droplets 9 or ions discharged from the tip of the Taylor cone 8.

テイラーコーン８は、引出電極１０に向かって錐状に伸びた形状をしている。テイラーコーン８の先端において、帯電した液体が引きちぎられ、過剰に帯電した帯電液滴９となる。帯電液滴９は、クーロン力によって引出電極１０に向かってスプレーされる。なお、テイラーコーン８が形成されること、帯電液滴９がスプレーされること、イオン化することの一連を総称して以降ではエレクトロスプレーイオン化と呼ぶ。 The Taylor cone 8 has a shape extending in a conical shape toward the extraction electrode 10. At the tip of the Taylor cone 8, the charged liquid is torn off and becomes an excessively charged charged droplet 9. The charged droplet 9 is sprayed toward the extraction electrode 10 by Coulomb force. The series of the formation of the Taylor cone 8, the spraying of the charged droplets 9 and the ionization will be collectively referred to as electrospray ionization hereinafter.

第一の電圧は、プローブ３の先端部で液体がテイラーコーン８を生じるのに十分な高電界を発生させることのできる電圧に設定される。第一の電圧は、通常１ｋＶ以上１０ｋＶ以下、より好ましくは３ｋＶ以上５ｋＶ以下の高電圧である。ただし、プローブ３と引出電極１０の間の距離が小さいほど、テイラーコーン８を生じる電界強度を得るために必要な電圧は低下する。この場合、第一の電圧として、１ｋＶ未満の電圧でも良い。 The first voltage is set to a voltage that can generate a high electric field sufficient for the liquid to generate the Taylor cone 8 at the tip of the probe 3. The first voltage is usually a high voltage of 1 kV to 10 kV, more preferably 3 kV to 5 kV. However, the smaller the distance between the probe 3 and the extraction electrode 10, the lower the voltage required to obtain the electric field strength that generates the Taylor cone 8. In this case, the first voltage may be a voltage lower than 1 kV.

第一の電圧の極性は目的のイオンの電荷の正負によって切り替えられる。正電荷のイオンを検出する時は、相対的に引出電極１０を低電位に設定する。負電荷のイオンを検出する時は、相対的に引出電極１０を高電位に設定する。基準電位は任意に設定することができ、引出電極１０が接地されていても良く、プローブ３が接地されていても良い。ただし、引出電極１０と測定系のグランドとの間の静電容量が大きいので、引出電極１０がグランド電位に対して一定である方が、後述するパルス電圧印加時の電圧応答性の観点で好ましい。 The polarity of the first voltage is switched depending on whether the charge of the target ion is positive or negative. When detecting positively charged ions, the extraction electrode 10 is relatively set to a low potential. When detecting negatively charged ions, the extraction electrode 10 is relatively set to a high potential. The reference potential can be set arbitrarily, and the extraction electrode 10 may be grounded or the probe 3 may be grounded. However, since the electrostatic capacitance between the extraction electrode 10 and the ground of the measurement system is large, it is preferable that the extraction electrode 10 is constant with respect to the ground potential from the viewpoint of voltage response at the time of applying a pulse voltage described later. .

液架橋７を形成した溶媒は、試料２に含まれる物質を溶解した溶液となり、一部はプローブ３の先端部を移動して、テイラーコーン８を形成する。即ち、テイラーコーン８を形成する液体は、試料２に含まれる物質が溶解した溶液を含む。以上のように、本発明のイオン化装置では、液架橋の形成と物質のイオン化が同一のプローブで行われる。 The solvent in which the liquid bridge 7 is formed becomes a solution in which the substance contained in the sample 2 is dissolved, and a part thereof moves the tip of the probe 3 to form the Taylor cone 8. That is, the liquid forming the Taylor cone 8 includes a solution in which the substance included in the sample 2 is dissolved. As described above, in the ionization apparatus of the present invention, liquid bridge formation and substance ionization are performed with the same probe.

引出電極１０には開口が設けられており、更に導入路１１を介して質量分析部２００が接続されている。導入路１１は例えば細い筒状である。質量分析部２００、及び導入路１１には不図示のポンプが接続されており、外部環境に対して陰圧になっている。そのため、イオンは液滴あるいは気相のいずれの状態であっても、イオンを取り巻く雰囲気の気体分子と共に引出電極１０に引き寄せられ、引出電極１０を通過する。そして質量分析部２００においては、イオンは気相の状態で飛行する。帯電液滴９に含まれる物質は質量分析部２００においてイオン化した状態で導入される。質量分析部２００はイオンの質量電荷比を計測する。なお、引出電極１０は、導入路１１、或いは質量分析部２００を真空保持する筐体部と一体の構成であってもよい。 An opening is provided in the extraction electrode 10, and a mass spectrometer 200 is further connected via the introduction path 11. The introduction path 11 has a thin cylindrical shape, for example. A pump (not shown) is connected to the mass analysis unit 200 and the introduction path 11 and is under a negative pressure with respect to the external environment. Therefore, the ions are attracted to the extraction electrode 10 together with the gas molecules in the atmosphere surrounding the ions and pass through the extraction electrode 10 regardless of whether the ions are in a droplet state or a gas phase. In the mass spectrometer 200, ions fly in a gas phase. The substance contained in the charged droplet 9 is introduced in an ionized state in the mass analyzer 200. The mass analyzer 200 measures the mass-to-charge ratio of ions. In addition, the extraction electrode 10 may be configured to be integrated with the introduction path 11 or the casing unit that holds the mass analysis unit 200 in a vacuum.

本発明においては、第一の電圧が印加された状態で、同時に、プローブ３と保持台１の間に第二の電圧が印加される。図２に第一の電圧及び第二の電圧の印加の様子を示す。図２（ａ）に示すように、ここでは、第一の電圧はＤＣ電圧である。なお、第一の電圧がパルス電圧であっても良い。一方、第二の電圧は、パルス変調され、間欠的に印加される。ここでは、パルス変調とは、低電位の状態に対して高電位の状態を間欠的に形成し、パルス状の電圧を繰返し形成することを意味する。パルスの時間Ｔ１とパルス間間隔Ｔ２は任意に設定することができる。通常、パルスは一定のパルス間間隔、即ち一定の周波数で印加することが好ましいが、Ｔ１とＴ２が順次変化するように設定しても良い。 In the present invention, the second voltage is simultaneously applied between the probe 3 and the holding table 1 while the first voltage is applied. FIG. 2 shows how the first voltage and the second voltage are applied. As shown in FIG. 2A, here, the first voltage is a DC voltage. The first voltage may be a pulse voltage. On the other hand, the second voltage is pulse-modulated and applied intermittently. Here, the pulse modulation means that a high potential state is intermittently formed with respect to a low potential state, and a pulsed voltage is repeatedly formed. The pulse time T1 and the pulse interval T2 can be arbitrarily set. Normally, it is preferable to apply pulses at a constant pulse interval, that is, at a constant frequency, but T1 and T2 may be set to change sequentially.

プローブ３の先端に供給された溶媒、或いは、試料２を溶解した溶液が、プローブ３の先端と試料２の表面との間に液架橋７を作り試料表面に流れるか、或いは、プローブ３の先端にテイラーコーン８を形成し引出電極１０に向かってエレクトロスプレーとして飛翔するかは、プローブ３の先端にかかる電界強度のバランスによって決まる。言い換えれば、プローブ３の先端の引出電極１０側の電界と、プローブ３の先端の試料２の表面側の電界との電界強度の大小関係によって決定される。プローブ３の先端の引出電極１０側の電界が相対的に強ければ、テイラーコーン８を形成し、プローブ３の先端の試料２の表面側の電界が相対的に強ければ液架橋７を形成する。 The solvent supplied to the tip of the probe 3 or the solution in which the sample 2 is dissolved flows into the sample surface by forming a liquid bridge 7 between the tip of the probe 3 and the surface of the sample 2, or the tip of the probe 3. Whether the Taylor cone 8 is formed and then flies as an electrospray toward the extraction electrode 10 is determined by the balance of the electric field strength applied to the tip of the probe 3. In other words, it is determined by the magnitude relationship of the electric field strength between the electric field on the extraction electrode 10 side at the tip of the probe 3 and the electric field on the surface side of the sample 2 at the tip of the probe 3. If the electric field on the lead electrode 10 side at the tip of the probe 3 is relatively strong, the Taylor cone 8 is formed, and if the electric field on the surface side of the sample 2 at the tip of the probe 3 is relatively strong, the liquid bridge 7 is formed.

第一の電圧としてＤＣ電圧を印加したときに、第二の電圧を印加しなければ、テイラーコーン８が形成される。ここで第二の電圧として十分強い電圧のパルス電圧を印加すればテイラーコーン８は消滅し、代わって液架橋７が形成されて試料成分の溶解が行われる。更に電圧を高くすれば液架橋７の体積及び試料２の面内方向の面積は増大する。従って、第二の電圧としてのパルス電圧の波高値及びパルス間隔の制御のみで、液架橋の形成とエレクトロスプレーの発生を制御することが可能である。 If a second voltage is not applied when a DC voltage is applied as the first voltage, the Taylor cone 8 is formed. Here, if a sufficiently strong pulse voltage is applied as the second voltage, the Taylor cone 8 disappears, and a liquid bridge 7 is formed instead to dissolve the sample components. If the voltage is further increased, the volume of the liquid bridge 7 and the area in the in-plane direction of the sample 2 increase. Therefore, it is possible to control the formation of liquid bridge and the generation of electrospray only by controlling the peak value and pulse interval of the pulse voltage as the second voltage.

同様に、第二の電圧としてＤＣ電圧を印加し、第一の電圧を印加しなければ、液架橋７が形成され、試料成分の溶解が行われる。プローブ３の先端に供給された溶媒は、ＤＣ電圧によって形成された電界によって試料２の表面に引き寄せられ、効率良く液架橋７の形成を行うことができる。ここに、第一の電圧として十分強い電圧のパルス電圧を印加すれば、試料表面に溜まっていた溶液が液架橋７を通してプローブ３に戻され、更に液架橋７が縮小し、代わりにテイラーコーン８が形成されてエレクトロスプレーが発生する。ここでの電圧印加の様子を、図２（ｂ）に示す。第一の電圧のパルスの時間はＴ３、パルス間の時間間隔はＴ４である。第一の電圧としてのパルス電圧の波高値及びパルス間隔の制御でも、液架橋の形成とエレクトロスプレーの発生を制御することが可能である。 Similarly, when a DC voltage is applied as the second voltage and the first voltage is not applied, the liquid bridge 7 is formed and the sample components are dissolved. The solvent supplied to the tip of the probe 3 is attracted to the surface of the sample 2 by the electric field formed by the DC voltage, and the liquid bridge 7 can be efficiently formed. Here, if a sufficiently strong pulse voltage is applied as the first voltage, the solution accumulated on the sample surface is returned to the probe 3 through the liquid bridge 7, and the liquid bridge 7 is further reduced. Is formed and electrospray is generated. The state of voltage application here is shown in FIG. The time of the first voltage pulse is T3, and the time interval between the pulses is T4. It is also possible to control the formation of the liquid bridge and the generation of electrospray by controlling the peak value and pulse interval of the pulse voltage as the first voltage.

或いは、第一、或いは第二の電圧がＤＣ電圧にパルス電圧が重畳した電圧であってもよい。特に第一の電圧に関しては、ＤＣ電圧値に応じて、パルス電圧の波高値を小さくすることができるので、パルス応答性が向上する。このとき、パルス印加によるエレクトロスプレー発生の制御性を確保するには、ＤＣ電圧としては、テイラーコーンを形成しても良いがエレクトロスプレーを発生しない程度の電圧値に設定することが好ましい。 Alternatively, the first or second voltage may be a voltage obtained by superimposing a pulse voltage on a DC voltage. In particular, with respect to the first voltage, the peak value of the pulse voltage can be reduced according to the DC voltage value, so that the pulse response is improved. At this time, in order to ensure controllability of electrospray generation by pulse application, the DC voltage may be set to a voltage value that does not generate electrospray, although a Taylor cone may be formed.

第二の電圧の印加極性は、プローブ３の電位が相対的に保持台１の電位より高くても良いし、低くてもよい。ただし、第一の電圧が印加されているときに、同時に第二の電圧が印加される場合は、電位関係を規定することが好ましい。正イオンを検出する場合は、引出電極１０の電位＜導電性配管６の電位＜保持台１の電位、となるように設定することが好ましい。また、負イオンを検出するときは、この逆の電位関係となるように各構成要素の電位を設定する。 The applied polarity of the second voltage may be such that the potential of the probe 3 is relatively higher or lower than the potential of the holding table 1. However, when the first voltage is applied and the second voltage is applied at the same time, it is preferable to define the potential relationship. When detecting positive ions, it is preferable to set so that the potential of the extraction electrode 10 <the potential of the conductive pipe 6 <the potential of the holding table 1. When detecting negative ions, the potential of each component is set so as to have the reverse potential relationship.

プローブ３と試料２の表面は極近接しているのに対して、プローブ３と引出電極１０の距離は相対的に大きい。この構成において、第一の電圧はテイラーコーン８を形成する程度に十分大きい必要がある。一方、第二の電圧は放電、或いは過電流によって、プローブ、或いは試料等に損傷しないように、第一の電圧よりも十分低い必要がある。そこで第二の電圧は、数十Ｖ以下に設定されることが好ましい。 While the surface of the probe 3 and the sample 2 are in close proximity, the distance between the probe 3 and the extraction electrode 10 is relatively large. In this configuration, the first voltage needs to be large enough to form the Taylor cone 8. On the other hand, the second voltage needs to be sufficiently lower than the first voltage so as not to damage the probe or the sample due to discharge or overcurrent. Therefore, the second voltage is preferably set to several tens of volts or less.

また、引出電極１０、及び導入路１１を接地せずに、弱いＤＣオフセット電圧が重畳して印加されるようにしても良い。例えば、正に帯電した液滴を検出する場合には、オフセット電圧として、質量分析部２００に対して相対的に数十Ｖ程度高い電圧を引出電極１０に印加する。すると、正に帯電した液滴が引出電極１０に付着することを抑制し、効率良く質量分析部２００に送ることができる。 Further, a weak DC offset voltage may be superimposed and applied without grounding the extraction electrode 10 and the introduction path 11. For example, when a positively charged droplet is detected, a voltage that is relatively higher than the mass analyzer 200 by several tens of volts is applied to the extraction electrode 10 as an offset voltage. Then, positively charged droplets can be prevented from adhering to the extraction electrode 10 and can be efficiently sent to the mass analyzer 200.

また、第二の電圧としてパルス電圧の電圧値が低いときは、プローブ３から供給される溶媒は、主にテイラーコーン８を形成するように移動し、帯電液滴９として放出される。一方、このとき液架橋７の形成のために移動する溶媒の量は減少する。溶媒のプローブ３への供給量が少ない条件では、液架橋７はほとんど形成されない。一方、パルス電圧が印加されているときは、プローブ３から供給される溶媒は、液架橋７の形成のために移動し、試料２の表面の成分が液架橋７に溶解する。次に、パルス電圧が低くなったときに、液架橋７を形成していた溶液は、プローブ上部にかかる強い電界によってプローブ３先端の試料２の表面とは反対側に引き寄せられて、テイラーコーン８を形成する溶液の一部となる。 Further, when the voltage value of the pulse voltage is low as the second voltage, the solvent supplied from the probe 3 moves so as to mainly form the Taylor cone 8 and is discharged as the charged droplet 9. On the other hand, the amount of the solvent that moves to form the liquid bridge 7 at this time decreases. Under the condition that the supply amount of the solvent to the probe 3 is small, the liquid bridge 7 is hardly formed. On the other hand, when a pulse voltage is applied, the solvent supplied from the probe 3 moves to form the liquid bridge 7, and the components on the surface of the sample 2 are dissolved in the liquid bridge 7. Next, when the pulse voltage is lowered, the solution forming the liquid bridge 7 is attracted to the side opposite to the surface of the sample 2 at the tip of the probe 3 by a strong electric field applied to the upper portion of the probe, and the Taylor cone 8 Part of the solution to form

なお、Ｔ１の長さと液架橋７のサイズは対応しており、更に、液架橋７のサイズはイオン化領域のサイズと対応する。即ち、Ｔ１の長さは後述の質量分布画像の空間分解能を決定する。従って、以降で示す試料の移動速度が同じであれば、Ｔ１が短い程、液架橋のサイズが小さくなり空間分解能は向上する。 The length of T1 and the size of the liquid bridge 7 correspond to each other, and the size of the liquid bridge 7 corresponds to the size of the ionization region. That is, the length of T1 determines the spatial resolution of a mass distribution image described later. Therefore, if the moving speed of the sample shown below is the same, the smaller the T1, the smaller the size of the liquid bridge and the better the spatial resolution.

本実施形態において、Ｔ２は、好ましくは、１ｍｓｅｃから１ｓｅｃの間の任意の値に設定することができる。このとき、Ｔ１は、Ｔ１＜Ｔ２の範囲で任意に設定できる。 In the present embodiment, T2 can preferably be set to any value between 1 msec and 1 sec. At this time, T1 can be arbitrarily set within a range of T1 <T2.

以上のように、電圧を間欠的に印加して、電圧印加時間を任意に制御することで、試料表面の成分の溶解と、帯電液滴９の形成を明確に分離できるようになる。また、帯電液滴の形成の時間を十分長くとることで、相前後するタイミングで、試料２の表面上の異なった測定地点で溶解した成分の混濁を抑制して、質量分析を行うことができるようになる。 As described above, by intermittently applying a voltage and arbitrarily controlling the voltage application time, dissolution of components on the sample surface and formation of charged droplets 9 can be clearly separated. In addition, by taking a sufficiently long time for forming charged droplets, it is possible to perform mass spectrometry while suppressing turbidity of components dissolved at different measurement points on the surface of the sample 2 at the same timing. It becomes like this.

なお、電圧印加の結果、プローブ３が振動しても良い。電圧が間欠的に印加されると、クーロン力によってプローブ３が間欠的に変形する結果、振動を生じることがある。この場合、第一の電圧の印加は、プローブ３の先端が試料２の表面から最も離れた時に行われると、最も電界強度を強めることができるので、容易にイオン化ができる。 The probe 3 may vibrate as a result of voltage application. When the voltage is intermittently applied, the probe 3 may be intermittently deformed by Coulomb force, resulting in vibration. In this case, if the first voltage is applied when the tip of the probe 3 is farthest from the surface of the sample 2, the electric field strength can be strengthened most, so that ionization can be easily performed.

（第二の実施形態）
第二の実施形態に係る画像作成システムは、質量分析装置と、画像形成装置３００を有する。ここで、質量分析装置は、上述したイオン化装置をイオン化部として有するとともに質量分析部２００を有する。また、画像情報を作成する画像形成装置３００は、画像形成部３０１、位置指定部３０２、及び、画像表示部３０３を有する（図１）。 (Second embodiment)
The image creation system according to the second embodiment includes a mass spectrometer and an image forming apparatus 300. Here, the mass spectrometer includes the above-described ionizer as an ionizer and has a mass analyzer 200. The image forming apparatus 300 that creates image information includes an image forming unit 301, a position specifying unit 302, and an image display unit 303 (FIG. 1).

上述したように液架橋７は試料２の面内の極めて狭い領域に配置される。試料２の面内のより広い範囲を分析するために、イオン化装置は更に試料２を試料２の表面と平行な方向に走査させる移動手段１２を有している。移動手段１２は位置指定部３０２に接続される。移動手段１２は、位置指定部３０２が指定する位置情報に従って、保持台１を移動させる。なお、液架橋７の形成と帯電液滴９の形成、或いはイオン化は同時ではないため、分析する試料２の表面上での位置座標は、保持台１の移動速度とパルス印加時刻から計算される。 As described above, the liquid bridge 7 is disposed in a very narrow region in the plane of the sample 2. In order to analyze a wider area in the plane of the sample 2, the ionization apparatus further has a moving means 12 for scanning the sample 2 in a direction parallel to the surface of the sample 2. The moving unit 12 is connected to the position specifying unit 302. The moving unit 12 moves the holding table 1 according to the position information specified by the position specifying unit 302. Since the formation of the liquid bridge 7 and the formation of the charged droplet 9 or ionization are not simultaneous, the position coordinates on the surface of the sample 2 to be analyzed are calculated from the moving speed of the holding table 1 and the pulse application time. .

質量分析結果は、質量分析部２００によって質量スペクトルデータなどの質量情報として得られる。画像形成部３０１は、質量スペクトルデータと位置指定部３０２からの位置情報を統合して画像情報を形成する。画像情報は、二次元画像でも三次元画像でもよい。画像形成部３０１から出力された画像情報はディスプレイ等の画像表示部３０３に送られ、画像として表示される。 The mass analysis result is obtained as mass information such as mass spectrum data by the mass analysis unit 200. The image forming unit 301 integrates the mass spectrum data and the position information from the position specifying unit 302 to form image information. The image information may be a two-dimensional image or a three-dimensional image. The image information output from the image forming unit 301 is sent to an image display unit 303 such as a display and displayed as an image.

質量分析結果からは、液架橋に溶解した溶質の成分を知ることができるので、画像は成分分布画像、或いは質量分布画像を構成する。画像上には、例えば、成分の種類とその量が表示される。種類と量は、例えば色、あるいは明るさ等でその違いが表示される。また、予め取得した試料の光学顕微鏡画像と、質量分布画像とを重ね合わせて表示することもできる。 From the mass analysis result, the components of the solute dissolved in the liquid bridge can be known, so that the image constitutes a component distribution image or a mass distribution image. On the image, for example, the type of component and its amount are displayed. The difference between the type and amount is displayed, for example, by color or brightness. It is also possible to superimpose and display an optical microscope image of a sample acquired in advance and a mass distribution image.

本実施形態に係るイオン化装置は、プローブ３が内部に流路を有し、流路に溶媒が流れる構成であるが、液供給手段４から溶媒がプローブ３に供給され、その溶媒がプローブ３の表面を伝って移動し、プローブ３先端で液架橋７を形成する構成でもよい。 The ionization apparatus according to the present embodiment has a configuration in which the probe 3 has a flow path inside, and the solvent flows in the flow path. The solvent is supplied from the liquid supply means 4 to the probe 3, and the solvent is the probe 3. It may be configured to move along the surface and form the liquid bridge 7 at the tip of the probe 3.

本実施形態に係るイオン化装置は、飛行時間型質量分析装置、四重極型質量分析計や磁場偏向型質量分析計、イオントラップ型質量分析計、イオンサイクロトロン型質量分析計などの質量分析装置のイオン発生部として用いてもよい。 The ionization apparatus according to the present embodiment is a mass spectrometer such as a time-of-flight mass spectrometer, a quadrupole mass spectrometer, a magnetic field deflection mass spectrometer, an ion trap mass spectrometer, or an ion cyclotron mass spectrometer. You may use as an ion generating part.

本実施形態に係るイオン化装置は、大気圧環境下で液架橋を形成し、物質をイオン化させているが、大気圧とは標準大気圧の１０１３２５Ｐａの０．１倍から１０倍の範囲である。また環境は通常の室内と同じ雰囲気下でもよく、あるいは窒素雰囲気下、あるいはアルゴン雰囲気下のような不活性ガス雰囲気下でもよい。 The ionization apparatus according to the present embodiment forms a liquid bridge under an atmospheric pressure environment to ionize the substance, and the atmospheric pressure is in the range of 0.1 to 10 times the standard atmospheric pressure of 101325 Pa. The environment may be the same atmosphere as a normal room, or an inert gas atmosphere such as a nitrogen atmosphere or an argon atmosphere.

（第三の実施形態）
本発明の第三の実施形態に係るイオン化装置を有する画像形成システムの模式図を図３に示す。本実施形態においては、第一の実施形態と比較すると、引出電極１０が導入路１１とは分離してプローブ３により近い位置に設けられる。更に、取込み電極１３が導入路に近接して設けられている。 (Third embodiment)
FIG. 3 shows a schematic diagram of an image forming system having an ionization apparatus according to the third embodiment of the present invention. In the present embodiment, as compared with the first embodiment, the extraction electrode 10 is provided at a position that is separated from the introduction path 11 and closer to the probe 3. Furthermore, a take-in electrode 13 is provided close to the introduction path.

引出電極１０と導電性配管６には第一の電圧印加手段１０１が接続され、第一の電圧が間欠的に印加される。取込み電極１３と引出電極１０とには第三の電圧印加手段１０３が接続され、第三の電圧が印加される。第三の電圧はＤＣ電圧が好ましいがＡＣ電圧、或いはパルス電圧であっても良い。また、第二の電圧印加手段１０２は、導電性配管６と保持台１に接続され、第二の電圧を印加する。その他の構成は第一の実施形態と同様であるので詳細は省略する。 A first voltage application means 101 is connected to the extraction electrode 10 and the conductive pipe 6 so that the first voltage is intermittently applied. A third voltage application unit 103 is connected to the take-in electrode 13 and the extraction electrode 10 to apply a third voltage. The third voltage is preferably a DC voltage, but may be an AC voltage or a pulse voltage. The second voltage applying means 102 is connected to the conductive pipe 6 and the holding table 1 and applies a second voltage. Since other configurations are the same as those of the first embodiment, details are omitted.

第一の電圧が印加されたとき、プローブ３の先端部にはテイラーコーン８が形成され、テイラーコーン８の先端からは帯電液滴９が放出される。帯電液滴９は引出電極１０に設けられた開口を通り抜ける。帯電液滴９は、引出電極１０と取込み電極１３との間の電界に従って、取込み電極１３に到達し、更には取込み電極１３に設けられた開口と導入路１１を通って質量分析部２００に到達する。 When the first voltage is applied, a Taylor cone 8 is formed at the tip of the probe 3, and charged droplets 9 are emitted from the tip of the Taylor cone 8. The charged droplet 9 passes through an opening provided in the extraction electrode 10. The charged droplet 9 reaches the acquisition electrode 13 according to the electric field between the extraction electrode 10 and the acquisition electrode 13, and further reaches the mass analysis unit 200 through the opening provided in the acquisition electrode 13 and the introduction path 11. To do.

引出電極１０とプローブ３の先端との距離は、５ｍｍ以下に設定され、好ましくは２ｍｍ以下に設定される。第一の電圧の波高値は、テイラーコーン８が形成される電圧に設定され、典型的には１ｋＶ以下に設定される。プローブ３と引出電極１０との距離が１ｍｍ以下に近接している場合は、数十Ｖ〜数百Ｖ程度の低い値に設定することができる。より低い電圧を設定できれば、放電の発生に伴って装置に損傷を与える危険性を低減することができる。 The distance between the extraction electrode 10 and the tip of the probe 3 is set to 5 mm or less, preferably 2 mm or less. The peak value of the first voltage is set to a voltage at which the Taylor cone 8 is formed, and is typically set to 1 kV or less. When the distance between the probe 3 and the extraction electrode 10 is close to 1 mm or less, it can be set to a low value of about several tens of volts to several hundreds of volts. If a lower voltage can be set, the risk of damaging the device with the occurrence of discharge can be reduced.

第三の電圧は、例えばイオンを検出する場合には、取込み電極１３の電位が引出電極１０の電位の低い状態よりも低くなるように設定される。これは、引出電極１０を通過したイオンを効率よく取込み電極１３に導くためである。正イオンを検出する場合は、取込み電極１３の電位＜引出電極１０の電位＜導電性配管６の電位＜保持台１の電位、となるように設定することが好ましい。基準電位は任意に設定して良い。また、負イオンを検出する場合は、この逆の電位関係になるように引出電極１０等の各構成要素の電位を設定する。 For example, when detecting ions, the third voltage is set so that the potential of the take-in electrode 13 is lower than the state in which the potential of the extraction electrode 10 is low. This is because ions that have passed through the extraction electrode 10 are efficiently taken into the intake electrode 13. When detecting positive ions, it is preferable to set so that the potential of the intake electrode 13 <the potential of the extraction electrode 10 <the potential of the conductive pipe 6 <the potential of the holding table 1. The reference potential may be set arbitrarily. When detecting negative ions, the potentials of the constituent elements such as the extraction electrode 10 are set so as to have a reverse potential relationship.

電圧印加のタイミングは第一の実施形態における図２と同様である。また、電圧印加にともなう液架橋７の形成、及びテイラーコーン８の形成等の作用についても、第一の実施形体における作用と同様である。ただし、第三の電圧がＡＣまたはパルス電圧であった場合、第二のパルス電圧に同期して印加される。 The timing of voltage application is the same as in FIG. 2 in the first embodiment. In addition, the operations such as the formation of the liquid bridge 7 and the formation of the Taylor cone 8 due to the voltage application are the same as those in the first embodiment. However, when the third voltage is AC or a pulse voltage, it is applied in synchronization with the second pulse voltage.

本実施形態においても、プローブ３と試料２の表面は極近接しているのに対して、プローブ３と引出電極１０の距離は十分大きい。また、第一の電圧はテイラーコーン８を形成する程度に十分大きい必要がある。一方、第二の電圧は放電、或いは過電流によって、プローブ、或いは試料等に損傷しないように、第一の電圧よりも十分低く設定される。 Also in this embodiment, the surface of the probe 3 and the sample 2 are in close proximity, whereas the distance between the probe 3 and the extraction electrode 10 is sufficiently large. The first voltage needs to be sufficiently large to form the Taylor cone 8. On the other hand, the second voltage is set sufficiently lower than the first voltage so as not to damage the probe or the sample due to discharge or overcurrent.

本実施形態においても、プローブ３の走査に伴い、異なった試料２の表面上の位置に由来する物質が溶液中で混濁することを抑制することができる。従って、正しく成分を分離して分析を行うことができるので、空間分解能の低下を軽減することができる。 Also in this embodiment, it can suppress that the substance originating in the position on the surface of the different sample 2 becomes cloudy in a solution with the scanning of the probe 3. FIG. Therefore, since the components can be correctly separated and analyzed, the reduction in spatial resolution can be reduced.

（第四の実施形態）
本発明の第四の実施形態に係るイオン化装置の模式図を図４に示す。また、電圧印加とトリガー信号発生のタイミングを図５に示す。トリガー信号は、イオンの発生と同期して生成されるようにする。本実施形態では、第二の電圧印加手段１０２から出力されたトリガー信号は質量分析部２００に入力され、質量分析装置２００は、イオンの発生に同期して質量分析を行う。それ以外の構成は第一の実施形態と同様であるので詳細は省略する。 (Fourth embodiment)
The schematic diagram of the ionization apparatus which concerns on 4th embodiment of this invention is shown in FIG. FIG. 5 shows the timing of voltage application and trigger signal generation. The trigger signal is generated in synchronization with the generation of ions. In the present embodiment, the trigger signal output from the second voltage application unit 102 is input to the mass analyzer 200, and the mass spectrometer 200 performs mass analysis in synchronization with the generation of ions. Since the other configuration is the same as that of the first embodiment, the details are omitted.

質量分析部２００としては、飛行時間型、四重極型、磁場偏向型、二重収束型、イオントラップ型、イオンサイクロトロン型などの各種質量分析計を用いることができる。 Various mass spectrometers such as a time-of-flight type, a quadrupole type, a magnetic field deflection type, a double focusing type, an ion trap type, and an ion cyclotron type can be used as the mass analysis unit 200.

本実施形態ではトリガー信号は、第二の電圧としてのパルス電圧の印加の立下り時刻に発生させる。このパルス電圧印加の立下りと同時に、帯電液滴９はプローブ３の先端から放出され、引出電極１０に向かって飛翔を開始する。帯電液滴９は、質量分析部２００に導入される過程で、更に***し、帯電液滴９に含まれる成分がイオン化される。質量分析部２００は、トリガー信号を受けて質量分析を開始する。質量分析結果は、画像形成部３０１に送られる。なお、トリガー信号は、パルス電圧が印加された時刻から一定時間遅延した時刻で発生するようにしても良い。或いは、第一の電圧印加手段１０１がパルス電圧を発生する場合は、トリガー信号線を切り替えて第一の電圧に同期した第一の電圧印加手段１０１からのトリガー信号を質量分析部２００に入力し、質量分析が開始されるようにしても良い。 In the present embodiment, the trigger signal is generated at the falling time of application of the pulse voltage as the second voltage. Simultaneously with the fall of the pulse voltage application, the charged droplet 9 is discharged from the tip of the probe 3 and starts to fly toward the extraction electrode 10. The charged droplet 9 is further divided in the process of being introduced into the mass analyzer 200, and the components contained in the charged droplet 9 are ionized. The mass analyzer 200 receives the trigger signal and starts mass analysis. The mass analysis result is sent to the image forming unit 301. The trigger signal may be generated at a time delayed by a certain time from the time when the pulse voltage is applied. Alternatively, when the first voltage application unit 101 generates a pulse voltage, the trigger signal from the first voltage application unit 101 synchronized with the first voltage is switched to the mass analyzer 200 by switching the trigger signal line. The mass spectrometry may be started.

例えば、四重極型の質量分析部の場合は、トリガー信号とイオン行路上の電場掃引を同期するようにし、磁場収束型、或いは二重収束型の質量分析部の場合は、セクタ型イオン偏向部の磁場掃引と同期するようにする。 For example, in the case of a quadrupole mass analyzer, the trigger signal and the electric field sweep on the ion path are synchronized. In the case of a magnetic field focusing type or double focusing type mass analyzing unit, sector type ion deflection is used. Synchronize with the magnetic field sweep of the part.

次に、質量分析部２００として、ＴＯＦ法（ＴｉｍｅｏｆＦｌｉｇｈｔ法）を利用した飛行時間型質量分析手段を用いた場合を例示する。ＴＯＦ法では、加速部（不図示）に導入されたイオンを電界で加速した後、飛行管に導入され、この中を等速度で飛行するイオンの飛行時間を計測することによってイオンの質量電荷比を計測する。 Next, the case where the time-of-flight mass spectrometry means using the TOF method (Time of Flight method) is used as the mass analysis unit 200 will be exemplified. In the TOF method, ions introduced into an accelerating portion (not shown) are accelerated by an electric field and then introduced into a flight tube, and the mass-to-charge ratio of the ions is measured by measuring the time of flight of the ions flying at a constant velocity. Measure.

質量分析部２００は、トリガー信号を時間の基準にしてイオンが質量分析部の内部の検出器（不図示）に到達するまでの時間の計測を行う。このとき、トリガー信号の発生に対して、質量分析部内のイオン加速部への加速電界の印加のタイミングは適宜調整される。トリガー信号に同期して加速部で電界を印加してイオンを加速し、引き続き飛行時間の計測を開始する。ただし、イオン質量を求めるために必要なのは、イオンが質量分析部の内部の飛行管（不図示）を飛行する時間のみである。そのため、トリガー信号の発生からイオンが飛行管の入り口に到達する時間Ｔｄｅｌａｙは適宜見積もられて、イオン検出時間から差し引かれる。 The mass analyzer 200 measures the time until ions reach a detector (not shown) inside the mass analyzer with the trigger signal as a time reference. At this time, the timing of application of the acceleration electric field to the ion acceleration unit in the mass analysis unit is appropriately adjusted with respect to the generation of the trigger signal. The electric field is applied in the acceleration unit in synchronization with the trigger signal to accelerate the ions, and then the time of flight measurement is started. However, in order to obtain the ion mass, only the time required for the ions to fly through the flight tube (not shown) inside the mass analyzer is required. Therefore, the time Tdelay from which the ions reach the entrance of the flight tube from the generation of the trigger signal is appropriately estimated and subtracted from the ion detection time.

また、ある時刻に第二のパルス電圧の印加により生成したイオンの信号と、引き続いて印加されたパルス電圧によって生成したイオンの信号が、質量分析装置において混濁しないようにする必要がある。そのために、第二の電圧のパルス間間隔Ｔ２は計測対象イオンの飛行時間の計測時間Ｔｔｏｆよりも長くなるように設定される。 In addition, it is necessary that the ion signal generated by applying the second pulse voltage at a certain time and the ion signal generated by the subsequently applied pulse voltage do not become turbid in the mass spectrometer. Therefore, the pulse interval T2 of the second voltage is set to be longer than the measurement time Ttof of the flight time of the measurement target ions.

以上のように、本実施形態では、成分の溶解とイオン化を間欠的に行い、イオン化のタイミングと質量分析のタイミングと同期させることで、試料２の表面上の隣接する計測位置において溶解した成分の質量分析情報の混濁を低減できる。また、帯電液滴の放出、或いはイオンが発生するときのみ質量分析を行うので、信号のＳ／Ｎが改善される。これによって、精度よく質量分析を行い、空間分解能の高い質量分布画像を得ることができる。 As described above, in the present embodiment, the dissolution and ionization of components are intermittently performed, and the components dissolved at the adjacent measurement positions on the surface of the sample 2 are synchronized with the timing of ionization and the timing of mass spectrometry. The turbidity of mass spectrometry information can be reduced. Further, since the mass analysis is performed only when charged droplets are emitted or ions are generated, the signal S / N is improved. Thereby, mass analysis can be performed with high accuracy and a mass distribution image with high spatial resolution can be obtained.

（第五の実施形態）
本発明の第五の実施形態に係るイオン化装置の模式図を図６に示す。本実施形態では、プローブ３或いは試料２の表面の変位を測定する変位計測手段４００を有する。それ以外の構成は第１から４のいずれかの実施形態と同様であるので詳細は省略する。 (Fifth embodiment)
FIG. 6 shows a schematic diagram of an ionization apparatus according to the fifth embodiment of the present invention. In this embodiment, it has the displacement measurement means 400 which measures the displacement of the surface of the probe 3 or the sample 2. Since the other configuration is the same as that of any one of the first to fourth embodiments, the details are omitted.

本実施形態においては、移動手段１２は、試料２の表面と平行な方向への変位に加えて、試料の表面に垂直なＺ方向への変位機能を有する。変位計測手段４００からの信号を受けて、位置指定部３０２は移動手段１２に対してＺ方向の位置の帰還制御を行う。信号が一定になるように制御すれば、プローブ３と試料２の表面との距離をおよそ一定に保つことができる。これにより、液架橋７の形成時間あるいは形成量を安定させることができる。また、試料に過度の力が加わることを避けることができるので、安定して試料２の表面上を走査し試料２の表面の成分をイオン化することができる。 In the present embodiment, the moving means 12 has a displacement function in the Z direction perpendicular to the surface of the sample in addition to displacement in a direction parallel to the surface of the sample 2. In response to the signal from the displacement measuring unit 400, the position specifying unit 302 performs feedback control of the position in the Z direction with respect to the moving unit 12. If the signal is controlled to be constant, the distance between the probe 3 and the surface of the sample 2 can be kept approximately constant. Thereby, the formation time or formation amount of the liquid bridge | crosslinking 7 can be stabilized. Further, since excessive force can be avoided from being applied to the sample, the surface of the sample 2 can be stably scanned and components on the surface of the sample 2 can be ionized.

本実施形態における変位計測手段４００には、以下に示すように様々な方式を用いた構成を採用することができるが、本実施形態に示した方式に限定されるものではない。 The displacement measuring means 400 in the present embodiment can employ a configuration using various methods as described below, but is not limited to the method shown in the present embodiment.

プローブ３の先端が試料２の表面に近接し、接触した場合、或いは、液架橋７が形成された場合には凝着力の発生によってプローブにたわみが生じる。試料２の表面とプローブ３の先端との距離に応じて液架橋７の形成状態が変化すると凝着力が変化するのでプローブのたわみ量が変化する。プローブ３のたわみ量が一定になるように移動手段１２を帰還制御することで、プローブと試料表面との凝着力または距離を一定に保つことができる。 When the tip of the probe 3 comes close to and comes into contact with the surface of the sample 2 or when the liquid bridge 7 is formed, the probe is bent due to the generation of the adhesion force. When the formation state of the liquid bridge 7 changes according to the distance between the surface of the sample 2 and the tip of the probe 3, the adhesion force changes, so the deflection amount of the probe changes. By performing feedback control of the moving means 12 so that the amount of deflection of the probe 3 is constant, the adhesion force or distance between the probe and the sample surface can be kept constant.

プローブ３のたわみを検出する方式として、光てこ方式や光干渉方式等を応用することができる。プローブ３を圧電材料で形成し、プローブ３の変位に応じて発生する電圧を検出する方式を用いても良い。 As a method for detecting the deflection of the probe 3, an optical lever method, an optical interference method, or the like can be applied. A method of detecting the voltage generated according to the displacement of the probe 3 by forming the probe 3 from a piezoelectric material may be used.

光てこ方式を応用した変位計測手段４００では、光照射器４０１から射出されたレーザー光をプローブ３の背面に照射して、反射してきた光を光検出器４０２で検出し、光検出器４０２における光の検出位置の変位からプローブ３のたわみ量を検出する。なお、光路調整を容易にするために光路上に反射鏡（不図示）を設置しても良い。 In the displacement measuring means 400 applying the optical lever method, the back surface of the probe 3 is irradiated with the laser light emitted from the light irradiator 401, and the reflected light is detected by the light detector 402. The amount of deflection of the probe 3 is detected from the displacement of the light detection position. In order to facilitate optical path adjustment, a reflecting mirror (not shown) may be installed on the optical path.

更に、精密にプローブ３と試料２の表面との距離を一定に保つには、更に、以下に示す方法を用いても良い。 Furthermore, in order to maintain the distance between the probe 3 and the surface of the sample 2 precisely, the following method may be used.

プローブ３に僅かに振動を与えておき、変位計測手段４００でプローブ３のたわみを検出することでプローブ３の振動周波数を検出する。プローブ３に一定周波数の交流電圧を印加すれば、静電力によってプローブ３に振動を与えることが出来る。或いは、圧電素子など機械的な手段を用いてプローブ３を振動させても良い。プローブ３の先端と試料２の表面との距離が変化すると、液架橋７による凝着力が変化するため、プローブ３の振動数或いは振幅が変化する。プローブ３の振動数或いは振幅を一定に保つように、移動手段１２のＺ変位を帰還制御する。 The probe 3 is vibrated slightly and the displacement measuring means 400 detects the deflection of the probe 3 to detect the vibration frequency of the probe 3. When an AC voltage having a constant frequency is applied to the probe 3, vibration can be applied to the probe 3 by electrostatic force. Alternatively, the probe 3 may be vibrated using mechanical means such as a piezoelectric element. When the distance between the tip of the probe 3 and the surface of the sample 2 changes, the adhesion force due to the liquid bridge 7 changes, so the frequency or amplitude of the probe 3 changes. The Z displacement of the moving means 12 is feedback controlled so as to keep the frequency or amplitude of the probe 3 constant.

実施形態の１〜４においてパルス変調した第二或いは第一の電圧をプローブ印加したが、この場合でもプローブ３はたわみにより変位する。このときのプローブ３の変位を検出し、この検出信号を用いて移動手段１２に対してＺ変位の帰還制御を行っても良い。或いは、上記のようにパルス変調した電圧とは別に、一定周波数の交流電圧をプローブ３と保持台１との間に印加した場合、プローブ３のパルス電圧による変位と交流電圧による変位を分離する必要がある。そのためには、周波数フィルターを用いる方法、或いは、交流電圧に同期して変動する信号をロックイン検出などによって分離する方法などが用いられる。 In the first to fourth embodiments, the pulse-modulated second or first voltage is applied by the probe. Even in this case, the probe 3 is displaced by the deflection. The displacement of the probe 3 at this time may be detected, and Z displacement feedback control may be performed on the moving means 12 using this detection signal. Alternatively, when an AC voltage having a constant frequency is applied between the probe 3 and the holding table 1 separately from the pulse-modulated voltage as described above, it is necessary to separate the displacement due to the pulse voltage of the probe 3 from the displacement due to the AC voltage. There is. For this purpose, a method using a frequency filter or a method of separating a signal that fluctuates in synchronization with an AC voltage by lock-in detection or the like is used.

上記では、プローブ３の変位を計測したが、試料２の表面の変位を計測しても良い。以下、変位計測手段４００に光干渉方式を用いて変位計測を行う手段を用いた例を示す。プローブ３が近接する試料２の表面の近傍部位に光照射器４０１の先端からレーザー光を照射し、光照射器４０１から分岐したレーザー光と、試料２の表面で反射したレーザー光との干渉光の強度を計測することで試料２の表面の位置を検出する。ここで、光照射器４０１からの光照射は例えば光ファイバーを通して行う。光ファイバーの端部のファイバー光軸は、試料２の面におよそ垂直になるように設置される。入射光から分岐した光、及び、光ファイバーに戻った反射光は、分岐された光路上で干渉し、干渉光は分岐された光路上に設置された光検出器４０２で検出される。検出される試料２の表面の位置が一定になるように、移動手段１２は帰還制御される。プローブ３と光ファイバーは共に筐体に固定されている。これにより、傾きを持った試料２の表面をプローブ３が走査する場合でもプローブ３の先端と試料２の表面との距離を一定に保つことで安定して液架橋を形成できるので、安定したイオン化を行うことができるようになる。 Although the displacement of the probe 3 is measured in the above, the displacement of the surface of the sample 2 may be measured. Hereinafter, an example in which a means for measuring displacement using the optical interference method is used as the displacement measuring means 400 will be described. Laser light is irradiated from the tip of the light irradiator 401 to the vicinity of the surface of the sample 2 where the probe 3 is close, and interference light between the laser light branched from the light irradiator 401 and the laser light reflected from the surface of the sample 2 The position of the surface of the sample 2 is detected by measuring the intensity of. Here, light irradiation from the light irradiator 401 is performed through an optical fiber, for example. The fiber optical axis at the end of the optical fiber is set so as to be approximately perpendicular to the surface of the sample 2. The light branched from the incident light and the reflected light returning to the optical fiber interfere on the branched optical path, and the interference light is detected by the photodetector 402 installed on the branched optical path. The moving means 12 is feedback-controlled so that the position of the surface of the sample 2 to be detected is constant. Both the probe 3 and the optical fiber are fixed to the housing. Accordingly, even when the probe 3 scans the surface of the sample 2 having an inclination, the liquid bridge can be stably formed by keeping the distance between the tip of the probe 3 and the surface of the sample 2 constant. Will be able to do.

１保持台
２試料
３プローブ
４液供給手段
５接続用配管
６導電性配管
７液架橋
８テイラーコーン
９帯電液滴
１０引出電極
１１導入路
１２移動手段
１３取り込み電極
１０１第一の電圧印加手段
１０２第二の電圧印加手段
１０３第三の電圧印加手段
２００質量分析部
３００画像形成装置
３０１画像形成部
３０２位置指定部
３０３画像表示部
４００変位計測手段
４０１光照射器
４０２光検出器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Holding stand 2 Sample 3 Probe 4 Liquid supply means 5 Connection pipe 6 Conductive pipe 7 Liquid bridge 8 Taylor cone 9 Charged droplet 10 Extraction electrode 11 Introduction path 12 Movement means 13 Acquisition electrode 101 First voltage application means 102 Second voltage applying means 103 Third voltage applying means 200 Mass analysis section 300 Image forming apparatus 301 Image forming section 302 Position specifying section 303 Image display section 400 Displacement measuring means 401 Light irradiator 402 Photo detector

Claims

イオン化装置であって、
試料を保持する保持台、
前記保持台に保持されている前記試料のイオン化する部分を決めるためのプローブ、
前記試料のイオン化したイオンを引き出す引出電極、
前記試料の一部領域に液体を供給する液供給手段、
前記プローブと前記引出電極との間に第一の電圧を印加する手段、及び
前記プローブと前記保持台との間に第二の電圧を印加する手段、
を有し、
前記第二の電圧をパルス変調することを特徴とする、イオン化装置。 An ionizer,
A holding table for holding the sample,
A probe for determining an ionized portion of the sample held on the holding table;
An extraction electrode for extracting ionized ions of the sample;
A liquid supply means for supplying a liquid to a partial region of the sample;
Means for applying a first voltage between the probe and the extraction electrode; and means for applying a second voltage between the probe and the holding table;
Have
An ionization apparatus characterized by pulse-modulating the second voltage.

前記第一の電圧がＤＣ電圧であることを特徴とする、請求項１に記載のイオン化装置。 The ionization apparatus according to claim 1, wherein the first voltage is a DC voltage.

前記プローブの端部と前記保持台が保持する試料との間に液架橋が形成されることを特徴とする、請求項１に記載のイオン化装置。 2. The ionization apparatus according to claim 1, wherein a liquid bridge is formed between an end of the probe and a sample held by the holding table.

第二の電圧が第一の電圧よりも低いことを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のイオン化装置。 The ionization device according to any one of claims 1 to 3, wherein the second voltage is lower than the first voltage.

前記プローブ或いは前記試料との変位を計測する変位計測手段を更に有し、
前記変位計測手段からの信号を基に、前記試料の位置を変位するための移動手段の前記試料の表面と垂直な方向の位置を帰還制御することを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載のイオン化装置。 A displacement measuring means for measuring the displacement of the probe or the sample;
5. The feedback control of the position of the moving unit for displacing the position of the sample in a direction perpendicular to the surface of the sample based on a signal from the displacement measuring unit. An ionization apparatus according to claim 1.

請求項１乃至５のいずれか一項に記載のイオン化装置を有するイオン化部、及び
イオンの質量電荷比を分析する質量分析部、
を有することを特徴とする、質量分析装置。 An ionization unit having the ionization device according to any one of claims 1 to 5, and a mass analysis unit that analyzes a mass-to-charge ratio of ions,
A mass spectrometer characterized by comprising:

パルス変調された第一の電圧の印加と、前記質量分析部の計測とを同期させることを特徴とする、請求項６に記載の質量分析装置。 The mass spectrometer according to claim 6, wherein the application of the pulse-modulated first voltage is synchronized with the measurement of the mass analyzer.

前記質量分析部が飛行時間型の質量分析部であることを特徴とする、請求項６又は７に記載の質量分析装置。 The mass spectrometer according to claim 6 or 7, wherein the mass analyzer is a time-of-flight mass analyzer.

パルス変調された第一の電圧或いは第二の電圧の印加と、前記飛行時間型の質量分析部の飛行時間の計測とを同期させることを特徴とする、請求項８に記載の質量分析装置。 The mass spectrometer according to claim 8, wherein the application of the pulse-modulated first voltage or the second voltage is synchronized with the measurement of the time of flight of the time-of-flight mass analyzer.

前記パルス変調された第一の電圧或いは第二の電圧の一連のパルスの印加の時間間隔は、前記飛行時間型の質量分析部の飛行時間の計測時間よりも長いことを特徴とする、請求項９に記載の質量分析装置。 The time interval of application of the pulse-modulated first voltage or a series of pulses of the second voltage is longer than the time of flight measurement of the time-of-flight mass analyzer. 9. The mass spectrometer according to 9.

請求項６乃至１０のいずれか一項に記載の質量分析装置、及び
画像形成装置であって、前記質量分析装置によって分析された質量情報と前記試料表面における前記領域の位置情報とから試料に含まれる物質の成分の分布を画像表示するための画像情報を作成する画像形成部と、前記画像情報を表示装置に出力する画像表示部とを有する、画像形成装置、
を有することを特徴とする、画像作成システム。 The mass spectrometer according to any one of claims 6 to 10, and the image forming apparatus, wherein the sample includes the mass information analyzed by the mass spectrometer and the position information of the region on the sample surface. An image forming apparatus comprising: an image forming unit that creates image information for displaying an image of a distribution of components of a substance to be displayed; and an image display unit that outputs the image information to a display device;
An image creation system comprising: