JP2016142574A - 渦電流形変位センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】渦電流形変位センサ(1)は、センサコイル(11)と、センサコイル(11)に並列接続され、センサコイル(11)とともに共振回路(17)を構成するコンデンサ(12)と、高周波信号を発生させて共振回路(17)に該高周波信号を供給する発振回路(13)と、共振回路(17)のグランド電位に接続されたグランド電極(14)とを備え、グランド電極(14)がセンサコイル(11)の表面を覆って配置されている。
【選択図】図2
Description
11 センサコイル
12 コンデンサ
14 グランド電極
141 フレキシブルプリント配線板
142 金属線
17 共振回路
2 被測定物
Claims (4)
- センサコイルと、
前記センサコイルに並列接続され、前記センサコイルとともに共振回路を構成するコンデンサと、
高周波信号を発生させて前記共振回路に該高周波信号を供給する発振回路と、
前記共振回路のグランド電位に接続されたグランド電極と、を備え、
前記グランド電極が前記センサコイルの表面を覆って配置されている渦電流形変位センサ。 - 前記グランド電極が開ループ状にパターン形成された金属線からなる請求項1に記載の渦電流形変位センサ。
- 前記金属線がフレキシブルプリント配線板上にパターン形成されている請求項2に記載の渦電流形変位センサ。
- 前記グランド電極が前記センサコイルの被測定物対向面および側面を覆っている請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の渦電流形変位センサ。
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