JP2016138898A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
することを目的とする。
【解決手段】本願の発明に係る検査装置は、送風用貫通穴が形成された絶縁基板と、該絶縁基板の下面に固定されたソケットと、該ソケットに着脱可能に固定されたコンタクトプローブと、該絶縁基板の上面側に配置され、該送風用貫通穴を介して該ソケットと該コンタクトプローブに送風する送風機と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図15
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る検査装置を示す図である。本発明の実施の形態1に係る検査装置は絶縁基板10を備えている。絶縁基板10は、例えばセラミック材などの低熱膨張材料で形成されることが好ましい。絶縁基板10は、アーム11により任意の方向へ移動可能になっている。絶縁基板10にはソケット12が固定されている。ソケット12は、アルミニウムや銅などの放熱性の高い材料で形成されることが好ましい。
本発明の実施の形態2に係る検査装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図9は、本発明の実施の形態2に係るソケットの斜視図である。図10は、本発明の実施の形態2に係るソケットの平面図である。
本発明の実施の形態2に係る検査装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図13は、本発明の実施の形態3に係るソケットの斜視図である。
本発明の実施の形態4に係る検査装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図14は、本発明の実施の形態4に係るソケットの斜視図である。
本発明の実施の形態5に係る検査装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図15は、本発明の実施の形態5に係る検査装置を示す図である。
Claims (4)
- 送風用貫通穴が形成された絶縁基板と、
前記絶縁基板の下面に固定されたソケットと、
前記ソケットに着脱可能に固定されたコンタクトプローブと、
前記絶縁基板の上面側に配置され、前記送風用貫通穴を介して前記ソケットと前記コンタクトプローブに送風する送風機と、を備えたことを特徴とする検査装置。 - 前記送風用貫通穴は前記ソケットを挟むように2箇所形成されたことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記絶縁基板の上面に固定され、前記送風機からの風を受けつつ前記送風機からの風を前記送風用貫通穴へ導く放熱体を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の検査装置。
- 前記放熱体は多孔質金属で形成されたことを特徴とする請求項3に記載の検査装置。
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