JP2016125977A - 歪ゲージ接着方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】歪検出器の製造不良を低減することのできる歪ゲージの接着方法を提供する。【解決手段】歪ゲージ接着方法は、ベース部31およびリード線33を有する歪ゲージ3と起歪体1を接着するものであって、前記ベース部31の裏面、或いは前記起歪体1の前記歪ゲージ3接着箇所に低粘度の接着剤2を塗布し、前記接着剤2が乾燥または固化する前に前記起歪体1に前記歪ゲージ3を配置して、前記ベース部31の寸法よりも大きい寸法の固定用テープ4で前記ベース部31の全面を覆うように貼着して前記起歪体1に仮固定し、前記固定用テープ4上に加圧部材5を積層して前記ベース部31の全面を加圧して、前記起歪体1に密着固定させる。【選択図】図3
Description
本発明は、起歪体に接着固定される歪ゲージの接着方法に関する。
従来、ベッドなどの構造物や材料に掛かる荷重を測定するために、荷重による構造物や材料に生じる歪を検知する歪ゲージが広く利用されている。
特許文献1,2には、起歪体における歪ゲージを接着する箇所に、歪ゲージよりも広い範囲で熱硬化性接着剤を塗布し、また歪ゲージにも同様に接着剤を塗布して、所定時間放置した後、両者の接着剤を塗布した面同士で当接させた状態で耐熱性接着テープによって仮固定し、塗布した接着剤を加熱硬化させて接着固定する歪検出器の製造方法が開示されている。
歪ゲージを用いて荷重を測定する場合には、起歪体の歪を検知する歪ゲージの検知感度が重要であるところ、従来の歪ゲージの接着方法では、歪ゲージと起歪体との間に気泡が生じて歪ゲージの検知感度が低下する、歪ゲージの一部が剥離することにより出力信号にノイズが混入するなど、不良品が発生するという問題があった。
本発明は、上述した技術背景に鑑み、歪検出器の製造不良を低減することのできる歪ゲージの接着方法の提供を目的とする。
即ち、本発明は下記[1]〜[5]に記載の構成を有する。
[1] ベース部およびリード線を有する歪ゲージと起歪体を接着する接着方法であって、
前記ベース部の裏面、或いは前記起歪体の前記歪ゲージ接着箇所に低粘度の接着剤を塗布し、
前記接着剤が乾燥または固化する前に前記起歪体に前記歪ゲージを配置して、前記ベース部の寸法よりも大きい寸法の固定用テープで前記ベース部の全面を覆うように貼着して前記起歪体に仮固定し、
前記固定用テープ上に加圧部材を積層して前記ベース部の全面を加圧して、前記起歪体に密着固定させることを特徴とする歪ゲージ接着方法。
前記ベース部の裏面、或いは前記起歪体の前記歪ゲージ接着箇所に低粘度の接着剤を塗布し、
前記接着剤が乾燥または固化する前に前記起歪体に前記歪ゲージを配置して、前記ベース部の寸法よりも大きい寸法の固定用テープで前記ベース部の全面を覆うように貼着して前記起歪体に仮固定し、
前記固定用テープ上に加圧部材を積層して前記ベース部の全面を加圧して、前記起歪体に密着固定させることを特徴とする歪ゲージ接着方法。
[2] 前記接着剤は、前記ベース部の寸法よりも広い範囲に塗布されることを特徴とする前項1に記載の歪ゲージ接着方法。
[3] 前記固定用テープは、前記リード線の端部にかからない部位に貼着されることを特徴とする前項1または2に記載の歪ゲージ接着方法。
[4] 前記加圧部材は、前記ベース部の寸法よりも大きく、且つ前記固定用テープの寸法よりも小さいことを特徴とする前項3に記載の歪ゲージ接着方法。
[5] 前記加圧部材は、ショアA硬度10度〜30度であることを特徴とする前項1〜4のいずれかに記載の歪ゲージ接着方法。
上記[1]に記載の発明によれば、ベース部およびリード線を有する歪ゲージと起歪体を接着する接着方法であって、ベース部の裏面、或いは起歪体の歪ゲージ接着箇所に低粘度の接着剤を塗布し、接着剤が乾燥または固化する前に起歪体に歪ゲージを配置して、ベース部の寸法よりも大きい寸法の固定用テープでベース部の全面を覆うように貼着して起歪体に仮固定し、固定用テープ上に加圧部材を積層してベース部の全面を加圧して、起歪体に密着固定させるので、低粘度の接着剤を用いて、接着剤が乾燥または固化する前に起歪体と歪ゲージが仮固定されてベース部の全面が加圧されることによって、接着剤を薄く広げることができるようになり、起歪体と歪ゲージとの間に薄く均一な接着層を形成することができるようになる。
固定用テープがベース部の全面を覆うように貼着されるので、塗布した接着剤がベース部の上面に回り込むなどすることがない。
低粘度の接着剤を加圧して薄く均一な接着層を形成するので、起歪体と歪ゲージとの間に気泡が含まれている場合であっても、接着剤の外側に気泡を押し出して脱気させ易い。
上記[2]に記載の発明によれば、接着剤は、ベース部の寸法よりも広い範囲に塗布されるので、ベース部の周縁部に接着剤が存在するようになるため、歪ゲージと接着剤との間への気泡の混入を防止することができ、ベース部の端部が剥がれ難くなる。
上記[3]に記載の発明によれば、固定用テープは、リード線の端部にかからない部位に貼着されるので、リード線の端部が固定用テープによって押さえつけられるなどされることがないため、歪ゲージのリード線が接着剤に埋没する虞が低減する。
上記[4]に記載の発明によれば、加圧部材は、ベース部の寸法よりも大きく、且つ固定用テープの寸法よりも小さいので、加圧部材がベース部の寸法よりも大きいためベース部の全面を加圧することが出来る。また、加圧部材が固定用テープの寸法よりも小さいため、リード線の端部が加圧部材によって押さえつけられるなどされることがないので、歪ゲージのリード線が接着剤に埋没することを防止することができる。
上記[5]に記載の発明によれば、加圧部材は、ショアA硬度10度〜30度であるので、歪ゲージ上に積層された加圧部材が、歪ゲージの有する凹凸を吸収して被覆しているため、加圧部材と固定用テープとの間に隙間などが生じることなく、歪ゲージに対して均一に圧力を付与することができる。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
図1は、歪ゲージ3の構成例を示す模式図、図2,3は、歪ゲージ3接着方法を説明するための説明図、図4は、歪ゲージ3に対する固定用テープ4及び加圧部材5の寸法について説明するための説明図である。
以降では、起歪体1と当接する歪ゲージ3の面を裏面或いは下面とし、歪ゲージ3の固定用テープ4が貼着される面を上面とする。
まず、図1を参照して、ベッドなどの構造物である起歪体1に接着される歪ゲージ3の構成の一例について説明する。
歪ゲージ3は、ベース部31と、ベース部31上に形成されたパターン部32と、パターン部32の端部に接続されたリード線33と、を有する。
パターン部32は、歪受感素子321と、リード線33が接続されるゲージタブ322と、を有している。
リード線33は、一端部331がゲージタブ322に接続され、一端部331からベース部31の長手方向に対して平行に延びて、他端部332がベース部31から離間した位置に設けられる。
図3に示すように、歪ゲージ3は、測定対象物である起歪体1に接着層を介して配置された状態で、歪ゲージ3の上面に固定用テープ4が貼着されて仮固定され、更に固定用テープ4上に加圧部材5が積層されて、接着層を硬化させることによって起歪体1と接着固定される。
歪ゲージ3と起歪体1とを接着する接着剤2としては、例えば、熱硬化性樹脂からなる熱硬化型接着剤2が好適に用いられ、特に、低粘度の熱硬化型透明エポキシ樹脂などがより好適に用いられる。
低粘度の接着剤2を用いて、接着剤2が乾燥または固化する前に起歪体1と歪ゲージ3が仮固定されてベース部31の全面が加圧されることによって、接着剤2を薄く広げることができるようになり、起歪体1と歪ゲージ3との間に薄く均一な接着層を形成することができるようになる。
尚、低粘度とは、ここでは25℃において1000mPas以下の粘度を意味している。
熱硬化型接着剤を用いることにより、入熱により乾燥または固化するまでの時間の短縮を図ることが可能になるため、効率よく作業を行うことができる。
接着剤2は、ベース部31の裏面、或いは起歪体1の歪ゲージ3接着箇所の何れか、またはその両方に予め塗布され、塗布した接着剤2が乾燥または固化する前に起歪体1に配置された歪ゲージ3を仮固定させる。
接着剤2が半乾きの状態で起歪体1と歪ゲージ3を仮固定させると、接着剤2の粘度が高くなることにより、薄く均一な接着剤2の層を形成することや、起歪体1と歪ゲージ3の間に混入した気泡の脱気が困難となってしまう。
接着剤2は、ベース部31の寸法よりも広い範囲に塗布されるようにすることが好ましい。
これにより、ベース部31の周縁部に接着剤2が存在するようになるため、起歪体1と歪ゲージ3の間への気泡の混入を防止することができ、ベース部31の端部が剥がれ難くなる。
尚、ベース部31の裏面に接着剤2が塗布されて起歪体1の表面に接着される場合には、予め充分な量の接着剤2を塗布しておき、起歪体1の表面に貼り付けられる際に押し付けられることにより、接着剤2が、ベース部31の寸法よりも広い範囲に押し広げられて伸びるようにするとよい。
乾燥または固化する前の接着剤2を介して起歪体1の表面に歪ゲージ3が仮固定された状態で、歪ゲージ3のベース部31の全面を覆うように固定用テープ4が貼着される。
固定用テープ4は、ベース部31の寸法よりも大きい寸法に設定され、少なくともリード線33の他端部332にかからないように歪ゲージ3の上から貼着される。
固定用テープ4は、リード線33の端部332にかからない部位に貼着されるので、リード線33の端部332が固定用テープ4によって押さえつけられるなどされることがないため、歪ゲージ3のリード線33が接着剤2に埋没する虞が低減する。
図2(b)のX−X断面図及び図2(c)のY−Y断面に示すように、固定用テープ4は、ベース部31の上面全面を覆うように貼着して、ベース部31の上面との間に隙間が生じることがないため、ベース部31の下面に塗布された接着剤2がベース部31の上面に回り込むなどすることがない。
図4に示すように、固定用テープ4は、ベース部31の全体を覆うように貼着した状態で、ベース部31の短手方向端部から固定用テープ4の端部までの長さがWSW≧1mmに設定され、且つベース部31の長手方向端部から固定用テープ4の端部までの長さが、WSH≧1mmに設定されることが好ましい。
固定用テープ4は、ポリイミドテープなどの耐熱性を有するテープが好適に用いられ、後述するように、起歪体1及び歪ゲージ3が仮固定されて固定用テープ4で貼着された状態で加熱されることによって、熱硬化型接着剤2が硬化されて起歪体1及び歪ゲージ3が強固に接着される。
加圧部材5としては、シリコン樹脂などの軟性材料が用いられる。
加圧部材5は、例えば、JIS K6253のデュロメータ硬さ試験(タイプA)に準じて測定されたショアA硬度が10度〜30度に設定されたものが加圧部材5として用いられることが好ましい。
加圧部材5は、起歪体1及び歪ゲージ3が接着剤2を介して固定用テープ4によって仮固定された状態で、固定用テープ4上に積層されてベース部31の全面を加圧するために用いられる。
図3(b)のZ−Z断面図で示すように、加圧部材5が可撓性を有する素材からなるため、リード線33により僅かに凹凸が生じている部位であっても、ベース部31の上面の凹凸に応じて加圧部材5の裏面形状が変形するので、図3(c)に示すような硬質の部材が固定用テープ4の上面に載置された場合のように、固定用テープ4の上面と加圧部材5の裏面との間に隙間が生じることがない。
加圧部材5は、ショアA硬度10度〜30度であるので、歪ゲージ3上に積層された加圧部材5が、歪ゲージ3の有する凹凸を吸収して被覆しているため、加圧部材5と固定用テープ4との間に隙間などが生じることなく、歪ゲージ3に対して均一に圧力を付与することができる。
加圧部材5は、ベース部31の全面を加圧して、起歪体1に密着固定させる必要があるため、ベース部31の寸法よりも大きく、固定用テープ4の寸法よりも小さい寸法に設定されて用いられることが好ましい。
これにより、加圧部材5がベース部31の寸法よりも大きいためベース部31の全面を加圧することが出来る。また、加圧部材5が固定用テープ4の寸法よりも小さいため、リード線33の端部が加圧部材5によって押さえつけられるなどされることがないので、歪ゲージ3のリード線33が接着剤2に埋没することを防止することができる。
以降では、本発明の歪ゲージ3接着方法を用いて得られる歪検出器と、本発明の歪ゲージ3接着方法を用いないで得られた歪検出器と、を比較した。
比較に用いた本発明の歪ゲージ3接着方法による歪検出器は、以下のようにして製造される。
最初に、起歪体1の表面歪ゲージ3接着箇所が、サンドペーパーなどで方向性をもたないように他方向に磨き仕上げられる。
次に、アセトンやエタノールなどの溶剤を用いて、起歪体1の歪ゲージ3接着箇所の脱脂及び洗浄を行った後、起歪体1の表面の歪ゲージ3接着箇所をけがく。
起歪体1の歪ゲージ3接着箇所をけがいた後、起歪体1の歪ゲージ3接着箇所において歪ゲージ3のベース部31の寸法よりも広い範囲に接着剤2を塗布する。
起歪体1と歪ゲージ3とを接着する接着剤2の一例として、2液混合タイプの熱硬化性透明エポキシ樹脂(LOCTITE STYCAST(登録商標) 1264)が用いられる。
透明の接着剤2を用いることにより、目視による接着剤の乾燥または固化後の歪ゲージの接着状態の確認が行い易くなる。
その後、塗布した接着剤2が乾く前に歪ゲージ3を起歪体1に配置して、固定用テープ4でベース部31の全面を覆うように貼着させ、起歪体1と歪ゲージ3とを仮固定させる。
図2に示すように、固定用テープ4は、歪ゲージ3のベース部31よりも大きい寸法に設定されたものが貼着される。
起歪体1及び歪ゲージ3が固定用テープ4で仮固定された状態で、固定用テープ4上に加圧部材5を積層してベース部31の全面を加圧して、起歪体1に密着固定させる。
加圧部材5としては、例えば、JIS K6253のデュロメータ硬さ試験(タイプA)に準じて測定されたショアA硬度が10度〜30度に設定されたシリコンラバーを用いる。
歪ゲージ3は、加圧部材5を積層した上に更にアルミニウム板などの錘が重ねて加圧されて、起歪体1と歪ゲージ3とをより密着固定させる。
以上のようにして、本願発明の歪ゲージ3接着方法を用いた歪検出器が得られた。
尚、上述した歪検出器の製造方法は一例であり、必ずしもこれに限定されるものではない。
以下に示す表1は、接着工程において、上述した接着方法が施された本願発明品及び上述した以外の接着方法が施された比較例を比較した結果を示している。
比較例1は、固定用テープ4の寸法が歪ゲージ3のベース部31寸法よりも小さい寸法に設定されたもの、比較例2は、固定用テープ4の寸法が歪ゲージ3のベース部31寸法よりも小さい寸法に設定され、且つ加圧部材5の硬度がショアA硬度30度よりも高い(硬い)もの、比較例3は、加工材の硬度がショアA硬度30度よりも高い(硬い)もの、比較例4は、接着剤2の塗布量が多いものとしてそれぞれ製造したものである。
比較結果によれば、固定用テープ4の歪ゲージ3のベース部31寸法よりも小さい寸法に設定された比較例1,2では、歪ゲージ3のベース部31の一部が剥がれたり、破れたりした不良品が見られた。
これは、固定用テープ4の寸法が、ベース部31の一部が露出するような寸法に設定されているため、ベース部31の露出した部分が剥がれや破れに繋がったものと考えられる。
また、固定用テープ4の歪ゲージ3のベース部31寸法よりも小さい寸法に設定された、或いは加圧部材5の硬度が硬い(ショアA硬度>30度)比較例1〜3では、起歪体1表面と歪ゲージ3のベース部31の裏面との間に空気が混入した不良品が生じた。
これは、固定用テープ4によりベース部31の全面が覆われていない状態、及び加圧部材5によって歪ゲージ3の全面が均一に加圧されていない場合には、接着層を介した起歪体1の表面と歪ゲージ3のベース部31の裏面が上手く密着しなかったためと考えられる。
接着剤2の塗布量が多い比較例4では、ベース部31の一部の剥がれ、破れ、或いは起歪体1と歪ゲージ3との間に気泡が生じるといった不良品は認められなかったものの、リード線33が接着剤2の中に埋没してしまい、接着工程後の工程においてリード線33が欠損した不良品が発生した。
比較例1〜4の中でも特に、固定用テープ4の歪ゲージ3のベース部31寸法よりも小さい寸法に設定されたものでは、不良品発生率が著しく高くなることがわかった。
一方、上述した歪ゲージ3接着方法を用いた歪検出器(本願発明品)においては、不良品が発生することはなかった。
上述した加圧部材5は、シリコン樹脂などの軟性材料からなるものとして説明したが、これに限定されるものではなく、固定用テープ4が貼着されたベース部31の凹凸形状に合わせて当接面の表面形状が変化するような軟性素材であれば、金属軟性素材であっても良いし、軟質合成樹脂などが用いられるであってもよい。
上述では、起歪体1がベッドなどの構造物としたが、歪ゲージ3を接着させてその荷重を測定することができるものであれば、特に特定されるものではなく、本願発明の歪ゲージ3接着方法を適用することが可能である。
尚、本願発明の接着方法を用いて製造された歪検出器においても、本願発明の接着方法によって得られる効果と同様の効果を奏することは明らかである。
上述した歪ゲージ3接着方法によれば、ベース部31およびリード線33を有する歪ゲージ3と起歪体1を接着する接着方法であって、ベース部31の裏面、或いは起歪体1の歪ゲージ3接着箇所に低粘度の接着剤2を塗布し、接着剤2が乾燥または固化する前に起歪体1に歪ゲージ3を配置して、ベース部31の寸法よりも大きい寸法の固定用テープ4でベース部31の全面を覆うように貼着して起歪体1に仮固定し、固定用テープ4上に加圧部材5を積層してベース部31の全面を加圧して、起歪体1に密着固定させるので、低粘度の接着剤2を用いて、接着剤2が乾燥または固化する前に起歪体1と歪ゲージ3が仮固定されてベース部31の全面が加圧されることによって、接着剤2を薄く広げることができるようになり、起歪体1と歪ゲージ3との間に薄く均一な接着層を形成することができるようになる。
固定用テープ4がベース部31の全面を覆うように貼着されるので、塗布した接着剤2がベース部31の上面に回り込むなどすることがない。
低粘度の接着剤2を加圧して薄く均一な接着層を形成するので、起歪体1と歪ゲージ3の間に気泡が含まれている場合であっても、接着剤2の外側に気泡を押し出して脱気させ易い。
以上説明した実施形態は、本発明の一例に過ぎず、本発明の作用効果を奏する範囲において具体的構成などを適宜変更設計できることは言うまでもない。
本発明は、起歪体に生じる歪を検知する歪ゲージを起歪体に接着固定する方法を提供することにより、歪検出器の製造の効率化に寄与する点で、産業上の利用可能性を有する。
1…起歪体
2…接着剤
3…歪ゲージ
4…固定用テープ
5…加圧部材
31…ベース部
32…パターン部
33…リード線
2…接着剤
3…歪ゲージ
4…固定用テープ
5…加圧部材
31…ベース部
32…パターン部
33…リード線
Claims (5)
- ベース部およびリード線を有する歪ゲージと起歪体を接着する接着方法であって、
前記ベース部の裏面、或いは前記起歪体の前記歪ゲージ接着箇所に低粘度の接着剤を塗布し、
前記接着剤が乾燥または固化する前に前記起歪体に前記歪ゲージを配置して、前記ベース部の寸法よりも大きい寸法の固定用テープで前記ベース部の全面を覆うように貼着して前記起歪体に仮固定し、
前記固定用テープ上に加圧部材を積層して前記ベース部の全面を加圧して、前記起歪体に密着固定させることを特徴とする歪ゲージ接着方法。 - 前記接着剤は、前記ベース部の寸法よりも広い範囲に塗布されることを特徴とする請求項1に記載の歪ゲージ接着方法。
- 前記固定用テープは、前記リード線の端部にかからない部位に貼着されることを特徴とする請求項1または2に記載の歪ゲージ接着方法。
- 前記加圧部材は、前記ベース部の寸法よりも大きく、且つ前記固定用テープの寸法よりも小さいことを特徴とする請求項3に記載の歪ゲージ接着方法。
- 前記加圧部材は、ショアA硬度10度〜30度であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の歪ゲージ接着方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5636562A (en) * | 1979-06-29 | 1981-04-09 | Bofors America | Two component adhesive compound |
JPS58114706U (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-05 | 山口 十四治 | ゲ−ジ接着用加圧器具 |
JPH0442003A (ja) * | 1990-06-07 | 1992-02-12 | Meidensha Corp | 電気抵抗ひずみゲージの固定方法 |
US5767416A (en) * | 1997-01-23 | 1998-06-16 | The United States Of America As Represented By The Department Of Energy | Strain gauge installation tool |
JP2005214969A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-08-11 | Mettler Toledo Gmbh | 力計測セルの変形可能な本体へのひずみゲージの接着技術 |
-
2015
- 2015-01-08 JP JP2015002092A patent/JP2016125977A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5636562A (en) * | 1979-06-29 | 1981-04-09 | Bofors America | Two component adhesive compound |
JPS58114706U (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-05 | 山口 十四治 | ゲ−ジ接着用加圧器具 |
JPH0442003A (ja) * | 1990-06-07 | 1992-02-12 | Meidensha Corp | 電気抵抗ひずみゲージの固定方法 |
US5767416A (en) * | 1997-01-23 | 1998-06-16 | The United States Of America As Represented By The Department Of Energy | Strain gauge installation tool |
JP2005214969A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-08-11 | Mettler Toledo Gmbh | 力計測セルの変形可能な本体へのひずみゲージの接着技術 |
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