JP2016124707A - 回路基板用シート分離方法及び回路基板用シート分離装置 - Google Patents

Abstract

【課題】回路基板用シートの分離が容易に行える回路基板用シート分離方法を提供する。
【解決手段】積層された回路基板用シートをエア噴出し手段としてのエア噴射ノズル装置３００からのエア噴出により浮上させる第１の工程としての浮上工程と、浮上工程の後に、浮上した回路基板用シートを保持部材としての浮上保持搬送装置１６０の搬送ベルト１６１にて保持し、分離を完了させる第２の工程としての保持工程と、を有する回路基板用シート分離方法である。
【選択図】図５

Description

本発明は、回路基板用シート分離方法及び回路基板用シート分離装置に関する。

従来、プリプレグを分離し搬送することを可能としたプリプレグ装置および方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１には、以下のプリプレグ供給装置およびプリプレグ供給方法が開示されている。即ち、同文献では、シリンダ等により回動する吸着パッドによって積み重ねられた１枚目のプリプレグの吸着部である端部を吸着、持ち上げし（上方回動）、さらにもう一つのシリンダにより上下する吸着パッドにより２枚目のプリプレグの端部を吸着、持ち上げる。次に、両方の吸着パッドを同時に水平移動、例えば５０ｍｍ程度移動することで必要とする２枚のプリプレグを区分け搬送するものである。

しかしながら、特許文献１記載の技術では、１枚目のプリプレグと２枚目のプリプレグとを分離するのに、それぞれ個別の吸着動作と上方回動動作などが必要であり、プリプレグの分離を容易に行うことが困難であった。

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、回路基板用シートの品質を損なわずに分離が容易に行える回路基板用シート分離方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明は、積層された回路基板用シートをエア噴出し手段からのエア噴出しにより回路基板用シートの端部を浮上させる第１の工程と、前記第１の工程の後に、前記浮上した回路基板用シートを保持部材にて保持し、分離させる第２の工程と、を有する回路基板用シート分離方法である。

本発明によれば、回路基板用シートの品質を損なわずに分離が容易に行える回路基板用シート分離方法を提供することができる。

本発明の実施形態１に係る回路基板用シート分離搬送方法に用いる回路基板用シート分離搬送装置の外観を模式的に示す斜視図である。 実施形態１に係る回路基板用シート分離搬送装置を示す斜視図である。 実施形態１に係る回路基板用シート分離搬送装置における回路基板用シートの分離状態を示す模式図である。 実施形態１に係る回路基板用シート分離搬送装置を示す平面図である。 実施形態１の回路基板用シート分離搬送装置により実行される主な工程を示すフローチャートである。 （ａ）、（ｂ）、（ｃ）は実施形態１に係る回路基板用シート分離搬送装置の動作推移状態を示す図である。 （ａ）、（ｂ）は図６（ｃ）に続く回路基板用シート分離搬送装置の動作推移状態を示す図である。 実施形態２に係る被搬送材分離搬送方法に用いる被搬送材分離搬送装置を模式的に示す斜視図である。 実施形態２に係る浮上保持搬送装置による被搬送材の吸着保持動作を説明する模式的な図である。 実施形態１や実施形態２の浮上保持搬送装置等の別の具体例を示す図である。 実施形態３に係る浮上保持搬送装置による被搬送材の吸着保持動作を説明する模式的な図である。 実施形態４に係る浮上保持搬送装置による被搬送材の吸着保持動作を説明する模式的な図である。

以下、図を参照して実施例を含む本発明の実施の形態を詳細に説明する。各実施形態等に亘り、同一の機能及び形状等を有する構成要素（部材や構成部品）等については、混同の虞がない限り一度説明した後では同一符号を付すことによりその説明を省略する。

（実施形態１）
本発明の実施形態１に係る回路基板用シート分離方法及び回路基板用シート搬送方法について説明する。図１は、本発明の実施形態１に係る回路基板用シート分離方法及び回路基板用シート搬送方法を実施する装置の一実施形態を示す。尚、本発明の実施対象とする図１に示す回路基板用シート分離搬送装置１３０は、図示したものには限定されず、ソーティング機能や、検査機能等を備えた種々の装置が対象となる。回路基板用シート分離搬送装置１３０は、回路基板用シート搬送装置及び回路基板用シート搬送装置を構成する回路基板用シート分離装置として機能する。
本発明の分離・搬送対象物である回路基板用シートには、公知の全ての回路基板に用いられるシートが含まれる。例えば、炭素繊維やガラスクロスのような繊維状補強材に、硬化剤、着色剤などの添加物を混合した熱硬化性樹脂等を含浸させ、加熱又は乾燥して半硬化状態にしたシート状の強化プラスチック成形材料（プリプレグ）が含まれる。また、プリプレグや樹脂シートなどに銅箔や金箔等の処理を施したものも含まれる。

回路基板用シートの幅サイズとしては、一例を挙げると約１００ｍｍ〜７００ｍｍ程度のものが用いられる。また、厚さとしては、０．０２ｍｍ〜０．２ｍｍ程度のものが用いられる。
尚、前記回路基板用シートの厚さは、あくまでも一例であり、前記範囲以外の厚さのものが用いられるのは無論である。
ここで、搬送方向Ｘは、回路基板用シートの搬送方向に相当する。上下方向Ｚは、回路基板用シートの積層方向に相当する。幅方向Ｙは、回路基板用シートの搬送方向Ｘと回路基板用シートの積層方向である上下方向Ｚに対して直交する方向に相当する。

図１〜図４を用いて、回路基板用シート分離搬送装置及び回路基板用シート分離搬送装置を構成する浮上保持搬送装置について説明する。図１は回路基板用シート分離搬送装置を模式的に示す斜視図、図２は回路基板用シート分離搬送装置を示す斜視図、図３は回路基板用シート分離搬送装置における回路基板用シートの分離状態を示す模式図、図４は回路基板用シート分離搬送装置を示す平面図である。各図において適宜示す白抜き矢印や実線矢印は、各装置へのエアの出入り方向を表わしている。
図２に示すように、回路基板用シート束１は、複数枚の回路基板用シートを積層状態にしたものである。回路基板用シート分離搬送装置１３０において、回路基板用シート束１は、底板である積載台１３６上に積層状態で積載・配置される。

積載台１３６は、回路基板用シートを積層状態で準備する準備手段として機能する。積載台１３６は、回路基板用シート積載部駆動手段である昇降機構で上下方向Ｚに移動可能である。また、回路基板用シート分離搬送装置１３０は、回路基板用シート束１の上面位置を検出する回路基板用シート検出手段としての検知センサ２０と、昇降機構の駆動を制御して回路基板用シート束１の上面位置を制御する回路基板用シート位置制御手段とを備える。これにより、積載台１３６上の回路基板用シート束１の上面が検知センサ２０によって検出される所定の高さ位置を占めると、後述する動作を介して、最上位の回路基板用シート１Ａが分離されて搬送される。

回路基板用シート分離搬送装置１３０には、一対の回路基板用シート位置規制部材であるサイドフェンス１３７、１３７、前端ガイド板１３８、エンドフェンス１３９が設けられている。サイドフェンス１３７、１３７は、積載台１３６の回路基板用シート幅方向Ｙの両側に配置され、配置された回路基板用シート束１の搬送方向Ｘに交差（直交）する回路基板用シートの幅方向Ｙの位置決めを行う。前端ガイド板１３８は、回路基板用シート束１の搬送方向Ｘに相当する長さ方向前端の位置決めを行う。さらに、エンドフェンス１３９は、同じく長さ方向後端の位置決めを行う。
図２のサイドフェンス１３７、１３７の一方（図において左奥側）に二点鎖線で示すサイドエアノズル３７０は、回路基板用シート束１の側端部にサイドエアＡｃ（図４参照）を噴出・吹き付けるサバキ用送風手段・エア噴出し手段である第２のエア噴出し部材として機能する。図４に示すように、サイドエアノズル３７０は、サイドエアＡｃを生成するサイドエア生成として機能するサイドブロア３８０に接続されている。

図２の回路基板用シート分離搬送装置１３０と図３の浮上保持搬送装置１６０は、駆動ローラ１６２と、従動ローラ１６３と、搬送ベルト１６１と、負圧エアチャンバ３１０とを備える。駆動ローラ１６２は、駆動軸１６２ａで回転駆動され、従動ローラ１６３は、駆動ローラ１６２の駆動で転動する搬送ベルト１６１につれて回転する。搬送ベルト１６１は、負圧エアチャンバ３１０に連通する吸引孔が多数明けられたエンドレス状のベルト部材である。負圧エアチャンバ３１０は、図４に示す吸引ブロア３９０に接続されていて、外部の吸引ブロア３９０から吸引されて負圧状態を保ち、搬送ベルト１６１の吸引孔で最上位の回路基板用シート１Ａを吸引・吸着する。吸引ブロア３９０は、吸引用エアを生成する吸引用エア生成手段としての機能を有する。

上記したとおり、浮上保持搬送装置１６０の搬送ベルト１６１は、浮上した回路基板用シートをエア吸引による負圧で吸着して保持し分離させる保持部材と、保持した回路基板用シートを搬送する搬送手段としての機能を有する。
浮上保持搬送装置１６０は、回路基板用シートのサイズに応じて、浮上保持搬送装置１６０のサイズを大きくしてもよく、また複数の浮上保持搬送装置１６０を用いてもよい。
浮上保持搬送装置１６０による回路基板用シートの保持及び分離が完了した後に搬送を始める形態でもよく、保持及び分離が完了する前に搬送を始める形態でもよい。
また、保持とは、浮上した回路基板用シートの一部でも浮上保持搬送装置１６０に保持された状態をいう。

積載された回路基板用シート束１の前端に対向する位置には、エア吹き付け手段でもあるエア噴射ノズル装置３００が配置される。エア噴射ノズル装置３００には、外部から加圧された気体である空気（以下、エアともいう）が送られて溜めるエアチャンバ３２０が配置されている。また、図３、図４に示すように、エアチャンバ３２０には、２つの浮上ノズル３２２が設けられている。

上記したとおり、エア噴射ノズル装置３００は、積載台１３６上に積載・準備された回路基板用シートを浮上させる浮上手段として機能する。さらに、エア噴射ノズル装置３００は、積載された回路基板用シートにエア噴出し浮上させるエア噴出し手段及び搬送方向Ｘと反対方向にエアを噴出す第１のエア噴出し部材として機能する。
エアを噴出す方向は搬送方向Ｘと反対方向であればよく、必ずしも平行でなくとも、斜め方向でもよい。
気体である空気には、除電された空気や、その他回路基板用シートを浮上させ、１枚ずつに分離するために用いられる気体なども含まれる。特に炭素繊維を含む回路基板用シートは、積層状態の回路基板用シート同士が静電気の作用で密着していて容易に分離しにくいため、積層状態の回路基板用シート束１に除電された空気を吹き付けることは有効である。

図３、図４に示すように、浮上ノズル３２２は、回路基板用シート束１の前側の端部（以下、前端部ともいう）に向けて浮上エアＡａを吹き付け、回路基板用シート束１から回路基板用シートを浮き上がらせる。また、例えばシートをずらす機構を更に設け、浮上ノズル３２２は、回路基板用シート束１の前端部よりも中央よりの位置に当て回路基板用シートの端部を浮上させてもよい。尚、吹き出すエアを温風にすれば、回路基板用シートへの除湿効果も加わり、分離・サバキをより効果的に行うことができる。

図５は、本発明の回路基板用シート分離方法及び回路基板用シート搬送方法を使用した本実施形態の回路基板用シート分離装置及び回路基板用シート搬送装置により実行される主な工程を示す図である。図６、図７は、回路基板用シート搬送装置による動作推移を説明する図である。
まず、図６（ａ）を用いて、上述した回路基板用シート分離搬送装置１３０の構成及び動作について補説する。図６（ａ）に示す回路基板用シート分離搬送装置１３０は、積載台１３６に積載された回路基板用シート束１の前端面に向かってエアチャンバ３２０から浮上エアＡａを吹き付け、この風によって搬送ベルト１６１（回路基板用シート保持部）の高さまで浮上させる。

そして、吸引ブロア３９０の作動により、回路基板用シート束１の最上面の１枚を搬送ベルト１６１によって保持させる。搬送ベルト１６１に保持した最上位の回路基板用シート１Ａは１枚だけになっているとは限らず、回路基板用シート間が密着した状態で保持していることもある。そこでサイドフェンス１３７、１３７に設けられたサバキ用送風手段であるサイドエアノズル３７０にてサイドエアを吹き付け、搬送ベルト１６１に保持した回路基板用シート１Ａを１枚になるようにさばく。サバキとは、サイドエアからエアを噴出させることで、回路基板用シート間の密着力を低下させることで分離を補助することである。
その後、回路基板用シート１Ａは搬送ベルト１６１の搬送により目的とする搬送先（例えば次工程）へと搬送され、その後必要な処理が行われる。

エアチャンバ３２０と最上部に積載された回路基板用シート束１との間には、回路基板用シートせき止め部材１７７が配置されており、最上位の回路基板用シート１Ａ以外の回路基板用シートが搬送されるのを防いでいる。また、給送した回路基板用シートによって減少する回路基板用シートの最上面位置と搬送ベルト１６１との距離ｈを常時一定とさせるために、回路基板用シートの高さを検知する検知センサ２０が設けられている。検知センサ２０は、反射型のフォトセンサである。検知センサ２０の信号に基づいて、回路基板用シート積載部駆動手段（昇降機構）により積載台１３６を上昇させて調整している。

回路基板用シート束１は積載台１３６上で回路基板用シートサイズに合わせるように、前端面を基準面として揃えている。また、浮上保持搬送装置１６０における搬送方向Ｘの下流には、回路基板用シート到達の検知を行う給送センサ１７９が設けられている。

次に、回路基板用シート分離搬送装置１３０の動作・工程について、順を追って説明する。
（１）回路基板用シートを積層状態で準備する準備工程（ステップＳ１）は、例えば次のように行われる。具体的には、操作者によって回路基板用シート束１は積載台１３６上に積載されるとともに、回路基板用シートサイズに合わせてセットすべく、その前端面が前端ガイド板１３８に突き当てられ基準面として揃えられる。また、サイドフェンス１３７、１３７及びエンドフェンス１３９を操作することによって、回路基板用シート束１の側端面及び後端面がそれぞれ揃えられる。尚、準備工程においては、例えばオペレータ等の人手に代えて、ロボットや専用装置によって、上記したように回路基板用シート束１の積載動作や回路基板用シートサイズ合わせを行うものであってもよい。

図１の回路基板用シート分離搬送装置１３０の制御部から回路基板用シート給送指令が来ると、図６（ｂ）に示すように、エア噴射ノズル装置３００のエアチャンバ３２０、サイドエアノズル３７０を含むサバキ用送風手段が作動する。そして、回路基板用シート各端部へのエアを吹き付ける第１の工程としての浮上工程が開始される（図５のステップＳ２）。エアチャンバ３２０の浮上ノズル３２２からの浮上エアＡａが吹き付けられ、またサイドエアノズル３７０からサイドエアＡｃが吹き付けられることで、準備された積載台１３６上の最上部の回路基板用シート１Ａ、１Ｂ、１Ｃを浮上させる。これにより、最上部の回路基板用シート１Ａ、１Ｂ、１Ｃ同士の接触面積が変えられる。

同時に、浮上している回路基板用シートを保持する第２の工程としての保持工程（図５のステップＳ３）が開始され、搬送ベルト１６１によるエア吸引が開始する。それにより最上位の回路基板用シート１Ａが浮上し、図６（ｂ）に示すように搬送ベルト１６１に最上位の回路基板用シート１Ａが吸着保持される。
尚、図６（ｂ）において、エアチャンバ３２０や搬送ベルト１６１の符号に括弧書きで付した（ＡＤ）は、エアチャンバ３２０による吹き付け駆動状態、搬送ベルト１６１の吸引駆動状態にあることを表している。また、搬送ベルト１６１の符号に付した（ＳＴ）は、搬送ベルト１６１が停止状態にあることを表している。

図５のステップＳ４の「サバキ工程」は搬送ベルト１６１が保持した回路基板用シートをさばく工程であり、上述したようにサイドエアノズル３７０を含むサバキ用送風手段によって行われる。
（２）次いで、図６（ｃ）に示すように、搬送ベルト１６１の駆動が開始され、搬送ベルト１６１により保持された回路基板用シート１Ａを搬送する搬送工程が行われる（図５のステップＳ５）。
尚、図６（ｃ）において、搬送ベルト１６１の符号に括弧書きで付した（ＡＤ）は回転搬送駆動状態にあることを表している。

（３）次いで、図７（ａ）に示すように、回路基板用シート１Ａが給送センサ１７９に到達後、所定の時間が経過後に回路用基板シート１Ａが搬送ベルト１６１を抜けた後、回転搬送駆動を停止する。
（４）回路基板用シート１Ａが搬送ベルト１６１の保持領域を抜けた直後、図７（ｂ）に示すように、次の回路基板用シート１Ａがエア吹き付けにより浮上し、搬送ベルト１６１に保持される。
（５）設定した回路基板用シート給送間隔に応じて、搬送ベルト１６１の駆動を再開し、回路基板用シート１Ａの給送を行う。
（６）以降、上述の図６（ｂ）〜図７（ｂ）の繰り返しにより、回路基板用シートが順次搬送される。

前記の回路基板用シート給送動作ではエアチャンバ３２０、サバキ用送風手段、吸引ブロア３９０のエアの風量に関しては記載を行っていない。エアの風量をある値で固定している場合、積載した回路基板用シートの厚さや重さやサイズによって回路基板用シートの浮上量やサバキ状態は異なることとなる。

例えば回路基板用シートの浮上量が少なければ不供給（不給送）に至ってしまうことになり、逆に回路基板用シートが浮上しすぎの状態であれば回路基板用シートが密着してしまうこととなり、重送に至ってしまう。また吸引ブロア３９０の力が小さければ回路基板用シートをうまく搬送できず、これも不供給となってしまう。

そのため、適正に回路基板用シート給送を行うため、積載した回路基板用シートに合わせた風量を予め決めておき、ユーザや操作者は回路基板用シート給送を行いたい回路基板用シートを選んだ場合は自動的にその風量になるようにしている。そして風量はブロワのデューティの値によって調整している。

傷がついた回路基板用シートを用いて製作された回路基板は、電気的特性（抵抗値）に不具合が生じてしまう。このため、回路基板用シートの分離には、分離された回路基板用シートの電気的特性（抵抗値）に不具合が生じてしまわないよう行わなければならないという課題がある。
この課題に対し、実施形態１により下記効果を奏する。実施形態１では、回路基板用シート束１などの回路基板用シートを積層状態で準備するステップＳ１などの準備工程と、積層された回路基板用シートをエア噴射ノズル装置３００などのエア噴出し手段・エア噴出し部材からのエア噴出しにより回路基板用シートを浮上させるステップＳ２などの第１の工程（浮上工程）と、浮上した回路基板用シートを搬送ベルト１６１などの保持部材にて保持し、分離させるステップＳ３などの第２の工程（保持工程）と、を有する回路基板用シート分離方法であった。

実施形態１によれば、回路基板用シートの品質を損なわずに（回路基板用シートにキズを付けたりせずに）回路基板用シートの分離を容易に行える回路基板用シート分離方法を提供することができる、という基本的な効果を奏する。傷がついた回路基板用シートを用いて製作された回路基板は、抵抗値等の特性に不具合が生じてしまう。しかし実施形態１によれば、回路基板用シートの品質を損なわずに（回路基板用シートにキズを付けたりせずに）回路基板用シートの分離を容易に行える回路基板用シート分離方法を提供することができるため、そのような回路基板の不具合を防止することができる。この効果は回路基板用シートの分離に関する特有の技術課題を解決するものである。

実施形態１では、エア噴出し手段として、回路基板用シートの搬送方向Ｘなどの搬送方向と反対方向にエアを噴出すエア噴射ノズル装置３００などの第１のエア噴出し部材と、搬送方向と直交する幅方向Ｙなどの幅方向にエアを噴出すサイドエアノズル３７０などの第２のエア噴出し部材とが用いられる回路基板用シート分離方法であった。

また、実施形態１では、第２の工程には、第２のエア噴出し部材が回路基板用シートをさばくステップＳ４などのサバキ工程が含まれる回路基板用シート分離方法であった。
また、実施形態１では、第２の工程が終了した後、エア噴出し部材からのエア噴出しを停止する回路基板用シート分離方法であった。

また、実施形態１では、搬送ベルト１６１などの保持部材は、浮上した回路基板用シートをエア吸引による負圧で吸着して保持する回路基板用シート分離方法であった。
また、実施形態１では、回路基板用シートを積載して回路基板用シートの積層方向に昇降可能な積載台１３６などの積載台上に積載された回路基板用シートの上面位置が常に一定位置になるように、積載台が昇降制御される回路基板用シート分離方法であった。
実施形態１によれば、回路基板用シートの品質を損なわずに（回路基板用シートにキズを付けたりせずに）回路基板用シートの分離を容易に、且つ確実に行える回路基板用シート分離方法を提供することができる、という効果を奏する。

また、実施形態１では、回路基板用シート分離装置を用いた回路基板用シート搬送方法であって、保持した回路基板用シートを搬送するステップＳ５などの搬送工程を有するものであった。
実施形態１によれば、分離された回路基板用シートを確実に搬送できる回路基板用シート搬送方法を提供することができる、という効果を奏する。傷がついた回路基板用シートを用いて製作された回路基板は、抵抗値等の特性に不具合が生じてしまう。しかし実施形態１によれば、回路基板用シートの品質を損なわずに（回路基板用シートにキズを付けたりせずに）回路基板用シートの分離を容易に行える回路基板用シート分離方法を提供することができるため、そのような回路基板の不具合を防止することができる。この効果は回路基板用シートに関する特有の技術課題を解決するものである。

また、実施形態１では、回路基板用シート束１などの回路基板用シートを積層状態で準備する積載台１３６などの準備手段と、準備積層された回路基板用シートにエアを噴出し浮上させるエア噴射ノズル装置３００などのエアを噴出し手段と、浮上した回路基板用シートを保持し分離させる搬送ベルト１６１などの保持部材と、を有する回路基板用シート分離搬送装置１３０などの回路基板用シート分離装置に係る技術構成であった。

実施形態１によれば、回路基板用シートの品質を損なわずに回路基板用シートの分離を容易に行える回路基板用シート分離装置を提供することができる、という効果を奏する。傷がついた回路基板用シートを用いて製作された回路基板は、抵抗値等の特性に不具合が生じてしまう。しかし実施形態１によれば、回路基板用シートの品質を損なわずに（回路基板用シートにキズを付けたりせずに）回路基板用シートの分離を容易に行える回路基板用シート分離装置を提供することができるため、そのような回路基板の不具合を防止することができる。この効果は回路基板用シートに関する特有の技術課題を解決するものである。

（実施形態２）
図８、図９を用いて、本発明の実施形態２に係る被搬送材分離搬送装置１３０Ａについて説明する。図８は実施形態２に係る被搬送材分離搬送装置を模式的に示す斜視図、図９は図８の浮上保持搬送装置による被搬送材の吸着保持動作を説明する模式的な図である。
実施形態２は、被搬送材分離搬送装置１３０Ａを用いる。

被搬送材は、本発明による被搬送材分離搬送装置により分離搬送可能な薄板状ないしはシート状の部材を含み、銅箔等の金属箔やメッキ処理等を施した電子回路基板材、紙、特殊フィルム、プラスチックフィルム、プリプレグ等の電子回路基板用シートなどが含まれる。また被搬送材は、本発明による被搬送材分離搬送装置により分離可能であればよく、必ずしも薄板状ないしはシート状の部材には限られない。
ここで、被搬送材のサイズ（横サイズ×縦サイズ）について説明する。大サイズは大よそ横サイズ７００ｍｍ×縦サイズ７００ｍｍであり、中サイズは大よそ横サイズ４２０ｍｍ×縦サイズ５９４ｍｍであり、小サイズは大よそ横サイズ２１０ｍｍ×縦サイズ２９７ｍｍである。

実施形態２の被搬送材分離搬送装置１３０Ａは、図８に示すように、幅方向Ｙに沿って設置された、２つのエア噴射ノズル装置３００Ａ、３００Ｂ及び２つの浮上保持搬送装置１６０Ａ、１６０Ｂを用いている。浮上保持搬送装置１６０Ａ、１６０Ｂは、被搬送材の搬送方向Ｘおよび前記被搬送材の積層方向である高さ方向Ｚに対して垂直な方向である幅方向Ｙにおいて異なる位置に設けられていればよく、必ずしも整列して設けられている必要はない。２つのエア噴射ノズル装置３００Ａ、３００Ｂで被搬送材の幅方向Ｙでの浮上力を増加させるとともに、２つの浮上保持搬送装置１６０Ａ、１６０Ｂで被搬送材の幅方向Ｙでの吸着保持力を増加させている。

２つのエア噴射ノズル装置３００Ａ、３００Ｂは、実施形態１における単一のエア噴射ノズル装置３００の内部構成とそれぞれ同じである。エア噴射ノズル装置３００Ａ、３００Ｂは、浮上保持搬送装置１６０Ａ、１６０Ｂによって浮上した被搬送材が保持され分離された後、エア噴出しを停止するように、それぞれの浮上ブロアのオン／オフ制御が行われる。尚、本実施形態では、エア吸引による負圧で吸着して保持し分離させる保持部材の例を示しているが、必ずしもエアに限らず静電的な吸着も含む。

２つの浮上保持搬送装置１６０Ａ、１６０Ｂは、実施形態１の浮上保持搬送装置１６０の内部構成とそれぞれ同じである。浮上保持搬送装置１６０Ａは本発明の第１の保持部材として、浮上保持搬送装置１６０Ｂは本発明の第２の保持部材として、それぞれ機能する。

浮上保持搬送装置１６０Ａと浮上保持搬送装置１６０Ｂとは、図９に示すように、幅方向Ｙに沿って互いに隣接して配置されている。図９に示すように、浮上した被搬送材１Ａは浮上保持搬送装置１６０Ａの搬送ベルト１６１に保持された後、浮上保持搬送装置１６０Ｂの搬送ベルト１６１に吸着保持される。被搬送材１Ａが浮上保持搬送装置１６０Ａ、浮上保持搬送装置１６０Ｂの各搬送ベルト１６１に吸着保持される順番の制御方法については、上述したような順番となるようにそれぞれの吸引ブロア３９０（図４参照）のオン／オフ制御が行われる。オンのタイミングが異なっても、同じでも、その順番で被搬送材１Ａが保持されればよい（後述する実施形態２〜４の制御でも同じ）。

上記したとおり、実施形態２によれば、被搬送材の品質を損なわずに分離が容易に行える被搬送材分離方法及び被搬送材分離装置を提供することができる。浮上した被搬送材は、浮上保持搬送装置１６０Ａに保持された後、隣接して配置されている浮上保持搬送装置１６０Ｂに保持される。そのため、浮上保持搬送装置１６０Ａに保持された被搬送材は、たわみやしわが発生することなく浮上保持搬送装置１６０Ｂに保持することが可能となる。よって、被搬送材の品質を損なわずに分離を容易に行うことが可能となる。

ここで、本発明の「保持部材」について定義しておく。即ち、「保持部材」とは、エア吸引や搬送ベルトの駆動が行われる一単位をいう。
例えば、図１０に示すように、浮上保持搬送装置１６０Ｘにおいて、３つの搬送ベルト１６１ａ、１６１ｂ、１６１ｃが保持ユニット１６５を構成していても、エア吸引や搬送ベルトの駆動が一体で制御されていれば、全体で１つの「保持部材」とする。
例えば、図９に二点鎖線で示すように浮上保持搬送装置１６０Ａは、３つの搬送ベルト１６１Ａa、１６１Ａｂ、１６１Ａｃを有し、浮上保持搬送装置１６０Ｂは、３つの搬送ベルト１６１Ｂa、１６１Ｂｂ、１６１Ｂｃを有している。この場合、エア吸引や搬送ベルトの駆動は、それぞれ浮上保持搬送装置１６０Ａ、浮上保持搬送装置１６０Ｂの単位で制御されているため、浮上保持搬送装置１６０Ａと浮上保持搬送装置１６０Ｂが「保持部材」となる。

本実施形態では、浮上保持搬送装置１６０Ａの搬送ベルト１６１Ａa、１６１Ａｂ、１６１Ａｃの浮上ブロアがオンとなり、その後浮上保持搬送装置１６０Ｂの搬送ベルト１６１Ｂa、１６１Ｂｂ、１６１Ｂｃの浮上ブロアがオンとなる制御となっている。ただし、本実施形態では浮上保持搬送装置１６０Ａに被搬送材が保持された後に、浮上保持搬送装置１６０Ｂに被搬送材が保持されればよい。そのため、例えば浮上保持搬送装置１６０Ａと浮上保持搬送装置１６０Ｂとに吸引力に差があるときは、浮上ブロアが同時にオンになることもありえる。

図１０において、浮上保持搬送装置１６０Ｘでは、３つの搬送ベルト１６１ａ、１６１ｂ、１６１ｃが保持ユニット１６５を構成し、１つの吸引ブロアによってエア吸引が行われ、かつ、１つの駆動モータによって３つの搬送ベルト１６１ａ、１６１ｂ、１６１ｃが駆動される。
図１０において、１６４は搬送ベルト１６１ａ、１６１ｂ、１６１ｃを貫通して開けられた吸引孔を、１６６は回路基板用シートの保持エリアを、それぞれ示す。浮上保持搬送装置１６０Ｘは、実施形態１の浮上保持搬送装置１６０や実施形態２の浮上保持搬送装置１６０Ａ、１６０Ｂ等の別の具体例を示している。

（実施形態３）
図１１を用いて、実施形態３について、実施形態２と相違する点を中心に説明する。図１１は実施形態３に係る浮上保持搬送装置による被搬送材の吸着保持動作を説明する模式的な図である。
実施形態３は、３つの浮上保持搬送装置１６０Ａ、１６０Ｂ、１６０Ｃを用いている。３つ目の浮上保持搬送装置１６０Ｃに対応して、エア噴射ノズル装置が通常配置されるが、図１１ではその図示を省略している。実施形態３では、３つの浮上保持搬送装置１６０Ａ、１６０Ｂ、１６０Ｃ等を用いて、被搬送材を分離し搬送できる。

３つの浮上保持搬送装置１６０Ａ、１６０Ｂ、１６０Ｃは、実施形態１における単一の浮上保持搬送装置１６０の内部構成とそれぞれ同じである。図を省略した３つのエア噴射ノズル装置では、浮上保持搬送装置１６０Ａ、１６０Ｂ、１６０Ｃによって浮上した被搬送材が保持され分離された後、エア噴出しを停止するように、それぞれの浮上ブロアのオン／オフ制御が行われる。

浮上保持搬送装置１６０Ｂは本発明の第１の保持部材として、浮上保持搬送装置１６０Ｃは本発明の第２の保持部材として、浮上保持搬送装置１６０Ａは本発明の第３の保持部材として、それぞれ機能する。

浮上保持搬送装置１６０Ｂと浮上保持搬送装置１６０Ｃとは、図１１に示すように、幅方向Ｙに沿って互いに隣接して配置されている。浮上保持搬送装置１６０Ｂは、浮上保持搬送装置１６０Ｃと浮上保持搬送装置１６０Ａとの間に設置されている。
図１１に示すように、浮上した被搬送材１Ａは浮上保持搬送装置１６０Ｂの搬送ベルト１６１に最初に保持された後、浮上保持搬送装置１６０Ａと浮上保持搬送装置１６０Ｃの搬送ベルト１６１に吸着保持される。

上記したとおり、実施形態３によれば、被搬送材の品質を損なわずに分離を容易に行える被搬送材分離方法及び被搬送材分離装置を提供することができる。浮上した被搬送材は、浮上保持搬送装置１６０Ａと浮上保持搬送装置１６０Ｃとの間に設置されている浮上保持搬送装置１６０Ｂに保持された後、隣接して配置されている浮上保持搬送装置１６０Ａに保持される。そのため、浮上保持搬送装置１６０Ｂに保持された被搬送材は、たわみやしわが発生することなく浮上保持搬送装置１６０Ａに保持され、その後浮上保持搬送装置１６０Ｃに保持することが可能となる。よって、被搬送材の品質を損なわずに分離を容易に行うことが可能となる。

（実施形態４）
図１１に示した実施形態３に限らず、図１２に示す実施形態４でもよい。図１２は実施形態４に係る浮上保持搬送装置による被搬送材の吸着保持動作を説明する模式的な図である。
実施形態４は、実施形態３と比較して、３つの浮上保持搬送装置１６０Ａ、１６０Ｂ、１６０Ｃの搬送ベルト１６１による被搬送材の吸着保持の順番を変えた点のみ相違する。実施形態４では、浮上保持搬送装置１６０Ａは本発明の第１の保持部材として、浮上保持搬送装置１６０Ｂは本発明の第２の保持部材として、浮上保持搬送装置１６０Ｃは本発明の第３の保持部材として、それぞれ機能する。

浮上保持搬送装置１６０Ａと浮上保持搬送装置１６０Ｂとは、図１２に示すように、幅方向Ｙに沿って互いに隣接して配置されている。浮上保持搬送装置１６０Ｂは、浮上保持搬送装置１６０Ａと浮上保持搬送装置１６０Ｃとの間に設置されている。
図１２に示すように、浮上した被搬送材１Ａは浮上保持搬送装置１６０Ａの搬送ベルト１６１に最初に保持された後、浮上保持搬送装置１６０Ｂの搬送ベルト１６１に吸着保持される。

上記したとおり、実施形態４によれば、被搬送材の品質を損なわずに分離を容易に行える被搬送材分離方法及び被搬送材分離装置を提供することができる。浮上した被搬送材は、浮上保持搬送装置１６０Ａに保持された後、隣接して配置されている浮上保持搬送装置１６０Ｂに保持される。そのため、浮上保持搬送装置１６０Ａに保持された被搬送材は、たわみやしわが発生することなく浮上保持搬送装置１６０Ｂに保持され、その後浮上保持搬送装置１６０Ｃに保持することが可能となる。よって、被搬送材の品質を損なわずに分離を容易に行うことが可能となる。

以上本発明の好ましい実施の形態について説明したが、本発明はかかる特定の実施形態
に限定されるものではなく、上述の説明で特に限定していない限り、特許請求の範囲に記
載された本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。例えば、上記
実施形態や変形例等に記載した技術事項を適宜組み合わせたものであってもよい。

本発明の実施の形態に適宜記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙
したに過ぎず、本発明による効果は、本発明の実施の形態に記載されたものに限定される
ものではない。

１ 回路基板用シート束、被搬送材束
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ 回路基板用シート、被搬送材
１３０ 回路基板用シート分離搬送装置（回路基板用シート分離装置の一例）
１３０Ａ 被搬送材分離搬送装置（被搬送材分離装置）
１３６ 積載台（準備手段）
１３７、１３７ サイドフェンス
１３８ 前端ガイド板
１３９ エンドフェンス
１６０ 浮上保持搬送装置（保持部材の一例）
１６０Ａ、１６０Ｂ、１６０Ｃ（第１の保持部材〜第３の保持部材の一例）
１６１ 搬送ベルト（保持部材を構成）
１６２ 駆動ローラ
１６３ 従動ローラ
１６４ 吸引孔
３００、３００Ａ、３００Ｂ エア噴射ノズル装置（エア噴出し手段、第１のエア噴出し部材の一例）
３１０ 負圧エアチャンバ
３２０ エアチャンバ
３２２ 浮上ノズル（エア噴出し手段、第１のエア噴出し部材の構成）
３３０ 浮上ブロア
３７０ サイドエアノズル（エア噴出し手段、第２のエア噴出し部材の構成）
３８０ サイドブロア
３９０ 吸引ブロア
Ａａ 浮上エア
Ａｃ サイドエア
Ｘ 搬送方向（回路基板用シートの搬送方向、被搬送材の搬送方向の一例）
Ｙ 幅方向（回路基板用シートの搬送方向と回路基板用シートの積層方向に対して直交する方向、被搬送材の搬送方向と被搬送材の積層方向に対して直交する方向の一例）
Ｚ 上下方向（回路基板用シートの積層方向、被搬送材の積層方向の一例）

特開２００３−３１１７６９号公報

Claims (18)

1. 積層された回路基板用シートをエア噴出し手段からのエア噴出しにより回路基板用シートの端部を浮上させる第１の工程と、
   前記第１の工程の後に、前記浮上した回路基板用シートを保持部材にて保持し、分離させる第２の工程と、
   を有する回路基板用シート分離方法。
2. 前記回路基板用シートを搬送させる第３の工程であって、
   前記保持部材として、前記回路基板用シートの搬送方向および前記回路基板用シートの積層方向に対して垂直な方向において異なる位置に設けられた第１の保持部材と第２の保持部材とが用いられ、
   前記第１の保持部材と前記第２の保持部材とは隣接し、
   前記保持部材は、前記浮上した回路基板用シートを、前記第１の保持部材に保持した後、前記第２の保持部材に保持するように制御されることを特徴とする請求項１記載の回路基板用シート分離方法。
3. 前記第２の工程では、前記保持部材として、前記回路基板用シートの搬送方向および前記回路基板用シートの積層方向に対して垂直な方向において異なる位置に設けられた第１の保持部材と第２の保持部材と第３の保持部材とが用いられ、
   前記第１の保持部材と前記第２の保持部材とは隣接し、
   前記第１の保持部材は、前記第２の保持部材と第３の保持部材との間に設置され、
   前記保持部材は、前記浮上した回路基板用シートを、前記第１の保持部材に最初に保持するように制御されることを特徴とする請求項１記載の回路基板用シート分離方法。
4. 前記第２の工程は、前記保持部材として、前記回路基板用シートの搬送方向および前記回路基板用シートの積層方向に対して垂直な方向において異なる位置に設けられた第１の保持部材と第２の保持部材と第３の保持部材とが用いられ、
   前記第１の保持部材と前記第２の保持部材とは隣接し、
   前記第２の保持部材は、前記第１の保持部材と第３の保持部材との間に設置され、
   前記保持部材は、前記浮上した回路基板用シートを、前記第１の保持部材に最初に保持した後、前記第２の保持部材に保持するように制御されることを特徴とする請求項１記載の回路基板用シート分離方法。
5. 前記エア噴出し手段として、前記回路基板用シートの搬送方向下流の前端部に対しエアを噴出す第１のエア噴出し部材と、前記回路基板用シートの側部に対しエアを噴出す第２のエア噴出し部材とが用いられることを特徴とする請求項１〜４の何れか１つに記載の回路基板用シート分離方法。
6. 第１のエア噴出し部材は、前記搬送方向と前記回路基板用シートの積層方向に対して垂直な方向において異なる位置に複数設けられており、
   前記第２のエア噴出し部材は、前記搬送方向において異なる位置に複数設けられていることを特徴とする請求項５記載の回路基板用シート分離方法。
7. 前記第２の工程が終了した後、前記エア噴出し部材からのエア噴出しを停止することを特徴とする請求項１〜６の何れか１つに記載の回路基板用シート分離方法。
8. 前記保持部材は、前記浮上した回路基板用シートをエア吸引による負圧で吸着して保持することを特徴とする請求項１〜７の何れか１つに記載の回路基板用シート分離方法。
9. 回路基板用シートを積載して回路基板用シートの積層方向に昇降可能な積載台上に積載された回路基板用シートの上面位置を検出し、前記積載台が昇降制御されることを特徴とする請求項１〜８の何れか１つに記載の回路基板用シート分離方法。
10. 積層された回路基板用シートにエア噴出し回路基板用シートの端部を浮上させるエア噴出し手段と、
    前記浮上した回路基板用シートを保持し分離させる保持部材と、
    を有する回路基板用シート分離装置。
11. 前記保持部材は、前記回路基板用シートを搬送する搬送方向および前記回路基板用シートの積層方向に対して垂直な方向において異なる位置に設けられるとともに、互いに隣接して配置された第１の保持部材と第２の保持部材とを有し、
    前記保持部材は、前記浮上した回路基板用シートを、前記第１の保持部材に保持した後、前記第２の保持部材に保持するように制御されることを特徴とする請求項１０記載の回路基板用シート分離装置。
12. 前記保持部材は、前記回路基板用シートを搬送する搬送方向および前記回路基板用シートの積層方向に対して垂直な方向において異なる位置に設けられた第１の保持部材と第２の保持部材と第３の保持部材とを有し、
    前記第１の保持部材と前記第２の保持部材とは隣接し、
    前記第１の保持部材は、前記第２の保持部材と第３の保持部材との間に設置され、
    前記保持部材は、前記浮上した回路基板用シートを、前記第１の保持部材に最初に保持するように制御されることを特徴とする請求項１０記載の回路基板用シート分離装置。
13. 前記保持部材は、前記回路基板用シートを搬送する搬送方向および前記回路基板用シートの積層方向に対して垂直な方向において異なる位置に設けられた第１の保持部材と第２の保持部材と第３の保持部材とを有し、
    前記第１の保持部材と前記第２の保持部材とは隣接し、
    前記第２の保持部材は、前記第１の保持部材と第３の保持部材との間に設置され、
    前記保持部材は、前記浮上した回路基板用シートを、前記第１の保持部材に最初に保持した後、前記第２の保持部材に保持するように制御されることを特徴とする請求項１０記載の回路基板用シート分離装置。
14. 前記エア噴出し手段は、
    前記回路基板用シートの搬送方向下流の前端部に対しエアを噴出す第１のエア噴出し部材と、
    前記回路基板用シートの側部に対しエアを噴出す第２のエア噴出し部材とを有することを特徴とする請求項１０〜１３の何れか１つに記載の回路基板用シート分離装置。
15. 第１のエア噴出し部材は、前記搬送方向と前記回路基板用シートの積層方向に対して直交する方向に沿って複数配置されており、
    前記第２のエア噴出し部材は、前記搬送方向に沿って複数配置されていることを特徴とする請求項１４記載の回路基板用シート分離装置。
16. 前記エア噴出し手段は、前記保持部材によって前記浮上した回路基板用シートが保持され分離された後、エア噴出しを停止することを特徴とする請求項１０〜１５の何れか１つに記載の回路基板用シート分離装置。
17. 前記保持部材は、前記浮上した回路基板用シートをエア吸引による負圧で吸着して保持することを特徴とする請求項１１〜１６の何れか１つに記載の回路基板用シート分離装置。
18. 前記回路基板用シートを積載して回路基板用シートの積層方向に昇降可能な積載台と、
    前記積載台を駆動する積載台駆動手段と、
    前記積載台上に積載された回路基板用シートの上面位置を検出する検出手段と、
    前記検出手段からの信号に基づいて、前記積載台上に積載された回路基板用シートの上面位置を検出し、前記積載台駆動手段を制御する制御手段と、
    を有することを特徴とする請求項１０〜１７の何れか１つに記載の回路基板用シート分離装置。

Images