JP2016077056A - 振動アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【課題】
1個のアクチュエータで多軸の回転または直動駆動が選択的に行える振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】
振動により出力軸が運動する振動アクチュエータにおいて、略多面体形状の可振子の略中心軸上に貫通または、複数の非貫通の穴を設け、その穴に複数本の出力軸を挿通させている。そして、それぞれの出力軸に略平行な前記可振子外周面に、パターン状の電極を有する複数の圧電素子を貼り付け、これらのパターン電極に順次電圧を印加する事で可振子に進行波を発生し、複数の出力軸に選択的に回転、または軸方向の変位を与えるようにした。
【選択図】 図1
1個のアクチュエータで多軸の回転または直動駆動が選択的に行える振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】
振動により出力軸が運動する振動アクチュエータにおいて、略多面体形状の可振子の略中心軸上に貫通または、複数の非貫通の穴を設け、その穴に複数本の出力軸を挿通させている。そして、それぞれの出力軸に略平行な前記可振子外周面に、パターン状の電極を有する複数の圧電素子を貼り付け、これらのパターン電極に順次電圧を印加する事で可振子に進行波を発生し、複数の出力軸に選択的に回転、または軸方向の変位を与えるようにした。
【選択図】 図1
Description
本発明は、圧電素子等の振動子の振動により複数の出力軸に個別に振動波を与えて、それぞれの出力軸が回転または直動運動を行う振動アクチュエータに関するものである。
医療機器の進歩は急速であり、近年、遠隔操作による手術が可能な手術支援ロボットが登場している。手術支援ロボットの2本のマニピュレータの先端にはそれぞれフィンガーが取り付けられ、このフィンガーは180度の開閉と共にその根元は人の手首が折れるように±90度の角度変更が行えるようになった物が一般的であるが、これらの動作は一般にはチューブ状のアーム内に張られた長いワイヤーを、アームの本体装置側(反フィンガー側)に設けられた十分大きな複数個の電磁モータで押し引きすることで駆動している。
しかし小型で直径5ミリメートル以内の振動アクチュエータ(又は超音波アクチュエータ)が登場したことで、これをマニピュレータ先端に搭載して、ワイヤーを使わずにフィンガーを直接駆動することで、より人の手の運動感覚に近いバックラッシのない操作性が良好なマニピュレータを実現することが求められている。
しかし小型で直径5ミリメートル以内の振動アクチュエータ(又は超音波アクチュエータ)が登場したことで、これをマニピュレータ先端に搭載して、ワイヤーを使わずにフィンガーを直接駆動することで、より人の手の運動感覚に近いバックラッシのない操作性が良好なマニピュレータを実現することが求められている。
マニピュレータに必要な駆動源としては、電磁モータ、圧電アクチュエータ、形状記憶合金式アクチュエータ等の各種駆動原理の中で、小径でも大きい駆動力が得られる圧電素子または電歪素子による振動アクチュエータが有望視されている。
例えば、特許文献1においては、雌ねじ付きナット部材(110)に雄ねじシャフト(120)が摺動自在に挿入され、ナット部材(110)と雄ねじシャフト(120)の間にはクリヤランス(697b)が設けられ、ナット部材(110)の4面に貼り付けられた圧電素子(132a〜132d)に電圧を順次印加し、ナット部材(110)に回転振動を与えることで、雄ねじシャフト(120)を回転させると同時に軸方向に移動させるリニヤモータシステム(100)が示されている。
しかしながら、特許文献1に示すリニヤモータシステムにおいては、出力軸は1本に限定され、複数の圧電素子が複数の出力軸を選択的に回転又は直動振動させることができなかった。
また、特許文献2においては、軸状の作動子(12)が角柱状のステータ(11)の穴に圧入または挿入され、ステータ(11)に貼り付けられた複数の圧電素子(13)に電圧が順次印加され振動波を生じることで軸状の作動子を回転または軸方向に移動させる超音波走査装置が示されている。
しかしながら、特許文献2に示す超音波走査装置では、出力軸は1本に限定され、複数の圧電素子が複数の出力軸を選択的に回転又は直動振動させることができなかった。
本発明は上記従来事情に鑑みてなされたものであり、その課題とする処は、複数の出力軸を選択的に回転、または直動振動させることにより、小型かつ多軸駆動が可能な振動アクチュエータを提供することにある。
上記課題を解決するための一手段は、振動により出力軸が運動する振動アクチュエータにおいて、略多面体形状の可振子の構成面に、貫通または非貫通の穴を設け、この穴に出力軸を挿通する。そして、可振子の構成面上であって穴の形成されていない部分に、パターン状の電極を有する振動子が貼り付けられており、電極パターンに順次電圧を印加する事で可振子に進行波を発生し、出力軸に回転または軸方向の変位を与えることを特徴としている。
本発明によれば、可振子に設けられた複数の振動子が複数の出力軸を選択的に回転、または直動振動させることにより、小型かつ多軸駆動が可能な振動アクチュエータが得られる。この多軸アクチュエータを、遠隔操作が可能な手術支援ロボットマニピュレータの先端に搭載することでワイヤーを使わずフィンガーを直接駆動することができ、応答性が良く、より人の手の運動感覚に近い操作性に優れたマニピュレータが得られる。
本実施の形態の振動アクチュエータの第一の特徴は、振動により出力軸が運動する振動アクチュエータにおいて、略多面体形状の可振子を有し、この可振子の略多面体形状の構成面の内、少なくとも複数の面には、貫通または非貫通の穴が形成されている。そして可振子の構成面の面上であって穴の形成されていない部分に、パターン状の電極を有する振動子が貼り付けられており、複数の穴に出力軸が挿通されており、電極の電極パターンに順次電圧を印加する事で可振子に進行波を発生し、出力軸に回転または軸方向の変位を与えるよう構成している。
この構成により、複数の出力軸に個別に振動波を与えてそれぞれの出力軸が回転及び直動運動を行うことができ、小型で多機能な振動アクチュエータを得ることができる。
この構成により、複数の出力軸に個別に振動波を与えてそれぞれの出力軸が回転及び直動運動を行うことができ、小型で多機能な振動アクチュエータを得ることができる。
第二の特徴としては、略多面体形状の可振子の構成面の内、互いに対向する面に、互いに略同軸となる穴を設け、当該それぞれの穴に各1本の出力軸を挿通し、略同軸上に対向して配置された2本の出力軸が、独立的にまたは同方向に同期的に回転運動できるように構成している。
この構成によれば、可振子に設けられた複数の圧電素子が複数の出力軸を選択的に回転または直動させることができ、また、小型かつ多軸駆動が可能な振動アクチュエータを提供することができる。
この構成によれば、可振子に設けられた複数の圧電素子が複数の出力軸を選択的に回転または直動させることができ、また、小型かつ多軸駆動が可能な振動アクチュエータを提供することができる。
第三の特徴としては、少なくとも1本以上の出力軸に、この出力軸によって動作する作動部材を一体に固定配置するように構成している。
この構成によれば、用途に応じて、レンズ等の光学部品、ドリル又はカッター等の各種工具部品等を作動部材として配置して、これを小スペースの中で多軸で動作させることができるので、各種機器の操作性能を向上することができる。
この構成によれば、用途に応じて、レンズ等の光学部品、ドリル又はカッター等の各種工具部品等を作動部材として配置して、これを小スペースの中で多軸で動作させることができるので、各種機器の操作性能を向上することができる。
第四の特徴としては、作動部材を爪形状の作動爪として、作動爪は少なくとも2本以上の出力軸各々に対して、直接又は、回動アーム等の保持部品を介して一体に固定配置した。そして出力軸の動作によって、複数の前記作動爪同士を開閉する動作が行えるように構成している。
この構成によれば、作動爪の開閉動作に加えて、作動爪を配置していない出力軸によって、可振子を回転/直動させる動作をさせることができるので、操作範囲の自由度の大きいマニピュレータとして使用することができる。例えば、より具体的には、高度な低侵襲手術支援ロボットのフィンガーユニットにも適用できる高精度な多軸駆動マニピュレータを実現できる。
この構成によれば、作動爪の開閉動作に加えて、作動爪を配置していない出力軸によって、可振子を回転/直動させる動作をさせることができるので、操作範囲の自由度の大きいマニピュレータとして使用することができる。例えば、より具体的には、高度な低侵襲手術支援ロボットのフィンガーユニットにも適用できる高精度な多軸駆動マニピュレータを実現できる。
第五の特徴としては、振動子として、電圧を加えると歪みを生じる圧電素子または電歪素子を使用する。
この構成によれば、微小な変位が可能で、応答性にも優れる素子を使用することで、より高精度に出力軸の運動を制御することができる。
この構成によれば、微小な変位が可能で、応答性にも優れる素子を使用することで、より高精度に出力軸の運動を制御することができる。
次に本発明の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。
本発明の振動アクチュエータの実施形態の一つの構成について、図1から図10を用いて説明する。
図1は本発明の実施形態に係わる振動アクチュエータの斜視図である。図1において、略多面体形状の可振子1(図1では略立方体)は、多角形を構成する各面1a、1b、1c、1d、1e、1fには穴3a、3c、3d、3e、3fが設けられ作動軸2a、2c、2d、2e、2fがそれぞれ挿通、又は軽く圧入されている。
図2は本実施形態に係る電極パターン説明図であり、可振子1の各面1a、1b、1c、1d、1e、1fの展開図を示している。表面に電極6が形成された複数の圧電素子5が貼り付けられ、それぞれのパターン電極は電線11に接続され、駆動回路12から電圧が印加される。
図3は本実施形態の第1出力軸の直動動作説明図であり、第1出力軸とは図中2aを示す。図3において、略多面体形状の可振子1は多角形を構成する略平面の内、対向する面1aから面1bに向けて貫通する穴3aを有し、この穴3aに出力軸2aが挿通されている。穴3aには可振子1にバネ性を与えるための放射状に伸びるスリット4を加工しており、可振子1は挿通された出力軸2aを適度な力で挟み込み、出力軸2aと可振子1の間に安定した摩擦力(例えば約1ニュートンの力)を発生する。
また、好ましくは出力軸2aの略中央には軸穴2gが空けられ、軸穴2gは必要に応じて光ファイバーや内視鏡用のCCDカメラの電線、又は手術中に患部に吹き付ける洗浄水を放出するノズル等が挿通されるものである。
出力軸2aに平行な可振子1の外周の1つの面1eと、その対向面1fに、圧電素子5が貼り付けられる。面1eに貼り付けられた圧電素子5の表面にはパターン状の電極6e1、6e2、6e3、6e4が形成されている。また、面1fに貼り付けられた圧電素子5の表面には図2に示すように、パターン状の電極6f1、6f2、6f3、6f4が形成されている。
圧電素子5には1枚毎にそれぞれパターン状の電極6が貴金属のスパッタリング法や、導電性インクの印刷工法により設けられている。また、電極6a1、6a2、6a3、6a4は1枚の圧電素子5上に形成されても良いが、また、4個に分割された圧電素子5の一個ずつに電極が形成されても良い。
可振子1の表面は、好ましくはさらに軸2aが挿通する貫通穴3aを含む面1aと1bにも電極6を有する圧電素子5が貼り付けられる。面1aに貼り付けられた圧電素子5には電極6a1、6a2、6a3、6a4が形成され、面1bに貼り付けられた圧電素子5には電極6b1、6b2、6b3、6b4が形成されている。
図3に示す第1出力軸の直動動作について更に説明する。図4は本実施形態における第1出力軸の直動進行波説明図である。図3から図4において、略正弦波状又はのこぎり波状の電圧が駆動回路12から、電線11を通してパターン状の電極6に順次印加されるが、印加される順序を変えることにより、以下に説明するように出力軸2aは直動方向、または回転方向動作させることができる。
出力軸2aを図4中の矢印M方向に直動させる場合は、電圧を第1に、電極6a1、6a2、6a3、6a4の計4個の電極に印加し、次に第2には、電極6e3、6e4、6f3、6f4の計4個の電極に印加し、次に第3には、電極6e1、6e2、6f1、6f2の計4個の電極に印加し、次に第4には、電極6b1、6b2、6b3、6b4の計4個の電極に印加する。その次に再び第1に印加した6a1、6a2、6a3、6a4の計4個の電極に印加し、これを繰り返す。これにより図中NとOに示すように進行波が生じ、これが出力軸2aに伝搬し出力軸2aは矢印M方向に摺動する。
これら電極6に繰り返し印加する順序を逆にすると、可振子1の内部に図中NとOとは逆回転方向の進行波が生じ、出力軸2aは図1中矢印Mとは反対方向に摺動する。
また、より簡単に作動させる方法として以下の作動方法がある。電圧を先ず第1に、電極6e3、6e4、6f3、6f4の計4個の電極に印加し、次に第2には、電極6e1、6e2、6f1、6f2の計4個の電極に印加し、その次に再び第1に印加した6e3、6e4、6f3、6f4計4個の電極に印加し、これを繰り返す。これによっても出力軸2aは矢印M方向に摺動する。この方法の場合、電極6と電線11が少なく済ませることができる。
次に、出力軸2aを回転させる場合について、図5〜図6を用いて説明する。
図5は本発明の第1実施例の第1出力軸(図中2a)の回転動作説明図であり、出力軸2aの形状はこの実施例では回転と直動の両方向の動作をさせるため、円柱形状をしている。直動動作のみ行わせる場合は円柱形状でも角柱形状でもいずれでも良い。
図5は本発明の第1実施例の第1出力軸(図中2a)の回転動作説明図であり、出力軸2aの形状はこの実施例では回転と直動の両方向の動作をさせるため、円柱形状をしている。直動動作のみ行わせる場合は円柱形状でも角柱形状でもいずれでも良い。
図6は同第1出力軸(2a)の回転進行波発生状態の説明図である。出力軸2aを矢印P方向に回転させる場合は、電圧を先ず第1に、電極6c3、6c1、6d3、6d1の計4個の電極に印加し、次に第2には、電極6e4、6e2、6f4、6f2の計4個の電極に印加し、次に第3には、電極6e3、6e1、6f3、6f1の計4個の電極に印加し、次に第4には、電極6d4、6d2、6c4、6c2の計4個の電極に印加する。その次に再び第1に印加した6c3、6c1、6d3、6d1計4個の電極に印加し、これを繰り返す。これにより可振子1の内部に図5中に示す矢印方向の進行波が生じ、これが出力軸2aに伝搬し出力軸2aは矢印P方向に回転する。
これら電極6に繰り返し印加する順序を逆にすると、出力軸2aは図1中矢印Pとは反対方向に回転する。
また、より簡単に回転させる方法として以下の作動方法がある。電圧を先ず第1に、電極6e4、6e2、6f4、6f2の計4個の電極に印加し、次に第2には、電極6e3、6e1、6f3、6f1の計4個の電極に印加し、その次に再び第1に印加した6e4、6e2、6f4、6f2の計4個の電極に印加し、これを繰り返す。これによっても可振子1の内部に同様の進行波が生じ、出力軸2aは矢印M方向に摺動する。この方法の場合、電極6と電線11を少なく済ませることができる。
図7は本実施形態における第2出力軸の回転動作説明図、図8は同第2出力軸の回転振動波説明図である。
出力軸2cを回転させる場合について、図7〜図8を用いて説明する。可振子1の面1cには穴3cが設けられ、出力軸2cが軽く圧入されている。出力軸2cを矢印Q方向に回転させる場合は、電圧を先ず第1に、電極6a2、6b2の計2個の電極に印加し、次に第2には、電極6e4、6f1の計2個の電極に印加し、次に第3には、電極6e2、6f3の計2個の電極に印加し、次に第4には、電極6b4、6a4の計2個の電極に印加する。その次に再び第1に印加した6a2、6b2計2個の電極に印加し、これを繰り返す。これにより可振子1の内部に図7中に示す矢印方向の進行波が生じ、これが出力軸2cに伝搬し出力軸2cは矢印Q方向に回転する。
これら電極6に繰り返し印加する順序を逆にすると、出力軸2cは図1中矢印Qとは反対方向に回転する。
ここで、面1cに設けられる穴3c、作動軸2cと、一方、面1dに設けられる穴3d、作動軸2dはそれぞれ別の電極6により駆動されるため、作動軸2cと2dは独立して別々に回転駆動される。
図9は本実施形態における第3出力軸(出力軸2e、2f)の回転動作説明図、図10は同第3出力軸の回転振動波説明図である。
出力軸2e及び出力軸2fを回転させる場合について、図9〜図10を用いて説明する。可振子1の面1eには穴3eが設けられ、出力軸2eが軽く圧入されている。また、面1fには穴3fが設けられ、出力軸2fが軽く圧入されている。出力軸2eと2fを矢印S1およびS2方向に回転させる場合は、電圧を先ず第1に、電極6c1、6c2、6d4、6d3の計4個の電極に印加し、次に第2には、電極6b4、6b2、6a1、6a3の計4個の電極に印加し、次に第3には、電極6b3、6b1、6a2、6a4の計4個の電極に印加し、次に第4には、電極6d2、6d1、6c3、6c4の計4個の電極に印加する。その次に再び第1に印加した6c1、6c2、6d4、6d3計4個の電極に印加し、これを繰り返す。これにより可振子1の内部に図9及び図10中に示す矢印方向の進行波が生じ、これが出力軸2eおよび2fに伝搬し出力軸2eおよび2fは別部品ではあるが、見掛け上一体部品であるがようにほぼ同時に矢印S1およびS2方向に回転する。
これら電極6に繰り返し印加する順序を逆にすると、出力軸2eおよび2fは図1中矢印S1およびS2とはそれぞれ反対方向に回転する。
図11は本発明に係わる振動アクチュエータのマニピュレータへの応用事例説明図であり、低侵襲手術機器等に用いられるマニピュレータ先端に使われる5軸動作が可能なフィンガーユニットの構成事例の図である。
図11において、出力軸2cには回動アーム9cと作動爪10Cが取り付けられ、出力軸2dには回動アーム9dと作動爪10dがそれぞれ取り付けられている。作動軸2cと作動軸2dは駆動回路12が作動することによりそれぞれ独立して約±100度の広い範囲で回動可能であり、医療現場等において施術者は作動爪10C、10dを人の親指および人差し指を動かすかのように自在に開閉し、手術用の糸と針等をつまみ、扱うことが可能である。
出力軸2eと2fは出力軸フォルダー8a、8bに固定され、出力軸フォルダー8a、8bは出力軸2e、2fに一体的にマニピュレータのアーム13に固定されている。駆動回路12が作動することにより出力軸2e、2fに回転力が発生すると、可振子1は図中矢印S1、S2の方向に約±80度の範囲で回動し、施術者は人が手首を、作動爪10c、10dと共に曲げるかのように自在に扱うことが可能である。
出力軸2aは直動および回転の両方の動作が可能であるが、出力軸2aの作動爪10c、10d側の端部には必要に応じて施術中に洗浄水を吐出するノズルや、またはCCDカメラ等が取り付けられ図中矢印M方向に摺動、または矢印P方向に回転することで、施術者は術中に患部の洗浄や観察をきめ細かく行うことができる。図中14は洗浄水供給用フレキシブル配管であるが、ここでは、ノズルおよびCCDカメラは図示を省略している。
このように振動アクチュエータ7は合計5軸の動作を行うことができ、フィンガーを自在に扱うことが可能である。
可振子1は、圧電素子または電歪素子の材料で構成している。これにより高精度で応答性に優れる制御を行うことができる。
尚、図11の実施例において、出力軸2aの外径は約2ミリメートル、主力軸2c、2d、2e、2fの直径は約1.2ミリメートル、可振子はほぼ5ミリメートル角、作動爪10c、10dの長さは約15ミリメートルである。また、圧電素子5の厚さは約0.2ミリメートル、電極6の厚さは約0.05ミリメートルである。電極6には直径約0.025ミリメートルの細径の電線11が半田付け等により配線されている。
また、出力軸2および可振子1は、金属またはセラミックスからなり、機械加工により仕上られている。
そして、可振子1はバネ性を有し、かつ圧電素子9との線膨張係数の差が大きくない事が望まれるため、ステンレス鋼、アルミナセラミックス、またはジルコニヤセラミックス等により加工される。
本発明によれば多軸の回転及び、少なくとも1つの直動運動を1つの振動アクチュエータが行うので、コンパクトである。また、マニピュレータ等にこのアクチュエータを用いると、コンパクトで作動力が大きく、かつバックラッシュのない操作性に優れたマニピュレータが実現できる。
本発明の振動アクチュエータは、1個の可振子で多軸の動作が行えるため、近年急速に進歩する低侵襲手術機器のマニピュレータ等に組み込むことで操作性がよく、小型で大きい駆動力を得ることができる。その他にも内視鏡カメラの首振り装置やズームレンズの摺動装置にも適用が可能である。
1 可振子
1a、1b、1c、1d、1e、1f 面
2a、2c、2d、2e、2f 出力軸
2g 軸穴
3a、3c、3d、3e、3f 穴
4 スリット
5 圧電素子
6a1、6a2、6a3、6a4 (面1aの)電極
6b1、6b2、6b3、6b4 (面1bの)電極
6c1、6c2、6c3、6c4 (面1cの)電極
6d1、6d2、6d3、6d4 (面1dの)電極
6e1、6e2、6e3、6e4 (面1eの)電極
6f1、6f2、6f3、6f4 (面1fの)電極
7 振動アクチュエータ
8a、8b 出力軸フォルダー
9c、9d 回動アーム
10c、10d 作動爪
11 電線
12 駆動回路
13 アーム
14 フレキシブル配管
1a、1b、1c、1d、1e、1f 面
2a、2c、2d、2e、2f 出力軸
2g 軸穴
3a、3c、3d、3e、3f 穴
4 スリット
5 圧電素子
6a1、6a2、6a3、6a4 (面1aの)電極
6b1、6b2、6b3、6b4 (面1bの)電極
6c1、6c2、6c3、6c4 (面1cの)電極
6d1、6d2、6d3、6d4 (面1dの)電極
6e1、6e2、6e3、6e4 (面1eの)電極
6f1、6f2、6f3、6f4 (面1fの)電極
7 振動アクチュエータ
8a、8b 出力軸フォルダー
9c、9d 回動アーム
10c、10d 作動爪
11 電線
12 駆動回路
13 アーム
14 フレキシブル配管
Claims (5)
- 振動により出力軸が運動する振動アクチュエータにおいて、
略多面体形状の可振子を有し、
前記略多面体形状の構成面の内、少なくとも複数の面には、貫通または非貫通の穴が形成されており、
前記面の面上であって前記穴の形成されていない部分に、パターン状の電極を有する振動子が貼り付けられており、
複数の前記穴に出力軸が挿通されており、
前記電極の電極パターンに順次電圧を印加する事で可振子に進行波を発生させ、前記出力軸に回転または軸方向の変位を与えることを特徴とする振動アクチュエータ。
- 前記可振子における前記略多面体形状の構成面の内、互いに対向する面に、互いに略同軸となる前記穴を設け、当該それぞれの穴に各1本の前記出力軸を挿通し、
略同軸上に対向して配置された2本の前記出力軸が、独立的にまたは同方向に同期的に回転運動可能であることを特徴とする請求項1記載の振動アクチュエータ。
- 少なくとも1本以上の前記出力軸に、該出力軸によって動作する作動部材が一体に固定配置されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の振動アクチュエータ。
- 前記作動部材は、爪形状をした作動爪であって、前記作動爪は少なくとも2本以上の前記出力軸各々に対して一体に固定配置されており、該出力軸の動作によって、複数の前記作動爪同士を開閉する動作が可能であることを特徴とする請求項3記載の振動アクチュエータ。
- 前記振動子は、圧電素子または電歪素子である事を特徴とする請求項1から4何れか1項記載の振動アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014204889A JP2016077056A (ja) | 2014-10-03 | 2014-10-03 | 振動アクチュエータ |
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---|---|---|---|
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016077056A true JP2016077056A (ja) | 2016-05-12 |
Family
ID=55951860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014204889A Pending JP2016077056A (ja) | 2014-10-03 | 2014-10-03 | 振動アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019009880A (ja) * | 2017-06-22 | 2019-01-17 | 国立大学法人東京農工大学 | 超音波モータ、ロボットアーム、およびメッシュロボット |
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2014
- 2014-10-03 JP JP2014204889A patent/JP2016077056A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2019009880A (ja) * | 2017-06-22 | 2019-01-17 | 国立大学法人東京農工大学 | 超音波モータ、ロボットアーム、およびメッシュロボット |
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