JP2016072899A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】感度を向上させた固体撮像装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、第1画素と、第2画素と、を含む固体撮像装置が提供される。前記第1画素は、第1フィルタを含む。前記第1フィルタは、第1色材を含み、第1波長域の光に対して透過率のピークを有する。前記第2画素は、第2フィルタを含む。前記第2フィルタは、前記第1色材とは異なる第2色材を含み、前記第1波長域の光に対して透過率のピークを有する。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、固体撮像装置に関する。
カラー画像を撮像できる固体撮像装置は、フォトダイオードの上に設けられたカラーフィルタを有する。カラーフィルタを透過した光をフォトダイオードが検知することで、その波長の光に対応した信号を得ることができ、カラー画像の信号を得ることができる。このようなカラーフィルタを用いた固体撮像装置において、感度を向上させることが望まれる。
本発明の実施形態は、感度を向上させた固体撮像装置を提供する。
本発明の実施形態によれば、第1画素と、第2画素と、を含む固体撮像装置が提供される。前記第1画素は、第1フィルタを含む。前記第1フィルタは、第1色材を含み、第1波長域の光に対して透過率のピークを有する。前記第2画素は、第2フィルタを含む。前記第2フィルタは、前記第1色材とは異なる第2色材を含み、前記第1波長域の光に対して透過率のピークを有する。
以下に、各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
実施形態に係る固体撮像装置は、例えば、CCDイメージセンサやCMOSイメージセンサである。以下の実施形態では、一例として、裏面照射型のCMOSイメージセンサについて説明する。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る固体撮像装置を例示する模式的断面図である。
図2は、第1の実施形態に係る固体撮像装置を例示する模式的平面図である。
図1は、図2のA1−A2線における断面図である。
図1は、第1の実施形態に係る固体撮像装置を例示する模式的断面図である。
図2は、第1の実施形態に係る固体撮像装置を例示する模式的平面図である。
図1は、図2のA1−A2線における断面図である。
固体撮像装置300は、2次元アレイ状に配列された複数の画素を含む。例えば、図2に表したように、第1〜第4画素101〜104を含む。
まず、図1を参照して、1つの画素について説明する。
各画素は、素子部60と、カラーフィルタ30と、マイクロレンズ40と、を含む。
各画素は、素子部60と、カラーフィルタ30と、マイクロレンズ40と、を含む。
図1において、素子部60からカラーフィルタ30へ向かう方向をZ軸方向とする。Z軸方向に対して垂直な1つの方向をX軸方向とする。Z軸方向に対して垂直で、X軸方向に対して垂直な方向をY軸方向とする。
素子部60は、配線層50と、半導体層10と、中間膜20と、を有する。
配線層50は、配線51と、層間絶縁膜52と、を含む。
配線層50は、配線51と、層間絶縁膜52と、を含む。
半導体層10は、配線層50の上に設けられる。半導体層10は、第1面10aと、第2面10bと、を有する。第1面10aは、配線層50側の面である。第2面10bは、第1面10aの反対側の面である。
半導体層10には、シリコンが用いられる。半導体層10は、n形拡散層10nと、p形拡散層10pと、を含む。n形拡散層10nは、X−Y平面において、p形拡散層10pによって囲まれている。これにより、フォトダイオードが形成されている。
第1面10aには、トランジスタ11及びトランジスタ群12が設けられている。トランジスタ11は、転送トランジスタである。トランジスタ群12は、例えば、増幅トランジスタと、リセットトランジスタと、アドレストランジスタと、を有する。
中間膜20は、半導体層10の上に設けられる。中間膜20は、例えば、平坦化膜である。平坦化膜は、カラーフィルタ30が形成される面を平坦化する膜である。中間膜20は、反射防止膜や酸化膜であってもよい。酸化膜は、例えば、二酸化ケイ素(SiO2)等のシリコン酸化物を含む膜である。反射防止膜は、例えば、窒化ケイ素(SiN)等のシリコン窒化物を含む膜である。反射防止膜を設けると、半導体層10に入射する光量が増加する。半導体層10に入射する光量が増加すると、画素の感度を高めることができる。中間膜20は、酸化膜、反射防止膜、及び平坦化膜のすくなくともいずれかを含む積層膜でも良い。
カラーフィルタ30は、素子部60の上に設けられる。カラーフィルタ30には、顔料や染料などの色材が分散されたレジストなどが用いられる。カラーフィルタ30は、特定の波長域の光を選択的に透過させる。カラーフィルタ30は、赤色の波長域の光を透過させるRフィルタ、青色の波長域の光を透過させるBフィルタ、緑色の波長の光を透過させるG1フィルタ、及び、緑色の波長の光を透過させるG2フィルタ、のいずれかである。
マイクロレンズ40は、カラーフィルタ30の上に設けられる。
マイクロレンズ40は、固体撮像装置300に入射した光を集光し、素子部60の半導体層10へ導く。
カラーフィルタ30は、所定の波長域の光を、半導体層10へ入射させる。
半導体層10は、入射した光に応じて、光電変換を行う。つまり、半導体層10に入射した光に応じて、半導体層10中に信号電子が発生する。そして、発生した信号電子は、n形拡散層10nに蓄積される。
トランジスタ11は、n形拡散層10nに蓄積された信号電子を、トランジスタ群12の増幅トランジスタに接続された拡散層へ移動させる。これにより、蓄積された信号電子の数に応じて、拡散層の電位が変化する。増幅トランジスタは、この電位の変化を増幅する。増幅された信号は、配線51を介して周辺回路(図示せず)に出力される。このようにして、各画素に入射した光に応じた電気信号を得ることができる。
カラーフィルタ30は、所定の波長域の光を、半導体層10へ入射させる。
半導体層10は、入射した光に応じて、光電変換を行う。つまり、半導体層10に入射した光に応じて、半導体層10中に信号電子が発生する。そして、発生した信号電子は、n形拡散層10nに蓄積される。
トランジスタ11は、n形拡散層10nに蓄積された信号電子を、トランジスタ群12の増幅トランジスタに接続された拡散層へ移動させる。これにより、蓄積された信号電子の数に応じて、拡散層の電位が変化する。増幅トランジスタは、この電位の変化を増幅する。増幅された信号は、配線51を介して周辺回路(図示せず)に出力される。このようにして、各画素に入射した光に応じた電気信号を得ることができる。
図2に示すように、例えば、第3画素103は、X軸方向において第1画素101と並ぶ画素である。そして、第4画素104は、Y軸方向において第1画素101と並ぶ画素である。第2画素102は、X軸方向において第4画素104と並び、Y軸方向において第3画素103と並ぶ。
第1画素101〜第4画素104は、それぞれ、素子部60(第1〜第4素子部)を有する。また、第1画素101〜第4画素104は、それぞれ、マイクロレンズ40(第1〜第4レンズ)を有する。
第1画素101〜第4画素104のそれぞれは、前述のカラーフィルタ30を有する。ここで、第1画素101は、カラーフィルタ30として、緑色の光(第1波長域の光)を透過させるG1フィルタ(第1フィルタ)を有する。G1フィルタは、緑色の色材を含む。例えば、第1波長域(緑色の光の波長)は、500ナノメートル(nm)以上600ナノメートル(nm)以下である。
第2画素102は、カラーフィルタ30として、緑色の光(第1波長域の光)を透過させるG2フィルタ(第2フィルタ)を有する。G2フィルタは、緑色の色材を含む。
第3画素103は、カラーフィルタ30として、赤色の光を透過させるRフィルタを有する。Rフィルタは、赤色の色材を含む。
第4画素104は、カラーフィルタ30として、青色の光を透過させるBフィルタを有する。Bフィルタは、青色の色材を含む。
G1フィルタ及びG2フィルタに用いられる緑色の色材は、例えば、ピグメントグリーン36(PG36)や、ピグメントグリーン58(PG58)などの顔料である。これらの顔料を混ぜ合わせた混合顔料を用いてもよい。また、緑色の顔料と他の色の顔料(例えば黄色の顔料)を混ぜ合わせた混合顔料を用いてもよい。黄色の顔料としては、例えば、ピグメントイエロー139(PY139)、ピグメントイエロー150(PY150)またはピグメントイエロー185(PY185)などを用いることができる。
G2フィルタに含まれる色材(第2色材)は、G1フィルタに含まれる色材(第1色材)とは異なる。
本願明細書において、色材とは、顔料、及び、複数の顔料(または染料)を混合したものを含む。「色材が異なる」とは、複数の種類の顔料を異なる比率で混ぜ合わせた場合も含む。例えば、PG36とPY150との混合顔料において、PG36に対するPY150の比率が互いに異なる混合顔料は、「異なる色材」である。また、含まれる顔料の種類が互いに異なる色材は、「異なる色材」である。
例えば、G1フィルタに含まれる色材中のPG36の割合と、G2フィルタに含まれる色材中のPG36の割合と、は、異なる。
本実施形態においては、G1フィルタの厚さ(Z軸方向に沿った長さ)と、G2フィルタの厚さと、は、同じである。各フィルタの厚さは、0.5マイクロメートル(μm)である。
また、本実施形態においては、G1フィルタの中の第1色材の濃度(例えばフィルタ中の色材の重量パーセント濃度)と、G2フィルタ中の第2色材の濃度と、は、同じである。
なお、「同じ」とは、製造工程におけるばらつきなどを含み、実質的に同じであることを含む。製造工程において、ばらつきは、数パーセント(%)程度(例えば5%以下)である。
図3は、第1の実施形態に係るカラーフィルタの透過率スペクトルを例示するグラフ図である。
図3は、本実施形態に係る固体撮像装置300に用いられるG1フィルタの透過率スペクトルTg1と、G2フィルタの透過率スペクトルTg2と、を示す。
図3は、本実施形態に係る固体撮像装置300に用いられるG1フィルタの透過率スペクトルTg1と、G2フィルタの透過率スペクトルTg2と、を示す。
透過率スペクトルは、カラーフィルタの可視光に対する透過率と、波長と、の関係を表すカーブである。
透過率スペクトルの横軸は、カラーフィルタに入射した光の波長λ(nm)を表す。透過率スペクトルの縦軸は、カラーフィルタの透過率T(%)を表す。
カラーフィルタの厚さ、カラーフィルタに含まれる色材、及びその濃度、を調整することで透過率スペクトルを調整することができる。
図3に表したように、透過率スペクトルTg1は、第1波長域(緑色の光の波長)の光に対して、透過率のピークを有する。
透過率スペクトルTg1の半値幅(透過率が、ピーク値の半分になる波長の幅)は、狭く、130nm以下である。
そして、赤色の光及び青色の光に対して、G1フィルタの透過率は低い。例えば、G1フィルタの透過率は、波長450nmの光に対して10%以下であり、波長650nmの光に対して20%以下であることが望ましい。
透過率スペクトルTg1の半値幅(透過率が、ピーク値の半分になる波長の幅)は、狭く、130nm以下である。
そして、赤色の光及び青色の光に対して、G1フィルタの透過率は低い。例えば、G1フィルタの透過率は、波長450nmの光に対して10%以下であり、波長650nmの光に対して20%以下であることが望ましい。
透過率スペクトルTg2も、第1波長域の光に対して、透過率のピークを有する。透過率スペクトルTg2がピークとなる波長は、透過率スペクトルTg1がピークとなる波長と、異なる。例えば、透過率スペクトルTg2がピークとなる波長と、透過率スペクトルTg1がピークとなる波長と、の差は、5nm以上20nm以下とされる。
透過率スペクトルTg2の半値幅は、透過率スペクトルTg1の半値幅よりも広い。透過率スペクトルTg2の半値幅は、130nm以上150nm以下である。透過率スペクトルTg1の半値幅と、透過率スペクトルTg2の半値幅と、の差は、10nm以上30nm以下である。
G1フィルタに含まれる第1色材、及び、G2フィルタに含まれる第2色材、を調整することで、透過率スペクトルTg1及び透過率スペクトルTg2を前述の範囲とすることができる。
図4は、第1の実施形態に係る固体撮像装置における量子効率を例示するグラフ図である。
図4の横軸は、固体撮像装置に入射する光の波長λμmを表す。図4の縦軸は、シミュレーションによって得られる量子効率QEを表し、最大QE値で規格化した。量子効率QEは、固体撮像装置に入射した光子の数に対する、信号電子の数の割合である。量子効率QEが高いほど、多くの信号電子を得ることができる。すなわち、固体撮像装置の感度が高い。
図4は、第1画素101における量子効率E1と、第2画素102における量子効率E2と、第3画素103における量子効率E3と、第4画素104における量子効率E4と、を示す。
例えば、前述の半導体層10に入射する光量に比例して、信号電子が得られる。カラーフィルタの透過率が高ければ、カラーフィルタを透過して半導体層10に入射する光量が増加する。このため、カラーフィルタの透過率が高ければ、量子効率QEは、高くなる。
図3において説明した通り、第2画素102の透過率スペクトルTg2の半値幅は、第1画素101の透過率スペクトルTg1の半値幅よりも、広い。このため、第2画素102における量子効率E2の半値幅は、第1画素101における量子効率E1の半値幅よりも広い。すなわち、第2画素102は、第1画素101よりも、広い波長域において、高い感度を有する。
カラーフィルタの透過率を高くすることで、量子効率を高くし、固体撮像装置の感度を向上させることができる。例えば、第2画素102に用いられるG2フィルタを透明または半透明のカラーフィルタで置き換えた参考例(参考例1)がある。透明または半透明のカラーフィルタは、可視光の全波長域にわたって、高い透過率を有する。このため、参考例の固体撮像装置は、高い感度を有する。一方、固体撮像装置においては、カラーフィルタに入射した光が、隣接する画素へ漏れ込む場合がある。これにより、混色(クロストーク)が発生し、SNR10が劣化する。なお、SNR10とは、低照度時のS/Nを記述する指標であり、輝度信号のS/Nが10となるときの被写体照度である。混色が生じると、各色に対応した画素においてノイズが大きくなるため、SNR10が劣化する。
例えば、参考例1の固体撮像装置において、透明のカラーフィルタは、全波長域において透過率が高いため、全波長域において、透明フィルタを有する画素から隣接する画素への光漏れが生じ易い。このため、参考例1においては、SNR10が劣化しやすい場合がある。また、透明のフィルタを有する画素では、フォトダイオードに入射する光量が多いため、他の画素に比べて、フォトダイオードが飽和しやすい。このため、独立露光制御などの複雑な信号処理が必要となる場合がある。
また、第2画素102に用いられるカラーフィルタを、G1フィルタと同じ色材を含み、色材の濃度を薄くしたカラーフィルタに置き換える別の参考例(参考例2)もある。この場合、色材の濃度が薄くなることで、カラーフィルタの透過率が高くなり、感度を向上させることができる。しかし、単純に色材の濃度を薄くした場合、半値幅が狭くなる色材を使用していると、色材の濃度を薄くしても透過率がなかなか高くならないため、感度が高くなりにくい。半値幅が広くなる色材を使用していると、全ての波長域にわたって、透過率が高くなる。このため、例えば、緑色の光に対する透過率だけでなく、赤色の光及び青色の光に対する透過率も高くなり、色再現性が劣化し、SNR10が劣化することがある。
さらに、第2画素102に用いられるカラーフィルタを、G1フィルタと同じ色材を含み、厚さを薄くしたカラーフィルタに置き換える参考例(参考例3)も考えられる。この場合においても、前述の場合と同様に半値幅が狭くなる色材を使用していると、厚さを薄くしても透過率がなかなか高くならないため、感度が高くなりにくい。また、感度を向上させるために、厚さを薄くし過ぎると、平坦性が損なわれ、製造が難しくなる。半値幅が広くなる色材を使用していると、全感度を向上させることができるが色再現性が劣化しやすい。
これに対して、実施形態に係る固体撮像装置300においては、第1画素101のG1フィルタに用いられる色材と、第2画素102のG2フィルタに用いられる色材と、が異なる。これにより、図3に表したような透過率スペクトルを得ることができる。G1フィルタでは、透過率スペクトルの半値幅が狭い。すなわち、赤色の光及び青色の光に対する透過率が低い。これにより、色再現性を向上させることができる。そして、G2フィルタは、広い波長域にわたって、緑色の波長の光を選択的に透過させる。これにより、色再現性を確保しつつ、高い感度を得ることができる。
以上説明したように、実施形態においては、緑色に対応した画素に、異なる色材を用いる。これにより、SNR10の劣化を抑制しつつ、感度を向上させることができる。
また、人間の視覚においては、光の波長ごとに光を感じ取る強さが異なり、緑色の光(波長550nm程度)に対して感度が高い。実施形態では、G1フィルタの透過率スペクトル及び、G2フィルタの透過率スペクトルは、共に、緑色の光の波長域においてピークを有する。そして、ピークとなる波長どうしの差は、20nm程度である。このため、緑色の光に対する解像度を確保することができる。
(第2の実施形態)
図5は、第2の実施形態に係るカラーフィルタの透過率スペクトルを例示するグラフ図である。
第2の実施形態に係る固体撮像装置301は、第2画素102に用いられるカラーフィルタにおいて、第1の実施形態に係る固体撮像装置300と、異なる。固体撮像装置301には、固体撮像装置300のG2フィルタの厚さを薄くしたカラーフィルタが用いられる。これ以外は、固体撮像装置301の構成は、固体撮像装置300の構成と同様である。
図5は、第2の実施形態に係るカラーフィルタの透過率スペクトルを例示するグラフ図である。
第2の実施形態に係る固体撮像装置301は、第2画素102に用いられるカラーフィルタにおいて、第1の実施形態に係る固体撮像装置300と、異なる。固体撮像装置301には、固体撮像装置300のG2フィルタの厚さを薄くしたカラーフィルタが用いられる。これ以外は、固体撮像装置301の構成は、固体撮像装置300の構成と同様である。
本実施形態においても、第2画素102に用いられるG2フィルタに含まれる第2色材(顔料)は、第1画素101に用いられるG1フィルタに含まれる第1色材(顔料)と、異なる。
本実施形態のG2フィルタに含まれる色材の濃度と、G1フィルタに含まれる色材の濃度と、は同じである。第2画素102に用いられるG2フィルタの厚さは、G1フィルタの厚さの0.2倍以上0.5倍以下である。例えば、G2フィルタの厚さは、0.1μm以上0.25μm以下である。
なお、G2フィルタの厚さを、G1フィルタの厚さと同じとして、代わりに、G2フィルタ中の第2色材の濃度を、G1フィルタ中の第1色材の濃度よりも低くしてもよい。この場合、G2フィルタの厚さは、0.5μmである。G2フィルタ中の第2色材の濃度は、G1フィルタ中の第1色材の濃度の0.2倍以上0.5倍以下である。厚さを同じとすることで、平坦性を確保できる。
図5は、G1フィルタの透過率スペクトルTg1と、本実施形態に係るG2フィルタの透過率スペクトルTg3と、を示す。
固体撮像装置301において第1画素101に用いられるG1フィルタは、固体撮像装置300と同じである。このため、図5の透過率スペクトルTg1は、図3に表したものと同様である。
本実施形態に係るG2フィルタは、第1の実施形態に係るG2フィルタよりも薄い。このため、G2フィルタの透過率スペクトルTg3は、図3に表した透過率スペクトルTg2よりも、全波長域にわたって、高い透過率を有する。透過率スペクトルTg3がピークとなる波長は、透過率スペクトルTg2がピークとなる波長と同じである。
透過率スペクトルTg3のピーク値は、透過率スペクトルTg1のピーク値よりも高い。透過率スペクトルTg3のピークにおける透過率と、透過率スペクトルTg1のピークにおける透過率と、の差は、1%以上10%以下である。
透過率スペクトルTg3の半値幅は、透過率スペクトルTg1の半値幅よりも広い。透過率スペクトルTg3の半値幅は、150nm以上200nm以下である。透過率スペクトルTg1の半値幅と、透過率スペクトルTg3の半値幅と、の差は、25nm以上80nm以下である。
図6は、第2の実施形態に係る固体撮像装置における量子効率を例示するグラフ図である。
図6は、第2の実施形態に係る固体撮像装置301における量子効率QEと、固体撮像装置301に入射する光の波長λと、の関係を示す。また、図6は、第1画素101における量子効率E1と、第2画素102における量子効率E2と、第3画素103における量子効率E3と、第4画素104における量子効率E4と、を示す。
図5において説明した通り、第2画素102の透過率スペクトルTg3の半値幅は、第1画素101の透過率スペクトルTg1の半値幅よりも、広い。そして、透過率スペクトルTg3のピーク値は、透過率スペクトルTg1のピーク値よりも高い。このため、量子効率E2の半値幅は、量子効率E1の半値幅よりも広く、量子効率E2のピーク値は、量子効率E1のピーク値よりも高い。第2画素102は、第1画素101よりも、高い感度を有する。
第1の実施形態と同様に、本実施形態においても、第1画素101において、透過率スペクトルの半値幅は狭い。このため、混色を抑制し、色再現性を向上させることができる。また、第2画素102のG2フィルタ中の色材を調整することで、緑色の光を選択的に透過させる。さらに、G2フィルタの厚さ(又は色材の濃度)を薄くすることで、高い感度を得ることができる。
透過率の半値幅が狭い第1画素101によって、色再現性を確保する。そして、透過率の半値幅が広い第2画素102のフィルタの厚さを薄くして、感度を向上させる。これにより、単純にフィルタの厚さ(又は色材の濃度)を調整した場合に比べて、よりSNR10の劣化を抑制し、高い感度を得ることができる。
実施形態によれば、感度を向上させた固体撮像装置が提供できる。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明の実施形態は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、色材、カラーフィルタ、フォトダイオードなどの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述した固体撮像装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての固体撮像装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10…半導体層、 10a…第1面、 10b…第2面、 10n…n形拡散層、 10p…p形拡散層、 11…トランジスタ、 12…トランジスタ群、 20…中間膜、 30…カラーフィルタ、 40…マイクロレンズ、 50…配線層、 51…配線、 60…素子部、 101〜104…第1〜第4画素、 300、301…固体撮像装置、 E1〜E4、QE…量子効率、 Tg1〜Tg3…透過率スペクトル
Claims (8)
- 第1色材を含む第1フィルタであって、第1波長域の光に対して透過率のピークを有する第1フィルタを含む第1画素と、
前記第1色材とは異なる第2色材を含む第2フィルタであって、前記第1波長域の光に対して透過率のピークを有する第2フィルタを含む第2画素と、
を備えた固体撮像装置。 - 前記第1色材及び前記第2色材は、前記第1フィルタ中の前記第1色材の濃度と、前記第2フィルタ中の前記第2色材の濃度と、が同じであり、かつ、前記第1フィルタの厚さと、前記第2フィルタの厚さと、が同じであるときに、前記第1フィルタの透過率スペクトルの半値幅が前記第2フィルタの透過率スペクトルの半値幅よりも狭くなる請求項1記載の固体撮像装置。
- 前記第1フィルタの厚さは、前記第2フィルタの厚さと同じであり、
前記第1フィルタ中の前記第1色材の濃度と、前記第2フィルタ中の前記第2色材の濃度とは、同じである請求項1または2に記載の固体撮像装置。 - 前記第2フィルタ中の前記第2色材の濃度は、前記第1フィルタ中の前記第1色材の濃度よりも低い請求項1または2に記載の固体撮像装置。
- 前記第2フィルタの厚さは、前記第1フィルタの厚さよりも薄い請求項1または2に記載の固体撮像装置。
- 前記第2フィルタの透過率スペクトルのピークにおける透過率は、前記第1フィルタの透過率スペクトルのピークにおける透過率よりも高い請求項4または5に記載の固体撮像装置。
- 前記第1フィルタの透過率スペクトルの半値幅は、130ナノメートル以下であり、
波長が450ナノメートルの光に対する前記第1フィルタの透過率は、10パーセント以下であり、
波長が650ナノメートルの光に対する前記第1フィルタの透過率は、20パーセント以下である請求項1〜6のいずれか1つに記載の固体撮像装置。 - 前記第1波長域の光は、緑色である請求項1〜7のいずれか1つに記載の固体撮像装置。
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