JP2016070961A - レーザ顕微鏡 - Google Patents

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Abstract

【課題】測定ヘッドの回転移動に伴って観察対象部位以外の位置にレーザ光が不用意に照射されることを、確実に回避する。
【解決手段】標本Sを載置するステージ6と、レーザ光源2から発せられたレーザ光Lをステージ6上の標本Sへ照射するとともに、レーザ光Lの照射によって標本Sにおいて発生した観察光Fを集光する対物光学系8を保持する測定ヘッド9と、該測定ヘッド9を、ステージ6に対して所定の回転軸線B回りに回転移動可能に支持する回転機構10と、少なくとも、回転機構10によって測定ヘッド9が回転移動しているときに、対物光学系8からのレーザ光Lの出射を禁止するレーザ光禁止手段13とを備えるレーザ顕微鏡1を提供する。
【選択図】図1

Description

本発明は、レーザ顕微鏡に関するものである。
従来、対物レンズを保持する測定ヘッドを水平な回転軸線回りに回転移動可能に設けたレーザ顕微鏡が知られている(例えば、特許文献1参照。)。このようなレーザ顕微鏡によれば、測定ヘッドの回転移動によってステージ上の標本に対する対物レンズの光軸の方向が変化するので、鉛直方向のみならず、様々な方向からの標本の観察が可能となる。例えば、脳科学分野では、生体内の脳を水平方向や斜め方向等からも観察することができる。
特許第4681834号公報
しかしながら、特許文献1のようなレーザ顕微鏡において、測定ヘッドの回転移動に伴って、対物レンズから出射されるレーザ光も移動する。したがって、測定ヘッドの回転移動時に、標本の観察部位以外の位置に不用意にレーザ光が照射される可能性がある。標本が生体試料である場合には、不用意に照射された高エネルギのレーザ光によって、蛍光が退色する等の影響を受けやすい。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、測定ヘッドの回転移動に伴って観察対象部位以外の位置にレーザ光が不用意に照射されることを、確実に回避することができるレーザ顕微鏡を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、標本を載置するステージと、レーザ光源から発せられたレーザ光を前記ステージ上の前記標本へ照射するとともに前記レーザ光の照射によって前記標本において発生した観察光を集光する対物光学系を保持する測定ヘッドと、該測定ヘッドを水平な回転軸線回りに回転させる回転機構と、少なくとも、前記回転機構によって前記測定ヘッドが回転移動しているときに、前記対物光学系からの前記レーザ光の出射を禁止するレーザ光禁止手段とを備えるレーザ顕微鏡を提供する。
本発明によれば、対物光学系から標本へレーザ光が照射されることによって発生した観察光が、対物光学系によって集光されることによって、標本の観察光像が取得される。ここで、回転機構によって測定ヘッドを回転軸線回りに回転移動させることによって、ステージ上の標本に対する対物光学系の光軸の方向を変更することができるので、異なる方向から標本を観察した観察光像を取得することができる。
この場合に、測定ヘッドが回転移動している最中には、レーザ光禁止手段によって対物光学系からのレーザ光の出射が強制的に禁止される。したがって、測定ヘッドの回転移動に伴って観察対象部位以外の位置にレーザ光が不用意に照射されることを確実に回避することができる。
上記発明においては、前記測定ヘッドの前記回転軸線回りの回転移動を検知する回転検知手段を備え、前記レーザ光禁止手段は、前記回転検知手段によって前記測定ヘッドの回転移動が検知されているときに、前記レーザ光の出射を禁止してもよい。
このようにすることで、対物光学系からレーザ光が出射している状態でユーザが測定ヘッドの回転移動を開始した場合に、測定ヘッドの回転移動が回転検知手段によって検知されて、対物光学系からのレーザ光の出射が強制的にレーザ光禁止手段によって停止させられる。これにより、測定ヘッドの回転移動の開始と略同時に対物光学系からのレーザ光の出射を停止させることができる。
また、上記発明においては、前記レーザ光禁止手段は、前記対物光学系からの前記レーザ光の出射を許可する許可状態と、前記対物光学系からの前記レーザ光の出射を禁止する禁止状態との間でユーザによって切り替え可能に設けられ、前記レーザ光禁止手段によって前記禁止状態が選択されているときにのみ、前記回転機構による前記測定ヘッドの回転移動を許可する回転許可手段を備えていてもよい。
このようにすることで、ユーザは、レーザ光禁止手段の禁止状態への切り替え操作を行わない限り、測定ヘッドを回転移動させることができない。したがって、対物光学系からレーザ光が出射している状態でユーザが測定ヘッドを回転移動させてしまうことを確実に回避することができる。
また、上記発明においては、前記測定ヘッドを前記回転軸線回りの一定の回転角度で固定するブレーキ手段を備え、前記レーザ光禁止手段は、前記ブレーキ手段による前記測定ヘッドの固定が解除されているときに、前記レーザ光の出射を禁止してもよい。
このようにすることで、測定ヘッドが回転機構によって回転移動可能な状態になっているときには、測定ヘッドが回転移動しているか、静止しているかにかかわらず、レーザ光禁止手段によって対物光学系からのレーザ光の出射が強制的に禁止される。したがって、標本の観察対象部位以外の位置へのレーザ光の不用意な照射を、さらに確実に回避することができる。
また、上記発明においては、前記測定ヘッドを、前記回転機構よりも高い角度決め精度で前記回転軸線回りに回転移動させる微回転機構を備え、前記レーザ光禁止手段は、前記微回転機構によって前記測定ヘッドが回転移動しているときには、前記対物光学系からの前記レーザ光の出射を許可してもよい。
このようにすることで、回転機構による観察位置および観察方向の粗調整時には、レーザ光の標本Sへの照射を禁止しつつ、微回転機構による観察位置および観察方向の微調整時には実際にレーザ光を標本へ照射しながら高精度で観察位置および観察方向を設定することができる。
また、上記発明においては、可視域の波長を有する低出力光を、前記レーザ光禁止手段とは独立して、前記対物光学系から前記標本へ照射する低出力光照明系を備えていてもよい。
測定ヘッドの回転移動中は、標本へのレーザ光の照射が禁止された状態であるので、標本に対するレーザ光の正確な照射位置および照射方向(つまり、観察位置および観察方向)を確認することができない。一方、低出力光照明系は、測定ヘッドの回転移動中であってもレーザ光を標本へ照射することが可能であるので、低出力光を用いてレーザ光の照射位置および照射方向を正確にかつ容易に調整することができる。
本発明によれば、測定ヘッドの回転移動に伴って観察対象部位以外の位置にレーザ光が不用意に照射されることを、確実に回避することができるという効果を奏する。
本発明の一実施形態に係るレーザ顕微鏡の全体構成を示す(a)正面図および(b)側面図である。 図1のレーザ顕微鏡の、回転機構による測定ヘッドの回転移動を説明する正面図である。 図1のレーザ顕微鏡の使用方法を示すフローチャートである。 図1のレーザ顕微鏡の変形例の全体構成を示す(a)正面図および(b)側面図である。 図4のレーザ顕微鏡の、微回転機構による測定ヘッドの回転移動を説明する正面図である。
以下に、本発明の一実施形態に係るレーザ顕微鏡1について図面を参照して説明する。
本実施形態に係るレーザ顕微鏡1は、図1(a),(b)に示されるように、レーザ光源2と、該レーザ光源2から入射されたレーザ光Lを標本S上で走査する顕微鏡本体3と、レーザ光Lの照射によって標本Sにおいて発生する蛍光(観察光)Fを検出する光検出器4とを備えている。
標本Sは、マウスのような小動物や細胞等の生体試料である。
顕微鏡本体3は、ベース5と、該ベース5上に固定されたステージ6と、走査光学系7および対物光学系8を保持する測定ヘッド9と、該測定ヘッド9を水平方向の回転軸線B回りに回転可能に支持する回転機構10と、該回転機構10による測定ヘッド9の回転移動を阻止するブレーキ(ブレーキ手段)11とを備えている。
ステージ6は、標本Sが載置される、略水平な載置面6aを有する。
測定ヘッド9は、走査光学系7および対物光学系8を保持し、光ファイバ21,22を介してレーザ光源2および光検出器4と接続された筺体12と、対物光学系8と走査光学系7との間に配置されたシャッタ(レーザ光禁止手段)13とを備えている。
走査光学系7は、例えば、一対のガルバノミラーからなり、光ファイバ21を介してレーザ光源2から筺体12内へ入射したレーザ光Lを該レーザ光Lの光軸に交差する2軸方向に走査しながら、対物光学系8へ向かって反射する。
対物光学系8は、走査光学系7から入射されたレーザ光Lをステージ6上の標本Sへ照射するとともに、標本Sから発せられる蛍光Fを集光する。
シャッタ13は、走査光学系7から対物光学系8へ向かうレーザ光Lの通過を許可する開状態(許可状態)と、走査光学系7から対物光学系8へ向かうレーザ光Lの通過を禁止する閉状態(禁止状態)とを択一的に選択可能である。シャッタ13の開状態と閉状態との切り替えは、ユーザの操作による手動切替と、後述するようにブレーキ11から受信する許可信号に基づく自動切替とによって行われるようになっている。具体的には、シャッタ13は、ブレーキ11から許可信号を受信しているときには、ユーザの操作に従って開状態と閉状態とを切り替える。一方、シャッタ13は、許可信号を受信していないときには必ず閉状態を選択し、ユーザによる開状態への切り替え操作を拒否するようになっている。
符号14は、走査光学系7と対物光学系8との間に配置され、走査光学系7から対物光学系8へ向かって進むレーザ光Lを透過させ、対物光学系8から走査光学系7へ向かって進む蛍光Fを反射するダイクロイックミラーである。ダイクロイックミラー14によって反射された蛍光Fは、光ファイバ22によって光検出器4へ導光され、該光検出器4によって検出される。
回転機構10は、水平方向に延びる円柱状のシャフト15と、鉛直面内で延びるアーム16とを備えている。
シャフト15は、ベース5に対して固定されている。
アーム16は、その一方の端部に、対物光学系8の光軸Aが他方の端部へ向かうように測定ヘッド9を支持している。アーム16と測定ヘッド9との間には、測定ヘッド9をX、YおよびZの3方向へ移動させる移動機構17が設けられている。Z方向は、対物光学系8の光軸A方向、X方向およびY方向は対物光学系8の光軸Aに交差する方向である。
アーム16は、その他方の端部に、アーム16の長手軸に直交する方向の貫通穴が形成された円筒状のスリーブ16aを有している。スリーブ16aは、シャフト15の外側に、シャフト15の中心軸である回転軸線B回りに回転可能に嵌合している。固定されたシャフト15に対してスリーブ16aが回転軸線B回りに回転することによって、図2に示されるように、測定ヘッド9が、載置面6a上の標本Sに合わされた対物光学系8の焦点位置またはその近傍を通る回転軸線B回りに回転移動し、標本Sに対する対物光学系8の光軸Aの方向が変化するようになっている。測定ヘッド9の回転移動は、ユーザの手動によって行われてもよく、図示しないモータによって電動で行われてもよい。
ブレーキ11は、例えば、ゴム等の弾性部材からなるブレーキパッド(図示略)を備え、該ブレーキパッドをスリーブ16aの外周面に押し付けることによって、スリーブ16aの回転軸線B回りの回転に対して、ブレーキパッドとスリーブ16aとの間の摩擦による制動力を発生させ、該制動力によってスリーブ16aの回転軸線B回りの回転を阻止するようになっている。
また、ブレーキ11は、該ブレーキ11がスリーブ16aに与える制動力の大きさを検出する手段、例えば、ブレーキパッドに作用する荷重を検出する荷重センサを備えている。ブレーキ11は、スリーブ16aに与える制動力が所定の閾値以上であるときにのみ、シャッタ13へ許可信号を送信し、制動力が所定の閾値未満であるときには、シャッタ13へ許可信号を送信しない。すなわち、アーム16がブレーキ11によって安定的に固定されているときにのみ、シャッタ13は開状態に切り替え可能となり、対物光学系8からのレーザ光Lの出射が可能となる。
さらに、レーザ顕微鏡1は、標本Sに低出力光L’を照射する低出力光照明系18を備えている。
低出力光照明系18は、低出力光L’を出力する光源19と、該光源19から光ファイバ23を介して筺体12内に入射した低出力光L’を対物光学系8の光軸Aに沿って該対物光学系8へ向かって反射するダイクロイックミラー20とを備えている。
低出力光L’は、ユーザが肉眼で観察可能なように、可視域の波長を有する。また、低出力光L’は、標本Sに影響を与えない、レーザ光Lよりも低いエネルギーを有する。
ダイクロイックミラー20は、シャッタ13と対物光学系8との間において対物光学系8の光軸A上に配置されており、シャッタ13よりも対物光学系8側の位置において、低出力光L’をレーザ光Lの光路に合成する。これにより、低出力光L’は、シャッタ13の開閉状態とは独立して、任意のタイミングで対物光学系8から出射可能となっている。ダイクロイックミラー20は、低出力光L’を反射し、レーザ光Lおよび蛍光Fを透過させる。
次に、このように構成されたレーザ顕微鏡1の作用について説明する。
本実施形態に係るレーザ顕微鏡1により標本Sを観察するには、まず、図3に示されるように、ステージ6の載置面6a上に標本Sを載置する(ステップS1)。次に、低出力光L’を用いた予備観察を行いながら標本Sの観察位置と観察方向とを調整する。具体的には、ブレーキ11を解除し(ステップS2)、対物光学系8から標本Sへの低出力光L’の照射を開始する(ステップS3)。ステップS3の予備観察において、ユーザは、標本Sに照射される低出力光L’を目視で確認しながら、該低出力光L’が標本Sの所望の観察位置へ所望の観察方向から照射されるように、測定ヘッド9の回転軸線B回りの回転角度を調整し(ステップS4)、ブレーキ11によって測定ヘッド9を固定する(ステップS5)。
低出力光L’およびレーザ光Lは、互いに同じ光路を通って標本Sの同一位置に同一方向から照射される。したがって、低出力光L’を用いて、標本Sに影響を与えることなく、レーザ光Lによる観察位置および観察方向を所望の状態に事前に設定することができる。
次に、低出力光L’を停止し、レーザ光源2からのレーザ光Lの出力を開始するとともにシャッタ13を開状態へ切り替えてレーザ光Lによる本観察を開始する(ステップS6)。
レーザ光源2から出力されたレーザ光Lは、光ファイバ21を介して測定ヘッド9内の走査光学系7へ導光され、該走査光学系7によって2次元走査されながら、対物光学系8を介して標本Sに照射される。レーザ光Lが標本Sの観察位置において2次元走査されることによって生じた蛍光Fは、対物光学系8によって集光され、ダイクロイックミラー14および光ファイバ22を介して光検出器4へ導光される。光検出器4によって検出された蛍光Fの強度情報は、図示しない画像プロセッサによってレーザ光Lの走査位置と対応づけられることによって2次元画像化される。
本観察の終了後、標本Sの別の観察位置を観察したい場合や、標本Sを別の観察方向から観察したい場合には(ステップS7のNO)、シャッタ13を閉状態へ切り替えることによって対物光学系8からのレーザ光Lの出射を停止し(ステップS8)、その後にステップS2〜S6を繰り返す。
この場合に、ステップS8のレーザ光Lの停止操作をユーザが怠り、対物光学系8から標本Sへレーザ光Lが照射されている状態でブレーキ11を解除してしまったとしても、このブレーキ11の解除に応答してシャッタ13が自動的に閉じることによって、レーザ光Lが直ちに消える。
また、レーザ光Lを用いた本観察中に、何等かの理由でブレーキ11が緩んで測定ヘッド9の固定が不安定になった場合にも、このブレーキ11の緩みに応答してシャッタ13が自動的に閉じることによって、レーザ光Lが直ちに消える。
このように、標本Sへレーザ光Lが照射されている最中に測定ヘッド9が回転移動可能な状態になると、対物光学系8からのレーザ光Lの出射が直ちに強制的に停止するので、レーザ光Lが所望の観察位置以外の位置に不用意に照射されてしまうことがない。レーザ顕微鏡1において標本Sの本観察に使用されるパルスレーザ光のような高エネルギのレーザ光Lは、生体試料と相互作用し易く、蛍光物質の退色のような影響を生体試料に及ぼしやすい。本実施形態によれば、このような高エネルギのレーザ光Lの不用意な照射から標本Sである生体試料を保護することができる。
なお、本実施形態においては、回転機構10に加えて、図4(a),(b)に示されるように、微回転機構24を備えていてもよい。
微回転機構24は、回転機構10と同様に、端部にスリーブ25aが設けられた微動アーム25を備え、測定ヘッド9は、微動アーム25に支持されている。
微動アーム25は、アーム16と並列に配置され、スリーブ16aの外側に、微動アーム25のスリーブ25aが回転可能に嵌合している。これにより、微動アーム25は、図5に示されるように、ブレーキ11とは独立してアーム16に対して回転軸線B回りに回転移動可能となっている。ここで、微動アーム25は、アーム16よりも高い精度で回転軸線B回りの回転角度を決定できるように、いわゆるクリック機構等によって、アーム16に対して所定の微小角度ずつ回転移動可能となっている。
このようにすることで、低出力光L’を用いてアーム16の回転移動による観察位置および観察方向の粗調整を行った後、実際にレーザ光Lを標本Sへ照射しながら微動アーム25の回転移動による観察位置および観察方向の微調整を行うことができる。
また、本実施形態においては、ブレーキ11がスリーブ16aに与える制動力が所定の閾値未満であるときにシャッタ13が自動的に閉じることとしたが、これに代えて、アーム16の回転軸線B回りの回転移動を検知するエンコーダ等の回転検知手段(図示略)を備え、該回転検知手段によってアーム16の回転移動が検知されているときに、シャッタ13が自動的に閉じるように構成されていてもよい。
このようにすることで、対物光学系8からレーザ光Lが出射している状態でユーザが測定ヘッド9の回転移動を開始すると、この測定ヘッド9の回転移動の開始が直ちに回転検知手段によって検知されてシャッタ13が閉じる。このようにしても、レーザ光Lの不用意な照射から標本Sを保護することができる。
また、本実施形態においては、ブレーキ(回転許可手段)11が、シャッタ13から該シャッタ13の開閉状態を示す信号を取得し、シャッタ13が閉状態であるときにのみ、アーム16の固定を解除可能に構成されていてもよい。
このようにすることで、ユーザは、シャッタ13の閉状態への切り替え操作を行わない限り、ブレーキ11を解除することができない。このようにしても、レーザ光Lの不用意な照射から標本Sを確実に保護することができる。
また、本実施形態においては、レーザ光禁止手段として、レーザ光源2と対物光学系8との間の光路に配置されたシャッタ13を用いることとしたが、これに代えて、例えば、レーザ光源2をオフにする等の他の手段を用いて対物光学系8からのレーザ光Lの出射を強制的に停止させてもよい。
1 レーザ顕微鏡
2 レーザ光源
3 顕微鏡本体
4 光検出器
5 ベース
6 ステージ
6a 載置面
7 走査光学系
8 対物光学系
9 測定ヘッド
10 回転機構
11 ブレーキ(ブレーキ手段、回転許可手段)
12 筺体
13 シャッタ(レーザ光禁止手段)
14,20 ダイクロイックミラー
15 シャフト
16 アーム
16a,25a スリーブ
17 移動機構
18 低出力光照明系
19 光源
21,22,23 光ファイバ
24 微回転機構
25 微動アーム
S 標本
L レーザ光
F 蛍光(観察光)
L’ 低出力光

Claims (6)

  1. 標本を載置するステージと、
    レーザ光源から発せられたレーザ光を前記ステージ上の前記標本へ照射するとともに前記レーザ光の照射によって前記標本において発生した観察光を集光する対物光学系を保持する測定ヘッドと、
    該測定ヘッドを水平な回転軸線回りに回転させる回転機構と、
    少なくとも、前記回転機構によって前記測定ヘッドが回転移動しているときに、前記対物光学系からの前記レーザ光の出射を禁止するレーザ光禁止手段とを備えるレーザ顕微鏡。
  2. 前記測定ヘッドの前記回転軸線回りの回転移動を検知する回転検知手段を備え、
    前記レーザ光禁止手段は、前記回転検知手段によって前記測定ヘッドの回転移動が検知されているときに、前記レーザ光の出射を禁止する請求項1に記載のレーザ顕微鏡。
  3. 前記レーザ光禁止手段は、前記対物光学系からの前記レーザ光の出射を許可する許可状態と、前記対物光学系からの前記レーザ光の出射を禁止する禁止状態との間でユーザによって切り替え可能に設けられ、
    前記レーザ光禁止手段によって前記禁止状態が選択されているときにのみ、前記回転機構による前記測定ヘッドの回転移動を許可する回転許可手段を備える請求項1に記載のレーザ顕微鏡。
  4. 前記測定ヘッドを前記回転軸線回りの一定の回転角度で固定するブレーキ手段を備え、
    前記レーザ光禁止手段は、前記ブレーキ手段による前記測定ヘッドの固定が解除されているときに、前記レーザ光の出射を禁止する請求項1から請求項3のいずれかに記載のレーザ顕微鏡。
  5. 前記測定ヘッドを、前記回転機構よりも高い角度決め精度で前記回転軸線回りに回転移動させる微回転機構を備え、
    前記レーザ光禁止手段は、前記微回転機構によって前記測定ヘッドが回転移動しているときには、前記対物光学系からの前記レーザ光の出射を許可する請求項1から請求項4のいずれかに記載のレーザ顕微鏡。
  6. 可視域の波長を有する低出力光を、前記レーザ光禁止手段とは独立して、前記対物光学系から前記標本へ照射する低出力光照明系を備える請求項1から請求項5のいずれかに記載のレーザ顕微鏡。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04159510A (ja) * 1990-10-24 1992-06-02 Hamamatsu Photonics Kk レーザ走査型観察装置
JPH09189864A (ja) * 1996-01-09 1997-07-22 Nikon Corp 光走査型顕微鏡
JP2005128086A (ja) * 2003-10-21 2005-05-19 Olympus Corp 走査型顕微鏡システム
JP2006039360A (ja) * 2004-07-29 2006-02-09 Olympus Corp 生体観察装置
JP2011237616A (ja) * 2010-05-11 2011-11-24 Nikon Corp 走査型顕微鏡

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04159510A (ja) * 1990-10-24 1992-06-02 Hamamatsu Photonics Kk レーザ走査型観察装置
JPH09189864A (ja) * 1996-01-09 1997-07-22 Nikon Corp 光走査型顕微鏡
JP2005128086A (ja) * 2003-10-21 2005-05-19 Olympus Corp 走査型顕微鏡システム
JP2006039360A (ja) * 2004-07-29 2006-02-09 Olympus Corp 生体観察装置
JP2011237616A (ja) * 2010-05-11 2011-11-24 Nikon Corp 走査型顕微鏡

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